Tescan - Vega3 - Sem - Manual ESPAÑOL

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microscopio VEGA3
Tabla de contenido
MICROSCOPIO VEGA
Instrucciones de seguridad
Reparación de microscopios
Descripción del microscopio
Columna de electrones
Modos de visualización
Cámara
Etapa de muestra
Modos de vacío
detectores
Accesorios
Portamuestras
Elementos de control
Teclado
Ratón
Bola de seguimiento
Panel de control
EMPEZANDO
Encendido del microscopio

Apagar el microscopio
EasySEM
Intercambio de muestras
Imágenes a bajo aumento
Imágenes a gran aumento
Imágenes de muestras no conductoras sin recubrimiento
Imágenes a alta corriente
Obteniendo ayuda
SOFTWARE VEGA TC
Ventana principal
Personalización de software
Iniciar sesión
preferencias
Guardado automático
Configuración
Administrador de imágenes
Administrador de usuarios
Gerente de proyecto
Generador de informes
Ajustes preestablecidos de SEM
Ajuste
Configuración de detectores
Cambiar modo UNI
Escaneo externo
Configuración de escenario
Paneles y Herramientas
Barra de herramientas principal
Almohadilla
Panel de información
Detectores y Mezclador
Rayo de electrones
Panel de vacío
Panel de modo de vacío bajo
Enfriamiento de escenario
control de escenario
Transformaciones Geométricas
Análisis y Medición
Histograma
Video en vivo
Medición
nanomanipuladores
Escaneo 3D
DrawBeam
Supresor de haz
EasyEDX
Dureza
Procesamiento de imágenes
archivo:///C:/Users/Tescan/AppData/Local/Temp/~hhC0DC.htm 20/09/2015
pargo de imagen
Morfología
Calibrador de múltiples imágenes
Área de objetos
Análisis de partículas
Partículas
posicionador
Posiciones X
Posicionador X Coral
Observador de muestra
Temporizador de apagado
Tolerancia
EBIC
Vista de la cámara
EDX variables
Ventana de escaneo SEM

Barra de herramientas flotante
Ventana de enfoque
Parámetros de imagen
Diagnóstico
Control remoto
Autotest
Estado de salud
Menú de ayuda
MANTENIMIENTO
Centrado de óptica electrónica

Intercambio de filamentos
Centrado mecánico de pistolas
Intercambio de apertura
Inserción del soporte de apertura de bajo vacío
Inserción del soporte de apertura de bajo vacío - LaB6
Limpia de la Columna
EQUIPAMIENTO OPCIONAL
Instalación de la Etapa de Enfriamiento y Calentamiento Peltier
Manual de usuario del sistema de entrada de vapor de agua
Bloqueo de carga
——
Fecha de construcción: 2015-02-02
Instrucciones de seguridad
El usuario está obligado a familiarizarse con el cuidado del dispositivo y con las normas de seguridad vigentes en el país del usuario. El microscopio funciona con voltajes eléctricos que pueden ser peligrosos para la vida.
El sistema debe ser instalado correctamente por una persona autorizada y utilizado solo para el propósito propuesto. Cualquier operación con el dispositivo que no se mencione en estas instrucciones, especialmente el
desmontaje de la carcasa y la manipulación con las partes eléctricas del microscopio, pueden ser realizadas únicamente por una persona autorizada. También está prohibido sustituir una pieza del microscopio por
cualquier otra pieza que no sea original y no haya sido suministrada por el fabricante del microscopio (por ejemplo, la sustitución de las persianas de acero originales en las bridas de la cámara del microscopio por las
persianas de aleación ligera puede causar una emisión de radiación ionizante peligrosa!)
El microscopio está provisto de una serie de protecciones automáticas que hacen imposible un uso inadecuado (por ejemplo, no es posible encender fuentes de alto voltaje si la cámara de muestra o el espacio del cañón
de electrones están abiertos o no están evacuados al vacío de trabajo). La desactivación de estas protecciones puede provocar la destrucción de la máquina y poner en peligro la salud del personal operativo. Está
estrictamente prohibido.
Los símbolos utilizados cumplen con el estándar de regulación ÿSN EN 61010-1, excepto el símbolo:
que marca los conectores con alta tensión que no son peligrosos en el aspecto de la normativa mencionada (el contacto accidental sólo puede provocar descargas eléctricas).
Si estas instrucciones de seguridad no se siguen estrictamente también, esto puede resultar en peligro para las personas y daños a los componentes.
Reparación de microscopios
En caso de mantenimiento necesario, reinstalación, cambios de hardware, etc., se debe contactar a las autoridades de servicio correspondientes o a su proveedor local para obtener más ayuda e instrucciones.
Reparación de microscopios y uso de repuestos

Solo se permite el uso de repuestos originales entregados por el fabricante. La reparación y el mantenimiento, que excedan los procedimientos mencionados en este manual, solo pueden ser
realizados por el técnico de servicio del fabricante o un técnico de servicio de la empresa aprobada.
El reemplazo del fusible

El instrumento no contiene ningún fusible, que puede ser reemplazado por el usuario. Todos los fusibles se encuentran debajo de las cubiertas, que solo pueden ser retirados por el técnico
de servicio del fabricante o el técnico de servicio de la empresa autorizada. Los fusibles solo se pueden reemplazar por exactamente del mismo tipo; el tipo se describe en la documentación o
en el portafusibles.
Temas relacionados: Estado de salud, Autocomprobación, Control remoto.
columna de electrones
El microscopio electrónico de barrido muestra el objeto examinado por medio de una sonda electrónica delgada. La columna forma la sonda de electrones (haz) y barre el haz sobre la muestra
investigada ubicada en la cámara del microscopio. La mayoría de las cualidades de imagen del microscopio dependen de los parámetros de este haz de electrones: tamaño del punto, ángulo
de apertura e intensidad del haz.
El tamaño del punto: determina la resolución del microscopio, así como un aumento utilizable con una nitidez de imagen estable. Se considera principalmente que la mancha es circular y tiene
un perfil de intensidad gaussiano. Entonces podemos especificar su tamaño, por ejemplo, con la mitad del ancho de la distribución de intensidad. Si no se tienen en cuenta las aberraciones
del sistema óptico, el tamaño del punto está determinado por el tamaño de la fuente de electrones y su desmagnificación. Prácticamente, el tamaño del punto está influenciado por las
aberraciones ópticas de la lente final: el objetivo. El tamaño del punto es más pequeño a una distancia de trabajo corta.
Haz de electrones incidente: tiene forma de cono. El ángulo de vértice del cono está determinado por el ángulo de apertura. Cuanto mayor sea el ángulo de apertura, mayor será el cono.
Cuanto mayor sea el cono, menor será la profundidad de enfoque. De esta manera los defectos de la lente son más evidentes. El ángulo de apertura es más pequeño a mayor distancia de
trabajo y menor desmagnificación de la lente del objetivo.
La corriente del haz incidente está determinada por el número de electrones que pasan a través de la sonda en el tiempo definido. La intensidad de la corriente en la sonda aumenta según el
ángulo de apertura y el tamaño del punto. El ruido de la imagen del microscopio electrónico depende del número de electrones utilizados para la adquisición de información de cada elemento
de la imagen. Es necesario usar más tiempo para escanear imágenes con una corriente de sonda más pequeña y viceversa.
Es evidente que los parámetros del haz incidente se influyen entre sí. El sistema óptico del microscopio permite operar en los diferentes modos cuando se pueden preferir algunos parámetros
del haz y se pueden mantener bajos otros. Hay algunos ejemplos típicos:
Gran aumento: es necesario alcanzar una alta resolución, un tamaño de punto pequeño, así como aberraciones de la lente (distancia de trabajo corta) y un ángulo de apertura pequeño. Para
esas condiciones, se debe usar una corriente de sonda pequeña, una distancia de trabajo corta y una velocidad de exploración lenta.
Alta intensidad: el tamaño del punto y el ángulo de apertura son grandes, la resolución es pequeña. La ampliación útil es pequeña, pero se puede usar un escaneo más rápido porque la
relación señal/ruido es mejor para la imagen.
Alta profundidad de enfoque: el ángulo de apertura debe ser pequeño, la distancia de trabajo larga y la desmagnificación de la lente pequeña, pero el tamaño del punto es grande y la resolución
es pequeña.
La columna del microscopio es un sistema óptico de electrones para formar y posicionar el haz de electrones.
La columna de electrones del microscopio consta de las siguientes partes principales:
El cañón de electrones es una fuente de electrones acelerados. Se compone de cátodo, cilindro de Wehnelt y ánodo. El cátodo y el cilindro de Wehnelt están conectados al potencial eléctrico
negativo, el ánodo y la parte restante de la columna están al potencial de tierra. El cátodo es un filamento de tungsteno o hexaboruro de lantano (LaB6), calentado a una temperatura tan alta
que provoca la emisión de electrones libres. El voltaje entre el cilindro Wehnelt y el
El ánodo determina el voltaje de aceleración de los electrones y, por lo tanto, su energía. Los electrones que fluyen desde la pistola se especifican con la corriente de emisión. La corriente de
emisión se puede cambiar aplicando el potencial negativo entre el cilindro de Wehnelt y el cátodo (polarización). Todo el sistema de pistola funciona como una "fuente virtual" de electrones
con las siguientes especificaciones: la dimensión 25 - 50 ÿm (10 ÿm si se usa LaB6), la energía de los electrones desde 200 eV hasta 30 keV, la corriente de emisión hasta 300 ÿA y su brillo 106
A/cm2sr (107 A/cm2sr si se usa LaB6).
Nota: El cátodo LaB6 solo se puede usar en el VEGA3 SEM con la opción LaB6, ya que requiere un mayor vacío en la pistola y, por lo tanto, un sistema de bombeo ajustado.
El centrado del cañón está formado por un sistema de bobinas electromagnéticas de deflexión debajo del cañón. Está destinado a la inclinación del haz de electrones emitido por el cañón para
que entre en el eje del sistema óptico de la columna. Está controlado por la función de alineación de pistolas. El cañón está correctamente centrado en el medio si se selecciona la parte más
intensa del haz de electrones y el brillo de la imagen es el más alto.
La abertura de pulverización se coloca debajo de las bobinas de centrado de la pistola. Está destinado a la retención de las partes marginales del haz de electrones emitido por el cañón.
El par de condensadores C1 y C2 son lentes magnéticos fuertes para la desmagnificación de la fuente virtual. Cuanto mayor sea la excitación del condensador, menor será su distancia focal y
mayor será su desmagnificación.
La abertura final corta el tamaño del haz incidente final. Se coloca en el soporte al final del tubo de vacío central de la columna, unos 60 mm por debajo del condensador C2. El tamaño óptimo
del orificio de apertura es de 50 ÿm.
La lente auxiliar IML es una lente magnética utilizada para cambiar la apertura del haz que ingresa a la lente OBJ o para mostrar si la OBJ está apagada. el cambio de
la excitación IML provoca el desplazamiento del haz de electrones a través del eje óptico y por lo tanto es necesario compensar este desplazamiento por medio de las bobinas de centrado IML
Centering.
El Stigmator es un octupolo electromagnético. Está destinado a la compensación del astigmatismo en todas las modalidades.
Las bobinas de exploración están formadas por dos etapas de las bobinas de desviación. Una rampa de exploración está conectada a las bobinas. La frecuencia de rampa determina el escaneo
velocidad del haz de electrones; la amplitud determina el campo de visión del microscopio y el aumento.
El OBJ objetivo es la última lente magnética de la columna que forma el haz de electrones resultante. En los modos habituales, la excitación de OBJ está determinada por la distancia de trabajo, la distancia entre la
pieza polar del objetivo inferior y la superficie de la muestra.
La columna VEGA 3 SEM tiene una apertura fija colocada sobre las lentes intermedias y objetivas y las bobinas de exploración. Permite una gran variabilidad en la elección de diferentes modos de escaneo.
Los siguientes gráficos muestran la sección transversal de la columna de electrones VEGA 3:
Descripción de los modos de visualización

Modo de resolución
modo de profundidad
Modo de campo
Modo de campo ancho
Modo de canalización
Cámara
La cámara es un espacio sellado debajo de la columna para colocar su muestra para su investigación.
El espécimen se fija en la plataforma de muestra, lo que le permite mover su muestra durante el proceso de investigación. La cámara debe ser evacuada durante la investigación.
Los microscopios TESCAN pueden equiparse con diferentes tipos de cámaras según la configuración requerida del microscopio:
Cámara Grande [LM] Extra grande [XM] Analítica Extra Grande [GM]
Número de puertos 11 12 20
Movimientos en el eje X 80 mm (-40 mm a +40 mm) 130 mm (-50 mm a +80 mm) 130 mm (-65 mm a +65 mm)
Movimientos en el eje Y 60 mm (-30 mm a +30 mm) 130 mm (-65 mm a +65 mm) 130 mm (-65 mm a +65 mm)
Movimientos en el eje Z 47mm 100mm 100mm
Rotación 360° continuo 360° continuo 360° continuo
Inclinación (WD y tamaño de muestra dependiente) - 80° a + 80° - 30° a + 90° - 80° a + 90°
máx. altura de la muestra con plataforma de rotación 60mm 116mm 116mm
máx. altura de la muestra sin etapa de rotación Máx. altura de 81mm 145mm 145mm
la muestra con plataforma de rotación BDT 50mm 145mm 98mm
modelo VEGA3 SB
Solo los microscopios VEGA pueden equiparse con una cámara pequeña donde el eje Z y la inclinación se controlan manualmente:
escenario motorizado
Parámetros platina motorizada con
posición de lectura
Número de puertos 10 10
Movimientos en el eje X 45mm 35mm
Movimientos en el eje Y 45mm 35mm
Movimientos en el eje Z 27mm 27mm
Movimientos en el eje Z 6mm 6mm
Rotación 360° continuo 360° continuo
Inclinación (WD y tamaño de muestra dependiente) - 90° a + 90° - 90° a + 90°
máx. altura de la muestra 36mm 34mm
Control Z: está ubicado en la parte superior de la puerta de la cámara y mueve la muestra a lo largo de su eje vertical.
Control Z': está ubicado en la puerta de la cámara y alinea la posición eucéntrica de la muestra. El usuario puede ajustar la posición de la altura de la muestra hasta el punto en que el eje de inclinación se
encuentra en el plano de la superficie de la muestra. No hay desplazamiento. (o cambio mínimo) en tal caso si la muestra está inclinada. Z sirve en general como compensación del espesor de la muestra.
Inclinación de la muestra: el control de la palanca está ubicado en la puerta de la cámara y permite al usuario inclinar la muestra de -90° a +90°.
Nota: Se necesita una platina motorizada con posición de lectura si se requieren movimientos automáticos de la platina durante la observación de muestras (p. ej., entrar en la posición de la platina,
Partículas avanzadas, Pargo de imagen...).
Nota: Todos los rangos de movimiento de la muestra son solo informativos. ¡¡Los rangos reales dependen del tamaño de la muestra y de la configuración del detector instalado!!).
Etapa de muestra
Las etapas de la muestra se dividen en dos tipos básicos:
motorizado
manual
Cámara Tipo Ejes motorizados Ejes manuales Eucentricidad Tipo de microscopio
SB X, Y, Rotación Z, Inclinación Manual VEGA (sin opción LaB6)
LM -
X, Y, Z, Rotación, Inclinación Automatic VEGA, MIRA, MAIA
XM -
X, Y, Z, Rotación, Inclinación Automático VEGA, MIRA, MAIA, VELA, LYRA, FERA, GAIA, XEIA
GM -
X, Y, Z, Rotación, Inclinación Automático VEGA, MIRA, MAIA, VELA, LYRA, FERA, GAIA, XEIA
Medidor de pA y alarma táctil

El carrusel de la etapa de muestras está eléctricamente aislado del resto de la cámara. El carrusel en sí está "conectado a tierra" a través del medidor pA que mide la corriente de la muestra.
El pA-meter también funciona como un indicador de contacto acústico de la muestra a la cámara: la alarma táctil. Si se produce contacto entre el portamuestras y el cuerpo de la cámara, todos los ejes
motorizados se detendrán y un sonido audible indicará el contacto (alarma táctil).
¡Advertencia! En el caso del Beam Deceleration Mode, EBIC y algunos otros casos especiales, la alarma táctil se desactiva. Por favor, consulte los capítulos BDM y Interruptor Picoamperímetro.
Temas relacionados: Posición Eucéntrica, Configuración de Escenario, Control de Escenario, Sistema de Coordenadas de Escenario.
Modos de vacío
Los microscopios con filamentos de tungsteno (VELA y VEGA sin opción LaB6) permiten la investigación de muestras en un rango de presión de 0,005 Pa a 2000 Pa (consulte la tabla a continuación). Los
microscopios equipados con LaB6 con sistemas de bombeo ajustados pueden funcionar solo en modo de alto vacío (< 0,009 Pa) o modo de bajo vacío (3 - 500 Pa, opcionalmente 3 - 2000 Pa) y se debe
insertar un soporte de apertura de bajo vacío en el objetivo según a las instrucciones en el capítulo sobre Inserción del Soporte de Abertura de Bajo Vacío - LaB6.
Solo es posible investigar muestras conductoras en el modo de alto vacío. Es necesario utilizar el modo de vacío medio o bajo para investigar las muestras no conductoras.
Modo Presión [Pa] Tipo de microscopio Nota
0.009 SBH, LMH, XMH, GMH

alto vacío
UEN, LMU, XMU, GMU
vacío medio 3 - 150 UEN, LMU, XMU, GMU
bajo vacío 3 - 500 1x bomba rotativa

UEN, LMU, XMU, GMU
apertura en el objetivo
extendido bomba rotativa 2x
3 - 2000 LMU, XMU, GMU
bajo vacío apertura en el objetivo
Nota: La tabla describe los rangos de presión para microscopios sin la opción LaB6.
Modo de alto vacío

Modo de vacío medio
Modo de vacío bajo
Modo de vacío bajo extendido
Es posible examinar muestras usando todos los modos de visualización en el modo de vacío alto y medio - hasta 150 Pa, porque la apertura de bombeo diferencial está ubicada en la posición superior.
Es posible examinar muestras usando solo los modos RESOLUCIÓN y PROFUNDIDAD en el modo de vacío bajo - hasta 500 Pa (hasta 2000 Pa si el microscopio está equipado con una bomba rotatoria
secundaria), porque la apertura de bombeo diferencial está ubicada en la parte inferior posición.
Temas relacionados: Panel de vacío, Panel de modo de vacío bajo, Imágenes de muestras no conductoras sin recubrimiento
detectores
El sistema de detección contiene al menos un detector de productos de interacción del haz de electrones con la superficie de la muestra. Los microscopios fabricados por TESCAN se entregan siempre con
un detector SE. Todos los modelos de presión variable y los modelos de SEM combinado con FIB se entregan con un detector de BSE.
Hay una selección de detectores opcionales para cada microscopio.
detector SE
detectores de EEB
detectores CL
detector de tallo
detector EBIC
detector de LVSTD
Encendido de detectores
Para utilizar un detector, seleccione el detector adecuado en el cuadro de lista del panel Detectores y mezclador.
Algunos de los detectores requieren condiciones especiales en las que pueden ser utilizados.
Este es el caso de:
InBeam SE: requiere la activación del modo InBeam

LVSTD: se requiere modo de vacío bajo y prebomba del detector
Accesorios básicos del microscopio y su uso

Nota: este documento contiene solo los tipos de accesorios especiales y más importantes para mostrar qué tipo usar. La lista exacta se incluye como lista de embalaje para accesorios.
1. Varilla de ajuste para el soporte de apertura.

2. Los talones de muestras básicos.
3. Discos adhesivos conductores de carbono para unir la muestra a un talón.
4. La base para el centrado del cilindro Wehnelt.
5. Cátodo de tungsteno.
6. Las arandelas distanciadoras.
7. Soporte de aberturas.
8. Aberturas (el número y tamaño de las aberturas depende del tipo de microscopio).
9. Soporte de apertura de bajo vacío.
10. Tornillo, tamaño M3x25: se utiliza para retirar el soporte de la abertura de bajo vacío.
11. Grasa para vacío: utilizada para sellar las juntas tóricas.
12. Pinzas planas – uso general.
13. Destornillador plano, tamaño 3,2 mm - uso general.
14. Destornillador hexagonal, tamaño 2,5 mm: se utiliza para montar/desmontar las extensiones Z de la platina de muestra (cámaras LS, LM) y los soportes de trozo (cámaras XM).
cámara).
15. Destornillador hexagonal, tamaño 1,5 mm: se utiliza para fijar los tornillos en la plataforma de muestra y asegurar los tornillos del cátodo.
16. Destornillador hexagonal, tamaño 3,0 mm: uso general, principalmente varios tornillos de brida, el tamaño más común utilizado para tornillos.
Accesorios adicionales para el VEGA3 SEM con opción LaB6:
1. Pinzas antimagnéticas - curvas

2. junta tórica de repuesto, tamaño 3×1 mm
Portamuestras
Los portamuestras difieren según el tipo de microscopio entregado, aquí encontrará solo una descripción general de todos los tipos disponibles.
El portamuestras estándar de 12,5 mm de diámetro y 3 mm de altura: el portamuestras más común adecuado para cualquier muestra más pequeña. La muestra
normalmente se pega con pegamento o se pega en la cinta de sellado de doble cara.
El portamuestras HM-114-R - El portamuestras es adecuado para muestras planas de hasta 16 mm de ancho.
El portamuestras HM-116-R - El portamuestras es adecuado para muestras planas de hasta 40 mm de ancho.
El portamuestras ACB-16-00 - El portamuestras es adecuado para muestras planas de hasta 4 mm de ancho.
El portamuestras GM-163-R - diámetro 12 mm, altura 12 mm. La extensión para portamuestras pequeños para poder trabajar en distancias de trabajo muy cortas.
El portamuestras TE00038R - El portamuestras está diseñado para muestras estándar de 30 mm de diámetro.
El portamuestras GM-153-R: el reemplazo del portamuestras estándar de siete posiciones (el portamuestras de siete posiciones debe quitarse) está diseñado para
muestras en forma de varilla de diámetro de hasta 26 mm.
El portamuestras GM-154-R - Adaptador de portamuestras CAMSCAN de 12,5 mm.
Teclado
El teclado se utiliza para la entrada de texto y números. Su uso no difiere de la práctica del sistema Windows.
Atajos de teclado
Ratón
El uso del mouse sigue la práctica del sistema Windows.
Funciones del mouse durante el escaneo normal:
Haga doble clic con el botón izquierdo del mouse en la ventana de escaneo para activar y desactivar la ventana de enfoque.
Girar la rueda del mouse cambia la velocidad de exploración.
Si el microscopio está escaneando toda la ventana de escaneo, al hacer clic en el botón derecho del mouse se abre el menú contextual para un control simple del programa
Si el microscopio está escaneando solo en la ventana de enfoque, entonces

manteniendo presionado el botón derecho del mouse y arrastrando el cursor del mouse en la ventana de escaneo cambia las dimensiones de la ventana de enfoque.
manteniendo presionado el botón izquierdo del mouse y arrastrando el cursor del mouse en la ventana de escaneo, se mueve la ventana de enfoque.
el doble clic del botón derecho del ratón en la ventana de enfoque mueve esta ventana al centro de la imagen.
Al hacer clic con el botón derecho del mouse fuera de la ventana de enfoque, se abre el menú contextual del control de programa simple.
Las siguientes operaciones están disponibles para el microscopio equipado con la platina motorizada:
Al hacer clic con la rueda del mouse en un objeto seleccionado en la ventana de escaneo, se mueve el escenario para que el objeto quede en el centro de la ventana de escaneo.
Manteniendo presionada la rueda del mouse sobre un objeto seleccionado y arrastrando el cursor a cualquier posición en la ventana de escaneo, se mueve el objeto a la posición
seleccionada en la ventana de escaneo.
Si mantiene pulsada la rueda del ratón sobre un objeto seleccionado en la ventana de exploración durante más de 0,8 segundos, la plataforma se mueve de modo que el objeto quede en
el centro de la ventana de exploración y la ampliación aumenta según el factor establecido en el menú SEM -> Opciones.
Nota: si un módulo de software adicional está activo, las funciones de los botones pueden ser diferentes de su comportamiento estándar.
Bola de seguimiento
El trackball se usa a menudo con el panel Pad.
Botones de control del trackball
Girando el trackball en la dirección del eje X cambia el primer parámetro de la función activa, girando el trackball en la dirección del eje Y cambia el segundo parámetro de la función activa. Al
mantener presionada la tecla F11, bloquea el primer parámetro de la función activa; con la tecla F12 se bloquea el segundo parámetro de la función activa.
Bloqueo del trackball

El trackball se bloquea automáticamente después de un tiempo de espera definido en el cuadro de diálogo de opciones de SEM. Cuando está bloqueado, no puede cambiar ningún parámetro en el
Pad y un icono de trackball parpadea en el Pad.
Nota: Durante algunos procesos en ejecución, por ejemplo, adquisición de imágenes, etc., la rueda de desplazamiento también está desactivada.
SIN panel de control
El panel de control TESCAN SEM fue desarrollado por TESCAN exclusivamente para el control SEM. La combinación del ajuste manual de perillas y la pantalla táctil LCD brinda al usuario una
forma simple y directa de controlar el microscopio. Este panel puede controlar la ampliación, el enfoque, la corriente de la sonda, la velocidad de escaneo y otros parámetros necesarios para
trabajar con el microscopio. El panel de control está equipado con un sensor especial (en la parte superior derecha del panel) para
Ajuste automático del brillo de la pantalla táctil según la intensidad de la luz ambiental. Además, el usuario puede trabajar en el modo de imagen de pantalla completa
y operar todas las funciones de imagen simultáneamente.
Nota: El panel de control TESCAN SEM no es una parte estándar de SEM.
Funcionamiento del panel de control SEM

Las funciones más comunes tienen perillas dedicadas:
Las perillas para controlar la ampliación y el enfoque (WD) se encuentran en la parte izquierda del panel de control.
El contraste, el brillo y la intensidad del haz (corriente de la sonda) se controlan mediante perillas en la parte derecha del panel.
Un pequeño joystick en la parte derecha del panel de control controla con precisión los movimientos del escenario. La velocidad de movimiento es relativa a la ampliación actual.
Las funciones que se muestran en la parte inferior gris de la pantalla se controlan a través de las tres perillas debajo de la pantalla táctil LCD.
Control de las funciones del microscopio a través de la pantalla táctil LCD:
Hay tres ventanas diferentes que se muestran en la pantalla táctil.

