Specialty Gas Compatability Guide Air Liquide
Specialty Gas Compatability Guide Air Liquide
Specialty Gas Compatability Guide Air Liquide
The compatibility data shown on the following pages has been compiled to assist in
evaluating the appropriate materials to use in handling various gases. Prepared for use with
dry (anhydrous) gases at a normal operating temperature of 70°F (21°C), information may
vary if different operating conditions exist.
It is extremely important that all gas control equipment be compatible with the gas being
passed through it. The use of a device that is not compatible with the service gas may
damage the unit and cause a leak that could result in property damage or personal injury.
To eliminate potentially dangerous situations, always check for compatibility of materials
Gas Encyclopaedia
before using any gases in your gas control equipment. Systems and equipment used in
oxidizer gas service (i.e. oxygen or nitrous oxide) must be cleaned for oxidizer service. First published in 1976, this reference
Since combinations of gases are unlimited, mixtures (except for ethylene oxide/halocarbon book quickly became the must-have
and ethylene oxide/CO2 sterilizing gas mixtures) are not listed in this Compatibility Chart. in the gas industry. Over 1,000 pages
Before using a gas mixture or any gas not listed in the chart, please contact your Air Liquide includes information such as thermo-
representative for more information. dynamics, safety, tables of physical and
biological properties, and much more.
Locate the gas you are using in the first column.
Available now in print or online at
Compare the materials of construction for the equipment www.airliquide.com – contact your
Directions you intend to use with the materials of construction shown in Air Liquide representative for more
the Compatibility Chart. information.
Use the Key to Materials Compatibility to determine compatibility.
Polycarbonate
Polyurethane
Aluminum
Neoprene
Buna-N
Copper
303 SS
316 SS
Monel®
Kalrez®
PCTFE
Kynar®
Tefzel®
Viton®
Brass
PTFE
Chemical
PVC
Zinc
Common Name Formula
Acetylene C2H2 C1 • • ? U U • • • • • ? C2 • C2 C2 C2 C2
Air — • • • • • • • • • • • • • • • • • •
Allene C3H4 • • • • ? U • • • • • ? ? • • • • ?
Ammonia NH3 U • • • U U • • • • U • U C3 U • • U
Argon Ar • • • • • • • • • • • • • • • • • •
Arsine AsH3 • • • C5 ? • • • • • • • ? • • • • U
Boron Trichloride BCl3 U • • U ? • • • • • ? • ? C3 ? ? ? ?
Boron Trifluoride BF3 • • • • ? • • • • • ? • ? C3 ? ? ? ?
1,3-Butadiene C4H6 • • • • • • • • • • • • U • • U • U
Butane C4H10 • • • • • • • • • • • • U • • • • •
1-Butene C4H8 • • • • • • • • • • • • U • • • • •
cis-2-Butene C4H8 • • • • • • • • • • • • U • • • • •
trans-2-Butene C4H8 • • • • • • • • • • • • U • • • • •
Carbon Dioxide CO2 • • • • • • • • • • • • • • • • • U
Carbon Monoxide CO • • • • • • • • • • • • • • ? • • •
Carbonyl Sulfide COS • • • • ? • • • • • • • ? ? • ? ? ?
Chlorine Cl2 U • • U U U • • • • • U U • • U U U
Deuterium D2 • • • • • • • • • • • • ? • • • • •
Diborane B2H6 • • • U ? • • • • • ? ? ? • ? ? ? ?
Dichlorosilane H2SiCl2 ? • • ? ? ? • • • • • ? ? • ? ? ? ?
Dimethyl Ether C2H6O • • • • • • • • • • • • U • • • • ?
Ethane C2H6 • • • • • • • • • • • • ? • • • • •
Ethyl Acetylene C4H6 ? • • • ? U • • • ? • ? ? • • ? • ?
Ethyl Chloride C2H5Cl • • • U ? • • • • • • U U • • • • U
Ethylene C2H4 • • • • • • • • • • • ? ? • • • • ?
