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Transmission Electron Microscopy

Part I: History and Introduction

Christoph T. Koch

Max Planck Institut für Metallforschung


Heisenbergstr. 3, 70569 Stuttgart
Raum 5N8, Tel: 0711/689-3647

Max-Planck Institut für Metallforschung Universität Stuttgart

Literature

• Thorough theoretical foundation:


J.C.H. Spence, “High-Resolution Electron Microscopy”
Oxford University Press, Oxford (2003)
• Inelastic electron scattering:
R.F. Egerton, “Electron Energy-Loss Spectroscopy in the Electron
Microscope”, Plenum Press, New York (1996)
• Overview of different methods with focus on applications:
D.B. Williams and C.B. Carter “Transmission Electron Microscopy”
Vol. 1-4, Plenum Press, New York (1996)
• Optics Background:
M. Born and E. Wolf, “Principles of Optics”,
Pergamon Press, Oxford (2005)

Max-Planck Institut für Metallforschung Universität Stuttgart

1
Light = Waves

Thomas Young
Young’s double slit experiment (1805) to solve the
(1773 –1829)
dispute of whether light is made of particles or waves

=> Discovery of interference of waves

Max-Planck Institut für Metallforschung Universität Stuttgart

ELECTRON = charged PARTICLE

J.J. Thomson’s 2nd Cathode ray experiment

1897: discovered “corpuscles”, small


particles with a charge/mass ratio more
than 1000 times greater than that of
protons, swarming in a see of positive
charge (“plum pudding model”).
Sir Joseph John Thomson
(1856 – 1940) => Discovery of the ELECTRON Plum pudding
Nobelpreis 1906 model (1904)

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2
ELECTRON = WAVE

Observed electrons forming diffraction patterns


when passing through a thin film of metal.

=> Discovery of WAVE-like nature of the electron

Sir George Paget Thomson


(1892 – 1975)
Nobel Prize: 1937
(shared with C.J. Davison)

Max-Planck Institut für Metallforschung Universität Stuttgart

ELECTRON = PARTICLE & WAVE

De Broglie’s doctoral thesis (1924):

Application of the idea of particle – wave


dualism (only known for photons up to then)
for any kind of matter.

=> Matter Waves

h h
Louis-Victor Pierre Raymond de Broglie
λ= =
(1892 - 1987)
Nobel prize: 1929
p mv
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3
Electrons in electric and magnetic fields

- X - X

X X X

X X X

Electrostatic force Lorentz force

F=qE F=qv x B
Use these as the only optical elements (q=-e)

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Electron Optics

Hans Busch
(1884 - 1973)
1949 Ehrenmitglied der
"Deutsche Gesellschaft für
Elektronenmikroskopie"
(DGE) ernannt und mit
dem Titel Electrons are focused by a short magnetic coil
"Vater der Elektronenoptik"
geehrt Electron optics was born in 1927, when Hans
Busch showed that the elementary lens equation
is applicable to short magnetic coils.

1 1 1 d image
+ = M=
d object d image f d object

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4
Electron Microscope

Ernst Ruska
(1906-1988)
Nobel prize: 1986

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History of the transmission electron microscope (TEM)

• 1897: Joseph John Thompson: Discovers the electron


• 1924: Louis de Broglie: Wavelength of electron λ=h/mv
• 1926: H. Busch: Lenses for electrons
• 1931: Ruska & Knoll: 1st TEM
• 1938: M. von Ardenne: 1st STEM
• 1945: 1nm resolution
• 1986: E. Ruska: Nobel Price
• 1997: O. Krivanek: 1st Aberration corrector for STEM
• 1998: M. Haider: 1st Aberration corrector for TEM
• … (more work to be done) …

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5
The electron microscope

Light Electron
Microscope Microscope

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Transmission Electron Microscopy


TEM (broad beam) STEM (focused beam)
Electron gun

Condensor lens
system

Object
Objective
lens

Objective lens
aperture

Image detector
Annular detector(s)
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6
(conventional) TEM

Imaging Mode Diffraction Mode


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Scanning TEM (STEM)

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7
Abbreviations

• HEED: high energy electron diffraction


• LEEM: low energy electron microscope (many
variations with special names)
• EELS: electron energy loss spectroscopy
• EDXS: energy dispersive X-ray spectroscopy
• SEM: scanning electron microscope (electrons
do NOT normally transmit the sample)

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Themen im ersten Semester


• Physik der Elektronenstreuung und –beugung, Streufaktoren,
Bethe-Mott Formel
• Reziproker Raum, Fourier Transformation, Kinematische
Beugungstheorie, Strukturfaktoren, Indizierung von
Beugungsmustern
• Phasenproblem und Methoden zu dessen Lösung
• Kohärente Abbildung im TEM, Effekt von Linsenfehlern,
kohärente Elektronenquellen
• Aufbau eines Durchstrahlungselektronenmikroskops,
Elektronenlinsen, Detektoren
• Holographie (off-axis und inline)
• Inelastische Elektronenstreuung (EELS, ELNES, EXELFS),
Methoden zu deren Berechnung
• TEM Probenpräparation für Materialwissenschaftliche und
Biologische Anwendungen

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Themen im zweiten Semester
• Dynamische Streutheorie und deren Berechnung (Blochwellen,
Multislice)
• Konvergente Elektronenbeugung (CBED), HOLZ-Linien,
QCBED
• Thermisch diffuse Streuung, Kikuchi- und Kossellinien
• Kontrast von Kristallstrukturdefekten (Versetzungen,
Stapelfehlern, etc) in „weak beam“ Bildern und LACBED
• Tomographie, Beugungstomographie
• Mathematische Methoden zur Lösung des Inversionsproblems
der dynamischen Elektronenbeugung

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A Selection of Microscopes at the MPI für Metallforschung

Zeiss 912: 200kV, JEOL 4000 EX/FX JEOL ARM,


in-column filter 400kV, 1.7Å 1250kV, 1.1Å

VG HB501-STEM Zeiss Libra 200FE+MC Zeiss SESAM


100kV, EELS/EDXS 200kV, in column filter 200kV, <0.1eV, <1Å
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