Les céramiques piézoélectriques

1. Introduction

La piézoélectricité est le nom que l'on donne lorsque des charges électriques sont générées par une
contrainte mécanique. Ce phénomène fut découvert il y a plus de cent ans (1880) par Pierre et Jacques
Curie, qui firent le postulat suivant : lorsqu'un cristal est soumis à une contrainte de compression, des
charges électriques peuvent apparaître sur la surface du cristal, à condition que la symétrie du cristal
remplisse certain critères. Ce phénomène fut plus tard appelé piézoélectricité ("piezo" est dérivé du mot grec
signifiant "presser"; "piézoélectricité"---> électricité produite par pression).

Définition de la piézoélectricité

Les matériaux piézoélectriques développent une charge quand ils sont soumis à une contrainte mécanique.
Cet effet est appelé effet piézoélectrique direct.

Les matériaux piézoélectriques montrent également un effet réciproque: Ils se déforment mécaniquement
lorsqu'ils sont soumis à un champ électrique.

Effet direct Effet réciproque

force

+++++++++++++++++++
!l
cristal piézoélectrique charge
cristal piézoélectrique E
--------------------------------

force

Figure 1: Description schématique de la piézoélectricité Figure 2: Description schématique de la piézoélectricité

(effet direct): Une charge électrique apparaît sur la surface (effet réciproque): Un cristal piézoélectrique soumis à un
d'un cristal soumis à une contrainte de compression, à champ électrique subit une déformation.
condition que la symétrie du cristal remplisse certains
critères.

On peut écrire la relation suivante pour l'effet piézoélectrique direct:

D = ddirect σ (1)

2 2 2
Avec σ la contrainte (N/m ) , et D la charge par unité de surface (Coulomb/m - C/m ).
Pour l'effet réciproque, on peut écrire:

x = dréciproque E (2)

Avec E le champ électrique (V/m) , et x la déformation relative (m/m).

La constante de proportionnalité d est appelée le coefficient piézoélectrique. On peut montrer à l'aide

d'arguments thermodynamiques que:

ddirect = dréciproque (3)

Les unités du coefficient piézoélectrique sont donc (C/N) ou (m/V). L'effet piézoélectrique direct est utilisé
dans les capteurs, car les signaux électriques sont un moyen approprié pour mesurer la pression ou des
grandeurs apparentées, comme par exemple l'accélération. L'effet piézoélectrique réciproque est également
d'un grand intérêt, car il permet d’engendrer une déformation par application d'un champ électrique (utilisés
dans les actionneurs). Il y a aussi trois autres constantes piézoélectriques (e,g et h), qui relient d'autres
22
combinaisons de variables élastiques et électriques. Le coefficient g, par exemple, relie le champ électrique
E et la contrainte mécanique σ :

E = -g σ (4)

de même, la compression x et le déplacement diélectrique D sont reliés par g :

x=gD (5)

Les coefficients piézoélectriques sont des tenseurs du troisième ordre. Ici nous simplifierons et admettrons
que la valeur d'une propriété varie avec la direction de la force extérieure appliquée (force ou tension
électrique) et la direction de la mesure de la réponse induite (charge ou déformation). Pour l'effet direct,
nous utiliserons les notations suivantes : nous donnons le coefficient piézoélectrique avec deux indices, le
premier indiquant la direction de la réponse induite (charge ou déformation), et le deuxième, la direction de
la variable extérieure appliquée au matériau (contrainte mécanique ou champ électrique). Par exemple d33
est le coefficient qui relie la charge générée par une force appliquée sur la même surface, alors que d31 relie
la charge générée sur une surface perpendiculairement à la force appliquée.

force

+++++++++++++++++ ++++++++++++++++
-
charge -
céramique
P céramique -
piézoélectrique P
force piézoélectrique - force charge
--------------------------------
3
2 -------------------------------
3
2 force 1
1

d33 est la constante qui relie la charge générée d31 est la constante qui relie la charge générée sur
sur une surface à la contrainte appliquée sur la surface perpendiculaire à l'axe 3 à la contrainte
cette même surface appliquée sur la surface perpendiculaire à l'axe 1.

