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    Ejercicios Experimento de Un Factor

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    Cochilo Kochon
    Este resumen describe un experimento para determinar el efecto de la velocidad de flujo de C2F6 sobre la uniformidad del grabado químico en una oblea de silicio. Se utilizaron tres velocidades de flujo diferentes en el experimento y se midió la uniformidad resultante. Los resultados se muestran en una tabla. Los datos se analizaron estadísticamente para determinar si la velocidad de flujo afecta la uniformidad del grabado.

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    Ejercicios Experimento de Un Factor

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    Este resumen describe un experimento para determinar el efecto de la velocidad de flujo de C2F6 sobre la uniformidad del grabado químico en una oblea de silicio. Se utilizaron tres velocidades de flujo diferentes en el experimento y se midió la uniformidad resultante. Los resultados se muestran en una tabla. Los datos se analizaron estadísticamente para determinar si la velocidad de flujo afecta la uniformidad del grabado.

    Título original

    EJERCICIOS EXPERIMENTO DE UN FACTOR

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    Este resumen describe un experimento para determinar el efecto de la velocidad de flujo de C2F6 sobre la uniformidad del grabado químico en una oblea de silicio. Se utilizaron tres velocidades de flujo diferentes en el experimento y se midió la uniformidad resultante. Los resultados se muestran en una tabla. Los datos se analizaron estadísticamente para determinar si la velocidad de flujo afecta la uniformidad del grabado.

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    de 3

    REAL MEZA JUAN CARLOS

    MK3

    EJERCICIO2
    Se realiza un experimento para determinar el efecto de la velocidad de flujo del C2F6 sobre l
    en una oblea de silicio usada para fabricar circuitos integrados. Se usan tres velocidades de fl
    resultante ( en porciento) de seis replicas se muestran en la TABLA 2del archivo adjunto ¿La v
    uniformidad del grabadoquimico?

    tabla2
    OBSRVACION
    Flujo de C2F6 1 2 3 4
    125 2,7 4,6 2,6 3
    160 4,9 4,6 5 4,2
    200 4,6 3,4 2,9 3,5

    CUADRADOS
    TRATAMIENTO 1 2 3 4
    125 7,29 21,16 6,76 9
    160 24,01 21,16 25 17,64
    200 21,16 11,56 8,41 12,25

    GRADOS DE LIBERTAD CUADRADOS MEDIOS(MC)


    MEDIOS (MS)
    TOTAL 17 TRATAMIENTO 1,82
    TRATAMIENTOS 2 ERRORES 0,51
    ERRORES 15

    F0 3,59
    a 0,01
    Fa, grados libertad 1, grados
    6,36 libertad 2
    Prueba log. Aceptar H0
    elocidad de flujo del C2F6 sobre la uniformidad del grabado quimico
    os. Se usan tres velocidades de flujo en el experimento y la uniformidad
    TABLA 2del archivo adjunto ¿La velocidad de flujo del C2F6 afecta la

    5 6 Total TOTAL CUADRAD


    yi2/n
    3,2 3,8 19,9 396,01 66 a
    3,6 4,2 26,5 702,25 117,04 n
    4,1 5,1 23,6 556,96 92,83
    Suma 70 1655,22 275,87

    5 6 TOTAL
    10,24 14,44 68,89
    12,96 17,64 118,41
    16,81 26,01 96,2
    SUMA 283,5

    SSt 11,28
    Sstratamientos 3,65
    SSE 7,63
    3
    6

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