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    Le document décrit le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour le dépôt de couches minces, y compris les étapes du CVD, la modélisation du réacteur CVD et les applications du CVD.

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    sur 33

    MINISTÈRE DE LA DÉFENSE NATIONALE

    ETAT-MAJOR DE L’ARMÉE NATIONALE POPULAIRE


    ÉCOLE MILITAIRE POLYTECHNIQUE
    CHAHID ABDERRAHMANE TALEB

    GÉNIE CHIMIQUE

    Les réactions chimiques dans le réacteur CVD

    Réalisé par: Encadré par :


    EOC: MENASRIA Abd Elmouiz Lt.Col MELOUKI
    EOC: SLIMANI Zineb Yasmine

    07/05/2023
    Plan de travail

    11 Introduction

    2 Les étapes du CVD

    3 Modélisation du CVD

    4 Réacteur CVD tubulaire

    5 Conclusion

    1
    1 Introduction
     Introduction

    Les techniques de fixation en phase vapeur PVD, CVD et notamment ALD sont
    actuellement en développement compte tenu des meilleurs résultats d’adhérence et de
    contrôle d’épaisseur de couche de catalyseur, en comparaison aux méthodes effectuées
    en phase liquide ou la méthode sol-gel.

    2
     Définition de la CVD

    Le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) consiste à mettre un composé volatil
    du matériau à déposer en contact, soit avec un autre gaz au voisinage de la surface du substrat, soit
    avec la surface elle-même.

    3
     Réacteur CVD

    4
     les techniques CVD

    Les techniques CVD sont différenciées par le type d’énergie utilisée pour activer la réaction
    chimique

    La CVD thermique PECVD (Plasma Enhanced CVD)

    5
     les techniques CVD

    LCVD (Laser CVD)

    OMCVD (Organo-Metallic CVD)

    6
    Avantages et inconvénients

    Avantages :

     Grande vitesse de dépôt : peut atteindre 0.1 à 100µm/min.

     Recouvrement uniforme de formes complexes et creuses.

     Obtention à températures relativement basses de composés réfractaires.

    7
     Avantages et inconvénients

    Inconvénients :
     Agressivité toxicité et/ou instabilité à l’air des précurseurs d’où difficultés

    de manipulation.

     Essentiellement un procédé d’équilibre : les phases métastables ne peuvent

    généralement pas être reproduit par la CVD.

    8
     Applications de la CVD

    9
    2 Les Etape de CVD
    Les étapes de CVD

    10
    Les étapes de CVD

    11
     Les étapes de CVD

    12
    3 Modélisation du CVD
     Modélisation du CVD
    La modélisation est un processus d’extraction des mécanismes et les paramètres qui
    gèrent un système.

    13
     Modélisation du CVD

    Les éléments essentiels pour modéliser un réacteur CVD :

    14
     Modélisation du CVD

    Plusieurs configurations sont employées pour le dépôt CVD:

    • Réacteur tubulaire

    • Réacteur « tête de douche »

    • Réacteur à pression atmosphérique …

    15
     Modélisation du CVD

    Réacteur Tubulaire

    16
     Modélisation du CVD
    Réacteurs « Tête de douche »

    17
    4 Réacteur tubulaire
     Réacteur tubulaire

    18
    Réacteur tubulaire

    19
     Réacteur tubulaire

    La vitesse limitante


    La constante de vitesse

    La probabilité d’adhérence Ajuster le compromis:


    Réaction en phase gazeuse VS réaction de surface

    20
     Réacteur tubulaire

    Pour un réacteur tubulaire simple on détermine la vitesse limitante de phénomène

    21
     Réacteur tubulaire

    Influence de diamètre du réacteur

    22
     Réacteur tubulaire

    Détermination de la constante de vitesse:


    Difficulté du mesure de
    dose directe

    Développement des modèles


    analytiques et statistiques
    TG-43

    23
     Réacteur tubulaire

    Etude en microcavité

    24
     Réacteur tubulaire :

    Etude en macrocavité

    25
    5 Conclusion
     Conclusion

    La technique de dépôt CVD est utilisée pour augmenter les propriétés de surface.
    Les techniques expérimentales tels que les méthodes de dépôt de paroi tubulaire, de
    microcavité et de macrocavité, peuvent être utilisées pour extraire les paramètres importantes
    qui gèrent la diposition par CVD

    De tels modèles peuvent nous fournir des outils quantitatifs pour déterminer les
    expériences appropriées pour améliorer les performances des processus CVD.

    27
    Merci de votre attention

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