Figure 3 : description des coefficients piézoélectriques d33 and d31

2. Symétrie et piézoélectricité.

La symétrie du cristal détermine si le matériau est piézoélectrique ou non. Les matériaux dont la structure
cristalline est centro-symétrique ne sont jamais piézoélectriques. (Une structure centro-symétrique est
invariante par inversion: un point (x,y,z) du cristal est équivalent au point (-x,-y,-z) (Figure 4a). La raison de
la non piézoélectricité est que le centre de gravité des charges positives coïncide toujours avec celui des
charges négatives, même sous contrainte (Figure 5). Par conséquent, les matériaux centro-symétriques ne
peuvent pas posséder de dipôle net et la contrainte ne peut donc pas générer de charges.

Les cristaux non-centro-symétriques (Figure 4b) sont piézoélectriques (Exemple: le quartz). En effet, les
cristaux non-centrosymetriques sous contrainte peuvent posséder des dipôles (Figure 6).

Les cristaux polaires ont des dipôles même lorsqu'ils ne sont pas soumis à une contrainte (Figure 4c). Ils
sont donc piézoélectriques. En effet, la contrainte peut altérer la taille des dipôles et créer ainsi une
accumulation de charge à la surface du matériau. Tous les matériaux polaires sont non-centro-symétriques.

Notons que la symétrie polaire est toujours non-centrosymétrique, mais qu'une structure non–
centrosymétrique n'est pas forcément polaire.

23
 Anion

Cation

z (3) z (3)
z (3)

y(2) y(2)
y(2)
x (1)

x (1) x (1)

a) Cristal centrosymétrique b) Cristal non-centrosymétrique, non- c) Cristal de symétrie polaire

non – piézoélectrique polaire piézoélectrique piézoélectrique
Figure 4
a) Cristal centrosymétrique. Pour chaque type d'ion à la position (x,y,z), il y a un ion équivalent au point (-x,-y,-z). Le
centre des charges négatives coïncide avec la position du cation positif.
b) Cristal non-centrosymétrique, non-polaire. Les centres des charges positives et négatives coïncident mais il n'y a pas
toujours un ion identique en position (x,y,z) et (-x,-y,-z).
c) Cristal de symétrie polaire. Le centre des charges positives n'est pas celui des charges négatives, et il existe donc un
dipôle permanent. Les points (x,y,z) ne sont pas équivalents aux points (-x,-y,-z).

Structure centro-symétrique
Sous contrainte :
Centre des charge positives et négatives correspond
Pas de charge nette

Figure 5 : Structure centro-symétrique

-+

a) b)

Figure 6 : Une structure non-centrosymétrique contenant des ions positifs et négatifs (a) soumise à une contrainte (b),
montrant comment la contrainte crée la polarisation.

24
3. Matériaux piézoélectriques

Comme la piézoélectricité trouve son origine dans la symétrie de la structure cristalline, beaucoup de
matériaux possédent cette propriété. Des exemples sont répertoriés dans le Tableau 1. Beaucoup de
matériaux de basse symétrie, comme par exemple beaucoup de matériaux biologiques, sont
piézoélectriques. cependant, les matériaux les plus intéressants pour l'application sont ceux qui ont les plus
grands coefficients. La plus grande famille de matériaux piézoélectriques est constituée par les céramiques
piézoélectriques.
Tableau 1 Exemples de matériaux piézoélectriques.

MONOCRISTAUX INORGANIQUES
Isolants, comme le quartz SiO2
Semiconducteurs, comme CdS, GaAs
Matériaux non-centrosymétriques, ZnO
Monocristaux ferroélectriques, LiNbO3
CERAMIQUES FERROELECTRIQUES
BaTiO3
Pb(Zr,Ti)O3
POLYMERES
Fluorure de polyvinyldiène ( (-CH2-CF2-)n, ou PVDF)
Ses copolymères
Chlorure de polyvinyle (PVC) et d'autres
MATERIAUX BIOLOGIQUES
Cellulose
Kératine (Cheveux, os, soie, laine)
Polymères synthétiques (biologiques)
Polypeptides

Comme les céramiques sont un assemblage aléatoire de grains monocristallins, la symétrie globale de la
céramique est la plus élevée qui soit, c'est à dire que le matériau est macroscopiquement isotrope et que sa
symétrie est sphérique. Cette symétrie ne permet pas la piézoélectricité, même si les grains individuels sont
piézoélectriques ou polaires. Lorsqu'une contrainte est appliquée, chaque grain peut produire une charge,
mais à cause de la distribution aléatoire (i.e équivalente en toute direction) des grains, certains donneront
une charge positive, d'autres une charge négative, et l'effet net sera nul.