La ventana real se puede cambiar haciendo clic en la flecha en la parte inferior derecha o izquierda de la pantalla.
En la parte superior de las tres ventanas, se muestran las funciones de configuración automática de la señal, enfoque automático y adquisición de imágenes .
Nota: La función AutoFocus solo se activa en el microscopio VEGA con platina completamente motorizada.
En la primera ventana, el usuario puede controlar la distancia de trabajo (enfoque de la imagen), la ampliación, la velocidad de escaneo y la configuración de la
estigmatizadores. Los estigmatizadores y la velocidad de escaneo se controlan mediante tres botones debajo de la pantalla táctil. El valor de los estigmatizadores se puede eliminar haciendo clic
en REINICIAR directamente en la pantalla táctil.
En la segunda ventana se muestra una función real del panel Pad. Los valores actuales se pueden cambiar girando las perillas a continuación y se pueden eliminar haciendo clic en RESET
directamente en la pantalla táctil.
El movimiento del escenario se puede operar a través de la tercera ventana. Los ejes X e Y se controlan mediante un pequeño joystick. El eje Z, la inclinación y la rotación del escenario se
controlan con las perillas debajo de la pantalla.
Nota: Si se cambian los valores actuales del eje Z o la inclinación, debe confirmarse haciendo clic en el botón EJECUTAR directamente en la pantalla táctil.
Instalación del panel de control SEM

El panel de control TESCAN SEM no es una parte estándar de la entrega SEM. Si el panel de control se pide con el microscopio, un ingeniero de servicio de la empresa TESCAN lo instala
durante la primera instalación del microscopio. En el caso de entrega adicional del panel de control, el usuario deberá instalar el controlador desde el CD de instalación de TESCAN:
Inicie la instalación del controlador ejecutando el controlador en el CD suministrado. El controlador se encuentra en el CD TESCAN: directorio Support\ControlPanel.
Siga las instrucciones del instalador.
Conecte el cable a un puerto USB vacío.
Encendido del microscopio

1. Conecte el microscopio a la toma de corriente. A continuación, el microscopio se pone en el estado Stand by . En este estado, el transformador de red del
El panel de la electrónica de vacío está conectado y el interruptor principal funciona.
2. Gire la llave del interruptor principal hacia la derecha (posición ON). Espere a que la computadora arranque.
Nota: Dado que el VEGA3 SEM con un cátodo LaB6 suele estar encendido las 24 horas del día, a menudo no es necesario encender el microscopio.
3. Haga clic en el icono y la en el escritorio de Windows para iniciar el programa de control del microscopio. Se muestra la pantalla de inicio de sesión solicitando el nombre de usuario
contraseña de VegaTC.
4. Después de iniciar sesión, se cargará la última configuración del microscopio desde el perfil de usuario. Si se crea un nuevo perfil de usuario, carga la configuración del supervisor. Para
abrir el cuadro de diálogo para cargar el archivo de configuración guardado, abra el menú Opciones, seleccione el elemento Configuración y haga clic en Cargar.
5. Inicie el bombeo haciendo clic en el botón BOMBA en el panel de vacío, que controla el sistema de vacío. El aumento del vacío en este panel es
indicado por el aumento de la columna de indicación. La consecución del valor de trabajo se indica mediante el cambio del color de la columna a verde.
6. Habiendo alcanzado el vacío de trabajo, inicie el voltaje de aceleración haciendo clic en el botón HV en el panel de haz de electrones. Si la muestra está insertada, debería ver la imagen, si
no, verifique el valor de la corriente de calentamiento, elija un detector adecuado y configure el brillo y el contraste óptimos de la imagen.
Siguiente tema:
1. Inserción de muestras
2. Imágenes básicas
3. Imágenes a gran aumento
Temas relacionados: Panel de vacío, Haz de electrones, .
Los microscopios sin opción LaB6:
1. Apague el alto voltaje haciendo clic en el botón HV en el panel de haz de electrones.

2. Abra el menú Archivo y seleccione el elemento Salir para cerrar el programa VegaTC. Seleccione Apagar y salir.
3. Espere hasta que el programa VegaTC se cierre solo. Guardará automáticamente la configuración del microscopio en el disco duro.
4. Apague el sistema operativo Windows de la forma habitual.
5. Gire el interruptor principal hacia la izquierda (posición OFF).
6. Extraiga el enchufe de la toma.
Los microscopios con opción LaB6:
La emisión del cátodo LaB6 es sensible a las variaciones de presión y temperatura. La emisión puede tardar media hora en estabilizarse después de encender la fuente. Para mantener la fuente
de electrones constantemente estabilizada, es posible dejarla encendida las 24 horas del día. Sin embargo, la vida útil del filamento se reduce significativamente.
Se recomienda mantener encendida la fuente de electrones y disminuir su calentamiento a los dos tercios de su valor habitual cuando no esté funcionando. El tiempo
para estabilizar es más corto en comparación con el cátodo desconectado y su vida útil no se acorta tanto.
El calentamiento del filamento se puede reducir a dos tercios apagando el botón Heat.
La fuente de electrones se puede apagar con un clic en el botón HV. Se recomienda apagar el HV si no tiene intención de utilizar el microscopio durante un período de tiempo prolongado. El
interruptor principal también se puede apagar. Sin embargo, no saque el enchufe del microscopio del enchufe. Una bomba de iones, que mantiene el vacío en la pistola, necesita alimentación
constante.
Modo de espera
Si es necesario interrumpir el trabajo con el microscopio durante un período de tiempo más largo, es posible cambiar el microscopio al modo de ESPERA. Parte de la electrónica de
control y el bombeo de la columna y cámara están apagados. El consumo de energía es aproximadamente la mitad en comparación con el funcionamiento normal. Si reinicia el
microscopio (apaga el modo STANDBY), la desviación de la temperatura puede provocar una menor inestabilidad temporal de la imagen en los aumentos extremadamente altos. Por lo
tanto, se recomienda utilizar el modo STANDBY solo en caso de interrupción prolongada del trabajo (al menos durante la noche).
También es posible encender el sistema de bombeo en el modo STANDBY con el botón PUMP y mantener la cámara con una presión mínima. La desventaja es la reducción de la vida
útil de la bomba y un mayor consumo de energía.
- El modo STANDBY se enciende haciendo clic en el botón STANDBY en el panel de vacío.
- Si desea mantener encendido el sistema de bombeo de la cámara (está apagado por defecto), enciéndalo haciendo clic en el botón BOMBA en el panel de vacío.
El modo STANDBY también funciona como protección contra el sobrecalentamiento del sistema. Si el sistema casi se sobrecalienta, el software entra automáticamente en el modo de
ESPERA.
Una vez que cambia al modo ESPERA, el usuario simplemente cierra la sesión (ArchivoÿCerrar sesión…). Si el usuario desea volver a utilizar el sistema, puede iniciar sesión ingresando
su nombre de usuario y contraseña. Luego, el microscopio carga la configuración del usuario.
EasySEM
La interfaz gráfica de usuario EasySEM es un modo fácil de usar que permite todas las funciones básicas de procesamiento de imágenes con soporte de funciones automáticas en segundo
plano. Se recomienda el uso de este modo especialmente para usuarios sin experiencia. El modo EasySEM está optimizado para pantalla táctil.
Hacer clic en el panel de la barra de herramientas principal para activar el menú EasySEM.
Panel principal
El panel principal está destinado al control del microscopio.
El botón inicia el proceso de adquisición. Los botones inician o detienen el escaneo.
botón de inicio de ventilación o bombeo de la cámara. El botón enciende la herramienta EasyEDX.
El botón apaga el modo EasySEM. El botón apaga el microscopio.
Panel de estado
El panel de estado muestra el estado real del microscopio.
Panel de control
El panel de control está diseñado para un control rápido y cómodo de las funciones básicas del microscopio.
Los botones con la flecha están destinados a cambiar el parámetro paso a paso. Los botones con una flecha son más sensibles que los botones con flechas dobles. El botón
AUTO inicia la función automática.
- Ampliación - Distancia de trabajo - Brillo y Contraste - Detector
- Intensidad del haz - Presión de la cámara - Velocidad de escaneo
Panel de ajustes preestablecidos
Este panel permite el almacenamiento en memoria de múltiples parámetros como aumento, distancia de trabajo, etc.
1. Configure los parámetros que desea almacenar en la memoria.

2. Haga clic en el botón Memoria.
3. Seleccione el botón con número.
4. Al presionar el botón con número, recupera la configuración del microscopio de la memoria almacenada.
Panel de escenario
El panel Stage está destinado al control del escenario motorizado.
Los botones con la flecha están destinados al movimiento relativo. Si mantiene presionado el botón, la platina de muestra se mueve en la dirección deseada.
El botón Muestras permite seleccionar la muestra montada en la posición especificada en la plataforma de muestra. Las posiciones 1 a 7 corresponden a las posiciones
en la platina de muestra, que están marcadas con números.
El botón Calibrar inicia la calibración automática de la platina motorizada.
Montaje de las muestras

El espécimen debe fijarse o pegarse de manera conductiva al trozo del espécimen.
Es posible utilizar pin-stubs de muestras de 12,5 mm o cualquier otro portamuestras, suministrado como accesorio del microscopio.
Fijación conductiva de la muestra:
Discos o cintas adhesivas conductoras de carbono (no recomendado para análisis FIB a largo plazo)
pintura plateada conductora
Fijación por el tornillo en el portamuestras
Muestras no conductoras
Si la muestra se examina en el modo de alto vacío, debe ser conductora o debe recubrirse con una capa conductora utilizando una capa de carbón o una capa de pulverización catódica.
El revestimiento de la muestra debe estar en contacto conductivo con el talón (por ejemplo, mediante una gota de pintura plateada).
Las muestras no conductoras también se pueden examinar sin recubrimiento; consulte las instrucciones aquí.
Muestras magnéticas
El VEGA3 utiliza un objetivo con lente magnética de no inmersión, por lo que se pueden observar muestras ferromagnéticas y ligeramente magnéticas sin una preparación especial.
Las muestras magnéticas siempre deben fijarse bien con un soporte de tornillo.
Procedimiento de intercambio de muestras
1. Ventile el microscopio usando el botón VENT en el panel de vacío. Espere hasta que la presión esté al nivel atmosférico.
2. Establezca la inclinación de la platina de la muestra en cero, o simplemente haga clic en Inicio en el panel de control de la platina
3. Abra la puerta de la cámara tirando suavemente de ella.
4. Puede utilizar la configuración de posición automática en el panel de control de escenario, que está diseñada para el intercambio de posición de la muestra. Para seleccionar la posición
de la muestra, haga clic en el botón del número correspondiente en el carrusel. En este momento, el fondo del botón es rojo para indicar el modo de intercambio de muestras.
¡ADVERTENCIA! Si la platina de la muestra se está moviendo, no toque ninguna de sus partes. El manipulador en movimiento puede causar daños a la salud.
Nota: Durante el cambio de la muestra, utilice guantes adecuados para evitar la contaminación de las piezas internas del microscopio.
5. Afloje el tornillo que sujeta el trozo de muestra en la platina de muestra. Retire el trozo de la muestra levantándolo hacia arriba. Se recomienda utilizar unas pinzas adecuadas.
6. Utilice los pasos anteriores en orden inverso para colocar la nueva muestra en su posición. Una vez que sujete el trozo de la muestra con la muestra, asegúrese de que no toque
ninguna parte interior de la cámara. El contacto entre la muestra y la cámara será indicado por un zumbador acústico.
¡ADVERTENCIA! Antes de cerrar la cámara, asegúrese de que la muestra del interior no toque la cámara, la pieza polar del objetivo ni ninguno de los detectores. La colisión de la muestra con cualquiera de las
partes del interior de la cámara puede causar daños al microscopio.
Nota: El contacto entre la muestra y cualquier parte de la cámara se indica mediante un circuito eléctrico especial. Este circuito se basa en la medición de la corriente eléctrica. Funciona
solo si la muestra es conductora.
7. Cierre la puerta de la cámara empujándola hacia la cámara.

8. Inicie el procedimiento de bombeo haciendo clic en el botón BOMBA en el panel de vacío, donde también se muestran la presión real y el progreso del bombeo.
Compruebe si la puerta de la cámara está bien cerrada.
Nota: No se recomienda hacer clic en el botón Calor o HV antes de la ventilación si el microscopio está equipado con filamento LaB6.
Temas relacionados:
Imágenes básicas
Imágenes de muestras no conductoras (sin recubrimiento)
Imágenes básicas
Hay cuatro preajustes de fábrica para el voltaje de aceleración (5, 10, 20, 30 kV), uno para cada índice HV. El usuario no necesita realizar más ajustes cambiando entre ellos y usando una
ampliación de hasta 4000x.
Haga clic en el botón BOMBA en el panel de vacío para iniciar el procedimiento de bombeo. Por lo general, toma alrededor de 3 minutos preparar el vacío, estado que significa que el
microscopio está listo para usar. Si es necesario cambiar la muestra, siga las instrucciones de la sección Intercambio de muestras.
Hay cuatro preajustes de fábrica para el voltaje de aceleración (2, 5, 10, 20 kV), uno para cada índice HV. El usuario no necesita realizar más ajustes cambiando entre ellos y usando una
ampliación de hasta 4000x.
En el panel Detectores y mezclador, seleccione el detector apropiado del cuadro de lista. Recomendamos usar el detector SE o BSE. Cuando se utilice el detector de BSE, ¡asegúrese
de que el detector no esté retraído! Consulte el capítulo Detectores para obtener información detallada.
Nota: vea la diferencia entre las imágenes SE y BSE a continuación.
Seleccione el voltaje de aceleración (se recomiendan 30 kV) usando el cuadro combinado en el panel de haz de electrones.
Una vez que hace clic en el botón HV en el panel de haz de electrones, enciende el alto voltaje y comienza a calentar el filamento de tungsteno.
Nota: si el microscopio está equipado con un cátodo LaB6, es posible que el HV ya esté encendido porque se recomienda disminuir el nivel de calentamiento en lugar de apagar el HV. Consulte la
explicación en Apagar el microscopio para obtener más detalles.
Haga clic derecho en la ventana de escaneo SEM para abrir el menú y seleccione la ampliación mínima.
Haga clic derecho en la ventana de escaneo SEM para seleccionar la función de señal automática para configurar el brillo y el contraste.
Nota: Si la ventana de escaneo permanece en negro, seleccione la función Calentamiento automático de pistola usando el cuadro combinado en el panel de haz de electrones después de hacer clic en el botón
Botón de ajuste.
Nota: La función de calentamiento automático de la pistola no es necesaria ni está disponible si el microscopio está equipado con un filamento LaB6. Sin embargo, si se inserta un filamento de tungsteno
en el VEGA3 SEM con la opción LaB6, la función de calentamiento automático de pistola está disponible.
Al hacer clic en el ícono WD en la barra de herramientas flotante y girar la bola de seguimiento de izquierda a derecha (o viceversa) se enfoca la imagen. Al hacer doble clic en la ventana de
escaneo SEM, se abre la ventana de enfoque. Para eliminar la ventana Focus, haga doble clic en cualquier parte de la ventana SEM Scanning. (O use para enfocar la función Auto WD).
Concéntrese en el modo Resolución (haga clic en la función Modo de escaneo en el Panel de información y seleccione RESOLUCIÓN o use la función Campo amplio continuo).
Para seleccionar la intensidad del haz (se recomienda BI 10), primero haga clic izquierdo en el icono BI en la barra de herramientas flotante y luego use las flechas en el panel de pads.
Para seleccionar la posición de la muestra en el panel de control del escenario, haga clic en el botón del número correspondiente en el carrusel.
Al colocar el cursor sobre la ventana de escaneo SEM y hacer clic con la rueda del mouse, se mueve esa área en el escenario hacia el centro de la imagen. Vea la sección Ratón para otras
acciones del ratón.
Para ampliar la imagen, haga clic en el icono de Ampliación en la barra de herramientas flotante y gire el Trackball de izquierda a derecha.
Una vez que el área de interés esté ampliada y enfocada según lo solicitado, haga clic con el botón derecho en la velocidad de en la barra de herramientas flotante y seleccione apropiado
escaneo del ícono de Velocidad.
Haciendo clic en el botón Adquirir en el Panel de información o en el icono en la barra de herramientas flotante guarda la imagen. Rellene el campo de nota, firma y descripción si
necesario. Elija una carpeta para almacenar la imagen. Para cambiar los parámetros de la imagen utilice la función Parámetros de imagen en el menú SEM.
Al hacer clic en el icono, en la barra de herramientas principal, abra el cuadro de diálogo Ajustes preestablecidos de SEM para guardar el ajuste actual del microscopio. Es posible
restaure el ajuste guardado del microscopio más tarde.

Inserte la muestra adecuada para imágenes de gran aumento (p. ej., muestra de estaño sobre carbón).
La mejor resolución está disponible con el voltaje de aceleración más alto (30 kV) de los electrones primarios. Seleccione el cuarto índice HV usando el cuadro combinado en el panel de haz
de electrones.
Encienda el alto voltaje.
Nota: si el microscopio está equipado con un cátodo LaB6, es posible que el HV ya esté encendido porque se recomienda disminuir el nivel de calentamiento
en lugar de apagar el HV. Consulte la explicación en Apagar el microscopio para obtener más detalles.
Concéntrese en el modo Resolución (haga clic en la función Modo de escaneo en el Panel de información y seleccione RESOLUCIÓN).
Compruebe el tamaño del punto, que está determinado por el valor de BI. Haga clic con el botón derecho en la ventana de escaneo SEM para seleccionar el valor de BI óptimo: Auto BI OptiMag.
Para obtener imágenes de la mejor resolución, es necesario tener la distancia de trabajo (WD) más corta posible. Para el detector SE, la WD óptima es de unos 5 mm (en caso de que BSE no esté
montado debajo de la lente del objetivo). Para imágenes BSE, la WD óptima es de aproximadamente 8,5 mm. Para cambiar la distancia de trabajo junto con el eje Z, sin desenfocar la imagen, use
la función WD&Z en el panel Stage Control.
Nota: Antes de cambiar WD&Z, utilice la función de desmagnetización mediante icono. La imagen debe permanecer enfocada.
Aumente y enfoque gradualmente la imagen para lograr aumentos de 10 kx. En caso de que la imagen se mueva durante el enfoque, es necesario verificar el centrado del objetivo. Seleccione la
función de centrado de columna manual usando el cuadro combinado en el panel de haz de electrones después de hacer clic en el botón Ajuste. Aparecerá la ventana Asistente de centrado
manual. Al hacer clic en el botón WOB, se abre la ventana Focus en la ventana SEM Scanning. Haga clic en el botón Siguiente» para obtener las siguientes instrucciones. La función de centrado
tiene dos valores ajustables. Para asegurarse de que solo cambia un valor, mantenga presionada la tecla F12 para cambiar solo el movimiento X en el Trackball y F11 para cambiar solo el
movimiento Y.
Cada vez que la imagen es demasiado oscura o blanca, debe usar la función Señal automática (haga clic con el botón derecho en la ventana Escaneo SEM y seleccione Señal automática
o utilice el icono A mayores ). Para la configuración manual de contraste y brillo, haga clic en el icono y use el Trackball.
aumentos (>10 kx) es necesario comprobar si el astigmatismo (Figura A, B) se corrige con precisión (Figura C). Para corregir el astigmatismo haga clic
Función de estigma en el panel de información. Para una corrección precisa, use los botones F11 y F12.
|A| |B| |C|
Una vez que el área de interés esté ampliada y enfocada según lo solicitado, haga clic con el botón derecho en la velocidad de en la barra de herramientas flotante y seleccione apropiado
escaneo del ícono de Velocidad.
Haciendo clic en el botón Adquirir en el Panel de información o en el icono en la barra de herramientas flotante guarda la imagen. Rellene el campo de nota, firma y descripción si
necesario. Elija una carpeta para almacenar la imagen. Para cambiar los parámetros de la imagen utilice la función Parámetros de imagen en el menú SEM.
Al hacer clic en el ícono, en la barra de herramientas principal, abra el cuadro de diálogo para guardar el ajuste actual del microscopio. Es posible restaurar la
se guardó el ajuste del microscopio más tarde.
Imágenes de muestras no conductoras (sin recubrimiento)

La observación de muestras no conductoras puede ser problemática debido a la carga por haz de electrones en alto vacío. La carga provoca artefactos típicos en la imagen como brillo, centelleo,
deriva, etc.
La carga se puede eliminar de varias maneras:
Recubrimiento conductor de la superficie de la muestra

Uso de un modo de vacío bajo
Eliminación de carga por emisión de electrones secundarios a voltajes muy bajos
Imágenes en modo de vacío bajo
El detector SE ordinario no está disponible en operaciones de bajo vacío; consulte el capítulo Detectores, por lo tanto, TESCAN desarrolló el detector LVSTD (Detector TESCAN secundario de bajo
vacío), que brinda información topográfica de la muestra en modo de bajo vacío. El detector de BSE está disponible para ambos modos (LowVac, HiVac) y brinda información de composición. En
general, la dispersión del haz principal en el modo de vacío bajo se puede reducir mediante el uso de un voltaje de aceleración más alto (HV ÿ30 kV) y una distancia de trabajo mínima (WD ÿ3,5 mm).
La corriente óptima del haz primario para obtener la mejor señal del detector LVSTD es BI 15. El nivel de la señal se puede aumentar inclinando la muestra hacia el detector (inclinación ÿ10°).
Si utiliza el VEGA3 SEM con la opción LaB6 y el sistema de bombeo ajustado, inserte el soporte de apertura de bajo vacío en el objetivo de acuerdo con las instrucciones de Inserción del
soporte de apertura de bajo vacío - LaB6. No es necesario (para insertar el soporte de apertura de bajo vacío) si utiliza VELA o VEGA sin la opción LaB6.
Cambie el microscopio al modo de vacío medio (rango de presión de 1 a 150 Pa) haciendo clic en el botón UniVac en el panel del modo de vacío bajo. En caso de que se necesite un vacío
aún más bajo (rango de presión de 150 a 2000 Pa), siga las instrucciones del capítulo Cambio de apertura.
Introduzca el valor de presión solicitado en el campo junto al botón UniVac y haga clic en el botón Aceptar. En caso de que se necesite el vacío más bajo (2000 Pa), se recomienda comenzar
con el valor de 700 Pa y luego aumentar el valor gradualmente en pasos (alrededor de 100 Pa).
Si el LVSTD está conectado a la cámara, hay un botón LVSTD presente en el panel de modo de vacío bajo.
Para cambiar entre detectores (BSE o LVSTD) utilice el cuadro de lista en el panel Detectores y mezclador.
#else #if no FEG
Encienda el alto voltaje haciendo clic en el botón HV en el panel de haz de electrones.
Nota: si el microscopio está equipado con un cátodo LaB6, es posible que el HV ya esté encendido.
Haga clic derecho en la ventana de escaneo SEM para abrir el menú y seleccione la ampliación mínima.
Para seleccionar la intensidad del haz (se recomienda BI 10), primero haga clic izquierdo en el icono BI en la barra de herramientas flotante y luego use las flechas en el panel de pads.
Haga clic derecho en la ventana de escaneo SEM para seleccionar la función de señal automática para configurar el brillo y el contraste.
Seleccione la función Centrado OBJ del cuadro combinado en el panel Pad y gire el Trackball para establecer el área más brillante en el centro del Escaneo.
ventana.
Siga las instrucciones de la sección Imágenes a bajo aumento
Nota: Algunas muestras no conductoras, que no son demasiado sensibles al haz, se pueden manejar a voltajes más bajos en modo de alto vacío. Se pueden seleccionar diferentes voltajes altos desde
el panel de haz de electrones. Nota: Ver imágenes LVSTD obtenidas en modo de vacío bajo de muestra orgánica sin recubrimiento.
#terminara si
Trabajando a Alta Corriente

Este es un caso típico para todas las aplicaciones microanalíticas como EDS, WDS o EBSD donde la velocidad de análisis depende de la corriente del haz.
Para aplicaciones microanalíticas, el voltaje de aceleración suele ser superior a 15 kV-30 kV para alcanzar el rendimiento máximo, a menos que se requiera un análisis de alta resolución
(entonces 5-10 kV)
Ajuste de la intensidad del haz hasta alcanzar las condiciones/velocidad óptimas. Cuanto mayor es el índice BI, mayor es la intensidad del haz (es decir, la corriente de electrones en el haz).
El valor exacto de la intensidad se puede establecer mediante la función Beam Current Continual que se puede seleccionar en el panel Pad o activar haciendo clic en la corriente absorbida
en el panel de información.
Alcanzar altas corrientes

