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Indicador de atmósfera a medio vacío PSG5xx

Los indicadores estándar de Pirani PSG500, PSG502-S, PSG510-S y


PSG512-S de INFICON utilizan la tecnología Pirani digital más
avanzada disponible en el mercado. La resistente celda del sensor
fabricada con acero inoxidable y su diseño compacto permiten
utilizarlos en sistemas de semiconductores y en aplicaciones estándar
como por ejemplo en líneas de vacío preliminar.

VENTAJAS

n Sencillo botón pulsador para los ajustes ATM y HV


n Diseño resistente que permite ahorrar espacio
n Carcasa de aluminio
n Montaje en cualquier orientación
n Celda de medición de acero inoxidable con paso sellado de metal
n Salida de señal logarítmica para una integración sencilla
n Presiones excesivas de hasta 10 bares con conexiones roscadas
n Versión refractaria de 250 °C
n Opción de filamento de níquel para aplicaciones corrosivas
n Paso de cerámica para aplicaciones extremadamente corrosivas (PSG510 y PSG512)
n Puntos de ajuste opcionales
n Cumplimiento de la normativa RoHS

INFORMACIÓN DEL PEDIDO

Indicador de atmósfera a medio vacío PSG5xx


1
PSG510-S PSG512-S
tungsten, nickel,
PSG500-S PSG502-S setpoints, setpoints,
PSG500 tungsten, nickel, ceramic ceramic
Tipo tungsten setpoints setpoints feedthroughs feedthroughs
PSG500 1/2" Tube 350-063
PSG500 1/8" NPT 350-061
PSG500 4-VCR (1/4") 350-065
PSG500 7/16-20 UNF 350-066
PSG500 8-VCR (1/2") 350-064
PSG500 DN 16 CF-R 350-062
PSG500 DN 16 CF-R, ext. body 350-068
PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body 350-067
PSG500 DN 16 ISO-KF. 350-060
PSG500-S 1/2" Tube 350-083
PSG500-S 1/8" NPT 350-081
PSG500-S 4-VCR (1/4") 350-085
PSG500-S 7/16-20 UNF 350-086
PSG500-S 8-VCR (1/2") 350-084
PSG500-S DN 16 CF-R 350-082
PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body 350-088
PSG500-S DN 16 ISO-KF 350-080
PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body 350-087
PSG502-S 1/2" Tube 350-143
PSG502-S 1/8" NPT 350-141
PSG502-S 4-VCR (1/4") 350-145
PSG502-S 7/16-20 UNF 350-146
PSG502-S 8-VCR (1/2") 350-144
PSG502-S DN 16 CF-R 350-142
PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body 350-148
PSG502-S DN 16 ISO-KF 350-140
PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body 350-147
PSG510-S DN 16 ISO-KF 350-200
PSG512-S DN 16 ISO-KF 350-300

Indicador de atmósfera a medio vacío PSG5xx


2
ESPECIFICACIONES
Tipo PSG500 PSG500-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S
tungsten tungsten, nickel, tungsten, nickel,
setpoints setpoints setpoints, setpoints,
ceramic ceramic
feedthroughs feedthroughs
Principio de medición thermal thermal thermal thermal thermal
conductance conductance conductance conductance conductance
according to according to according to according to according to
Pirani Pirani Pirani Pirani Pirani
Precisión(N₂)
1 x 10⁻³ … 100 mbar % of reading ±15% ±15% ±15% ±15% ±15%

5 x 10⁻⁴ … 1 x 10⁻³ mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%

100 … 1000 mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%

Repetibilidad (aire)
1 x 10⁻³ … 100 mbar % of reading 2% 2% 2% 2% 2%

Señal de salida (señal de


medición)
Rango de tensión V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3

Rango de medición V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0

Rango de medición (aire, mbar 5 x 10⁻⁴ to 5 x 10⁻⁴ to 5 x 10⁻⁴ to 5 x 10⁻⁴ to 5 x 10⁻⁴ to


0₂, CO, N₂) 1000 1000 1000 1000 1000
Punto de ajuste
Número de puntos de none 2 2 2 2
ajuste
Punto de ajuste
Rango de ajuste mbar ‒ 2 x 10⁻³ … 500 2 x 10⁻³ … 500 2 x 10⁻³ … 500 2 x 10⁻³ … 500

Punto de ajuste
Histéresis % of reading ‒ 10% above 10% above 10% above 10% above
lower lower lower lower
threshold threshold threshold threshold
Punto de ajuste
Contacto de relé V (dc) ‒ 30 30 30 30

Punto de ajuste
Contacto de relé A (dc) ‒ 0.5 floating 0.5 floating 0.5 floating 0.5 floating

Punto de ajuste
Contacto de relé: Tiempo ms ‒ <20 <20 <20 <20
de conmutación
Tensión de alimentación
En el calibre V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30

Indicador de atmósfera a medio vacío PSG5xx


3
ESPECIFICACIONES
Tipo PSG500 PSG500-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S
tungsten tungsten, nickel, tungsten, nickel,
setpoints setpoints setpoints, setpoints,
ceramic ceramic
feedthroughs feedthroughs
Tensión de alimentación
Ondulación V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1

Tensión contra presión logarithmic logarithmic logarithmic logarithmic logarithmic