Ainsi, la silice (céramique à base de SiO2) ou ZnO sous forme céramique (orientation des grains aléatoire),
ne peuvent montrer d'effets piézoélectriques, bien que les monocristaux de quartz SiO2 et d'oxyde de zinc
ZnO soient piézoélectriques (non-centrosymétriques). Pour ces céramiques, une fois mises en forme, la
direction des dipôles dans chaque grain ne peut pas être orientée par l'application d'une contrainte
mécanique ou d'un champ électrique. Il n'est donc pas possible d'obtenir une charge nette avec de tels
matériaux. Ils ne peuvent pas être orientés.

La situation est très différente dans les céramiques ferroélectriques. Les ferroélectriques sont des matériaux
polaires, dans lesquels la direction du dipôle peut être orientée par l'application d'un champ électrique
externe. Par définition, la polarisation spontanée d'un matériau ferroélectrique peut être renversée, c'est à
dire qu'elle peut être alignée par un champ électrique externe, de manière à obtenir une polarisation
résultante non nulle dans la direction du champ électrique appliqué. Une fois les domaines alignés, la
céramique est polaire, et devient donc piézoélectrique.

Il faut remarquer une fois encore que c'est la possibilité de changer la direction de polarisation (la propriété
caractéristique des ferroélectriques) qui permet l'orientation. Une céramique faite d'un matériau non–
centrosymétrique ou/et polaire (i.e mais non ferroélectrique) ne peut être orientée. Pour être utilisable, toutes
les céramiques piézoélectriques doivent être ferroélectriques.

25
Polarisation
Pour être utilisables comme piézoélectriques, les céramiques ferroélectriques doivent donc avoir leurs
dipôles pré–orientés par l’application d’un champ extérieur, pour avoir une polarisation globale non-nulle.
Cette étape de préparation s’appelle polarisation de la céramique (en anglais « poling »). Les
ferroélectriques sont généralement orientés à haute température, légèrement inférieure à Tc, où les parois
de domaines sont les plus mobiles.
Les conditions d'orientations typiques sont: Température entre 100°C et 200°C, champs électriques entre 20
kV/cm et 100 kV/cm, et ceci pendant une durée variant de quelques minutes à une demi-heure, selon le
matériau. Si une céramique orientée est chauffée au-dessus de sa température de Curie, l'orientation va se
perdre, le caractère polaire va disparaître, et elle ne sera plus piézoélectrique à moins d'être orientée à
nouveau.

Polarisation globale nulle Polarisation globale P

a) b)
Figure 7 : Après frittage, les dipôles sont orientés aléatoirement : la polarisation globale du matériau est nulle. Après
application du champ électrique, certains dipôles se réorientent dans la direction du champ créant ainsi une polarisation
nette de la céramique

4. Titanate de Plomb/Zirconate de Plomb-PZT

La céramique qui a les meilleures propriétés piézoélectriques à température ambiante est un alliage de deux
perovskites: Le titanate de Plomb (PbTiO3) et le zirconate de Plomb (PbZrO3): Cette solution solide est
connue sous le nom de PZT. La composition que l'on peut le mieux orienter est Pb(Zr0.52Ti0.48)O3. La Figure
8 montre le diagramme de phase de cette solution solide qui fait apparaître les phases paraélectriques à
haute température, ainsi que les phases ferroélectriques (tétragonale ou rhomboédrique en fonction de la
composition) à température ambiante. Les compositions à l'interface des phases tétragonales et
rhomboédriques se déforment aisément sous un champ électrique, et ont donc les coefficients
piézoélectriques les plus élevés.

500
Cubique
Paraélectrique
400
Température °C

300
Tétragonale
Ferroélectrique
200
Rhombohédrique
Ferroélectrique
100

10 20 30 40 50 60 70 80 90
PbZrO3 PbTiO3
% mol PbTiO3

Figure 8 : Diagramme de phase du PZT

26
La famille des PZT est plus utilisée que n'importe quel autre matériau piézoélectrique pour les transducteurs,
capteurs ou autres applications comme actionneurs. Les céramiques à base de PZT doivent leur succès aux
propriétés suivantes:
• coefficients piézoélectriques élevés
• préparation aisée
• orientation facile
• faible coût
Les valeurs typiques sont: d33 = 400 pC/N, d31 = -170 pC/N.
Différents dopants sont utilisés pour modifier les propriétés.