1. Las corrientes máximas se logran con el voltaje de aceleración más alto (30 kV) de los electrones primarios. En el panel Electron Beam, seleccione el cuarto índice HV usando el cuadro combinado.
Seleccione la función Alto voltaje del cuadro combinado en el panel Pad o haga clic en la función HV en el Panel de información. Escriba el valor 30 en el panel Pad.
2. Una vez que hace clic en el botón HV en el panel de haz de electrones, enciende el alto voltaje y comienza a calentar el filamento de tungsteno.
Nota: si el microscopio está equipado con un cátodo LaB6, es posible que el HV ya esté encendido.
3. Seleccione la función de centrado automático de pistola usando el cuadro combinado en el panel de haz de electrones después de hacer clic en el botón de ajuste.
4. Haga clic en la función Intensidad del haz en el Panel de información o haga clic en el icono BI en la barra de herramientas flotante. En el panel Pad, establezca el valor de BI en 20.
5. Utilice la función de desmagnetización mediante el icono en la barra de herramientas principal.
6. Mueva el escenario a la copa de Faraday y controle el valor de la corriente absorbida medida en el panel de información. Debería obtener alrededor de 10nA.
7. Haga clic en la función Beam Intensity en el panel de información y en el panel Pad establezca la sensibilidad en el valor 2.
8. Usando las flechas dobles en el panel Pad, aumente el valor de Beam Intensity en pasos y verifique la corriente medida en la copa de Faraday. Una vez que llegue al punto en que la corriente
absorbida sea menor, establezca el paso anterior.
9. Seleccione la función Inclinación de la pistola en el cuadro combinado del panel Pad y gire el trackball para establecer el valor máximo de corriente absorbida (se recomienda establecer la
sensibilidad en el valor 1 o 2).
10. Seleccione la función Centrado IML del cuadro combinado en el panel Pad y gire la bola de seguimiento para establecer el valor máximo de corriente absorbida.
11. Utilice la función de desmagnetización mediante el icono en la barra de herramientas principal.
12. Haga clic en la función Beam Intensity en el panel de información y en el panel Pad establezca la sensibilidad en el valor 1.
13. Repita los pasos 8. – 11. una vez que alcance la corriente absorbida máxima.
Ayuda
Para que aparezca la Ayuda en línea, abra el menú Ayuda y seleccione el elemento Contenido, o utilice los atajos de teclado F1.
Nota: Si no puede encontrar la información que necesita, comuníquese con [email protected]
Ventana principal
1. La barra de título muestra el nombre del software que se está ejecutando actualmente.
2. La barra de menús contiene menús desplegables que muestran listas agrupadas de comandos y configuraciones disponibles.
3. La ventana de escaneo SEM es una ventana con una imagen en vivo. El software VegaTC permite utilizar más ventanas de escaneo SEM simultáneamente. La descripción de la configuración de las ventanas de escaneo
SEM se encuentra en el capítulo Parámetros de imagen.
4. La ventana de enfoque es una pequeña ventana en la ventana de escaneo SEM que permite operar con una alta frecuencia de actualización de la imagen. La descripción detallada se encuentra en el capítulo Ventana de
enfoque.
5. La barra de desplazamiento está presente para una selección rápida de funciones automáticas. Este menú aparece al hacer clic con el botón derecho del mouse en la ventana de escaneo SEM.
6. La barra de herramientas flotante contiene iconos para seleccionar rápidamente las funciones de control básicas del microscopio mediante iconos. Aparecerá una breve explicación de la función si se deja el cursor del
ratón sobre el icono durante unos segundos. La descripción detallada de las funciones se encuentra en el capítulo Barra de herramientas flotante.
7. La barra de información contiene la información adjunta sobre las condiciones de la captura de imágenes. La configuración en la barra de información se puede cambiar en la imagen
Parámetros.
8. La barra lateral organiza los paneles para el control del microscopio.
Acceso
Después del inicio del programa de control del microscopio, se muestra la pantalla VegaTC - Iniciar sesión.
Seleccione la cuenta de usuario
Ingrese la contraseña del usuario

Seleccione el idioma requerido del cuadro de lista
Seleccione uno de los proyectos definidos: esta función se muestra cuando se activa Habilitar elemento de gestión de proyectos en el cuadro de diálogo Administrador de proyectos.
Después de la confirmación de la contraseña de usuario, el programa inicia la prueba de funcionalidad (autoprueba) de todas las partes principales del microscopio y los parámetros del propio
programa. Si la autocomprobación encuentra algún problema, intenta diagnosticar el problema e informa al usuario al respecto. La misma prueba se realiza durante cada inicio de sesión del
usuario.
Nota: Cada usuario tiene su propio nombre de usuario y contraseña, que identifica al usuario. Después de iniciar sesión, se cargará la última configuración del microscopio desde el perfil de usuario.
preferencias
El cuadro de diálogo Preferencias está diseñado para configurar el entorno del software VegaTC. Cada usuario puede tener su propia configuración, los parámetros son compartidos por todos
diálogos, paneles y herramientas.
Para abrir el cuadro de diálogo Preferencias , haga clic en Opciones en la barra de menú y seleccione el elemento Preferencias.
El cuadro de diálogo Preferencias completo consta de secciones con pestañas: General, Superposiciones y Pantalla e Impresora. Al hacer clic en la pestaña requerida, se abre una sección que
permite cambiar y preestablecer condiciones.
General
Esta sección contiene la configuración de las unidades mostradas, el idioma de la ayuda en línea y las preferencias para el comportamiento básico de las ventanas del documento.
Idioma de la ayuda: idioma de la ayuda electrónica
Unidades de presión - unidad de presión - pascal, torr o mbar
Unidad de longitud - unidad de longitud - metro o pulgada
Unidades de intensidad - unidad de intensidad:
ADU de 8 bits : la intensidad se muestra en el rango de 0 (negro) y 255 (blanco) ADU de 16 bits : la
intensidad se muestra en el rango de 0 (negro) y 65535 (blanco) porcentaje : la intensidad se muestra en el
rango de 0 (negro) y 100.0 (blanco)
Cerrar ventana después de la adquisición: si esta opción está marcada, la ventana se cierra automáticamente una vez finalizada la adquisición de la imagen. Esta opción es adecuada en caso de adquisición de una serie más
larga de imágenes, las ventanas con imágenes adquiridas no permanecen en la pantalla.
Habilitar información sobre herramientas: active y desactive esta opción para activar y desactivar las burbujas de ayuda interactiva.
No mostrar el cuadro de diálogo Editar encabezado al guardar una imagen: si esta opción está marcada, el cuadro de diálogo de edición del encabezado de la ventana de escaneo SEM no se mostrará después de la adquisición
de la imagen.
Maximizar sobre escritorio virtual (solo multimonitor): en el caso de dos monitores, es posible maximizar la interfaz de software sobre ellos.
Invertir colores de la barra de información: si esta opción está marcada, los colores utilizados en la barra de información se invierten.
El campo de texto del logotipo permite agregar texto que se mostrará en el área de la barra de información de las ventanas de adquisición de SEM. Solo es accesible para los usuarios de nivel de servicio y nivel de supervisor.
Puede hacer clic en el botón Establecer valores predeterminados para establecer los parámetros de esta página en los valores predeterminados.
superposiciones
Esta sección contiene parámetros para dibujar los objetos gráficos en las ventanas del documento. La vista previa de la configuración real se muestra en la parte superior del cuadro de diálogo.
Cambiar fuente: abre un cuadro de diálogo para la selección de fuente y el tamaño de fuente.
Cambiar color: abre el diálogo para la selección de color (común para los textos y las líneas).
Cambiar ancho de línea: abre el cuadro de diálogo para la configuración del ancho de línea.
Fondo de texto transparente: marque esta opción para dibujar subtítulos con fondo transparente, desmárquela para dibujar subtítulos con fondo opaco.
Puede hacer clic en el botón Establecer valores predeterminados para establecer los parámetros de esta página en los valores predeterminados.
Pantalla e Impresora
Ancho de pantalla: tamaño físico del área visible del monitor principal en milímetros. Solo los usuarios de nivel de servicio y nivel de supervisor pueden cambiar este valor.
Ancho de la imagen impresa - valor requerido de la imagen impresa
Guardado automático
La función Autoguardar permite al usuario simplificar y acelerar el proceso de adquisición de imágenes. El objetivo es facilitar el trabajo si el usuario adquiere una gran cantidad de imágenes. Cuando esta función
está habilitada, el software guarda automáticamente la imagen en el disco cuando finaliza su adquisición. Es posible configurar la numeración automática de imágenes.
La función Autoguardar se configura mediante el cuadro de diálogo Autoguardar.
Cómo configurar la función Autoguardar
Abra el menú Opciones y seleccione el elemento Guardar automáticamente.
Aparece el cuadro de diálogo Autoguardar.
Marque Guardar imagen después de la adquisición para habilitar la función Autoguardar.

Haga clic en el botón Examinar para cambiar la carpeta donde se almacenarán las imágenes.
Ingrese el nombre base de las imágenes (campo de prefijo de nombre de archivo) y configure la forma de numeración de las imágenes y el formato gráfico de las imágenes.
Seleccione el formato de archivo de imagen.
Pulse el botón Aceptar para guardar los cambios.
Cómo desactivar la función Autoguardar
Abra el menú Opciones y seleccione el elemento Guardar automáticamente. Aparece el cuadro de diálogo Autoguardar.
Desmarque la opción Guardar imagen después de la opción de adquisición.
Pulse el botón Aceptar para guardar los cambios.
Configuración
Después de iniciar sesión, se cargará la última configuración del microscopio desde el perfil de usuario. El usuario actual puede cargar diferentes configuraciones de microscopio desde
diferentes cuentas de usuario. Si se crea un nuevo perfil de usuario, es necesario cargar la configuración del supervisor para establecer unas condiciones óptimas de trabajo del microscopio. Para abrir el
cuadro de diálogo para cargar el archivo de configuración guardado, abra el menú Opciones, seleccione el elemento Configuración.
Haga clic en Cargar para abrir la carpeta adecuada (por ejemplo, supervisor) y cargue un archivo sem_user. Las configuraciones de microscopio seleccionadas se cargarán en la cuenta de usuario.
Recargar: el sistema carga repetidamente las últimas configuraciones del microscopio.
Guardar: el sistema guarda la configuración real del microscopio en el archivo sem_user.
Guardar como: el usuario puede guardar la configuración del microscopio en un nuevo archivo.
Entorno de copia de seguridad: esta función permite al usuario crear una carpeta comprimida donde se guardan todas las configuraciones del microscopio.
Cargar configuración predeterminada y Guardar configuración predeterminada están destinados únicamente al usuario supervisor y permiten que el supervisor cargue o guarde la configuración
predeterminada del microscopio.
Administrador de imágenes
Image Manager es una herramienta de software que permite al usuario explorar las imágenes almacenadas en un disco . Las imágenes se pueden abrir fácilmente en la aplicación. El cuadro de diálogo
Administrador de imágenes se puede abrir desde el menú Archivo - Administrador de imágenes.
Descripcion funcional
La parte superior del cuadro de diálogo Administrador de imágenes contiene la barra de herramientas, la parte inferior de la ventana del administrador de imágenes contiene una barra de estado. El resto de la imagen
El administrador se divide en dos ventanas, su contenido depende del modo de trabajo actualmente seleccionado. El usuario invitado solo puede acceder a la carpeta de usuario.
Mi computadora: muestra el árbol de carpetas de todas las unidades locales, extraíbles y de red disponibles. Esta carpeta se puede elegir con un clic izquierdo del ratón. Las imagenes
en la carpeta seleccionada se muestran en el panel derecho.
Carpeta específica del usuario: muestra el árbol de carpetas del usuario que ha iniciado sesión. La carpeta se puede elegir con un clic izquierdo del ratón. Las imágenes de la carpeta seleccionada se
muestran en el panel derecho.
Búsqueda: especifique las propiedades de búsqueda en el lado izquierdo del cuadro de diálogo, el botón Iniciar inicia la búsqueda de imágenes específicas. Las imagenes
que cumplen los criterios se muestran en el lado derecho de la ventana.
Carpetas favoritas: muestra una lista de las carpetas favoritas del usuario. Se puede especificar una carpeta favorita haciendo clic con el botón derecho del mouse en una carpeta y
eligiendo Agregar a favoritos en el menú emergente. Para eliminar una carpeta de la lista, haga clic con el botón derecho en la carpeta y elija Eliminar elemento.
El modo de visualización de la imagen se puede elegir mediante el segundo conjunto de botones de la barra de herramientas:
Modo de informe: las imágenes se muestran como una lista de tabla de nombres de archivo de imagen y sus parámetros de imagen básicos. El pequeño triángulo negro en el encabezado de la
tabla marca por qué elemento se ordena la tabla. Haciendo clic con el botón derecho del mouse en el encabezado de la tabla, la tabla se puede ordenar por cualquier elemento de la tabla, ascendente o
descendente.
Modo de iconos: las imágenes se muestran como miniaturas con el nombre de la imagen debajo de la miniatura. Las imágenes siempre se ordenan en orden alfabético.
Modo de mosaicos: las imágenes se muestran como miniaturas pequeñas con información básica sobre la imagen, el nombre de la imagen está debajo de la imagen. Las imágenes están
ordenadas en orden alfabético.
Modo de presentación de diapositivas: se muestra una imagen en el centro de la ventana con la información del encabezado que se muestra a continuación. La lista de imágenes se coloca es
colocado en el lado derecho de la ventana.
La imagen en el panel derecho se puede seleccionar haciendo clic con el botón izquierdo del mouse. La selección múltiple se puede realizar de la forma habitual con las teclas Shift y Ctrl . Es posible
realizar varias operaciones con las imágenes seleccionadas:
Abrir: las imágenes seleccionadas se mostrarán en la ventana principal del programa. Esta acción también se puede realizar haciendo doble clic con el botón derecho del ratón en
la imagen seleccionada o presionando la tecla Enter en el teclado.
Renombrar: cambia el nombre de la imagen seleccionada. Puede editar el nombre de la imagen original en el campo de edición. Pulse el botón Aceptar para confirmar el cambio. No es posible
cambiar el nombre de varias imágenes a la vez.
Eliminar: elimina las imágenes especificadas. Esta acción debe confirmarse en el cuadro de diálogo secuencial.
Exportar: esta función permite exportar las imágenes a diferentes formatos de imagen. Puede especificar la carpeta de destino y el formato gráfico, así como la profundidad de bits de la imagen
en el siguiente cuadro de diálogo. Si solo se selecciona una imagen, también puede cambiar el nombre de la imagen a la vez. Los nombres de las imágenes permanecen iguales para la selección múltiple.
Preparar informe: inicia la herramienta Generador de informes que puede imprimir imágenes seleccionadas.
Propiedades: muestra toda la información importante sobre la imagen seleccionada, este elemento está disponible solo si solo se selecciona una imagen.
Atajos de teclado
En el administrador de imágenes, puede usar los siguientes atajos de teclado:
F2 - para cambiar el nombre de la imagen seleccionada

F5 - para actualizar y recargar la carpeta seleccionada
Eliminar : para eliminar las imágenes seleccionadas

Enter - para abrir las imágenes seleccionadas
Alt+Enter - para mostrar detalles de la imagen sobre la imagen seleccionada
Pestaña - para cambiar entre el panel izquierdo y derecho
Búsqueda de imágenes
Es necesario especificar los criterios de filtrado en el modo de búsqueda (ver más adelante). El botón Iniciar inicia el proceso de búsqueda. Las imágenes que cumplen los criterios de búsqueda
especificados se muestran inmediatamente en el panel derecho. Es posible interrumpir el proceso de búsqueda en cualquier momento presionando el botón Detener.
El progreso de la búsqueda se indica en la barra de progreso junto al botón Iniciar.
El panel de búsqueda contiene los siguientes elementos:
Buscar: máscara de búsqueda de nombres de imágenes. Es posible ingresar múltiples máscaras de búsqueda, las cuales deben estar divididas por lo menos por un espacio, coma o punto y
coma. Es posible utilizar caracteres comodín para definir máscaras de búsqueda. La búsqueda no distingue entre mayúsculas y minúsculas.
Buscar en: ruta completa de la carpeta en la que se buscará.
Incluir subcarpetas: si esta opción está marcada, también se buscarán las subcarpetas de la carpeta base (Buscar en el campo).
Fecha entre: activa el filtro de hora/fecha. Las imágenes que se crearon en el intervalo de tiempo/fecha especificado se tendrán en cuenta para la búsqueda.
No anterior a: las imágenes que no superen el intervalo especificado se tendrán en cuenta para la búsqueda.
Ampliación entre: especifica el rango de ampliación para las imágenes buscadas. El valor de ampliación any representa cualquier valor de ampliación, el valor infinite representa una ampliación
superior a la especificada. Por ejemplo, para buscar imágenes con aumentos inferiores a 1000 x, debe seleccionar el rango cualquiera - 1000 x; si desea buscar las imágenes con aumentos
superiores a 10000x, debe seleccionar el rango como '10000x - infinito'.
Haz y detector: especifica el haz (SEM o FIB) y el tipo de detector para las imágenes buscadas. El valor any significa que se utiliza cualquier valor del campo especificado.
Energía del haz (HV) entre: especifica el rango de energía del haz para la imagen buscada. El valor any significa que se utiliza cualquier valor del campo especificado.
Modo de vacío: especifica el modo de vacío (alto o bajo) para las imágenes buscadas.
Modo de escaneo: especifica el modo de escaneo (Resolución, Profundidad, Campo, Campo ancho o Canalización) para las imágenes buscadas. El valor any significa que se utiliza cualquier
valor del campo especificado.
Resolución: esta prueba verifica la resolución de la imagen en píxeles (incluida la barra de información) y la profundidad de bits de la imagen. El valor any significa que se utiliza cualquier valor
del campo especificado.
Buscar en el campo 'nota': búsqueda de texto completo en el campo Nota del encabezado de la imagen. Es posible ingresar varias expresiones divididas por al menos un espacio, coma
o punto y coma. Se seleccionarán las imágenes que contengan al menos una expresión. La búsqueda no distingue entre mayúsculas y minúsculas.
Buscar en el campo 'signo': búsqueda de texto completo en el campo Signo del encabezado de la imagen. Es posible ingresar varias expresiones divididas por al menos un espacio, coma o
punto y coma. Se seleccionarán las imágenes que contengan al menos una expresión. La búsqueda no distingue entre mayúsculas y minúsculas.
Buscar en el campo 'descripción': búsqueda de texto completo en el campo Descripción del encabezado de la imagen. Es posible introducir varias expresiones divididas por al menos una
espacio, coma o punto y coma. Se seleccionarán las imágenes que contengan al menos una expresión. La búsqueda no distingue entre mayúsculas y minúsculas.
Buscar en el campo 'autor': búsqueda de texto completo en el campo Autor del encabezado de la imagen. Es posible ingresar varias expresiones divididas por al menos un espacio, coma o punto y coma. Se
seleccionarán las imágenes que contengan al menos una expresión. La búsqueda no distingue entre mayúsculas y minúsculas.
Buscar en el campo 'proyecto': búsqueda de texto completo en el campo Proyecto del encabezado de la imagen. Es posible ingresar varias expresiones divididas por al menos un espacio, coma o punto y coma.
Se seleccionarán las imágenes que contengan al menos una expresión. La búsqueda no distingue entre mayúsculas y minúsculas.
Buscar en el campo 'dispositivo': búsqueda de texto completo en el campo Dispositivo del encabezado de la imagen. Es posible ingresar varias expresiones divididas por al menos un espacio, coma o punto y
coma. Se seleccionarán las imágenes que contengan al menos una expresión. La búsqueda no distingue entre mayúsculas y minúsculas.
Temas relacionados: Generador de Informes.
Administrador de usuarios
El Administrador de usuarios está diseñado para administrar la lista de usuarios que pueden iniciar sesión en VegaTC. El cuadro de diálogo Administrador de usuarios se puede abrir desde el menú Archivo -
Administrador de usuarios.
Solo es accesible para los usuarios de nivel de servicio y nivel de supervisor.
Cuadro de diálogo Administrador de usuarios
Descripcion funcional
La lista de todos los usuarios definidos se muestra en la tabla.
Nombre de inicio de sesión: identificador único con el que se identifica a un usuario. Corresponde al nombre de la carpeta del usuario en el disco y también se almacena en el encabezado de la imagen.
Nombre completo: nombre completo del usuario. A diferencia del nombre de inicio de sesión, este campo puede contener caracteres internacionales.
Nivel - nivel del usuario. Algunas funciones están limitadas solo para ciertos niveles de usuario. Por lo tanto, al establecer el nivel apropiado, el administrador puede simplificar la interfaz de usuario y restringir
el acceso a la configuración del software.
Estado: la cuenta de un usuario está Activada cuando el usuario puede iniciar sesión en el software y está Desactivada cuando no puede. Al deshabilitar la cuenta de un usuario, el
el administrador puede denegar temporalmente el acceso al software.
Las cuentas de usuario se administran mediante botones colocados debajo de la tabla:
Editar usuario: abre el cuadro de diálogo para cambiar la configuración del usuario seleccionado. No está permitido editar el nombre de inicio de sesión del usuario. Algunas opciones para cuentas de usuario especiales no se
pueden cambiar.
Editar contraseña: abre el cuadro de diálogo para cambiar la contraseña del usuario.
Agregar: este botón abre el cuadro de diálogo para crear una nueva cuenta de usuario.
Eliminar: elimina los usuarios seleccionados. Las cuentas de usuario especiales no se pueden eliminar.
Cerrar: cierra el cuadro de diálogo Administrador de usuarios.
Usuario predeterminado
VegaTC puede iniciar sesión automáticamente como un usuario específico sin solicitar información de inicio de sesión. Esto se puede hacer seleccionando una cuenta de usuario en el campo Usuario predeterminado en el cuadro
de diálogo Administrador de usuarios. No es posible seleccionar el usuario del Servicio ni ninguno de los usuarios del nivel de Supervisor.
Gerente de proyecto
El cuadro de diálogo Administrador de proyectos le permite a un usuario realizar un seguimiento del tiempo que se gastó en proyectos con fines contables, por ejemplo. Cuando esta función está habilitada, aparece un nuevo
cuadro de selección en el cuadro de diálogo Iniciar sesión. Un usuario puede seleccionar uno de los proyectos que se definieron en el cuadro de diálogo Administrador de proyectos . Cuando inicia sesión, los programas
comienzan a contar el tiempo en ese proyecto. La medición se detiene cuando el usuario cierra la sesión, la aplicación se cierra. También es posible cambiar el proyecto activo en el cuadro de diálogo Administrador de proyectos .
Solo un proyecto puede estar activo a la vez.
Para abrir el cuadro de diálogo Administrador de proyectos , abra el menú Archivo y seleccione el elemento Administrador de proyectos.
Este elemento no es accesible para usuarios de nivel básico.
Cuadro de diálogo Administrador de proyectos
La casilla de verificación Activar gestión de proyectos activa la gestión de proyectos. Cuando esta opción está marcada, el cuadro de selección de proyectos se muestra en Iniciar sesión
diálogo.
La lista de todos los proyectos se muestra en la tabla:
Nombre del proyecto - nombre del proyecto
Estado - estado actual del proyecto:
Inactivo: el proyecto no está activo, pero se puede activar.
Activo: la medición del tiempo se está ejecutando en este momento.
Finalizado: el proyecto se ha finalizado, no se puede activar.
Tiempo total - tiempo dedicado al proyecto.
Un usuario edita los proyectos y cambia su estado mediante los botones, que se encuentran debajo de la tabla:
Agregar: abre el cuadro de diálogo para crear un nuevo proyecto.
Activar: detiene el seguimiento del tiempo para el proyecto que está actualmente activo y activa el proyecto seleccionado.
Detener: detiene el seguimiento del tiempo para el proyecto seleccionado. Ningún proyecto estará activo después de esta acción.
Editar: abre el cuadro de diálogo para editar el proyecto. Este diálogo permite a un usuario cambiar el estado del
proyecto de Inactivo a Finalizado y viceversa.
Eliminar: elimina el proyecto seleccionado.
Exportar: guarda el contenido de la tabla en un archivo de texto. Hay dos formatos admitidos: un archivo de texto
con ancho fijo de campos o un archivo CSV con campos divididos por comas. Este último se puede importar fácilmente a
procesadores de hojas de cálculo comunes. La codificación de caracteres siempre es UTF-8.
Temas relacionados: Iniciar sesión.
Generador de informes
El módulo Generador de informes permite al usuario crear documentos imprimibles (informes). Los documentos se basan en plantillas predefinidas.
Selección de plantilla
Si selecciona Archivo - Imprimir , aparece el cuadro de diálogo para la selección de modelos de informes.
Hay un conjunto de plantillas predefinidas que se entregan con el software.
Las plantillas se almacenan en la carpeta Plantillas y se dividen en subcarpetas según el formato de la página.
Cuadro de diálogo Generador de informes
La ventana de diálogo se controla mediante los botones de la barra de herramientas superior:
Nuevo informe: abre un cuadro de diálogo para la selección de plantillas y crea un nuevo informe con las imágenes actuales.
Imprimir: imprime el informe actual
Exportar: exporta el informe al archivo. Puede usar el formato RTF que es posible importar con MS Word y el formato de documento abierto que es compatible con la aplicación OpenOffice versión
2.0 y superior. El formato de documento abierto contiene formatos de varios documentos. El generador de informes utiliza ODT para el documento de texto, ODP para la presentación y el documento gráfico
ODG.
Alejar: reduce el zoom de la página.
Acercar: aumenta el zoom de la página.
Ajustar ancho de página: ajusta automáticamente el ancho de página a la ventana.
Ajustar página completa: ajusta automáticamente toda la página a la ventana.
Primera página - Ir a la primera página.
Página anterior - Ir a la página anterior.
Página siguiente - Ir a la página siguiente.
Última página - Ir a la última página
Modo de edición: este modo permite editar el diseño del informe.
Modo de vista previa: en este modo, los documentos se muestran exactamente como se imprimirán.
Edición de informes
Si el documento está en el modo de edición, es posible editar el documento. El panel con las pestañas Documento, Página, Imágenes está en el panel izquierdo de la ventana principal del Generador de
informes. La línea discontinua azul muestra los objetos en los que se puede hacer clic.
Si hizo clic izquierdo en el objeto editable, el objeto y todos los objetos dependientes de los datos estarían rodeados por la línea discontinua azul en negrita. El cuadro de diálogo para la edición de objetos
seleccionados se mostrará en el panel izquierdo. La cantidad de objetos editables y diseños de diálogo depende de la plantilla seleccionada. Por ejemplo, si es posible editar el texto, el campo de edición de
texto se mostrará en el cuadro de diálogo y si es posible ocultar el objeto, se mostrará la casilla de verificación, que puede mostrar (casilla de verificación marcada) u ocultar (casilla de verificación sin
marcar ) el objeto para imprimir.
Los elementos de la pestaña Documento son válidos para todo el documento; sin embargo, los elementos de la pestaña Página son válidos solo para la página actual.
Es posible editar la secuencia de impresión de imágenes para todo el documento en la pestaña Imágenes. También es posible quitar las imágenes seleccionadas o ponerlas
espalda.
Temas relacionados: Administrador de imágenes.
Ajustes preestablecidos de SEM
Los ajustes preestablecidos de SEM funcionan como un conjunto de almacenamiento de memoria multifuncional. Puede contener un grupo de parámetros como el campo de visión, la distancia de trabajo,
la posición del escenario, etc. que se puede guardar como un preajuste. La configuración se almacena automáticamente en los archivos de configuración del usuario, por lo que están completamente
disponibles durante el próximo inicio de sesión.
Para que aparezca el cuadro de diálogo Ajustes preestablecidos de SEM , abra el menú SEM y seleccione el elemento Ajustes preestablecidos
o haga clic en el botón en la barra de herramientas principal.
Cuadro de diálogo Ajustes preestablecidos de SEM
En el campo superior del cuadro de diálogo hay una lista de ajustes preestablecidos. Es posible asignar un nombre a cada preset en el modo de configuración. Para recuperar la configuración del microscopio, seleccione un Nombre relevante de la lista y haga
clic en el botón Aplicar.
Para cambiar la configuración de preajuste, seleccione un nombre relevante de la lista y haga clic en el botón Editar. Aparece el cuadro de diálogo Editar ajuste preestablecido .
Para crear un nuevo ajuste preestablecido, haga clic en el botón Nuevo. Aparece el cuadro de diálogo Editar ajuste preestablecido .
Para eliminar uno de los preestablecidos, seleccione un nombre relevante de la lista y haga clic en el botón Eliminar.
Cuadro de diálogo Editar ajuste preestablecido
Es posible especificar un Nombre de preset en el cuadro de edición. Hay once parámetros debajo de este cuadro de edición. Las casillas de verificación permiten seleccionar un parámetro para
almacenar.
El botón Seleccionar todo permite seleccionar todos los parámetros.
El botón Borrar todo permite anular la selección de todos los parámetros marcados.
El botón Cancelar vuelve a la configuración original y sale del cuadro de diálogo Editar preajuste .
El botón Guardar guarda el valor real de los parámetros seleccionados.
detectores
Los detectores están diseñados para la configuración de los detectores conectados al microscopio. Los cambios en la configuración de los detectores deben ser realizados únicamente por
personas con conocimiento de las propiedades y conexiones de los detectores. Un cambio inapropiado de la configuración puede dañar los detectores o causar un mal funcionamiento.
Para cambiar la configuración de los detectores, abra el menú SEM y haga clic en el elemento Detectores. Se abre el cuadro de diálogo Detectores .
Solo es accesible para los usuarios de nivel de servicio y nivel de supervisor.
El cuadro de diálogo Detectores
Es posible conectar ocho detectores independientes al microscopio. Las entradas de los detectores particulares se representan con letras mayúsculas A - H. Al hacer clic en
al ingresar se activará el cuadro de diálogo para la configuración de los detectores.
Nombre: el nombre del detector. Debe contener al menos un carácter.
Tipo: el tipo del detector.
Suministro de ganancia: pin de salida para control de ganancia.
Invertir nivel de negro: marque esta opción para invertir el control del nivel de negro.
Invertir ganancia: marque esta opción para invertir el control de ganancia.
Invertir señal: marque esta opción para invertir la polaridad de la señal de salida del detector.
Probar detector: marque esta opción para habilitar la prueba automática del detector durante el inicio del programa.
Usar ganancia multirango: esta opción está diseñada solo para fines de depuración. No cambies esto.
Detectores virtuales
La imagen se crea mediante el procesamiento posterior de la señal de un detector estándar.
Hay dos opciones de procesamiento:
Pseudocolor: las imágenes se colorean artificialmente mediante el mapeo de colores.
Multicolor: la señal de un detector real se asigna a componentes de color individuales de la imagen. Esto crea una imagen real.
Un ejemplo típico es un detector de color CL. El detector de color CL tiene salida para tres señales que corresponden a tres canales de color individuales. Estos canales se pueden ver por
separado o juntos como una imagen en color.
Vincular canales: Si la casilla Vincular canales está activada, el contraste y el brillo son iguales para todos los canales de imagen. Por lo demás, cada canal tiene su brillo y contraste.
Cambiar modo Uni