Ethylene Oxide* C2H4O C4 • • C5 ? U ? • • ? ? U U C3 U U U U
Ethylene Oxide/Carbon Dioxide Mixtures* C4 • • ? ? U ? • • ? ? U U C3 U U U U
Ethylene Oxide/Halocarbon Mixtures* C4 • • ? ? U ? • • ? ? U U C3 U U U U
Ethylene Oxide/HCFC-124 C4 • • ? ? U ? • • ? ? U U C3 U U U U
Halocarbon 11 CCl3F • • • C5 ? • • • • • • U U C3 • • U U
Halocarbon 12 CCl2F2 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 13 CClF3 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 13B1 CBF3 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 14 CF4 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 21 CHCl2F • • • C5 ? • • • • • • U U C3 U U • •
Halocarbon 22 CHClF2 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 U U • U
Halocarbon 23 CHF3 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 ? ? ? •
Halocarbon 113 CCl2FCClF2 • • • C5 U • • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 114 C2Cl2F4 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 115 C2ClF5 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 116 C2F6 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 ? ? ? •
Halocarbon 142B C2H3ClF2 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 U • • •
Halocarbon 152A C2H4F2 • • • C5 ? • • • • • • U U C3 U • • •
Halocarbon C-318 C4F8 • • • C5 ? ? • • • • • U U C3 • • • •
Halocarbon 502 CHClF2/CClF2-CF3 ? • • C5 ? ? • • • ? • U U C3 • • • •
Halocarbon 1132A C2H2F2 • • • C5 ? • • ? • • • U U C3 ? ? ? •
* Satisfactory for use with EPR (Ethylene Propylene Rubber) and EPDM. See key on page 362 for more information.
Polycarbonate
Polyurethane
Aluminum
Neoprene
Buna-N
Copper
303 SS
316 SS
Monel®
Kalrez®
PCTFE
Kynar®
Tefzel®
Viton®
Brass
PTFE
Chemical
PVC
Zinc
Common Name Formula
Helium He • • • • • • • • • • • • • • • • • •
Hydrogen H2 • • • • • • • • • • • • • • • • • •
Hydrogen Chloride HCl U • • U U U • • • • • • U • • U U U
Hydrogen Sulfide H2S U • • • ? ? • • • • • • • • U • • •
Isobutane C4H10 • • • • • • • • • • • • U • • • • •
Isobutylene C4H8 • • • • ? • • • • • • • ? • • • • ?
Isopentane C5H12 • • • • • • • • • • • • U • • • • •
Krypton Kr • • • • • • • • • • • • • • • • • •
Methane CH4 • • • • • • • • • • • • ? • • • • •
Methyl Chloride CH3Cl • • • U U • • • • • • ? ? • • U U U
Methyl Mercaptan CH3SH • • • U ? U U • • • ? ? ? • ? ? • ?
Neon Ne • • • • • • • • • • • • • • • • • •
Nitric Oxide NO U • • • ? • • • • • ? • ? • ? ? • ?
Nitrogen N2 • • • • • • • • • • • • • • • • • •
Nitrogen Dioxide NO2 ? • • • ? ? • • • • ? U ? • U U U U
Nitrous Oxide N2O • • • • • • • • • • • • ? C3 • • • •
Oxygen O2 • C7 C7 C5 • • • • • • • • • C3 C8 C8 C8 •
Perfluoropropane C3F8 • • • • ? • • • • • ? ? ? ? ? • • ?
Phosphine PH3 ? • • • ? ? • • • • ? ? ? • ? ? ? ?
Phosphorous Pentafluoride PF5 ? • • ? ? ? • • • • ? ? ? ? ? ? ? ?
Propane C3H8 • • • • • • • • • • • • U • • • • •
Propylene C3H6 • • • • • • • • • • • • U • • U U U
Propylene Oxide C3H6O ? • • ? ? ? ? • • • ? U • C3 U U U U
Silane SiH4 • • • • ? • • • • • • • ? • • • • •
Silicon Tetrachloride SiCl4 ? • • U ? ? • • • ? ? U ? C3 ? ? ? ?
Silicon Tetrafluoride SiF4 • • • • ? • • • • • • • ? C3 • • • •
Sulfur Dioxide SO2 U • • • U U • • • • • • U • • U U •
Sulfur Hexafluoride SF6 • • • • ? • • • • • • • ? C3 • • • •
Trichlorosilane HSiCl3 ? • • U ? ? • • • ? ? U ? C3 ? ? ? ?
Vinyl Methyl Ether C3H6O • • • • ? U • • • • ? ? U C3 ? ? ? ?
Xenon Xe • • • • • • • • • • • • • • • • • •