PZT doux
+5 +4
Les PZT dopés avec des ions de valence plus élevée (donneurs) comme Nb à la place de Ti , sont
appelés PZT doux, car leurs parois de domaines sont plus mobiles. Par conséquent, ils ont un coefficient
piézoélectrique élevé, et peuvent être orientés facilement. Les PZT doux ont les propriétés suivantes :
• permittivité diélectrique élevée
• coefficient piézoélectrique élevé
• pertes diélectrique et mécaniques élevées
• polarisation et dépolarisation aisées.

PZT durs
+1 +2 +3
Les PZT dopés avec des ions de valence inférieure (accepteurs), comme K à la place de Pb , ou Fe
+4
pour Ti , sont appelés PZT durs et ont une faible mobilité des parois de domaine. Les PZT durs sont plus
difficiles à orienter et à désorienter. Ils ont également un coefficient piézoélectrique plus faible. Les
propriétés des céramiques PZT dures sont:
• permittivité diélectrique plus faible
• coefficient piézoélectrique plus faible
• pertes diélectrique et mécanique plus faibles
• polarisation et dépolarisation difficiles.

4. Coefficient de couplage électromécanique

L'effet piézoélectrique convertit l'énergie électrique en énergie mécanique (effet réciproque), et l'énergie
mécanique en énergie électrique (effet direct). Il y a plusieurs manières de décrire cette conversion
d'énergie. L'une des plus usuelle est de définir le facteur de couplage électromécanique K comme:

K2 = Wconvertie / Wfournie (6)

Avec Wconvertie l'énergie mécanique convertie en énergie électrique, et Wfournie l'énergie mécanique fournie au
système. Ceci s'applique à l'effet direct. Pour l'effet réciproque, il suffit de permuter "mécanique" et
"électrique" dans l'explication ci-dessus. La valeur de K varie entre 0.1 (quartz) et plus de 0.6 dans certaines
céramiques piézoélectriques. Le facteur de couplage électromécanique est un paramètre important. Il faut
en tenir compte dans les applications ou l'efficacité de la conversion énergétique est plus importante que,
par exemple, la sensibilité.

5. Résonance piézoélectrique

Si un échantillon piézoélectrique muni d'électrodes est connecté à une source de tension alternative,
l'échantillon va vibrer. Si la fréquence d'oscillation du champ électrique est égale à la fréquence de
résonance mécanique de l'échantillon, les vibrations élastiques de l'échantillon seront très grandes. Ainsi, la
résonance mécanique est induite dans un échantillon piézoélectrique par l'effet piézoélectrique réciproque.
La fréquence de la résonance longitudinale est

1
f = (7)
2L ! E

ou L est la longueur de l’échantillon, ρ est sa densité, et E son module d'élasticité. Le quartz, grâce à
l'excellente stabilité de ses propriétés piézoélectriques par rapport au temps et à la température, n'a pas été
surpassé par les PZT dans le domaine du contrôle de fréquence et des applications qui y sont reliées
(montre à quartz).

27
6. Applications des céramiques piézoélectriques

Les applications des piézoélectriques se regroupent en trois domaines majeurs.

(i) Haute fréquence
(ii) Capteurs (sensors)
(iii) Actionneurs (actuators)

Le terme générique de transducteur est souvent utilisé, pour désigner un composant transformant une forme
d'énergie en une autre.

6.1 Applications à haute fréquence

On utilise des piézoélectriques pour des applications à haute fréquence (ultrasonique), typiquement entre
100 kHz et 1GHz:
• en analyse d'image
• pour contrôler la fréquence
• comme filtres
• comme capteurs

Imagerie ultrasonique
Les matériaux piézoélectriques sont des émetteurs (effet réciproque) et des récepteurs (effet direct)
efficaces d'énergie acoustique. Si le transducteur est en contact avec un solide, comme par exemple une
pièce de métal, les ondes ultrasoniques vont être transmises dans le solide, et vont se réfléchir sur ses
surfaces et interfaces. Les ondes réfléchies sont reçues par le transducteur et converties en signal
électrique. Ce signal électrique peut ensuite être transformé en signal visuel, comme par exemple une image
TV. L'amplitude et la phase de l'onde réfléchie dépendent des propriétés acoustiques du matériau dans
lequel l'onde se propage. S’ il y a des inhomogénéités dans le solide (fissures, secondes phases) elles vont
modifier le signal réfléchi. Pour détecter de petits détails à l'intérieur du matériau, il est nécessaire d'utiliser
une longueur d'onde faible, i.e dans l'ultrason. Les fréquences de test typiques sont de 1 MHz ou plus, ce
qui est nécessaire pour détecter des détails inférieurs au millimètre.