Nota: El procedimiento está destinado únicamente a los microscopios sin la opción LaB6.
Si desea utilizar el modo de vacío bajo, es necesario insertar la apertura final en el objetivo de acuerdo con la descripción en el capítulo Apertura
Cambie y confirme el intercambio en el menú SEM - Change Uni Mode.
Temas relacionados: Modo de vacío bajo, Intercambio de apertura.
Escaneo externo
Mediante este comando, la electrónica del microscopio cambia al modo de exploración externa (exploración controlada por una fuente/señal externa). En este modo, los generadores
de escaneo internos de la señal en dientes de sierra se apagan y las entradas de los amplificadores de escaneo se conectan a los conectores externos. Este modo solo está
destinado a algunas aplicaciones especiales del microscopio.
Para iniciar el escaneo externo, abra el menú SEM y seleccione el elemento Escaneo externo.
Para detener el escaneo externo, abra el menú SEM y anule la selección del elemento Escaneo externo.
Configuración de escenario
Este panel le permite configurar la etapa de muestra. Esta configuración solo puede ser realizada por un usuario capacitado o por el personal de servicio. Para cambiar la
configuración de la etapa de muestra, abra el menú SEM y haga clic en el elemento Configuración de etapa.
Se abre el cuadro de diálogo Configuración de escenario:
Las casillas de verificación junto a las letras X, Y, Z, Rot, Tilt habilitan o deshabilitan el eje específico. Por ejemplo: es mejor apagar la rotación de la platina si está instalado el detector STEM, el detector
EBIC o la platina Peltier.
En la parte Modelo de colisión, se puede comprobar el modo de movimiento de escenario seguro. Cuando está habilitado, las advertencias de colisión de etapa se tratan estrictamente y no se permiten
movimientos peligrosos.
¡El resto de las opciones son solo para fines de servicio!
Barra de herramientas principal
La barra de herramientas principal contiene los iconos funcionales destinados a un uso rápido y cómodo de las funciones básicas del microscopio. Al hacer clic en cualquiera de estos, se presionarán y,
cuando se desactiven haciendo clic nuevamente, saldrán.
- hacer clic en este botón abre una nueva ventana de escaneo.
- al hacer clic en este botón se abre la ventana de diálogo Transformaciones geométricas que permite modificar el escaneo de la viga. La misma ventana de diálogo se
puede abrir desde el menú SEM seleccionando el elemento Transformaciones geométricas.
- hacer clic en este botón abre la ventana de diálogo SEM Presets que permite configurar el almacenamiento de memoria multifuncional. La misma ventana de diálogo puede ser
abierto desde el menú SEM seleccionando el elemento Presets.
- hacer clic en este botón abre la ventana de diálogo Análisis y medición que permite el análisis y la medición en la imagen en vivo. El mismo diálogo
La ventana se puede abrir desde el menú Herramientas seleccionando el elemento Análisis y medición.
- al hacer clic en este botón se abre el panel Stage Control que permite controlar el escenario motorizado. El mismo panel se puede abrir desde el SEM
seleccionando el elemento Stage Control.
- hacer clic en este botón desmagnetiza la columna del microscopio. La función de desmagnetización elimina el magnetismo residual de la columna y, por lo tanto,
asegura que el aumento y la distancia de trabajo mostrados sean correctos y calibrados
- haga clic en este botón para cambiar a la interfaz del software EasySEM.
- hacer clic en este botón abre la ventana de diálogo Medición que permite medir las propiedades básicas de los objetos en una imagen. El mismo diálogo
La ventana se puede abrir desde el menú Herramientas seleccionando el elemento Medición.
- haga clic en este botón para abrir la ventana Vista de cámara.
Almohadilla
Este panel está destinado a la configuración de los parámetros de la función activa.
La función activa se puede seleccionar mediante el menú desplegable. La función activa tiene uno o dos parámetros que se muestran en los campos
bajo el nombre de la función junto con sus unidades. Los parámetros se pueden cambiar con el trackball. Al girar el trackball a la izquierda y a la derecha
direcciones usuario puede cambiar el primer parámetro. Girando el trackball hacia arriba y hacia abajo, el usuario puede cambiar el segundo parámetro. La fuerza del cambio
(sensibilidad de la función) se configura con las flechas debajo del primer parámetro.
Los parámetros también pueden modificarse mediante un comando directo del valor en el campo de edición y confirmarse con la tecla ENTER o el botón OK. Puede usar los botones con
flechas para cambiar los parámetros paso a paso.
RESET - establece el valor de la función activa hasta el valor predeterminado.
DESHACER: vuelve el valor de la función activa al valor anterior.
Sugerencia: al presionar las teclas de función F11 y F12 , se puede bloquear una de las direcciones X e Y del trackball. De modo que puede configurar exactamente un parámetro del
procedimiento sin cambiar el otro.
Panel de información
Este panel muestra todos los parámetros importantes del microscopio y, al mismo tiempo, permite una configuración rápida de todas las funciones más utilizadas. El
cuadro de diálogo está diseñado para que ocupe la menor superficie posible de la pantalla y esté a disposición del usuario en todo momento.
El botón continuo detiene o inicia el escaneo.
Un solo botón inicia el escaneo de un solo cuadro y luego detiene el escaneo.
El botón Adquirir inicia el proceso de adquisición: se abrirá una nueva ventana de escaneo, la imagen se leerá y se guardará en el disco duro de la computadora.
En el campo debajo de los botones Escanear y Adquirir es posible ver la información sobre los procedimientos reales.
Las etiquetas de texto individuales funcionan como botones. Un clic en el texto establece el parámetro como la función activa (ver la tabla).
La siguiente tabla resume las funciones del botón izquierdo del mouse y los botones en el panel descrito.
Nombre Sentido
Modo de escaneo Abre el cuadro de lista para seleccionar el modo de visualización.
Ampliación de Establece el valor de Alto Voltaje como la función activa.
alto voltaje Establece la ampliación como la función activa.
Ver campo Establece el campo Ver como la función activa.
Velocidad de escaneo Establece la velocidad de escaneo como la función activa.

WD Establece la Distancia de trabajo como la función activa.
Profundidad de enfoque El rango estimado de la Distancia de trabajo en el que la superficie de la muestra está enfocada.
Estigmatizadores Establece la corrección astigmática (Stigmators) como la función activa.
Cambio Establece el Cambio de imagen como la función activa.

Rotación Establece la rotación de la imagen (Rotación) como la función activa.
Intensidad del haz Establece la Intensidad del haz como la función activa.
Absorber corriente Muestra la corriente de electrones absorbida por la muestra.
Tamaño del punto Muestra el tamaño del haz incidente de muestra
Nota: si la Distancia de trabajo está activada, su valor aparece no solo en el Panel de información, sino también (junto con un Desenfoque) en el panel Pad.
El Desenfoque muestra la diferencia de WD entre el punto enfocado y un punto de referencia. El punto de referencia se establece centrándose en él y haciendo clic en el
botón Restablecer en el panel Pad. Por ejemplo, si el haz se enfoca en la parte inferior de la estructura de muestra, el desenfoque se restablece a 0,000 mm y luego se
enfoca la parte superior de la estructura, el desenfoque es igual a la diferencia de WD entre la parte inferior y la parte superior de la estructura. Se puede utilizar para una
estimación aproximada de la altura de la estructura.
Temas relacionados: Pad.
Detectores y Mezclador
El panel Detectores y mezclador controla los detectores que solían recopilar los datos de imagen en la ventana de exploración SEM activa. El aspecto del panel depende del
número de detectores instalados en el microscopio.
Instalación de un solo detector

Si solo hay un detector instalado en el microscopio, el nombre del detector se muestra en el campo izquierdo.
El botón muestra los parámetros reales de Contraste y Brillo en porcentaje. Un clic en este botón selecciona la función de contraste y brillo para el
Almohadilla. Luego puede usar el Trackball para ajustar la señal manualmente.
Para iniciar el procedimiento automático de Contraste y Brillo , haga clic en el icono en la barra de herramientas.
Instalación con múltiples detectores
En los microscopios equipados con más de un detector, los paneles Detectores y mezcladores permiten al usuario seleccionar el detector desde el que se muestra la señal en la ventana de
exploración. También es posible configurar el modo mezclador y mezclar la señal de los detectores. En el modo de pantalla dividida, la señal de los detectores seleccionados se adquiere
simultáneamente y los componentes se muestran uno al lado del otro.
Para configurar los detectores, seleccione el modo de mezcla en la parte superior del cuadro de diálogo:
A - solo se utiliza un detector

A+B - señal de mezcla de dos detectores junto con un peso seleccionable
AB - resta la señal B de la señal A con un peso seleccionable
A|B, A|B|C|D: visualización de la señal de los detectores uno al lado del otro (adquisición simultánea)
Usando los cuadros de selección, elija el detector apropiado para cada canal. Los botones debajo del Canal A y B muestran los parámetros reales de Contraste y Brillo en porcentaje.
Haga clic en uno de estos botones para seleccionar la función de Contraste y Brillo que aparecerá en el Pad. Luego, puede usar el trackball para ajustar la señal.
Para iniciar el procedimiento automático de Contraste y Brillo , haga clic en el icono en la barra de herramientas.
Usando el control deslizante en la parte inferior del panel, seleccione la proporción del peso de mezcla de la señal.
Temas relacionados: Histograma.
Rayo de electrones
El panel de haz de electrones controla el calentamiento del filamento y los suministros de alto voltaje.
Control de suministro de alta tensión
El campo HV muestra el valor de alto voltaje medido. El valor también se muestra gráficamente.
El campo Live Time muestra el tiempo de trabajo total del filamento.
El botón HV enciende y apaga el suministro de alto voltaje. Si no se ha alcanzado suficiente vacío en la cámara, este botón se bloquea. Los valores de alto voltaje preestablecidos se pueden elegir
en el menú desplegable, debajo del botón HV. Estos valores pueden ser preestablecidos por medio del ítem Pad - Alto Voltaje .
La configuración de todos los elementos de centrado del microscopio se guarda para cada valor de alto voltaje preestablecido. El usuario puede cambiar entre 4 valores de voltaje de aceleración
muy fácilmente. Los ajustes del microscopio relacionados se activan automáticamente.
Control de emisión (calentamiento de filamento)
El campo Emisión muestra la corriente medida emitida por el filamento. El valor también se muestra gráficamente.
El campo Calentamiento muestra el tamaño relativo de la corriente de calentamiento del filamento en porcentaje.
El botón Heat inicia o detiene el calentamiento del filamento de tungsteno.
En el caso de microscopios equipados con LaB6, el botón Calor cambia el calentamiento del filamento LaB6 entre las condiciones de funcionamiento y los dos tercios del poder calorífico
habitual. Si se inserta un filamento de tungsteno en el VEGA3 SEM con la opción LaB6, el botón Heat inicia y detiene el calentamiento del filamento por completo.
Los botones de flecha están diseñados para ajustar manualmente la corriente de calentamiento del filamento. Haga clic en el botón de flecha izquierda para reducir la corriente de calefacción. Véase
también Intercambio de filamentos.
Cuando se cierra el software VegaTC, el calentamiento del filamento se apaga automáticamente. Cuando se inicia el programa, el calentamiento del filamento se enciende automáticamente
de nuevo. Entonces, el programa ayuda a ahorrar el filamento cuando el microscopio no está en uso.
Ajustamiento
El botón Ajuste abre un menú contextual:
La función Calentamiento automático de pistola inicia el procedimiento de ajuste automático de la corriente de calentamiento del filamento. Se aumenta gradualmente hasta alcanzar la
saturación de la corriente de emisión. Luego se realiza el centrado automático de la pistola y el ajuste automático de brillo y contraste.
Centrado automático de pistola, centrado automático de columna, centrado manual de columna: consulte Centrado de óptica electrónica para obtener más información.
Panel de vacío
El panel de vacío controla el sistema de vacío del microscopio.
Presión de la pistola (VEGA3 SEM con opción LaB6): el valor medido de la presión en la pistola. El valor también se interpreta gráficamente.
Presión de columna: el valor medido de la presión en la columna. El valor también se interpreta gráficamente.
Si la presión es demasiado alta para activar el alto voltaje, el gráfico de barras es rojo. Una vez que la presión es satisfactoria para encender el haz, la barra se vuelve verde.
El botón STANDBY inicializa el microscopio. Consulte el capítulo Apagar el microscopio.
El botón VENT ventila el microscopio.
El botón PUMP inicia el procedimiento de bombeo. Por lo general, toma alrededor de 3 minutos preparar el vacío, estado que significa que el microscopio está listo para usar.
Estado de los sistemas de vacío
El estado actual del sistema de vacío se muestra en la parte inferior del panel.
La siguiente tabla muestra el significado de los mensajes:
Estado Sentido
Listo para aspirar. La cámara se bombea hasta el vacío suficiente. Es posible encender el alto voltaje y el calentamiento del filamento.
¡¡¡ERROR!!! Ver 'Estado de salud'

Ocurrió un error en el sistema de vacío. Para obtener más información, consulte el capítulo Estado de salud.
panel.
La aspiradora automática está en el modo de espera. Las bombas rotatoria y turbomolecular se apagan. Las válvulas están ajustadas para evitar que el sistema se
Aspirar.
ventilado
Bombeo. La cámara se bombea hacia abajo.
Desfogue. La cámara está ventilada.
Venteo terminado. La cámara está ventilada y abierta.
Esperando RTP. El automático de vacío está esperando la temperatura de la bomba rotativa y se está ejecutando.
Calibración DV. La calibración del modo de vacío bajo está en curso.
¡LVSTD aún no está listo! El LVSTD está en estado de bombeo.
Abra la válvula UniVac. Abra la válvula manual que divide la cámara de muestra y la línea de bombeo para cambiar al modo de alto vacío.
Cierre la válvula UniVac. Cierre la válvula manual que divide la cámara de muestra y la línea de bombeo para cambiar al modo de vacío medio o bajo.
¡A pilas! El sistema se alimenta de la batería del SAI.
¡Baterías bajas! El sistema se alimenta de la batería del SAI. La batería está baja.
¡Modo de espera! La electrónica del microscopio está apagada.
Unidades de presión
Es posible elegir la unidad de presión en el cuadro de diálogo Preferencias.
Temas relacionados: Modos de vacío.
Panel de modo de vacío bajo