1.286 Volts 1.286 Volts 1.286 Volts 1.286 Volts 1.286 Volts
per decade per decade per decade per decade per decade
Volumen interno
DN 16 ISO-KF, DN 16 cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
CF-R, 7/16-20 UNF
DN 16 ISO-KF y DN tubo cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
largo 16 CF-R
1/8'' NPT , 4 VCR, 8 VCR, cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
1/2'' tubo
Temperatura admisible
Funcionamiento °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60

Conexión de vacío (1) °C 80 / 250 ⁽²⁾ 80 / 250 ⁽²⁾ 80 / 250 ⁽²⁾ 80 / 250 ⁽²⁾ 80 / 250 ⁽²⁾

Almacenamiento °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65

Peso
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 g 80 80 80 80 80
UNF
DN 16 CF-R, 4 VCR g 100 100 100 100 100

1/8'' NPT, tubo 1/2'' g 70 70 70 70 70

8 VCR, DN 16 tubo largo g 130 130 130 130 130


ISO-KF
DN 16 tubo largo CF-R g 140 140 140 140 140

Señal de error V 0 … +0.5 0 … +0.5 0 … +0.5 0 … +0.5 0 … +0.5


(filament (filament (filament (filament (filament
rupture) rupture) rupture) rupture) rupture)
Impedancia de salida Ω 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
Impedancia cargada kΩ 10, short- 10, short- 10, short- 10, short- 10, short-
mínima circuit proof circuit proof circuit proof circuit proof circuit proof
Tiempo de respuesta ms 80 80 80 80 80
Identificación de calibre kΩ 27.0, 27.0, 27.0, 27.0, 27.0,
referenced to referenced to referenced to referenced to referenced to
supply supply supply supply supply
common common common common common

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4
ESPECIFICACIONES
Tipo PSG500 PSG500-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S
tungsten tungsten, nickel, tungsten, nickel,
setpoints setpoints setpoints, setpoints,
ceramic ceramic
feedthroughs feedthroughs
Ajuste one tactile one tactile one tactile one tactile one tactile
switch for ATM switch for ATM switch for ATM switch for ATM switch for ATM
and HV and HV and HV and HV and HV
adjustment adjustment adjustment adjustment adjustment
Consumo de corriente mA <500 (max. <500 (max. <500 (max. <500 (max. <500 (max.
starting starting starting starting starting
current) current) current) current) current)
Consumo de potencia W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Conexión eléctrica FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45 FCC 68 / RJ45
appliance appliance appliance appliance appliance
connector, 8 connector, 8 connector, 8 connector, 8 connector, 8
poles, male poles, male poles, male poles, male poles, male
Cable sensor 8 poles plus 8 poles plus 8 poles plus 8 poles plus 8 poles plus
shielding shielding shielding shielding shielding
Longitud de cable m ≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14 ≤100 (8 x 0.14
mm²) mm²) mm²) mm²) mm²)
Materiales expuestos al glass, Ni, glass, Ni, glass, Ni, AI₂O₃, Ni, DIN AI₂O₃, Ni, DIN
vacío NiFe, DIN NiFe, DIN NiFe, DIN 1.3981 / 1.3981 /
1.4301 / 1.4301 / 1.4301 / 1.4305 / 1.4305 /
1.4305 / 1.4305 / 1.4305 / 1.4435 1.4435
1.4435 1.4435 1.4435
Filamento W W Ni W Ni
Presión admisible bar (absolute) 10, limited to 10, limited to 10, limited to 10, limited to 10, limited to
inert gases inert gases inert gases inert gases inert gases
Orientación de montaje any any any any any
Grado de protección IP40 IP40 IP40 IP40 IP40

(1) En orientación de montaje horizontal

(2) Tubo largo

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5
PIEZAS DE REPUESTO
PSG500 PSG500-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S
tungsten tungsten, nickel, tungsten, nickel,
setpoints setpoints setpoints, setpoints,
ceramic ceramic
feedthroughs feedthroughs
PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4") 350-926 350-926 - - -
PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube 350-923 350-923 - - -
PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT 350-921 350-921 - - -
PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF 350-925 350-925 - - -
PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2") 350-924 350-924 - - -
PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R 350-922 350-922 - - -
PSG500 Spare Sensor DN 16 CF- 350-928 350-928 - - -
R,ext.body
PSG500 Spare Sensor DN 16 KF 350-920 350-920 - - -
PSG500 Spare Sensor DN 16 350-927 350-927 - - -
KF,ext.body
PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube - - 350-903 - -
PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT - - 350-901 - -
PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4") - - 350-906 - -
PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF - - 350-905 - -
PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2") - - 350-904 - -
PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R - - 350-902 - -
PSG502 Spare Sensor DN 16 CF- - - 350-908 - -
R,ext.body
PSG502 Spare Sensor DN 16 KF - - 350-900 - -
PSG502 Spare Sensor DN 16 - - 350-907 - -
KF,ext.body
PSG510 Spare Sensor DN 16 KF - - - 350-930 -
PSG512 Spare Sensor DN 16 KF - - - - 350-940

ACCESORIOS
PSG500 PSG500-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S
tungsten tungsten, nickel, tungsten, nickel,
setpoints setpoints setpoints, setpoints,
ceramic ceramic
feedthroughs feedthroughs
Clamping ring DN 10-16 ISO-KF 211-001 211-001 211-001 211-001 211-001

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6
DIMENSIONES

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