L'imagerie ultrasonique est largement utilisée dans l'industrie pour l'analyse non-destructive des matériaux.
On l'utilise aussi beaucoup dans le domaine médical, par exemple pour l'observation du fœtus. Autres
applications à haute fréquence
• Contrôle de la fréquence
• Filtres et applications apparentées. (On utilise surtout le quartz, à cause de la stabilité de ses propriétés).
• Capteurs (utilisant la sensibilité de la fréquence de résonance par rapport à la charge externe appliquée au
résonateur). Exemple: mesurer la concentration d'un composant toxique dans une solution, dans les cas où
la viscosité varie avec la concentration en composant toxique.

6.2 Capteurs

L'effet piézoélectrique direct convertit des signaux mécaniques en signaux électriques faciles à analyser. Les
piézoélectriques sont ainsi des capteurs presque idéaux pour mesurer des:
• pressions
• forces
• vibrations
• accélérations

Les applications typiques sont:

• Capteurs de pressions dans les moteurs à combustion interne.
• Mesure des vibrations dans diverses applications aérospatiales.
• Contrôle de mise en œuvre (par exemple, contrôle de la pression dans les machines de moulage par
injection)
• Applications biomédicales.
• Installations d'écoute sous-marine (sonars)

Dans beaucoup de ces applications, les matériaux piézoélectriques sont soumis à des hautes températures
et des hautes pressions. Des monocristaux de quartz sont habituellement utilisés pour ces applications.
Cependant, leur sensibilité est faible, et ils sont onéreux à croître et à usiner. Actuellement, de gros efforts
sont faits pour remplacer le quartz et la tourmaline avec des céramiques piézoélectriques à haute
28
température. Les céramiques ont des coefficients piézoélectriques plus élevés que ceux du quartz (un ordre
ou plus), sont idéaux pour des productions en masse à bas coût, et peuvent être produits avec la forme
finale d'utilisation (pas d'usinage). Les inconvénients des céramiques sont une possible interaction de leur
propriété pyroélectrique avec leur propriété piézoélectrique, et la présence d'un comportement du type
hystérèse. Cette hystérèse provient en partie de la contribution à l'effet piézoélectrique des parois de
domaines.

6.3 Actionneurs (actuators)

Les actionneurs piézoélectriques produisent un déplacement (mouvement mécanique) en utilisant l'effet

piézoélectrique réciproque. Les matériaux piézoélectriques sont un choix naturel pour les actionneurs de
précision:
• ils utilisent la déformation induite par un champ électrique, facilement contrôlable.
-4 -3 6
• les déformations réalisables sont de l'ordre de 10 - 10 pour des champs de l'ordre de 10 V/m
• pour des échantillons dont les dimensions sont de l'ordre du cm, les déplacements sont de l'ordre du µm.
• la précision atteignable peut être de quelques picomètres.
• la vitesse de déplacement est élevée (1-10 µ/s),
• la puissance requise est faible
• les forces générées sont relativement grandes
• il est possible de miniaturiser.

Les grands déplacements ΔL nécessitent des voltages élevés V (ΔL = d33* V), mais ce désavantage des
matériaux piézoélectriques est supprimé si l'on utilise une configuration multicouche. En plaçant N éléments
fins mécaniquement en série, et électriquement en parallèle, on peut obtenir des déplacements bien plus
grands avec un même voltage. En effet, les déplacements des N éléments individuels s'ajoutent.

Pour un monobloc de longueur Ltot on a :

!Ltot V
= d33
Ltot Ltot

Pour un multicouches composé de N couches d’épaisseur Li:

Le champ électrique est le même dans chaque couche : E Ltot

Ei = E = V/Ltot Li
La déformation est la somme des déformations de chaque couche :
Figure 9 Actionneur multicouche. Les
!Ltot !Li V
= N = N d33 éléments en PZT sont mécaniquement
Ltot Li Ltot en série, et électriquement en parallèle
Et donc :

ΔL = N d33* V (8)

Applications des actionneurs piézoélectriques:

Il y a quatre groupes principaux d'applications pour les actionneurs piézoélectriques:

(i) Miroirs déformables. Les actionneurs sont utilisés pour ajuster la phase des ondes lumineuses et pour
éliminer les effets des turbulences atmosphériques, des contraintes thermiques, ou des forces de
gravitations. On les rencontre dans les systèmes optiques de haute précision, comme
• les grands télescopes terrestres et spatiaux
• les lasers de haute énergie
• les systèmes de communications laser
• les dilatomètres interferromètriques de haute sensibilité.