El panel del modo de bajo vacío controla el vacío en la cámara del microscopio.
Presión de la cámara: el valor medido de la presión en la cámara. El valor también se interpreta gráficamente.
El botón LVSTD enciende el detector LVSTD. El botón está presente si el detector LVSTD está conectado a la cámara.
El botón UniVac cambia el microscopio al modo de vacío medio (rango de presión de 1 a 150 Pa) o al modo de vacío bajo (rango de presión de 150 a 2000 Pa). Introduzca el valor de presión
solicitado en el campo junto al botón UniVac y haga clic en el botón Aceptar.
El botón de vapor de agua enciende el sistema de entrada de vapor de agua. El botón está presente si está instalado el sistema de entrada de vapor de agua.
El botón LVSTD enciende el detector LVSTD. El botón está presente si el detector LVSTD está conectado a la cámara.
El botón UniVac cambia el microscopio al modo de vacío bajo (rango de presión 1 - 500 Pa). Introduzca el valor de presión solicitado en el campo junto al botón UniVac y haga clic en el botón
Aceptar.
El botón de vapor de agua enciende el sistema de entrada de vapor de agua. El botón está presente si está instalado el sistema de entrada de vapor de agua.
Nota: Los microscopios con la opción LaB6 solo pueden funcionar en un modo de alto vacío (< 0,009 Pa) o un modo de bajo vacío (3 - 500, opcionalmente 3 - 2000 Pa) y se debe insertar un
soporte de apertura de bajo vacío en el objetivo antes se utiliza el modo de vacío bajo. Las instrucciones para la inserción de la abertura de bajo vacío se encuentran en el capítulo Inserción
del soporte de la abertura de bajo vacío - LaB6.
Enfriamiento de escenario
Este panel controla la etapa de enfriamiento y calentamiento Peltier.
Los modos de funcionamiento de la etapa refrigerada:
Enfriamiento: si el usuario ingresa una temperatura inferior a la temperatura real medida, la etapa se enfría a la temperatura ingresada con la máxima velocidad de enfriamiento posible.
Regulación: si la temperatura ingresada por el usuario está cerca de la temperatura medida, la etapa ingresa al modo de regulación, que mantendrá la temperatura de la etapa en el punto de
ajuste de temperatura ingresado por el usuario.
Calentamiento: si el usuario ingresa una temperatura superior a la temperatura medida, la etapa comienza a calentarse hasta la temperatura ingresada, donde la etapa ingresa nuevamente al
modo de regulación.
Al ingresar la temperatura requerida y presionar el botón Etapa de enfriamiento, la etapa de enfriamiento entrará en uno de los modos de operación anteriores. Pulsando de nuevo el botón
Cool stage, se apagará la refrigeración (calefacción) de la etapa. Es posible durante la refrigeración o la calefacción cambiar el punto de ajuste de la temperatura introduciendo directamente
un nuevo valor y confirmando con el botón OK o la tecla Enter.
Manipulación con la etapa de enfriamiento y calentamiento Peltier
Mover la platina SEM con la platina Peltier
El control del movimiento del escenario en la cámara SEM es el mismo que el habitual, excepto que la rotación está desactivada. Tenga cuidado al mover el escenario con el escenario Peltier
adjunto. Es posible calibrar la platina.
Refrigeración de muestras: instrucciones básicas para el funcionamiento
Inserte la muestra en el portamuestras Peltier y asegúrelo con un tornillo. Bombea el microscopio. Ingrese la temperatura requerida en el panel de la etapa de enfriamiento y confírmela con el
botón OK. El microscopio comienza a enfriarse automáticamente (el tiempo de enfriamiento depende de la masa de la muestra) hasta que alcanza la temperatura requerida. Luego se cambia al
modo de regulación para mantener la temperatura requerida. Antes de ventilar la cámara, es necesario calentar la etapa Peltier a 5 °C.
Uso con sistema de entrada de vapor de agua
El sistema de entrada de vapor de agua permite la investigación de muestras en un entorno de vapor de agua en un rango de presión de 3 Pa a 500 Pa (en el caso de VEGA hasta 2000 Pa si el
microscopio está equipado con una bomba rotativa adicional). El modo de vapor de agua se puede utilizar junto con la etapa Peltier, pero el rango de temperatura es limitado. No se recomienda
ajustar la temperatura de la etapa Peltier por debajo de -30 °C.
Al comenzar, es mejor configurar primero la presión de vapor de agua y luego encender el enfriamiento. Si la temperatura de la platina es inferior a 0 °C, se forma un depósito de escarcha en
el portamuestras y en el área circundante de la platina. Esto no afecta la observación de la muestra; a menos que la presión del vapor de agua sea demasiado alta en relación con la temperatura.
No abandone el modo de vacío bajo (medio) cuando finalice la medición o aumente la temperatura de la platina por encima de 0 °C. Disminuya la presión del vapor de agua (al menos por
debajo de 150 Pa, pero se recomienda menos de 50 Pa) o apague el modo de vapor de agua al principio, luego apague el enfriamiento para descongelar el portamuestras y espere hasta que no
se vea escarcha en él (utilice Extensiones ÿ vista de cámara para observación), después de eso es posible salir finalmente del modo UniVac. También es posible ventilar el microscopio (botón
VENT) para descongelar la platina.
La violación de las recomendaciones mencionadas anteriormente puede causar una fuerte congelación o condensación de agua que provoque una falla en el enfriamiento o la regulación de la presión.
Extracción de la etapa de enfriamiento y calentamiento Peltier de la cámara
La etapa Peltier limita el movimiento del manipulador y el número de posiciones de muestra (la rotación de la etapa se elimina mientras se conecta la etapa de enfriamiento).
Si desea aprovechar la capacidad completa del manipulador, desmonte la etapa Peltier y desconéctela del conector de medición de corriente absorbida.
Cámara XM, GM: la platina Peltier se puede colocar en la esquina trasera de la cámara XM o GM
Cámara LM: Desenchufe los conectores del circuito de refrigerante fuera de la cámara y retire la etapa Peltier por completo de la cámara utilizando el orden inverso de los pasos que se usaron
para instalar la etapa Peltier en la cámara (consulte el capítulo Instalación de la etapa de enfriamiento y calentamiento Peltier).
Vuelva a instalar la rotación de la etapa en el manipulador (no olvide enchufar el conector del medidor pA). Habilite la rotación en el software de control del microscopio (usuario con derechos
de experto, elemento de configuración del menú Configuración de escenario) y calibre la platina (desde el panel de control de platina).
Las mangueras del circuito de refrigerante contienen conectores de cierre automático, por lo que incluso el circuito desenchufado permanece libre de aire (los microscopios nuevos se
entregan sin líquido refrigerante en el circuito para evitar daños durante el transporte al sitio del cliente).
Temas relacionados: Instalación de la Etapa de Enfriamiento y Calentamiento Peltier
control de escenario
Todas las familias de microscopios están equipadas con platinas motorizadas.
Solo el tipo SB tiene el eje Z manual y la inclinación.
Para que aparezca el panel Stage Control , abra el menú SEM y seleccione el elemento Stage Control
o haga clic en el botón en el panel de la barra de herramientas principal.
Panel de control de escenario
Si el botón Calibrar parpadea, es necesario presionar el botón y así realizar la calibración automática de la etapa motorizada. Una vez finalizada con éxito la calibración, la etapa de muestra irá a la
posición de inicio (la misma posición que la posición de la etapa después de presionar el botón Inicio).
Detener: este botón detiene inmediatamente cualquier movimiento del escenario.
¡ADVERTENCIA! El usuario debe tener en cuenta la posición y el tamaño de las muestras en la platina de muestra. Las muestras grandes e incorrectamente colocadas pueden golpear el costado de la
cámara, el objetivo o los detectores, lo que puede dañar el microscopio. Si esta situación es inminente, puede usar el botón Detener para detener la etapa de muestra inmediatamente.
Usar coordenadas UV / Definir UV: activa el sistema de coordenadas relativas definidas por el usuario, es decir, desde las coordenadas XY a las UV.
Entrar en la posición del escenario
Es posible ingresar la posición de la etapa de la muestra escribiendo las coordenadas en el cuadro de diálogo y presionando la tecla Enter o el botón OK . Además, hay 7 posiciones predefinidas en el
escenario de la muestra. Las posiciones de la muestra 1 a 7 corresponden a las posiciones en el escenario de la muestra, que están marcadas con números. El usuario puede encontrar el espécimen
deseado rápidamente haciendo clic en los números en el escenario de la muestra. Si el escenario de la muestra está en una determinada posición predefinida, el botón relacionado en el diseño del
escenario es verde. La posición 7 corresponde al centro del escenario.
Memoria: es posible almacenar la posición real mediante el botón Memoria y la letra de memoria A a J. Solo se recupera la posición almacenada si presiona la letra de memoria.
Cambio relativo: los botones con la flecha están destinados al movimiento relativo. Si mantiene presionado el botón, la plataforma de muestra se mueve en la posición deseada.
La velocidad del movimiento está relacionada con el aumento real.
Al hacer clic con el botón derecho del mouse en el botón con la flecha, la etapa de muestra se moverá un campo de visión
Ingresar ++ o - - y el número en el cuadro de diálogo (es decir, ++3.5) provoca un movimiento relativo por el número ingresado.
Al hacer clic con el botón central del mouse en el objeto seleccionado en las ventanas de escaneo, mueve el objeto seleccionado al centro de la ventana de escaneo.
Otras funciones
Mantener el campo de vista: si está marcado, el escenario funciona en una posición eucéntrica. Significa que durante la rotación o inclinación de la plataforma de muestra, la posición de la muestra se
compensa automáticamente de tal manera que el campo de visión permanece constante. Esta función solo funciona si la imagen está bien enfocada.
Deshacer: la etapa de muestra vuelve a la posición anterior
Inicio: la etapa de muestra va a la posición de inicio.
OK - confirmación de nueva posición. Es posible cancelar los cambios mediante la tecla Esc.
WD & Z: especifica la posición de WD. Si se cambia el valor, la platina de muestra se mueve a la nueva posición deseada y el WD se cambia de tal manera que la imagen permanece
enfocada.
Cuando el microscopio está completamente ventilado, puede utilizar las posiciones automáticas configuradas en el panel de control de platina, que está diseñado para el intercambio de
muestras. Para seleccionar la posición de la muestra, haga clic en el botón del número correspondiente en el carrusel. En este momento, el fondo del botón es rojo para indicar el modo de
intercambio de muestras.
¡ADVERTENCIA! Si la platina de la muestra se está moviendo, no toque ninguna de sus partes. El manipulador en movimiento puede causar daños a la salud.
Copa Faraday
Una copa de Faraday es una copa de metal (conductora) diseñada para atrapar partículas cargadas en el vacío. La corriente resultante se puede medir y usar para determinar la cantidad
de iones o electrones que golpean la copa. Cada etapa TESCAN está equipada con un mínimo de dos copas de Faraday. Las copas de Faraday se colocan en un carrusel TESCAN estándar
entre las posiciones 1 y 6 y entre las posiciones 3 y 4.
Para pasar a la copa de Faraday, haga clic en uno de los pequeños puntos verdes visibles en el panel de control de escenario.
Transformaciones Geométricas
El panel se utiliza para las transformaciones geométricas de la imagen en vivo. Modifica el escaneo del haz y por lo tanto permite que la imagen gire, se incline o compense la inclinación de la superficie de la
muestra, etc.
Para que aparezca el cuadro de diálogo Transformaciones geométricas , abra el menú SEM y seleccione el elemento Transformaciones geométricas
Cuadro de diálogo Transformaciones geométricas
Al hacer clic en el botón con el nombre de un parámetro, desactiva ese parámetro en el Pad.
1)
Rotación: gira la imagen, un número positivo gira la imagen en sentido contrario a las agujas del reloj y un número negativo en el sentido de las agujas del reloj.
Corrección de inclinación: estira la imagen a lo largo del eje Y. Le permite conservar la medida correcta en caso de que se incline la muestra.
Cambio de imagen: cambia la imagen. El rango del cambio es limitado y puede ser asimétrico. El desplazamiento máximo de la imagen depende de muchos parámetros, el más importante es la ampliación. El
desplazamiento de la imagen es más pequeño para un aumento más bajo. La asimetría es causada por el centrado del sistema óptico.
Haz 3D: permite que el haz de electrones incidente se incline ligeramente. El ángulo de inclinación máximo depende de la configuración del microscopio. Si desea alcanzar ángulos elevados, es necesario establecer una
distancia de trabajo corta.
Enfoque dinámico: le permite compensar el desenfoque de la imagen que puede aparecer en el costado de la muestra inclinada debido a la baja profundidad de enfoque. Esta compensación es útil en aumentos bajos y
para valores de inclinación altos. Es mejor usar una velocidad de escaneo más baja, porque a velocidades de escaneo altas, la lente del objetivo no puede reaccionar lo suficientemente rápido.
Modo de corrección de inclinación
Ajuste manual : permite al usuario configurar manualmente la corrección de inclinación o el enfoque dinámico.
Siga la superficie de la muestra : permita que el sistema ajuste el enfoque dinámico y la corrección de inclinación de acuerdo con la inclinación del escenario.
Siga la sección transversal : el sistema resta 90 grados del valor real de la inclinación del escenario para ajustar el enfoque dinámico y la corrección de la inclinación (por ejemplo, para la medición correcta en
la sección transversal preparada por FIB)
Restablecer: restablece el valor del parámetro especificado a 0.
Restablecer todo: restablece todas las transformaciones a 0.
1)
si gira la imagen, el movimiento de la platina X e Y dejará de ser válido, porque el movimiento de la platina de muestra es independiente de la rotación de la imagen.
Análisis y Medición
El Análisis y Medición permite el análisis y la medición en la imagen en vivo. Para que aparezca el cuadro de diálogo Análisis y medición , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Análisis y medición
Diálogo de análisis y medición

Hay dos modos de análisis:
Análisis de línea: el haz escanea una o varias veces sobre una línea definida. La línea se divide en un número específico de puntos de manera equidistante. La señal del detector en cada punto se muestra en
el gráfico.
Análisis de puntos: el haz permanece en un punto y la señal del detector se mide repetidamente en un período de tiempo específico. El comportamiento temporal de la señal se muestra en el gráfico de tiempo.
Configuración del escaneo y la medición

Haga clic en el botón Nuevo punto/línea y dibuje una línea o haga clic en un punto en la ventana de escaneo SEM usando el botón izquierdo del mouse. Establezca los parámetros de análisis:
Tiempo de permanencia: el tiempo para la integración de un punto en milisegundos.
Total: el tiempo de duración total estimado de una medición.
Número de muestras: la cantidad de puntos de abscisas.
Perfil: el nombre del perfil de calibración seleccionado. Transforma las unidades de intensidad a otras unidades, por ejemplo mV.
El análisis se inicia mediante los botones con flechas. El primer botón inicia un solo análisis, el segundo inicia
análisis repetido. Al hacer clic de nuevo en el botón para repetir el análisis, se detiene el análisis repetido. Durante el análisis de línea, el haz se desplaza según
al tiempo preestablecido (Dwell Time), a lo largo de la línea definida. La línea se divide en un número preestablecido de puntos (Recuento). El nivel de la señal del detector activo
aparece en el diagrama. Esto depende del movimiento del haz sobre la muestra.
En el caso del análisis de puntos, el haz no se mueve durante la medición. Se queda en el punto que está marcado con una cruz en la imagen y el diagrama muestra el desarrollo de
la señal en función del tiempo. El número de puntos (Count) muestra el número de ejemplares capturados. El artículo Tiempo de permanencia
muestra el tiempo de integración de la señal para una muestra.
Gráficos y resultados de medición

La parte principal del cuadro de diálogo es la ventana del gráfico que muestra el perfil de brillo de la abscisa. La medida actual se muestra en negro, la
anterior en gris. Puede cambiar el zoom del gráfico con la rueda del ratón.
Es posible colocar tres cursores en el gráfico: izquierdo, derecho y auxiliar. Los cursores izquierdo y derecho están ubicados en el extremo izquierdo y derecho del gráfico. Puede
moverlos con el botón izquierdo del ratón. Puede colocar el tercer cursor auxiliar en el gráfico haciendo doble clic con el botón izquierdo del ratón. También es posible controlar el
gráfico y los cursores desde el menú emergente haciendo clic con el botón derecho del ratón en el gráfico. Es posible medir los siguientes valores a partir del gráfico:
x1, x2, Ptr - posición de los cursores en el gráfico
y1, y2, yp - la intensidad de los cursores
Longitud - la longitud de la abscisa en las unidades de longitud
|x2-x1| - la longitud del cursor izquierdo y derecho en las unidades de longitud
Período: el período que se encuentra en los datos de la imagen
Media - valores medios de los datos entre el cursor izquierdo y derecho
MeanDev: desviación media de los datos entre el cursor izquierdo y derecho
Min, Max: valores mínimos y máximos de datos entre el cursor izquierdo y derecho
Puede guardar todos los datos medidos con el botón Guardar datos en el archivo.
Temas relacionados: Medición.
Histograma
El Histograma es una herramienta de software que permite mostrar el histograma de la ventana activa. Para abrir el cuadro de diálogo Histograma , abra el menú Herramientas y seleccione
Elemento de histograma.
La ventana puede ser una ventana de escaneo SEM o FIB o una ventana de documento estático. La saturación de blanco y negro se resalta con un color rojo.
Si la ventana activa es una de las ventanas de escaneo SEM, es posible cambiar la tabla de búsqueda para el subsistema de haz de electrones. Si la ventana activa son las ventanas de
escaneo FIB, es posible cambiar la tabla de búsqueda para el subsistema de haz de iones.
Las tres flechas de control ubicadas debajo del gráfico están diseñadas para controlar la tabla de consulta:
Flecha negra: nivel negro de la tabla de consulta
Flecha blanca: nivel blanco de la tabla de consulta
Flecha gris - corrección gamma
Los valores reales de los niveles de blanco y negro y la corrección gamma se muestran en la parte inferior del panel.
Haga clic con el botón derecho en el histograma para abrir el menú contextual:
Restablecer tabla de búsqueda: restablece los valores reales a cero.
Almacenar en memoria y Borrar memoria: es posible almacenar el histograma actual en una memoria. El gráfico de la memoria se muestra en el fondo.
Con esta función, puede comparar fácilmente el histograma de dos imágenes.
Video en vivo
El módulo de extensión Live Video permite que el usuario procese la imagen capturada por medio de una cámara de video u otro dispositivo que sea capaz de obtener una imagen y esté
conectado a la PC. El módulo utiliza la tecnología Microsoft DirectX, la cual debe instalarse correctamente y debe ser al menos la versión 8.0.
Si el módulo está correctamente instalado, el elemento Live Video aparece en el menú Herramientas. Al elegir este elemento del menú, se abrirá la barra de herramientas de video en vivo
con todos los elementos de control. Aparece el mensaje de advertencia No se detectó ningún dispositivo de captura de video en caso de que la cámara no esté instalada correctamente.
Barra de herramientas de video en vivo
La función de los botones es la siguiente:
Configuración: abre el cuadro de diálogo de configuración para el cambio de configuración del módulo. El cuadro de diálogo contiene un cuadro de lista denominado Dispositivo para la selección de un dispositivo de entrada.
La descripción del resto de elementos se menciona en el apartado Configuración.
Imagen en vivo: este botón inicia y detiene la adquisición de la imagen en vivo desde el dispositivo conectado. La imagen se muestra en la ventana Imagen en vivo, que se abre automáticamente
cuando comienza la adquisición. Al hacer clic con el botón derecho del mouse en la ventana, el usuario abre el menú contextual de las funciones disponibles.
Imagen fija: captura la imagen del dispositivo y la muestra en la nueva ventana. La imagen en esta nueva ventana se vuelve fija. Si la escena no contiene objetos en movimiento, es posible mejorar
la imagen capturada resultante promediando varias imágenes (ver la sección Configuración para más detalles).
Guardar secuencia: esta función puede guardar la secuencia de imágenes en el archivo en formato AVI. Puede utilizar esta función para guardar procesos de transición. Presione el botón para
guardar la secuencia en el panel, ingrese el destino del archivo resultante y confírmelo con el botón Guardar. El siguiente cuadro de diálogo simple permite al usuario ingresar el comentario de texto que
se guardará junto con las imágenes. Si se selecciona la compresión de video, se muestra el cuadro de diálogo para la selección de compresión. El botón OK inicia el guardado de la secuencia.
Calibración: este botón abre el cuadro de diálogo para seleccionar un perfil de calibración. La calibración puede establecer relaciones entre los tamaños reales y los tamaños en la imagen. Los
perfiles de calibración se pueden utilizar en caso de que el usuario quiera medir tamaños reales en la imagen. Puede encontrar una descripción detallada de esta función en la sección Perfiles de
calibración.
Configuración de entrada: si el dispositivo conectado contiene más entradas, este botón abre la ventana de diálogo para la selección de entrada.
Configuración
Se puede abrir una ventana de diálogo para la configuración del módulo de video en vivo con el botón Configurar en la caja de herramientas de video en vivo. El cuadro de diálogo permite al usuario seleccionar
el dispositivo de entrada y cambiar su configuración.
El diálogo de configuración contiene los siguientes elementos de control:
El cuadro de lista Dispositivo selecciona el dispositivo de entrada conectado.
Los botones Camera a Stream abren cuadros de diálogo adicionales para configuraciones adicionales de dispositivos seleccionados: resolución, brillo, contraste, cromo, balance de color, etc.
Las posibilidades y disponibilidad de los diferentes controles dependen de la capacidad del dispositivo conectado.
El botón Configuración de AVI abre la ventana de configuración donde el usuario puede establecer las propiedades del archivo AVI. La cantidad total deseada de imágenes de la secuencia AVI se encuentra
en el campo Recuento de fotogramas, el cuadro de edición Retraso de fotogramas es el retraso entre los fotogramas (imágenes) en segundos. Si desea guardar la secuencia en formato comprimido,
marque la casilla Compresión (el cuadro de diálogo para la configuración de compresión se muestra antes del comienzo de la adquisición de la secuencia). El uso de la compresión puede disminuir
significativamente el tamaño del archivo resultante pero al precio de la disminución de la calidad de los datos de la imagen. Si desea insertar la marca de tiempo en los marcos, marque la opción
Información de tiempo.
El botón Opciones de captura abre el cuadro de diálogo para la configuración de la función de captura de imágenes estáticas desde el dispositivo. El promedio de imágenes es útil cuando la imagen de la cámara
contiene mucho ruido y la escena no contiene objetos en movimiento. El promedio de imágenes se puede activar mediante la opción Promedio de fotogramas e ingresando la cantidad de imágenes que se usarán para
el promedio.
Perfiles de calibración
Los perfiles de calibración establecen la relación entre las dimensiones reales y las dimensiones de la imagen en la pantalla. Es útil cuando el usuario necesita medir dimensiones en la imagen. El botón Calibración
en el panel del módulo Video en vivo abre el diálogo para la selección del perfil y su configuración. El perfil seleccionado se utilizará para la medición de dimensiones en la ventana estática y en vivo adquirida desde
el dispositivo conectado. La configuración se guarda en el encabezado de la imagen para que la calibración esté disponible para trabajar más tarde con la imagen.
El cuadro de diálogo para la configuración de la calibración contiene los siguientes elementos de control:
Dispositivo: selecciona el perfil utilizado actualmente.
Agregar: abre la ventana de diálogo Calibrar , que se utiliza para la definición del nuevo perfil. La confirmación con el botón OK crea un nuevo elemento en la lista de
perfiles.
Editar: abre la ventana de diálogo Calibrar para configurar el perfil actual. El cuadro de diálogo es el mismo que para el botón Agregar.
Eliminar elimina el elemento real de la lista de perfiles.
La ventana de diálogo Calibrar permite al usuario ingresar los parámetros para el nuevo perfil o cambiar los parámetros del perfil actual. Introduzca el nombre del perfil de calibración en el campo de edición Dispositivo.
Haga clic en el botón Calibrar en la ventana con la imagen, seleccione el objeto con dimensiones conocidas. Dibuje la línea con el botón izquierdo del mouse sobre la dimensión del objeto conocido. En el cuadro de
diálogo Calibrar, ingrese la dimensión real del objeto marcado y seleccione la unidad de longitud. Opcionalmente, puede ingresar la ampliación en el campo Ampliación . El valor se guardará en el encabezado, pero no
se utiliza para los cálculos.
La configuración de calibración se puede tomar fácilmente de otra imagen calibrada. Abra el cuadro de diálogo Calibrar y seleccione la imagen que ya está calibrada y en el cuadro de diálogo Calibrar. Pulse el botón
Copiar calibración. El programa completa la dimensión automáticamente y la ampliación en los campos de edición de acuerdo con
la imagen calibrada seleccionada.
Medición
La Medición es una herramienta de software destinada a medir las propiedades básicas de los objetos en una imagen. El módulo también puede insertar descripciones, marcadores, flechas auxiliares y establecer una
cuadrícula sobre la imagen. Los resultados de la medición se pueden guardar en un archivo que se puede abrir con un procesador de texto o de hoja de cálculo.
Para que aparezca el cuadro de diálogo Medición , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Medición
Barra de herramientas de medición
Las funciones de los botones de la barra de herramientas son las siguientes:
Editar objetos: esto establece el módulo de medición en el modo de edición. Los objetos de la imagen se pueden cambiar de tamaño, mover, editar, etc. El actual
el objeto seleccionado para editar muestra sus puntos de agarre a lo largo del perímetro del objeto. Usa esos puntos de agarre para agarrar el objeto. Se utilizan diferentes puntos de agarre para hacer
diferentes ediciones de objetos.
Medición de distancia: esto inserta un objeto para la medición de distancia. Para insertar el objeto, dibuje la primera línea con el botón izquierdo (haga clic en el botón izquierdo
para dibujar y luego suelte el botón al final del dibujo), luego aparece la segunda línea paralela. Coloque la línea paralela en la imagen en el lugar deseado con un solo clic del botón
izquierdo. La distancia medida es la distancia ortogonal de esas dos líneas paralelas.
Medición de ángulos: esto inserta un objeto para la medición de ángulos. Para insertar el objeto, dibuje la primera línea (haga clic en el botón izquierdo, dibuje y suelte el botón),
dibuje la segunda línea de la misma manera. El ángulo medido es el ángulo entre esas dos líneas, el ángulo medido se muestra mediante una línea circular discontinua. Es posible cambiar
el cuadrante medido arrastrando el punto de agarre en forma de rombo en la línea circular discontinua.
Insertar punto: esto inserta un objeto para medir en el punto. El objeto se inserta con un solo clic del botón izquierdo.
Medición de longitud: esto inserta un objeto para la medición de longitud. Para insertar el objeto, haga clic en el botón izquierdo, dibuje la línea y suelte el botón.
Insertar cuadrado: esto inserta un objeto cuadrado. Para insertar un cuadrado, haga clic izquierdo en la posición donde debería estar la primera esquina y mueva el cursor a donde
debería estar la esquina opuesta. Luego suelte el botón. Nota: un objeto cuadrado tiene cuatro puntos de agarre en cada esquina y un quinto (circular
forma) que gira el objeto.
Insertar rectángulo: esto inserta un rectángulo. Para insertar un rectángulo, haga clic izquierdo en la posición donde debería estar la primera esquina y mueva el cursor a donde
debería estar la esquina opuesta. Luego suelte el botón. Nota: un objeto rectangular tiene cuatro puntos de agarre en cada esquina y un quinto (forma circular) que gira el objeto.
Insertar el círculo definido por dos puntos: esto inserta un círculo definido por dos puntos, un centro de círculo y su radio. Para insertar el objeto, haga clic con el botón izquierdo
del mouse, mueva el mouse la longitud equivalente al radio del círculo y suelte el botón.
Insertar el círculo definido por tres puntos: esto inserta un círculo definido por tres puntos que se encuentran en el perímetro del círculo. Para insertar el objeto, coloque
tres puntos mediante tres clics izquierdos del ratón.
Insertar elipse: esto inserta un objeto de elipse. Para insertar la elipse, haga clic izquierdo en el punto en el que desea iniciar la elipse. Al arrastrar el cursor del mouse, define el
tamaño y luego suelta el botón del mouse. Nota: una elipse de objeto tiene cuatro puntos de agarre que definen ambos semiejes, el quinto punto de agarre circular rota la elipse.
Insertar polilínea: esto inserta una polilínea. Para insertar la polilínea, haga clic con el botón izquierdo del mouse en el punto donde desea comenzar la polilínea y arrastre el cursor
del mouse hasta el punto donde debe terminar la primera parte de la polilínea y suelte el botón izquierdo del mouse, mueva el cursor donde la segunda parte de la polilínea debe terminar.
polilínea debe terminar y haga clic en el botón izquierdo del ratón, ... y así sucesivamente. El dibujo de la polilínea se termina haciendo doble clic izquierdo al final de la última parte de la polilínea.
Insertar polígono: inserta el polígono. Para insertar el polígono, haga clic con el botón izquierdo en el punto donde desea que comience el polígono y arrastre el cursor del mouse
hasta el punto donde debe terminar la primera parte del polígono y suelte el botón izquierdo del mouse. Mueva el cursor donde debe terminar la segunda parte de la polilínea y haga clic
con el botón izquierdo del mouse... y así sucesivamente. El dibujo del polígono se termina haciendo doble clic al final de la última parte del polígono. los
El objeto se termina automáticamente al conectar la última parte del polígono con la primera. Nota: el programa no muestra el área del polígono si alguna
de los bordes del polígono se cruzan.
Insertar paralelogramo: inserta el paralelogramo. Para insertar el paralelogramo, haga clic izquierdo en el punto donde desea colocar la primera esquina del paralelogramo, arrastre el cursor hasta el punto
donde debe colocarse la siguiente esquina y suelte el botón izquierdo del mouse. Luego mueva el cursor al lugar
donde se debe colocar el lado opuesto del paralelogramo y haga clic izquierdo. Nota: el objeto paralelogramo tiene cuatro puntos de agarre en cada esquina y un quinto (forma circular) gira el objeto.
Insertar flecha: inserta una flecha. Para insertar una flecha, haga clic izquierdo, dibuje la línea y suelte el botón.
Insertar texto: inserta texto. Para insertar texto, haga clic izquierdo en el lugar donde desea colocar el texto. El clic también abre el diálogo de propiedades del texto donde puede especificar el texto y sus
propiedades. El botón Aceptar cerrará el cuadro de diálogo de propiedades y colocará el texto en la imagen. Los botones Agregar, Eliminar en el cuadro de diálogo de propiedades de texto pueden agregar o
eliminar textos en el cuadro de lista. Esto le permite editar más fácilmente textos similares.
Inserta marcador: inserta la barra de escala. Para insertar el marcador, haga clic con el botón izquierdo, dibuje el marcador y suelte el botón.
Insertar perfil de línea: inserta la línea y muestra el perfil de línea. Para insertar el perfil de línea, haga clic izquierdo, dibuje la línea del perfil y suelte el botón.
Insertar perfil de área: inserta un área y muestra su perfil. Para insertar el perfil de línea, haga clic izquierdo, dibuje la primera línea del perfil y suelte el
botón. Luego mueva el cursor del mouse y con un clic izquierdo, coloque la segunda línea paralela del perfil del área
Eliminar objeto seleccionado: elimina los objetos seleccionados actualmente.
Mostrar/ocultar la configuración de la cuadrícula: abre o cierra el cuadro de diálogo de opciones de la cuadrícula.
Mostrar/ocultar configuración de medición: abre o cierra el cuadro de diálogo de configuración de medición.
Mostrar/ocultar tabla de objetos: abre o cierra el área extendida del módulo de medición para mostrar la tabla de objetos.
Tabla de objetos y estadísticas
Esta tabla se encuentra en el área extendida del módulo de Medición. El contenido de la tabla se formatea automáticamente de acuerdo con los parámetros y objetos seleccionados.
La parte superior de la tabla contiene dos campos de selección. El primero selecciona el tipo de información presentada en la tabla:
Mostrar objetos: la tabla se llena con objetos medidos.
Mostrar estadísticas: la tabla está llena de estadísticas.
El segundo campo puede filtrar ciertos grupos de objetos.
El contenido de la tabla se puede guardar con el botón Guardar tabla Guardar tabla .
Opciones de cuadrícula
El cuadro de diálogo Opciones de cuadrícula permite al usuario mostrar y ocultar un marco de coordenadas (cuadrícula) y cambiar sus parámetros. El cuadro de diálogo se puede abrir desde la barra de herramientas
Medición.
Un conjunto de botones en la parte superior del cuadro de diálogo está designado para la selección del tipo de cuadrícula, el primer botón de la izquierda apaga la cuadrícula. El resto de los elementos de control
pueden establecer los parámetros de la cuadrícula mostrada actual, la funcionalidad exacta y los parámetros mostrados dependen del tipo de cuadrícula seleccionado.
Cómo mostrar una cuadrícula ortogonal

Seleccione el elemento Medición en el menú Herramientas . Esto abre la barra de herramientas Medición.
Haga clic en el botón para abrir el cuadro de diálogo Opciones de cuadrícula .
En el cuadro de diálogo Opciones de cuadrícula, presione el botón que muestra el tipo de cuadrícula requerido:
Líneas verticales Líneas verticales y horizontales
Lineas horizontales Cuadrícula de puntos ortogonales
Puede cambiar la posición de origen de la cuadrícula en la sección Origen. Los valores X=0 e Y=0 son equivalentes al centro de la imagen. El botón Restablecer restablece los valores reales a cero.
La sección Rotación establece la rotación de la cuadrícula con respecto a la imagen. El botón Reset pone a cero el valor.
La última sección Espaciado establece el espaciado de la cuadrícula. Los valores X respectivos Y establecen el espaciado de las líneas verticales y horizontales.
Cómo mostrar una cuadrícula polar
En el cuadro de diálogo Opciones de cuadrícula, presione el botón que mostrará el tipo de cuadrícula requerido:
Rejilla radial
Rejillas radiales y axiales
rejilla axial
Cuadrícula de puntos polares
En la sección Origen puede cambiar la posición de origen de la cuadrícula. Los valores X=0 e Y=0 son equivalentes al centro de la imagen. El botón Restablecer restablece los valores reales a cero.
La sección Rotación puede establecer el ángulo inicial para la cuadrícula de rayos. El botón Reset pone el valor del ángulo a cero.
La última sección Espaciado puede establecer el intervalo de líneas y círculos. El valor R respectivo Phi asigna la extensión de los círculos céntricos y las respectivas líneas de rayos.
Cómo apagar la red

En el cuadro de diálogo Opciones de cuadrícula, haga clic en el primer botón de la izquierda:
Ocultar cuadrícula
Opciones de medición
El cuadro de diálogo Opciones de medición establece la forma en que se mostrarán los resultados de la medición. El cuadro de diálogo se puede abrir desde la barra de herramientas Medición. El cuadro de diálogo contiene las
siguientes opciones:
Unidad - unidad de longitud y área. Si se selecciona el valor Automático , el software elige una unidad adecuada según las propiedades de la imagen. El contenido del cuadro de lista depende del sistema de unidades elegido;
consulte el cuadro de diálogo Preferencias.
Formato: formato de visualización numérico.
Lugares decimales - cantidad de lugares decimales para números.
Selección de los resultados mostrados

Mediante el cuadro de diálogo Propiedades, es posible ampliar o reducir la selección de los resultados que se muestran en la imagen para cada objeto. La tabla de objetos
siempre contiene todos los resultados disponibles.
Es posible abrir las Propiedades haciendo clic derecho sobre los objetos seleccionados (menú emergente) en la imagen. La ventana de diálogo puede contener una o más pestañas según el tipo de objeto. Si el objeto seleccionado
muestra más resultados, también se muestra la pestaña Mostrar . La pestaña contiene un conjunto de opciones que están relacionadas con los resultados medidos según el tipo de objeto. Si el elemento está marcado, el resultado
se mostrará junto con la descripción del objeto.
Ver resumen de resultados.
Perfil
El cuadro de diálogo Perfil muestra el gráfico de valores del perfil de línea o área. El cuadro de diálogo se abre automáticamente cuando coloca un perfil de línea o área en la imagen. También es posible abrir el cuadro de diálogo
desde el menú contextual haciendo clic con el botón derecho en el objeto de medición.
El análisis básico del perfil se puede realizar simplemente con el cursor del ratón. Si el cursor del mouse está ubicado en el área del gráfico de perfil, la línea de estado del perfil muestra las coordenadas del cursor según el valor
de intensidad del gráfico.
Dos cursores pueden realizar mediciones más exactas y precisas. Se pueden colocar desde el menú contextual que se puede abrir haciendo clic derecho en el área del gráfico (elementos Mover cursor 1 y Mover cursor 2). Los
cursores colocados también se pueden arrastrar y soltar a la otra posición. La tabla debajo del gráfico muestra la posición real de los cursores, los valores de brillo relacionados, el valor medio de brillo y el error cuadrático
medio para el área entre los cursores.
Los valores del perfil, incluido el contenido de la tabla, se pueden guardar en un archivo de texto (el botón Guardar perfil).
Calibración de imagen
El cuadro de diálogo Recalibrar está dedicado a la calibración de la medición. Es necesario tener el objeto de tamaño conocido en la imagen (objeto de referencia).
Procedimiento de calibración de medición

Use la barra de herramientas Medición para colocar el objeto de referencia en la imagen; como referencia, puede usar los siguientes tipos de objetos: distancia, longitud, cuadrado,
rectángulo, paralelogramo, círculo, elipse.
Haga clic con el botón derecho en el objeto de referencia para abrir el menú emergente contextual. Seleccione el elemento Recalibrar, se abre la nueva ventana de diálogo Recalibrar .
Se muestran las distancias medidas reales. Si la imagen no contiene información de calibración, los parámetros medidos están vacíos. Puede cambiar o ingresar los nuevos valores del
parámetro medido si el objeto de referencia contiene más parámetros. El resto de los parámetros se calculan automáticamente.
Confirme la nueva calibración con el botón OK .
Nota: La calibración se conserva junto con la imagen, por lo que la calibración se conserva incluso si el módulo de Medición está cerrado. La nueva calibración es
se usa automáticamente para otros módulos que usan información de tamaño. Si guarda la imagen mediante Archivo-Guardar imagen como..., la calibración se almacena de forma
permanente en el encabezado de la imagen.
Resultados
La siguiente tabla contiene la lista de resultados de medición:
Nombre Etiqueta Significado
Posición X Posición Y xy Coordenadas del punto de centro del objeto de área con respecto a su esquina superior izquierda de la imagen.
Longitud yo
Longitud del objeto de línea.
Distancia d Distancia de dos líneas.
Ángulo b Ángulo entre dos rectas.
Pierna A La Largo del cuadrado, ancho del rectángulo.
Pierna B Libra La altura del rectángulo.
Radio r Radio del círculo.
Diámetro d Diámetro del círculo.
Área A Área del cuadrado, rectángulo, círculo, elipse o polígono.
Perímetro PAGS
Perímetro del cuadrado, rectángulo o polígono.
Semieje mayor Sí Longitud del semieje mayor de la elipse.
Eje semimenor mib Longitud del semieje menor de la elipse.
Excentricidad mi Excentricidad numérica de la elipse. ÿ2 = 1-(b/a)2
Circunferencia C Circunferencia del círculo o elipse.
Ángulo de inclinación i El ángulo de inclinación del cuadrado, rectángulo o elipse es respecto al eje de la imagen.
Espesor t El ancho del perfil del área.
Intensidad yo
Intensidad del punto de la imagen. Los valores son independientes para cada canal de color en el caso de imágenes en color.
Densidad D Valor medio de la intensidad dentro del objeto. Los valores son independientes para cada canal de color en el caso de imágenes en color.
Canal rojo Canal verde Canal azul RGB Intensidades del objeto de punto o área para color rojo, verde o azul para imágenes en color.
nivel de gris Y Intensidades del objeto de punto o área para imágenes en escala de grises.
La siguiente tabla contiene la lista de los valores estadísticos calculados:
Valor Etiqueta Significado
obj. cuenta n Cantidad de objeto en la estadística.
Sumatoria ÿ Suma de los resultados de la medición (por ejemplo, suma de longitudes, áreas, etc.).
Mío. valor mínimo Valor mínimo de los resultados de la medición.
máx. value Max Valor máximo de los resultados de la medición.
Valor medio Valor medio de los resultados de la medición.
Estándar desarrollador ÿ Error medio de la raíz cuadrada (desviación estándar) de los resultados de la medición.
Manipuladores Micro/Nano
Hay varios tipos de nanomanipuladores integrados OEM o de terceros disponibles para el sistema.
Se pueden diferenciar por el montaje:
Nanomanipuladores en la platina de la muestra (p. ej., SmarAct, Kleindiek)

Nanomanipuladores montados en la placa superior de la cámara (por ejemplo, Smaract, Klocke)
Nanomanipuladores montados en uno de los puertos de la cámara (por ejemplo, OmniProbe)
o por nivel de control:
Manual con joystick (sin retroalimentación de posición)

Control de software de terceros
OEM integrado, control del manipulador integrado en el software de control principal VegaTC
Control de nanomanipulador (para manipuladores integrados OEM)
El panel de control del nanomanipulador se puede utilizar para la navegación de múltiples nanomanipuladores. Se puede encontrar en el menú Herramientas ÿ Nanomanipuladores.
Hay una pestaña separada para control y calibración para cada manipulador instalado. Cuando se activa el panel de control del nanomanipulador, el movimiento XY del nanomanipulador se puede controlar
con un joystick en el panel de control
Descripción del panel de control:
Para el nanomanipulador 3D más típico, hay tres ejes de movimiento (XYZ). La orientación del eje se establece para que sea la misma que la plataforma de la muestra, es decir, +X se mueve hacia la derecha,
+Y se mueve hacia arriba, +Z se mueve hacia abajo.
Al mantener presionado el botón de flecha, el manipulador se mueve con la velocidad

seleccionada X,Y,Z muestra la posición actual del manipulador en coordenadas absolutas en µm (posición desde la marca de calibración)
Velocidad define la velocidad del movimiento para el movimiento manual. Al ingresar la coordenada absoluta o seleccionar la posición guardada se moverá con la máxima velocidad.
El botón Calibrar inicia el procedimiento de calibración automatizado.

Hay tres posiciones básicas seleccionables.
La posición de estacionamiento está configurada para ser una posición segura para cualquier movimiento de escenario sin riesgo de colisión. Esta posición se establece durante la
instalación y el usuario no puede cambiarla. En esta posición también se apagan los sensores de posición, por lo que no debería haber interferencia con EDX, EBSD, CL u otros detectores.
La posición de trabajo la define el usuario y se almacena para cada usuario por separado.
La posición de espera se define en relación con la posición de trabajo (por defecto, 200 µm por encima de la posición de trabajo).
El paso de la posición de estacionamiento a la de trabajo (o viceversa) se realiza siempre a través de la posición de Standby.
Calibración de nanomanipulador
La calibración comprueba la posición absoluta del manipulador mediante la localización de marcas de referencia. Esto es necesario después de cada cambio de la punta.
Al hacer clic en el botón Calibrar, la calibración comienza con la confirmación de la posición de la muestra.
El procedimiento de calibración requiere un amplio rango de movimiento. Antes de la calibración, verifique que la muestra esté en una posición segura o seleccione para mover la platina a la posición segura
automáticamente. De forma predeterminada, se moverá hacia abajo 25 mm y hacia atrás cuando finalice la calibración.
Desactivación de los sensores de posición del manipulador para el análisis
Los manipuladores están equipados con sensores de posición basados en una luz. Estos sensores se apagan en la posición de estacionamiento. Si utiliza EDX, EBSD, CL u otro equipo analítico sensible, el
manipulador debe estar siempre en la posición de estacionamiento.
Escaneo 3D
El escaneo 3D es un módulo de software que permite al usuario adquirir imágenes 3D y operar con ellas.
Para abrir el cuadro de diálogo Escaneo 3D , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Escaneo 3D.
Anaglifo 3D
Las imágenes de anaglifo se utilizan para proporcionar un efecto 3D estereoscópico cuando se ven con lentes de 2 colores (cada lente de un color diferente). Las imágenes están
formadas por dos capas de color, superpuestas, pero desplazadas entre sí para producir un efecto de profundidad. Por lo general, el sujeto principal está en el centro, mientras que el
primer plano y el fondo se desplazan lateralmente en direcciones opuestas. La imagen contiene dos imágenes de colores filtrados de manera diferente, una para cada ojo. Cuando se
ven a través de los lentes anaglifos de colores, revelan una imagen estereoscópica integrada. La corteza visual del cerebro fusiona esto en la percepción de una escena o composición
tridimensional.
Este módulo puede adquirir imágenes anaglifo estereoscópicas. El ángulo de la adquisición se puede establecer mediante un control deslizante de inclinación del haz . La parte del
anaglifo azul de la imagen es la imagen de la izquierda, la imagen roja es la imagen de la derecha; ambas imágenes se superponen con cierta superposición a la imagen del anaglifo
resultante. Para ver la imagen estereoscópica resultante, debe utilizar gafas 3D anáglifo.
El desplazamiento aparente de las imágenes superpuestas se puede configurar mediante los parámetros Shift x y Shift y para obtener la mejor percepción 3D. Usualmente solo el Shift x
El parámetro se utiliza para la alineación de las imágenes, ya que la imagen tiende a desplazarse solo a lo largo del eje X. El cambio correcto depende de varios parámetros y condiciones de observación
como el WD, el ángulo de inclinación, la profundidad Z de la imagen, etc. Experimentando con la configuración, encontrará rápidamente la configuración correcta para su aplicación.
Es posible iniciar imágenes de anaglifos en vivo con el botón Escaneo en vivo o hacer un solo escaneo y guardar la imagen en un archivo con Adquirir imagen.
botón.
Los siguientes pasos a menudo dan una imagen anáglifo 3D satisfactoria:
Primero use el escaneo normal para establecer la distancia de trabajo requerida (WD en el rango de 7 ~ 10 milímetros suele ser adecuado para este tipo de imágenes) y centre el objetivo
Ubique la parte de la muestra que desea ver en anaglifo 3D
Cambie a escaneo de anaglifos 3D. Para reducir el ruido, que generalmente perturba la percepción 3D, use valores de PC más bajos o una velocidad de escaneo más lenta
Un ángulo de inclinación razonable está en el rango de 0,8 ~ 1,5 grados
La imagen azul y roja generalmente difiere en el eje X, use el parámetro Shift x para superponer las mismas características cerca del centro de la imagen azul y roja.
Los parámetros Shift y generalmente se mantienen en 0 ya que no hay necesidad de usar ninguna alineación del eje Y.
Inclinación del haz 3D
Esta sección del módulo de escaneo 3D puede guardar una serie de imágenes de la muestra adquiridas desde diferentes ángulos del haz de electrones. La serie de imágenes también se puede compilar
en una secuencia de video. Se deben especificar los siguientes parámetros para la adquisición:
el ángulo de inclinación inicial y final

el ángulo de rotación del haz de electrones
la cantidad de imágenes en el conjunto
imágenes por segundo para la secuencia de video compilada
activar o desactivar la compilación de secuencias de vídeo
El botón Escanear y generar inicia todo el proceso de adquisición y compilación de la secuencia de vídeo. El botón Reproducir película AVI inicia el reproductor donde es posible reproducir el video
creado.
Inclinación de escenario 3D
Este módulo de la extensión de escaneo 3D funciona casi igual que el 3D Beam. Este módulo también adquiere un conjunto de imágenes bajo un ángulo diferente. Pero en este
caso, en lugar de una inclinación del haz de electrones, se usa la inclinación del escenario. También significa que este módulo solo se puede usar con un microscopio de inclinación de platina mot
versiones. La ventaja de usar la inclinación del escenario es que se puede usar una gama mucho más amplia de ángulos de observación. Los elementos de control son los mismos que en el
sección anterior de Inclinación del haz. Solo falta el ángulo de rotación. Al combinar la inclinación del escenario y la inclinación del haz, también es posible generar imágenes
anaglifo estereoscópicas y una secuencia de video.
Se utiliza una inclinación compucéntrica que mantiene el mismo campo de visión durante la inclinación del escenario (la imagen no se desplaza a lo largo del eje Y). Es posible
minimizar aún más el desplazamiento de la imagen utilizando Calibrar inclinación. Para realizar la calibración, mueva una característica de la muestra que pueda reconocer al
centro de la ventana de escaneo. Una vez que presione el botón Calibrar inclinación, el escenario se inclinará al ángulo máximo y el usuario corregirá la posición moviéndose
el objeto de vuelta al centro por el movimiento del escenario. Luego, al confirmar la calibración, la calibración finaliza.
Asistente MeX Online
El último botón inicia el asistente MeX Online Creator . Es necesario que el software MeX Alicona esté correctamente instalado. Si no, aparece un mensaje de error.
El software MeX puede adquirir un DEM (modelo de elevación digital) que en realidad es una reconstrucción 3D real de la superficie de la muestra. Adquiere un conjunto de imágenes y
mediante el análisis de las características de las imágenes y sus diferencias, el usuario puede crear dicho modelo de superficie. El software también puede realizar análisis complejos de
tales modelos como la medición de perfil, volumétrica o de rugosidad. Se puede encontrar una descripción más detallada del software MeX en la guía del usuario de MeX y en línea.
ayuda.
DrawBeam
Los SEM de TESCAN están equipados con un potente generador de patrones (PG) digital interno con DAC de rampa de exploración de 16 bits (campo de escritura virtual de 65 536 x 65 536).
El PG es la base de la herramienta de software DrawBeam dedicada a las aplicaciones de litografía por haz de electrones/iones.
DrawBeam es un módulo de software opcional que se puede instalar en todos los sistemas TESCAN SEM. Este módulo ha sido diseñado para proporcionar un entorno fácil de usar para la
delineación de estructuras simples y complejas. Los objetos en DrawBeam están organizados en capas. Cada capa puede tener un proceso separado
ajustes con el conjunto apropiado de parámetros (por ejemplo, configuración de exposición, procesamiento en serie/paralelo, etc.).
Los procesos disponibles incluyen:
Exposición de electrones (Litografía por haz de electrones - EBL)

Grabado y deposición de electrones (Deposición inducida por haz de electrones enfocado - FEBID)
Grabado y deposición de iones (deposición inducida por haz de iones enfocados - FIBID)
Nota: Los procesos disponibles siempre dependen de la configuración del microscopio. La tabla resume los requisitos del sistema (p. ej., el proceso de deposición de iones o grabado iónico
solo está disponible para microscopios equipados con una columna FIB).
Hay tres versiones de DrawBeam: básica, avanzada y fuera de línea. Las características principales de DrawBeam se resumen en la siguiente tabla.
Características DrawBeam 3.ª generación DrawBeam 3.ª generación DrawBeam 3.ª generación
BÁSICO AVANZADO DESCONECTADO
Tiempo mínimo de permanencia de píxeles 80 ns 20 ns X
Corrección del efecto de proximidad (PEC) X • X
Pulido fino con platina Rocking (el microscopio debe estar equipado con platina Rocking) X • X
Detección de punto final FIB (el microscopio debe estar equipado con un haz de iones) X • X
proyecto de varias capas • • •
Importación de formatos gráficos y Autocad (GDSII, DXF) X • •
Parámetros de exposición • • X
Campo único • • X
Múltiples Campos de Escritura/Costura X • X
Alineación de patrones • • X
Editar objetos • • •
Objetos de punto • • •
Linea sola • • •
Rectángulo (Contorno/Relleno/Pulido/Escaleras) • • •
Círculo (Contorno/Relleno/Pulido/Escaleras/Anillo) • • •
Polígono (Contorno/Relleno) • • •
Objetos vacíos (rectángulo/círculo/polígono) • • •
objetos cruzados • • •
Marcas de referencia • • •
Importación de mapa de bits y otros objetos de formato • • •
Texto • • •
Editar funciones • • •
Objeto Copiar/Pegar/Cortar/Clonar • • •
Rotación de objetos • • •
Alineación de objetos • • •
matriz de objetos • • •
Deshacer rehacer • • •
Agrupar/Dividir objetos • • •
Cambio de imagen/patrón • • •
Cuadrícula/Ajustar a la cuadrícula
• • •
Edición de la base de datos de materiales • • •
Gestión de capas • • •
Crear/Editar/Eliminar, Mostrar/Ocultar, Bloquear/Desbloquear • • •
Iniciar nuevo proyecto DrawBeam
Para abrir DrawBeam, vaya al menú Herramientas y seleccione el elemento DrawBeam del menú desplegable. Cree un nuevo proyecto usando el icono *. El archivo DBP .A
(DrawBeam Project) con condiciones programables se genera automáticamente. El proyecto se puede guardar/cargar o importar.
En el cuadro de diálogo de configuración del proyecto , que aparece, el usuario puede definir varios parámetros, como el tamaño del campo de escritura (que se puede editar manualmente o
sincronizar con el campo de vista SEM o FIB real), el tamaño de la cuadrícula o permitir que el patrón se divida en escritura múltiple. Campos.
El siguiente cuadro de diálogo le permite crear una nueva capa. Puede elegir entre dos tipos de capas. La primera es la capa de usuario y la segunda capa es la deriva
corrección. La capa de corrección de deriva contiene, en comparación con la capa de usuario, el rectángulo de alineación (un objeto especial diseñado para escanear la alineación
marcas), lo que permite la corrección automática de la deriva de etapa durante procesos de larga duración.
Para agregar capas adicionales, use el ícono en el panel de Drawbeam .
Lista de objetos y funciones de edición
Panel de objetos Panel de edición de objetos
Seleccionar y editar objetos Mostrar/ocultar imagen de fondo. Para ello, seleccione y haga clic (botón izquierdo del ratón) en la ventana de imagen de su interés.
Crear un objeto de punto Mostrar/ocultar cuadrícula (si la cuadrícula está habilitada, el ajuste está activo).
Crear un objeto de línea Crear una marca de corrección de deriva
Crear un objeto cruzado Mostrar/ocultar todos los objetos del proyecto
Crear un rectángulo de contorno Deshacer
Crear un rectángulo relleno Rehacer
Crear un rectángulo de pulido Corte
Crear un rectángulo de escaleras Copiar objetos seleccionados
Crear un objeto de punto de referencia Pegar objetos seleccionados
Cargue un mapa de bits u otro objeto de formato Eliminar objetos seleccionados
Insertar texto Clonar objetos seleccionados
Crear un polígono de contorno Alinear objetos seleccionados
Crear un polígono relleno Agrupar objetos seleccionados (los objetos solo se pueden agrupar dentro de una capa).
Crear un círculo de contorno Romper un grupo de objetos
Crear un círculo relleno Crear malla del objeto seleccionado
Crear un anillo circular Girar el objeto seleccionado en sentido contrario a las agujas del reloj 90 grados
Crear un círculo de pulido Girar el objeto seleccionado en el sentido de las agujas del reloj 90 grados
Crear un círculo de escaleras Crear un rectángulo vacío
Crear un círculo vacío Crear un polígono vacío
Atajos de teclado y acciones del mouse para editar

Solicitud Dominio
Rueda de rotación en el mouse Cambio del área de dibujo a escala (Zoom in/out)
Rueda de rotación en el mouse +

Cambio del área de dibujo a escala en la posición del cursor (Zoom in/out)
Control
Rueda como botón Cuando presiona una rueda en el mouse, la imagen completa se puede mover.
Si el foco del área de dibujo existe, presiona una flecha una vez y todos los objetos seleccionados se mueven un píxel en la dirección de la flecha. Si la cuadrícula está encendida, el cambio viene dado por su
Las flechas en el teclado tamaño.
Ctrl + flechas La aceleración del cambio, el vector de cambio es tres veces mayor en comparación con la versión sin Ctrl.
Todo Si la cuadrícula está activada, mantenga presionada la tecla para desactivar la captura de objetos en la cuadrícula.
<,> Ampliación, disminución del objeto o grupo seleccionado para dos píxeles
Control + <,> Ampliación, disminución del objeto o grupo seleccionado dos veces
[,] Rotación de objetos seleccionados en 15° en el sentido de las agujas del reloj o en el sentido contrario a las agujas del reloj
Control + [,] Rotación de objetos seleccionados en 90° en sentido horario o antihorario
Borrar Elimina todos los objetos seleccionados.
Pestaña Cambia entre los objetos. Selecciona el siguiente objeto de la lista. Si el objeto no está seleccionado, selecciona automáticamente el primer objeto de la lista.
Mayús + Tabulador Cambia entre los objetos. Selecciona el objeto anterior de la lista. Si el objeto no está seleccionado, selecciona automáticamente el primer objeto de la lista.
Shift + botón izquierdo en el