(ii) Micro-positionneurs Des actionneurs de précisions sont souvent nécessaires pour positionner des pièces
mécaniques avec une grande précision et de manière reproductible, au niveau du micron ou même au-delà.
On les rencontre dans les applications suivantes:
• microscopie optique et champ proche (AFM et STM)
29
 • micropositionnement pour robots
• positionnement de têtes de lecture magnétique ou optique.

(iii) Impacteurs Il existe un type d'actionneurs qui déplace les pièces dans la position désirée en faisant un
impact avec elles:
• interrupteurs
• imprimantes à jet d'encre.

(iv) Moteurs ultrasoniques (piézoélectriques).

Dans les moteurs ultrasoniques, un champ alternatif est appliqués à un actionneur avec une fréquence
égale à la fréquence de résonance de l'actionneur. De cette manière, des déformations importantes peuvent
être générées avec des faibles champs. Comme les actionneurs opèrent à leur fréquence de résonance, les
propriétés les plus importantes sont une qualité mécanique élevée et un haut coefficient de couplage
mécanique. Il y a plusieurs types de moteurs ultrasoniques. Les plus largement utilisés sont ceux qui
utilisent des ondes acoustiques de surface pour déplacer un rotor se trouvant en contact avec la surface du
transducteur. Les ondes acoustiques de surface sont générées par la superposition de deux ondes
stationnaires d'amplitude égale mais déphasées de 90° dans le temps et dans l'espace.

Figure 10: Principe de fonctionnement du moteur piézoélectrique rotatif

Les moteurs ultrasoniques sont intéressants car ils sont petits et légers, pourvus de mécanisme
autobloquant. Ils ont un couple relativement important à basse vitesse, et peuvent être utilisés en avant
comme en arrière. Par contre, il est difficile de maintenir la force de friction entre la surface et l'objet en
mouvement, et une alimentation à haute fréquence est nécessaire. Une application typique est l'unité
autofocus d'un appareil photo.

Tableau 2 : Applications des matériaux piézoélectriques

Haute fréquence
imagerie ultrasonique céramiques
oscillateurs monocristaux
filtres monocristaux, céramiques
composants SAW monocristaux, céramiques (films minces)

30
mesure d'épaisseur et de viscosité monocristaux

Senseurs et Capteurs
pression monocristaux, céramiques, polymères, composites
force monocristaux, céramiques
vibrations monocristaux, céramiques
accélération monocristaux, céramiques
Actionneurs
positionnement de têtes optiques ou magnétiques céramiques
imprimantes jet d’encre/aiguille céramiques
valve d’injection d’essence céramiques
système optique adaptatif céramiques
micropositionneurs pour robots et machines-outils céramiques
vibrateur conique pour haut-parleur céramiques
ventilateurs céramiques

Tableau 3 : Sélection de matériaux piézoélectriques et leurs propriétés.

Matériaux Coefficient piézoélectrique Température de Curie (°C)
(pC/N)
Monocristaux
Quartz, SiO2 d11 = 2.3 573 Transition de phase
LiNbO3 d33 = 6.0 1250
ZnO d33 = 12.4
Sr2Nb2O7 d33 = 18 1342
La2Ti2O7 d22 = 16 1500
Bi4Ti3O12 d33 = 20 675
Céramiques
Soft PZT (doux) d33 ~ 500 ~ 300
Hard PZT (dur) d33 ~ 200 ~ 300
PbTiO3 modifié d33 ~ 50 ~ 200 - 300
Bi4Ti3O12 modifié d33 = 20 640
SrBi4Ti4O15 d33 = 20 530
BaTiO3 d33 = 190 120
Polymères
PVDF d33 = -15 150 (fusion)

References:
1.A.J. Moulson and J.M. Herbert: "Electroceramics," Chapman and Hall, London, 1990.
2.J.M. Herbert: "Ferroelectric Transducers and Sensors," Gordon and Breach, New York, 1982
3. K. Uchino , Ferroelectric Devices, Marcel Dekker, 2000

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