Agrega o elimina objetos en la selección.
ratón
Ingresar Completa nuevo polígono.
Esc Detiene la creación de un nuevo objeto.
+ Acercarse
- Disminuir el zoom
Creación de patrón complejo
Clonación de objetos - haciendo clic en el botón el usuario verá un cuadro de diálogo para clonar un objeto seleccionado o un grupo de objetos.
Al hacer clic en el botón es abre un cuadro de diálogo Seleccione el tipo de patrón para crear un patrón que consta de una repetición periódica de características u objetos. Está
posible crear un patrón como un objeto de malla rectangular, una matriz rectangular o circular de objetos mediante una operación de clonación.
Objeto de malla: a partir del objeto seleccionado puede crear una matriz de malla rectangular como un solo objeto. Este objeto es muy eficiente, porque en la memoria se almacena
solo una forma de origen y una instrucción para la creación de mallas. Esto es útil para crear estructuras grandes como por ejemplo una malla de puntos de 1000 x 1000. El
La operación de malla solo se puede usar en un único objeto seleccionado.
Cree una matriz rectangular con la ayuda de la clonación: esta función le permite crear patrones complejos mediante la clonación de objetos en una matriz rectangular. La ventaja
sobre el objeto de malla es clonar varios objetos seleccionados como en un grupo en varias capas. La desventaja frente al objeto de malla es la ineficiencia de la memoria, ya que cada
objeto se almacena por separado en la matriz. Por esta razón, este método no es adecuado para crear estructuras grandes. En
el cuadro de diálogo el usuario ingresa el número de filas y columnas en la matriz, el espacio entre objetos en las direcciones X e Y, la orientación rotacional de XY
(Ángulo del eje) y el ángulo de rotación de toda la matriz (Ángulo de la matriz; solo se rota la matriz, los objetos individuales de la matriz no se rotan). También es posible crear las matrices resultantes
como un objeto de grupo en lugar de una matriz de objetos individuales.
Cree una matriz circular con la ayuda de la clonación: esta función le permite crear patrones complejos mediante la clonación de objetos en una matriz circular. Como
con las funciones anteriores, puede clonar varias capas como un único objeto de grupo. En el cuadro de diálogo, el usuario ingresa el espacio angular entre dos
elementos vecinos, el ángulo de relleno (la sección de la matriz circular completa que en realidad está llena de elementos) y la posición y el tamaño de la matriz circular seleccionando el radio, el
ángulo de inicio (determina la rotación de toda la matriz en relación con el primer elemento) y las coordenadas XY del centro del arreglo.
Los parámetros de posición y tamaño también se pueden editar gráficamente (usando el cursor del mouse) haciendo clic en el botón debajo de las coordenadas XY del centro. Las casillas de
verificación en la parte inferior de la ventana de diálogo permiten a los usuarios seleccionar si los elementos individuales se giran y también si la matriz se crea como un grupo de objetos o no.
objeto vacío
Objeto nulo o vacío indica la ubicación en la muestra, que no se expondrá durante la exposición. El haz será desviado (suprimido) durante la
,
exposición. Los objetos posibles son círculo, rectángulo y polígono ( ). Usando ,
estos objetos y su combinación con otros objetos básicos, se pueden crear estructuras
complejas de manera fácil y eficiente. Estos objetos tienen solo propiedades geométricas. No se establecen parámetros de exposición. El tiempo de exposición no
cambia.
Importación de archivos de dibujo y gráficos.
Importación de archivos GDSII y DXF: si es necesario, DrawBeam permite importar formatos estándar de la industria como GDSII o DXF (Auto-CAD). Haga clic ,
en el icono para buscar su archivo GDSII o DXF y establezca los parámetros en el panel de importación . Para el patrón cargado, hay una opción para establecer su posición en X, Y dese
coordenadas o colóquelo en el centro del campo de escritura. El tamaño del patrón puede ajustarse manualmente o ajustarse al tamaño real del campo de escritura. DrawBeam
separa automáticamente el archivo GDSII/DXF en capas individuales. Luego, cada capa se puede etiquetar (con nombre y color) y asociar con el modo de proceso. En
la siguiente imagen se puede ver un ejemplo de un archivo de proyecto GDSII importado.
La importación en formato DXF admite entidades limitadas. El patrón debe construirse solo con entidades seleccionadas (consulte la tabla a continuación).
Objetos en formato DXF Objetos en DrawBeam
Punto Punto
Línea Línea
Polilínea Polígono de contorno
Arco Círculo de contorno con ángulo de sector definido
Circulo círculo de contorno
Sólido polígono relleno
polígono sombreado polígono relleno
Arco rayado Círculo relleno con ángulo de sector definido
círculo rayado círculo lleno
Otros elementos DXF compatibles son BLOCKS, LAYER, INSERT. El filtro de importación admite capas DXF. Los objetos se importan en tamaño real por unidades del DXF
expediente. Si falta la unidad, se utiliza el micrómetro predeterminado.
Nota: Las versiones DXF de AutoCAD anteriores a la R14 no son adecuadas para la importación, ya que las entidades sombreadas no se pueden importar correctamente como objetos rellenos.
Se recomienda utilizar la versión R14 o más reciente.
GDSII es un formato jerárquico binario para almacenar datos en el diseño de placas de circuito impreso. Los elementos NODO y TEXTO se ignoran.
Importación de mapa de bits u otro tipo de objeto de formato: el patrón DrawBeam también se puede crear a partir de la(s) figura(s) en formatos gráficos básicos (mapa de bits, png,
tiff, jpeg, etc.). Haga clic en la figura del , cree la ventana de importación en el campo de escritura con el botón izquierdo del mouse y encuentre su figura. La posición y el tamaño de los importados.
icono y luego se puede cambiar.
Exportación del patrón a un archivo de mapa de bits: el patrón de agujeros o su parte visible en el campo de escritura se puede exportar a la figura en formato de mapa de bits. Poner a la vista la
capas adecuadas y haga clic en el icono de . Seleccione en el panel Exportar a mapa de bits qué parte del patrón se exportará. La cifra final se mostrará en la
escritorio del software principal.
Parámetros de objeto
Los parámetros del objeto se muestran en la ventana de propiedades de Selección (ver imagen a continuación). Los parámetros como Scans, Exposition Factor o Settle
Time Factor son parámetros globales (se pueden definir para un grupo de objetos en una capa); otros son específicos para un objeto dado. El siguiente párrafo
describe los parámetros de objetos seleccionados en detalle con ejemplos prácticos de aplicación.
Escaneos: indica el número de escaneos por objeto/grupo de objetos. Aumentar el número de escaneos tiene un uso práctico en la litografía por haz de electrones para aumentar la dosis
total¹ por objeto.
Factor de exposición: este es un número² que multiplica el tiempo de permanencia (el período de tiempo que el haz de electrones permanece en un punto de exposición durante el escaneo).
Los diferentes valores del factor de exposición permiten al usuario asignar diferentes valores de dosis a varios objetos dentro de un proceso de exposición.
Factor de tiempo de liquidación: este es un número que multiplica el tiempo de liquidación base. Este es un período de tiempo (retraso) necesario para que el haz regrese desde el final de la
línea de escaneo hasta el comienzo de la siguiente. Dicho retraso se introduce en nuestro generador de escaneo para minimizar las distorsiones dinámicas. El factor principal que determina
el retraso mínimo es el tamaño del campo de escritura (campo de escritura más grande, retraso más largo). El valor Base Settle Time se establece automáticamente (según el tamaño del campo
de escritura), pero se puede cambiar para cada objeto mediante el factor de tiempo de establecimiento.
Ruta de escaneo: el generador de patrones utiliza diferentes estrategias de escaneo que se muestran en las dos imágenes a continuación. La imagen del lado izquierdo ilustra el escaneo con
el modo "Flyback", donde el haz regresa desde el final de una línea de escaneo hasta el comienzo de la línea siguiente. La imagen del lado derecho ilustra el modo "Zig-zag", que desvía el haz
al final de la línea de escaneo una fila hacia arriba y continúa en la dirección inversa.
Modo Flyback Moda en zig-zag
Orientación: un parámetro necesario para dibujar círculos (contorno, relleno, anular, pulido y círculo de escaleras). Indica la orientación de exploración del haz (hacia la derecha o hacia la
izquierda). El escaneo de círculos siempre procede de la parte exterior a la interior.
Ángulo de escaneo: este parámetro se refiere a la orientación de escaneo de los polígonos rellenos. Vea los ejemplos a continuación.
Ángulo: define la rotación de objetos (polígonos, rectángulos, mapa de bits, texto) o grupo de objetos. La siguiente imagen muestra un polígono con dos ángulos de rotación diferentes indicados
por la línea discontinua.
Ángulo inicial/ángulo final: estos valores definen un sector del círculo que se escaneará (se refiere al círculo relleno, anular, pulido y círculo de escaleras).
Calidad: define la resolución del texto (se importa a Drawbeam como un mapa de bits). La escala de calidad se divide en cuatro grados de resolución (Baja: la resolución más baja, Media, Alta y
Extra: la resolución más fina).
¹ La dosis es una cantidad de energía suministrada por un área de exposición (generalmente definida en ÿC/cm²).
² También puede ser un número decimal.
Gestión de capas
La estrategia para ejecutar procesos complejos (p. ej., litografía multicapa o preparación de láminas TEM) en DrawBeam es separarlos en pasos individuales (capas). Cada capa puede tener diferentes
parámetros (por ejemplo, tamaño del punto, parámetros de exposición, etc.) y puede procesarse independientemente de las demás. Los parámetros importantes que deben establecerse son:
Corriente del haz: puede medirse con una copa de Faraday o calcularse mediante un modelo matemático basado en el seguimiento de los parámetros del haz.
Dosis: la cantidad de energía administrada por área de exposición (normalmente definida en ÿC/cm²).
Precisión: se define por la finura (resolución) del paso de rasterización al calcular el área de los objetos.
Material - Es posible elegir el tipo de material. El usuario puede editar la base de datos o crear su propia base de datos.
Espaciado: esta es una exposición escalonada relacionada con el tamaño del punto, es un valor relativo, como se ilustra a continuación.
Exp. paso: esta es la distancia entre dos píxeles expuestos (también conocido como el tamaño de paso del haz). Se calcula como espaciado * tamaño del punto.
Nivelación Z
La corrección de la inclinación de la muestra debe usarse durante la exposición de campos de visión grandes y la costura, porque las diferentes partes de la muestra pueden estar a diferentes distancias
de la columna. El primer paso es calibrar. Antes de la calibración, es muy importante centrarse con precisión en la muestra utilizando WD. Luego, en el cuadro de diálogo DrawBeam
cuadro, haga clic en el icono y abrirá un cuadro de diálogo Alineación de patrón (ver Fig.).
Marcas la casilla Activo por nivelación Z. Luego se abrirá el cuadro de diálogo Ejemplo de calibración de nivelación z (ver Fig.). Introduzca al menos tres puntos siguiendo las instrucciones del asistente.
En el cuadro de diálogo aparecen los puntos seleccionados y su diferencia. El asistente verifica automáticamente que los puntos no estén demasiado juntos y que no se encuentren en una línea recta.
Los puntos que no cumplan estas condiciones no se pueden guardar. Después de una calibración exitosa, la corrección de inclinación se activa automáticamente.
Si la corrección está activada, en DrawBean Process Panel se muestra Sí por la nivelación de elementos, si no está activa, hay No (ver Fig.).
Alineación del patrón EBL

La alineación del patrón DrawBeam es un procedimiento semiautomático que se utiliza para hacer coincidir un patrón con una muestra de resistencia antes de iniciar el proceso de
exposición. Es útil para exposición multicapa, alineación de capas. Consta de dos pasos: alineación gruesa y fina.
Alineación gruesa
Marcas de alineación global, creadas por ejemplo por fotolitografía o como 3 pequeños rasguños en 3 esquinas de la muestra de resistencia o 3 pequeñas gotas de pegamento
plateado...
En el cuadro de diálogo DrawBeam, haga clic en el icono y se abrirá un cuadro de diálogo Alineación del patrón. Marcas la casilla Activo por Alineación global (sistema de
coordenadas UV). Luego se abrirá el cuadro de diálogo Calibración del sistema de coordenadas UV (ver Fig.). Usted crea y calibra un nuevo sistema de coordenadas UV
transformado. Luego usa las instrucciones en el asistente.
Se crea y calibra el sistema de coordenadas de la muestra UV transformada. Entonces DrawBeam navegará por el escenario en este sistema de coordenadas UV.
El usuario especificará la posición del patrón de destino en la muestra en coordenadas U, V y moverá la platina a esta posición.
Alineación fina
El usuario selecciona la capa con las marcas de alineación y el método de corrección.
En el cuadro de diálogo DrawBeam, haga clic en el icono y se abrirá un cuadro de diálogo Alineación de patrón (ver Fig). Luego use el asistente para una alineación fina.
El software escanea automáticamente las áreas alrededor de las marcas de alineación y el usuario define los vectores de corrección para cada marca de alineación con el mouse.
Después de definir el último vector de corrección, el software calcula la transformación y corrige la posición usando la rotación de la imagen y el cambio o patrón de la imagen
cambio.
Proceso de exposición multicapa
Cree las marcas globales en el protector vacío (por ejemplo, mediante fotolitografía o como 3 pequeños rasguños en 3 esquinas del protector o 3 pequeñas gotas de pegamento plateado...).
Inserte la muestra de resistencia en la cámara del microscopio.

Cree y calibre el sistema de coordenadas UV transformado utilizando, por ejemplo, el módulo DrawBeam o el control Stage. En este sistema de coordenadas UV, DrawBeam navegará por el
escenario.
Especifique la posición del patrón de destino en la muestra en coordenadas UV y mueva la platina a esta posición.
Exposición de capa especial con marcas de alineación locales.
Exposición de la capa de usuario normal.
Después de la exposición, el usuario descarga la muestra de resistencia expuesta de la cámara del microscopio, desarrolla la capa de resistencia, despegue y giro de la muestra con la siguiente
capa de resistencia.
Inserte la resistencia en la cámara nuevamente y realice la calibración UV: intente hacer clic nuevamente en las mismas marcas globales: alineación gruesa.
Mueva el escenario a la posición de destino en coordenadas UV.
Haga una alineación fina.
Inicie la exposición de la siguiente capa de usuario...
Corrección de deriva
Durante la exposición del patrón, puede haber un pequeño cambio en la posición del haz frente a la platina, debido a la expansión térmica u otros efectos. Para una exposición más duradera, este efecto
podría eventualmente causar contornos borrosos de los objetos expuestos. La corrección de deriva automática se basa en el cálculo de un vector de desplazamiento utilizando imágenes de alineación.
El usuario define un área en la muestra que contiene una característica o textura significativa. Si no existen tales áreas en la muestra, es necesario crear una exponiendo una marca de alineación. Esta área
se escanea automáticamente antes de que comience el proceso (marco de referencia). Después de un período definido por el usuario (período de corrección), el proceso se detiene y escanea una nueva
imagen en la región de corrección. El vector de desplazamiento se calcula utilizando la correlación de la referencia y la nueva imagen. La corrección se realiza mediante cambio de imagen, cambio de patrón
o una combinación de los mismos. Entonces el proceso continúa automáticamente.
El progreso de la corrección de la deriva y el resultado se pueden ver en el cuadro de diálogo del proceso DrawBeam. En una ventana de registro especial, los usuarios verán notificaciones sobre: la
inicialización de la corrección de deriva, el cambio de preajustes, el progreso y los resultados de la comparación de imágenes, el vector de desplazamiento resultante en micrómetros y el método de
corrección de deriva utilizado o la falla de la corrección de deriva. La imagen escaneada del rectángulo de alineación escaneado se puede ver en la ventana del editor.
Efecto de proximidad en litografía por haz de electrones
El efecto de proximidad es predominantemente el resultado de electrones retrodispersados, que se reflejan desde el sustrato hacia la capa de resistencia superior, lo que provoca la
exposición de la resistencia lejos de la región original del haz de incidencia. Los electrones retrodispersados se originan en la colisión con átomos en el sustrato y viajan en la resistencia
en ángulos amplios en comparación con los electrones en el haz primario. La cantidad de electrones retrodispersados y, por tanto, la gravedad del efecto de proximidad, depende en
gran medida del voltaje de aceleración y de la composición del sustrato.
La corrección del efecto de proximidad es adecuada para crear objetos pequeños de un tamaño aproximado de 50 ÿm o menos, es perfecta para dibujar formas.
Exposición de objetos superpuestos
El usuario puede elegir entre dos modos: exposición simple y exposición múltiple.
La exposición múltiple de objetos superpuestos significa que el lugar donde los objetos se superponen se expondrá repetidamente tantas veces como objetos se superpongan en ese
punto.
Exposición única significa que el lugar estará expuesto solo durante la exposición del primer objeto, el haz se desviará con otros objetos.
Supresor de haz
El Beam Blanker electrostático TESCAN está compuesto por un par de placas conectadas a un amplificador rápido (10MHz). El potencial aplicado a las placas genera un campo
electrostático que desvía el haz lejos del eje óptico hacia una abertura ciega que se coloca debajo. Para la litografía por haz de electrones basada en una estrategia de barrido vectorial,
es importante que el tiempo necesario para interrumpir el haz sea lo más breve posible en comparación con el tiempo que se tarda en irradiar un píxel en la muestra. Además, es
fundamental que el haz no se mueva durante la exposición de los píxeles para evitar distorsiones en el patrón expuesto.
Todos los microscopios TESCAN pueden equiparse con un bloqueador de haz electrostático (opcionalmente, no en la configuración estándar). El Beam Blanker es manualmente retráctil
y neumático (para los modelos MIRA y LYRA) o insertado permanentemente en la columna (en los modelos Vega y Vela - donde solo la electrónica se enciende y se apaga).
El panel de control del Beam Blanker se encuentra en el menú SEM - Beam Blanker.
El haz siempre está APAGADO: el haz siempre está en blanco.
El haz siempre está ENCENDIDO: el haz siempre está despejado.
Habilitar haz en la adquisición: el haz se desbloquea solo durante el escaneo. La muestra se expone solo en ubicaciones de píxeles relevantes durante la adquisición de la imagen (no
durante el retorno), o donde se expondrán los píxeles del patrón de litografía por haz de electrones.
¡ADVERTENCIA! Siempre verifique si el Beam Blanker retráctil está completamente insertado y 'habilitado en la adquisición' antes de que comience su proceso de exposición.
Preguntas frecuentes
Resolución en litografía por haz de electrones (EBL)
La resolución final en EBL, al contrario que en el caso de la litografía óptica, no está determinada por la longitud de onda. La longitud de onda es del orden de 10-13 m, que es mucho
más pequeña que los tamaños atómicos y el haz de electrones puede enfocarse fácilmente en un tamaño de punto de aproximadamente 1-2 nm. Sin embargo, solo las características de
unas pocas decenas de nanómetros (>20 nm) se pueden fabricar de forma controlada y repetida.
Los factores limitantes de la resolución en EBL son las propiedades de resistencia (la estructura molecular de resistencia y la dinámica molecular del proceso de desarrollo), la
deslocalización entre electrones y moléculas de resistencia durante la exposición debido a la interacción de Coulomb, la dispersión de electrones secundarios en la capa de resistencia
y la Radiación retrodispersada causada por colisiones de electrones con el sustrato. Estos factores, más que el propio sistema óptico, determinan el tamaño mínimo de característica
que se debe lograr.
Como criterio de resolución en EBL se suele adoptar la densidad de línea máxima. Este es el espacio mínimo entre dos líneas que es posible definir. Es análogo a los sistemas ópticos,
donde la resolución se define como la distancia mínima entre dos puntos que se pueden distinguir.
Ejemplo de prueba de dosis
Muy a menudo se utiliza una prueba de exposición, que es básicamente una exposición de patrón simple (conjunto de objetos iguales) con un rango de dosis. Vea la imagen a continuación:
Prueba de dosis con incremento de 50 ÿC/cm2
Supresor de haz
El Beam Blanker sirve para bloquear el haz de electrones en el momento en que no escanea y reduce el efecto de carga. Tenemos dos tipos de Beam Blanker: electromagnéticos y
electrostáticos.
El Blanker electromagnético es una parte estándar de todos los microscopios.
El supresor de haz electrostático es un accesorio opcional.
Supresor de haz electromagnético

El supresor de haz electromagnético utiliza las bobinas de centrado de la pistola para desviar el haz de electrones. La desviación del haz se produce después de desactivar la exploración.
No se puede utilizar para bloquear el haz de electrones durante los retornos de exploración. El panel de control del supresor de haz se encuentra en el menú SEM - Supresor de haz.
PISTOLA: al hacer clic en este botón, se anula el haz de electrones mediante el supresor de haz electromagnético. Esto se utiliza para reducir la contaminación de la muestra durante
escanear o para minimizar su exposición.
En blanco después de que se detiene el escaneo: el haz se borra automáticamente después de que se detiene el escaneo (por ejemplo, al final de la adquisición de la imagen). Esta función debe
activarse para minimizar la exposición de la muestra al haz de electrones y para minimizar la posible contaminación o destrucción de la muestra.
Supresor de haz electrostático
El Beam Blanker electrostático TESCAN está compuesto por un par de placas conectadas a un amplificador rápido (10 MHz). El potencial aplicado a las placas genera un campo electrostático que
desvía el haz lejos del eje óptico hacia una abertura ciega que se coloca debajo. Para la litografía por haz de electrones basada en una estrategia de barrido vectorial, es importante que el tiempo
necesario para interrumpir el haz sea lo más corto posible en comparación con el tiempo que se tarda en irradiar un píxel en la muestra. Además, es fundamental que el haz no se mueva durante la
exposición de los píxeles para evitar distorsiones en el patrón expuesto.
Todos los microscopios TESCAN pueden equiparse con un bloqueador de haz electrostático (opcionalmente, no en la configuración estándar). El Beam Blanker es manualmente retráctil, neumático
(para MIRA y LYRA) o insertado permanentemente en la columna (VEGA y VELA - donde solo la electrónica se enciende y apaga).
El panel de control del Beam Blanker se encuentra en el menú SEM - Beam Blanker.
El haz siempre está APAGADO: el haz siempre está en blanco.
El haz siempre está ENCENDIDO: el haz siempre está despejado.
Habilitar haz en la adquisición: el haz se desbloquea solo durante el escaneo. La muestra se expone solo en ubicaciones de píxeles relevantes durante la adquisición de la imagen (no durante el
retorno), o donde se expondrán los píxeles del patrón de litografía por haz de electrones.
¡ADVERTENCIA! Siempre verifique si el Beam Blanker retráctil está completamente insertado y 'habilitado en la adquisición' antes de que comience su proceso de exposición.
EasyEDX
EasyEDX es una herramienta de software que permite a un usuario realizar un análisis elemental de una muestra mediante el análisis de un espectro de rayos X característico.
El espectro característico de rayos X es uno de los productos de la interacción entre los electrones y los átomos de la muestra observada.
El módulo requiere un sistema funcional Bruker EDX (EDS) conectado.
Instalacion y configuracion
Ver la Instalación del módulo EasyEDX.
Adquisición y análisis de datos de rayos X mediante el panel EasySEM
Si las herramientas EasyEDX están instaladas correctamente, el botón para el análisis EDX aparece en el panel EasySEM.
Procedimiento:
1. Asegúrese de que la platina de muestra esté calibrada: el botón Calibrar en el panel de control de la platina no parpadea. Si no es así, calibre la platina haciendo clic en el botón.
2. Mueva el área de interés donde desea realizar el análisis en la ventana de escaneo SEM. Establezca la distancia de trabajo adecuada mediante el movimiento de la platina Z. La distancia de trabajo
requerida para el análisis depende del microscopio y la configuración del sistema EDX; consulte el manual de su microscopio y sistema EDX.
3. Presione el botón para el análisis EDX en el panel EasySEM para cambiar el microscopio al modo de análisis EDX.
4. Haga clic izquierdo en el lugar de la ventana de escaneo que desea analizar, si desea analizar en un área más grande, puede dibujar un rectángulo manteniendo presionado el botón izquierdo.
5. La adquisición se inicia inmediatamente. Una vez finalizada la adquisición, se inicia la cuantificación elemental. El tiempo de adquisición y el resto de los parámetros se pueden establecer en el
diálogo de configuración, consulte el capítulo Configuración de los parámetros de análisis.
6. Cuando finaliza el análisis, el resultado se muestra en la ventana independiente que contiene una lista de elementos encontrados ordenados según la concentración. La descripción de la columna
de la tabla se describe en el capítulo Resultados del análisis de rayos X. La tabla se puede guardar mediante el botón Guardar en archivo en el archivo de texto. El botón Mostrar espectro muestra el
espectro con los valores de la energía y los niveles de energía para cada elemento. El botón Cambiar elementos cambia los elementos del espectro. El botón Aceptar guarda el resultado en la tabla
de historial y cierra el cuadro de diálogo de resultados. El botón Descartar cierra el
diálogo sin resultar en guardarlo.
7. Puede continuar con más análisis marcando otro lugar de interés una vez que cierre el cuadro de diálogo de resultados.
8. Presione el botón para el análisis EDX en el panel EasySEM para cambiar el microscopio de nuevo al modo de imagen.
Adquisición única mediante el diálogo EasyEDX

En este modo, el programa realiza una sola adquisición de datos de rayos X. El haz de electrones permanece en un solo punto o escanea rápidamente un área rectangular. Se reporta un solo valor
(promedio) de concentración para cada elemento. El resultado se presenta en forma de gráfico de columnas.
La adquisición y el análisis de datos de rayos X se pueden realizar mediante un cuadro de diálogo simple que se puede abrir desde el cuadro de diálogo EasyEDX presionando el botón
en su barra de herramientas.
Procedimiento:
2. Mueva el área de interés donde desea realizar el análisis en la ventana de escaneo SEM. Establezca la distancia de trabajo adecuada mediante el movimiento de la platina Z. La distancia de
trabajo requerida para el análisis depende del microscopio y la configuración del sistema EDX; consulte el manual de su microscopio y sistema EDX.
3. Presione el botón para adquisición única en el panel EasyEDX.
4. Haga clic izquierdo en el lugar de la ventana de escaneo SEM que desea analizar. Si desea analizar en un área más grande, puede dibujar un rectángulo
significa mantener presionado el botón izquierdo. El área seleccionada se puede seguir editando mediante los botones izquierdo o derecho del ratón.
5. Haga clic en el botón Iniciar en el cuadro de diálogo de adquisición. Esto inicia la adquisición de datos de rayos X. Una vez finalizada la adquisición, se realiza la identificación y cuantificación
de los elementos. La duración de la adquisición y el resto de los parámetros se pueden configurar en el cuadro de diálogo de configuración; consulte el capítulo Configuración de parámetros de
análisis.
6. Cuando finaliza el análisis, el resultado se muestra en forma de un gráfico de columnas que muestra los elementos encontrados ordenados según la concentración. Consulte el capítulo
Resultados del análisis de rayos X para obtener más detalles. Los datos se pueden guardar mediante el botón Guardar en archivo en el archivo de texto. El botón Mostrar espectro muestra el
espectro con los valores de la energía y los niveles de energía para cada elemento. El botón Cambiar elementos cambia los elementos del espectro. los
El botón Aceptar guarda el resultado en la tabla de historial, el botón Descartar descarta el resultado.
7. Puede continuar inmediatamente con la definición de una nueva área o hacer clic en el botón Cancelar para cerrar el cuadro de diálogo.
perfil de línea
En este modo, el programa realiza un conjunto de adquisición independiente. Cada uno en un tramo de una línea determinada. El usuario puede ajustar el número de adquisiciones en el
cuadro de diálogo de configuración. Las concentraciones de un elemento se reportan para cada sección. El resultado se presenta en forma de gráfico lineal.
Procedimiento:
2. Mueva el área de interés donde desea realizar el análisis en la ventana de escaneo SEM. Establezca la distancia de trabajo adecuada mediante el movimiento de la platina Z. La distancia
de trabajo requerida para el análisis depende del microscopio y la configuración del sistema EDX; consulte el manual de su microscopio y sistema EDX.
3. Presione el botón para el análisis del perfil de línea en el panel EasyEDX.
4. En la ventana de escaneo SEM, mantenga presionado el botón izquierdo del mouse y dibuje una línea. Se permite modificarlo mediante el botón izquierdo del ratón.
5. Haga clic en el botón Iniciar en el cuadro de diálogo de adquisición. Esto inicia la adquisición de datos de rayos X. La duración de la adquisición y el resto de los parámetros se pueden
configurar en el cuadro de diálogo de configuración; consulte el capítulo Configuración de parámetros de análisis.
6. Cuando finaliza el análisis, el resultado se muestra en forma de gráfico de líneas. A la izquierda de la misma, hay una tabla de elementos encontrados. El gráfico muestra un perfil para
un elemento seleccionado en la tabla. Los elementos se clasifican de acuerdo con sus concentraciones promedio. Consulte el capítulo Resultados del análisis de rayos X para obtener más detalles.
Los datos se pueden guardar mediante el botón Guardar en archivo en un archivo de texto. El botón Mostrar espectro muestra el espectro con los valores de la energía y los niveles de
energía para cada elemento. El botón Cambiar elementos cambia los elementos del espectro. El botón Aceptar guarda el resultado en la tabla de historial y cierra el cuadro de diálogo de
resultados. El botón Descartar cierra el cuadro de diálogo sin guardarlo.
7. Puede pasar a la nueva definición de área mediante el botón Siguiente o hacer clic en el botón Cerrar para cerrar el cuadro de diálogo.
Mapeo de elementos
En este modo, el programa realiza un conjunto de adquisición independiente. A diferencia del perfil de línea, cada adquisición se realiza en un mosaico rectangular, que forma parte de un
área específica. El usuario puede ajustar el número de mosaicos por fila y columna en el cuadro de diálogo de configuración. Las concentraciones de un elemento se reportan para cada
sección. El resultado se presenta en forma de mapa, una intensidad corresponde a una concentración de un elemento.
Procedimiento:
2. Mueva el área de interés donde desea realizar el análisis en la ventana de escaneo SEM. Establezca la distancia de trabajo adecuada mediante el movimiento de la platina Z. La distancia
de trabajo requerida para el análisis depende del microscopio y la configuración del sistema EDX; consulte el manual de su microscopio y sistema EDX.
3. Presione el botón mapeo de elementos en el panel EasyEDX.
4. En la ventana de escaneo, mantenga presionado el botón izquierdo y dibuje un área rectangular. Se permite modificarlo mediante los botones izquierdo y derecho del mouse.
5. Haga clic en el botón Inicio del cuadro de diálogo. Esto inicia la adquisición de datos de rayos X. La duración de la adquisición y el resto de los parámetros se pueden configurar en el
cuadro de diálogo de configuración; consulte el capítulo Configuración de parámetros de análisis.
7. Cuando finaliza el análisis, el resultado se muestra en forma de mapa. A la izquierda de la misma, hay una tabla de elementos encontrados. El gráfico muestra un mapa de concentración
para un elemento seleccionado en la tabla. Los elementos se clasifican de acuerdo con sus concentraciones promedio. Consulte el capítulo Resultados del análisis de rayos X para
obtener más detalles. Los datos se pueden guardar mediante el botón Guardar en archivo en el archivo de texto. El botón Mostrar espectro muestra el espectro con los valores de la
energía y los niveles de energía para cada elemento. El botón Cambiar elementos cambia los elementos del espectro. El botón Aceptar guarda el resultado en la tabla de historial y cierra
el cuadro de diálogo de resultados. El botón Descartar cierra el cuadro de diálogo sin guardarlo.
8. Puede pasar a la nueva definición de área mediante el botón Siguiente o hacer clic en el botón Cerrar para cerrar el cuadro de diálogo.
Configuración de parámetros de análisis
El cuadro de diálogo está diseñado para configurar los parámetros de análisis y adquisición de datos de rayos X. Los parámetros se almacenan por separado para cada usuario. El diálogo puede ser
abierto desde el cuadro de diálogo EasyEDX haciendo clic en el botón en su barra de herramientas.
Duración de la adquisición - duración de la adquisición. La duración se puede configurar en modo automático o manual. En modo automático, la adquisición se detiene después de la detección de un
número definido de fotones. Hay tres niveles disponibles:
Nivel Número de conteos

Rápido 50.000
Medio 250.000
1.000.000 conteos precisos
En el modo manual, la duración se puede especificar como Tiempo real o Tiempo en vivo. El tiempo en vivo es el momento en que el sistema está realizando la medición real. El sistema EDX no puede
procesar otro cuanto de rayos X durante un cierto tiempo después de que se adquirió el cuanto anterior. Este tiempo se llama tiempo muerto. En la práctica, el tiempo en vivo siempre es más largo que
el tiempo real. Cuánto tiempo más depende de la fracción de tiempo muerto. Cuanto mayor sea el tiempo muerto, mayor será la diferencia entre esos tiempos.
Elementos: una lista de elementos para los que se realizará el análisis cuantitativo. Si se selecciona la opción Auto identificar elementos, el software intenta identificar los elementos presentes en el
espectro analizado. Esta opción es una ventaja si no conoce la composición química de la muestra. La lista de los elementos que desea cuantificar se puede especificar en el campo de edición Elementos
permitidos. Escriba los símbolos de los elementos químicos o los números atómicos, utilice la coma como separador. Ejemplo: Fe, Ni, Mo, 11, Cr, C.
Perfil de línea - número de adquisiciones por perfil.
Mapeo - número de adquisiciones por fila y columna.
Resultados del análisis de datos de rayos X
El resultado del análisis EDX se muestra en forma de gráfico de columnas. Los registros se ordenan según la concentración.
Mostrar concentraciones normalizadas: las concentraciones informadas por el sistema EDX se vuelven a calcular de tal manera que la suma de todos los elementos
concentración es del 100 %, este procedimiento se denomina normalización.
Si se utiliza la identificación automática de elementos, el software verifica la suma no normalizada de las concentraciones de peso de todos los elementos obtenidas del análisis.
Si la suma se encuentra en el rango de 90 y 110 %, el resultado del análisis se considera correcto. Si la suma está en el rango de 80 y 120 %, es posible que el resultado del análisis no sea correcto. Una
desviación superior a 100 ±20 % suele indicar un resultado incorrecto. Los resultados erróneos pueden deberse a varios factores, consulte la siguiente lista de problemas habituales:
La corriente de haz baja o el tiempo de adquisición corto provocan que no haya suficientes datos de rayos X para proporcionar una identificación y cuantificación correctas.
La corriente de luz alta hace que aparezcan picos de suma en el espectro.
Contaminación superficial por impurezas extrañas o por oxidación.
El detector no está calibrado. (La calibración la realiza el software original entregado con el sistema EDX).
Distancia de trabajo incorrecta durante el análisis. La muestra debe estar en la llamada distancia de trabajo analítico. El valor depende de la configuración de la columna y de la configuración del
sistema EDX.
Dureza
El módulo Dureza está destinado a la dureza del material mediante el método Brinell o Vickers. Para abrir el cuadro de diálogo Dureza , abra el menú Herramientas y
seleccione el elemento Dureza.
Configuración de la figura de medición
En la parte superior del cuadro de diálogo, puede seleccionar el método Brinell o Vickers para medir la dureza. La cifra de medición se puede definir en dos
maneras:
En el tamaño y la posición de la pieza del cuadro de diálogo, establezca las dimensiones X, Y y las unidades. La diferencia entre X e Y no debe ser superior al 5 %. El giro de la cifra de medición se
puede configurar en el elemento Ángulo (método Vickers). Termina la entrada presionando el botón Enter .
Puede establecer las dimensiones y girar la figura de medición directamente en la imagen usando el mouse. Al hacer doble clic en el lugar deseado de la imagen con el botón izquierdo del ratón, se
coloca el centro de la cifra de medición en el lugar deseado de la imagen. Después del próximo clic con la flecha del botón izquierdo del mouse y agarre
Aparecen puntos en los contornos de la figura de medición.
Girando la figura: Colocas el cursor del mouse sobre la flecha, presionas el botón izquierdo del mouse y girando el mouse giras la figura alrededor de su centro.
El giro finaliza después de soltar el botón del ratón.
Cambiar las dimensiones de la figura: coloque el cursor del mouse en el punto de agarre, presione el botón izquierdo del mouse y mueva el punto al lugar requerido y suelte el botón del mouse.
Para mover la figura, debe colocar el cursor del mouse fuera de los puntos de agarre de la figura, presionar el botón izquierdo del mouse y arrastrar el mouse a una nueva posición.
Medición
Coloque la figura de medición con precisión en los márgenes de la impresión del cuerpo de prueba.
Medición por medio del método de Vickers: le da la fuerza de carga en Newtons a la fuerza de campo. El resultado se muestra en el campo Dureza. Si la diferencia entre X e Y es superior al 5 %, en
lugar del resultado aparece el texto No es un cuadrado en el campo Dureza .
Medición por medio del método Brinell - da el diámetro de la bola de prueba en milímetros en el campo Diámetro y fuerza de carga en Newtons en el campo Fuerza. El resultado se muestra en el campo
Dureza. Haga clic en el botón junto al campo con el resultado para almacenar el valor calculado en el encabezado de la imagen.
Nota: La medida puede ser correcta solo si la imagen está calibrada correctamente.
Procesamiento de imágenes
El procesamiento de imágenes es una herramienta de software que proporciona un amplio conjunto de operaciones de imagen: cambio de tamaño y recorte, filtros de reducción de ruido, varios
detectores de bordes y estructuras, funciones de ajuste de brillo y contraste manuales y automáticos y varios filtros de mejora de color.
El procesamiento de imágenes se realiza mediante el cuadro de diálogo Procesamiento de imágenes. Para abrir el cuadro de diálogo Procesamiento de imágenes , abra el menú Herramientas y seleccione Procesamiento de imágenes
artículo.
Cuadro de diálogo Procesamiento de imagen
La parte izquierda del cuadro de diálogo permite al usuario seleccionar la operación. Las operaciones se clasifican en varias categorías. La lista muestra solo las operaciones de la
categoría seleccionada. Para mostrar todas las operaciones, seleccione el elemento Todo.
El contenido de la parte derecha depende de la operación seleccionada. En su sección superior, hay controles que permiten configurar los parámetros para la operación actual. La vista
previa del resultado de la operación se muestra en el medio. (Algunas operaciones no admiten la vista previa). Se muestra una breve descripción de la operación actual en la parte
inferior del cuadro de diálogo.
Restablecer: este botón restablece los parámetros de la operación actual a sus valores predeterminados.
Aplicar: ejecuta la operación y muestra el resultado en una nueva ventana de documento.
pargo de imagen
Es posible utilizar el módulo Image snapper en los casos en que sea necesario obtener imágenes con una resolución superior a la resolución máxima de una sola imagen. Para abrir el
cuadro de diálogo Image Snapper , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Image Snapper.
Nota: El módulo de software Image Snapper solo se puede instalar en el microscopio electrónico de barrido TESCAN con la etapa de lectura de posición motorizada.
Cuadro de diálogo Pargo de imagen
Un usuario debe marcar el área de interés y preestablecer las opciones de adquisición de imágenes. Entonces comienza el proceso de adquisición automática. La salida del módulo es una
serie de imágenes. De acuerdo con la configuración, las imágenes deben superponerse parcialmente para suprimir las distorsiones al costado de las imágenes. La superposición permite
unir las imágenes y crear una vista panorámica. También está disponible la unión sin conexión de las imágenes adquiridas (consulte Unión sin conexión).
Una vez activado el módulo desde el menú Herramientas, aparece el diálogo de inicio del módulo.
Los botones Cargar y Guardar cargan o guardan la configuración actual del capturador de imágenes, por lo que es posible realizar un proyecto predefinido. El botón Coser fuera de línea
abre el cuadro de diálogo para la costura fuera de línea, que nos permite crear y modificar imágenes panorámicas.
Para crear un nuevo panorama presione el botón Siguiente.
Definición de la muestra
El siguiente cuadro de diálogo se utiliza para definir las muestras:
Una muestra es un área del espécimen limitada por una forma geométrica. Puede cubrir toda la superficie o solo partes de la muestra que nos interese. La cantidad máxima de muestras es
ilimitada, pero es necesario definir al menos una muestra. Las imágenes de cada muestra se almacenan en subcarpetas separadas.
Para definir la muestra, seleccione la forma deseada de la muestra en el lado izquierdo del cuadro de diálogo. El área de nuestro interés se determina haciendo clic en la ventana de escaneo.
Es posible usar el escenario para moverse a través de diferentes partes del espécimen. La ampliación se puede cambiar arbitrariamente para definir un área más grande que la ventana de
escaneo actual.
- tipo de punto de la muestra, un clic con el botón izquierdo del mouse coloca un punto en el lugar deseado en la ventana de escaneo.
- tipo de muestra rectangular, el primer clic con el botón izquierdo del mouse define una esquina del rectángulo, el segundo clic con el botón izquierdo del mouse define la
segunda esquina del rectángulo.
- tipo de muestra circular, la muestra está definida por tres puntos colocados en el área deseada.
- tipo de muestra de líneas irregulares, la muestra se define por un número diferente de líneas colocadas en el área deseada. El primer clic izquierdo del mouse define el
primer punto de las líneas irregulares, el segundo clic izquierdo del mouse define el segundo punto de las líneas, etc. El último doble clic izquierdo del mouse determina el último
punto de las líneas irregulares. Las imágenes se escanean a lo largo de las líneas.
- cambie el módulo al modo de edición. Las muestras se proporcionan con uno, dos, tres o más puntos de agarre. Si mueve el punto de agarre con la izquierda
botón del mouse puede manipular los objetos como mover, cambiar el tamaño y la forma, etc.
- elimina la muestra seleccionada.
- el botón puede renombrar el nombre de la muestra.
- es posible eliminar todas las muestras haciendo clic en este botón.
- asigna la coordenada Z actual a la muestra seleccionada. Permite al usuario escanear muestras con diferentes alturas.
Un solo clic con el botón izquierdo del mouse en el nombre de la muestra activa la lista del punto de definición de la muestra en el lado derecho del cuadro de diálogo. Al hacer clic en el
punto particular, el punto de agarre se mueve al centro de la ventana de escaneo.
El botón Siguiente lleva al usuario al siguiente cuadro de diálogo.
Opciones de imagen
El usuario puede definir una superposición de imágenes, seleccionar funciones automáticas, la carpeta de destino y crear una imagen panorámica.
Zig zag stage navigation: ajusta el movimiento del escenario. El escenario suele iniciar el movimiento desde el lado izquierdo de la muestra. Después de cada línea, el escenario se
mueve al comienzo de la siguiente línea y se repite el movimiento.
Si la casilla está marcada, el escenario se mueve a través del movimiento en zig-zag. El tiempo total de adquisición se acorta.
Superposición: ajuste la superposición de las imágenes vecinas. El objetivo es minimizar la distorsión de la imagen en la imagen resultante. La distorsión de la imagen es mayor en el
lado de la imagen en particular y, por lo tanto, es necesario minimizar este efecto habilitando la superposición. Además, la superposición ayuda a unir las imágenes a la imagen
panorámica con precisión. El rango de superposición es de 0% a 25%. La superposición también se expresa en la cantidad de píxeles y el tamaño real. los
El elemento Scanning Windows muestra la cantidad total de ventanas (imágenes) que se tomarán para escanear todas las muestras.
Autoseñal - si esta opción está activada, el ajuste automático de brillo y contraste se realiza antes del escaneo de cada muestra o antes de cada
imagen.
Enfoque automático: si se elige esta opción, el ajuste de enfoque automático se realiza antes del escaneo de cada muestra o antes de cada imagen.
Panorama: esta opción permite al usuario crear una vista panorámica. Hay dos métodos de creación de panoramas: Superposición simple : este método es rápido y mezcla las imágenes
solo mediante la superposición. Coincidencia de correlación : este método crea el panorama haciendo coincidir las áreas superpuestas de las imágenes mediante la correlación. La
coincidencia de correlación es más exigente desde el punto de vista computacional. Funciona correctamente solo cuando hay detalles en el área superpuesta.
Si intenta hacer coincidir imágenes homogéneas o ruidosas, es posible que el panorama resultante no sea correcto. En el caso del emparejamiento de Correlación, se recomienda utilizar
una mayor superposición (por ejemplo, 15 %).
Corrección de sombreado: activa y desactiva la corrección de brillo entre las imágenes.
Tamaño de panorama: determina el tamaño de la vista panorámica.
Formato de salida: le permite seleccionar el tamaño de las imágenes individuales y su formato.
Ruta de salida: el último elemento es la carpeta de destino. Se puede cambiar mediante el botón Seleccionar ruta… . Las imágenes y panoramas de cada muestra se almacenan en la
subcarpeta que lleva el nombre de la muestra.
El botón Siguiente lleva al usuario al cuadro de diálogo de adquisición de imágenes.
Adquisición de imágen
Apagar el haz después de terminar: si la casilla está marcada, el haz se apaga después de la última imagen.
Muestra : el nombre de la muestra actual que se está adquiriendo.
Imagen - el número de imágenes adquiridas.
Tiempo - tiempo estimado de la adquisición.
Inicio: lo lleva a la primera página donde puede guardar el proyecto.
Iniciar: este botón inicia la adquisición de imágenes.
El usuario puede ver el progreso de la adquisición en la ventana de escaneo.
Pausa: este botón detiene el proceso actual.
Una vez finalizado el proceso de adquisición, el software permite abrir la vista panorámica haciendo clic en el botón Abrir panorama.
Las imágenes se almacenan en subcarpetas. Las imágenes se nombran de acuerdo con la plantilla snap_x_y, donde x e y son índices que describen la ubicación de la
imagen dentro de la muestra. Los índices se derivan del área que debe cubrirse con mosaicos rectangulares.
Costura fuera de línea
Esta parte del módulo nos permite crear y modificar imágenes panorámicas con el microscopio apagado. Permite la corrección de brillo y la coincidencia exacta de imágenes mediante la
correlación.
Al hacer clic en el botón Coser sin conexión, se abre un cuadro de diálogo en el que puede establecer varios parámetros.
Mediante el botón Abrir, el usuario puede seleccionar cualquier imagen del conjunto, el nombre de la imagen debe seguir la plantilla: basename_x_y, donde basename es la base del nombre de la
imagen (por ejemplo: snap), x e y son índices de imagen del panorama imagen. Las imágenes con el mismo nombre base se cargan en el cuadro de lista del módulo.
Una vez cargadas correctamente las imágenes, es posible seleccionar la superposición de imágenes en la sección Opciones - Superposición (%). Si la imagen contiene el encabezado de imagen
basename_x_y.bhd, la lectura de superposición de imágenes se toma automáticamente del encabezado.
En el campo Método de cosido es posible seleccionar el método de cosido para el registro (cosido) de las imágenes. Superposición simple : este método es rápido y mezcla las imágenes solo mediante
superposición. Si las imágenes del panorama no coinciden exactamente en posición, es posible utilizar el método de coincidencia de correlación , que coincide con la correlación máxima de
superposición de imágenes. Este método es más exigente computacionalmente. Funciona correctamente solo cuando hay detalles en el área superpuesta. Si intenta hacer coincidir imágenes
homogéneas o ruidosas, es posible que el panorama resultante no sea correcto.
El elemento Corrección de sombreado permite el ajuste del balance de brillo entre las imágenes.
El botón Iniciar inicia la generación del panorama. Durante la costura, el proceso se puede detener presionando el botón Pausa. El panorama resultante se abre automáticamente y se puede editar
adicionalmente y guardar en el archivo.
Morfología
El módulo Morfología está destinado al análisis morfológico de una sola imagen. El módulo puede distinguir granos (objetos de imagen) definidos por límites y generar una base de datos de parámetros
de tamaño y forma seleccionados, hacer la clasificación y exportar datos estadísticos. El módulo de software "Morfología" está destinado al análisis, medición y clasificación automáticos de objetos.
Trabaja con las imágenes obtenidas de microscopio, cámara digital, escáner, etc.
Para que aparezca el cuadro de diálogo Morfología , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Morfología.
Aviso: El elemento Morfología aparece en el menú Herramientas si el módulo está instalado correctamente.
El procedimiento se ejecuta en los siguientes pasos:
Selección del modo de trabajo: manual (tutorial) con configuración manual de los parámetros en pasos separados del procedimiento (los parámetros ofrecidos se muestran en consecuencia
y conducen al operador a los resultados) y automático que ejecuta el análisis de acuerdo con parámetros preestablecidos (adecuado para procesar/evaluar imágenes similares)
Preprocesamiento con el fin de reducir el ruido.

Umbral: coloración de los objetos y su separación del fondo según el nivel de gris
Segmentación - determinación de la frontera de objetos y separación de objetos (elección de tres métodos: básico, erosión y dilatación condicionada, cuenca hidrográfica), cálculo de
parámetros de objetos. (37 parámetros para cada objeto). Los parámetros se dividen en cinco grupos: parámetros geométricos (Área, Perímetro, G. Centro X, G. Centro Y, Longitud, Ancho,
Redondez, Relación de aspecto, Ángulo, Número de agujeros, Área de agujeros, Relación de agujeros), parámetros fotométricos, parámetros físicos parámetros (combinando información
sobre la forma y el nivel de gris de los píxeles dentro del objeto, la elipse de Legendre y especial
parámetros
Edición: edición de los resultados de la segmentación con el fin de corregir las imperfecciones ocurridas durante la segmentación.
Clasificación de objetos según criterios seleccionados, presentación de resultados, guardado de resultados en archivos
Se pueden elegir muchas opciones durante el procesamiento y evaluación de imágenes.
Al final de esta ayuda puede encontrar una lista de características calculadas en el análisis de objetos.
Selección del modo de trabajo
El cuadro de diálogo Morfología permite iniciar el análisis manual o automático de objetos, o cargar el proyecto guardado.
El botón Cargar... carga la configuración preparada del análisis guardado en un archivo.

El botón Guardar... guarda la configuración de los parámetros de análisis activos en un archivo.
El botón Colores abre el cuadro de diálogo para configurar los colores deseados para los objetos y los bordes de los objetos.
Los botones automáticos inician el análisis de acuerdo con los parámetros cargados.
Preprocesamiento
El cuadro de diálogo está destinado a la configuración del preprocesamiento de la imagen (eliminación de ruido) mediante el método Filtro de paso bajo (la imagen se suavizará pero los bordes se desdibujarán) o
Filtro mediano (la imagen se suavizará menos pero el los bordes están más cuidados). De acuerdo con el tamaño de los objetos y el ruido, puede seleccionar el tamaño de la matriz de filtro. Cuanto más grande es la
matriz del filtro, más largo es el cálculo, se produce una mayor eliminación de ruido, pero la nitidez de los objetos
Los bordes son más bajos. El preprocesamiento de la imagen influye en la calidad de la segmentación de los objetos y por eso es necesario encontrar una correcta configuración de la
parámetros o utilizar procedimientos del módulo "Procesamiento de imágenes" como, por ejemplo, ecualización adaptativa, corrección de sombreado para el preprocesamiento de imágenes.
Los botones con flechas permiten al usuario pasar a la operación siguiente o anterior.
umbralización
El cuadro de diálogo está destinado a marcar las regiones en las que se realizará el análisis morfológico. El usuario puede definir el rango de los niveles de color y brillo en el que se ubican los objetos a estudiar. El
botón Nuevo establece el estado inicial cuando no se selecciona ningún rango. El botón Expandir se utiliza para ampliar la gama de colores. El botón Reducir está diseñado para reducir el rango de color. El botón
Deshacer retrocede el estado un paso.
El botón Invertir intercambia las partes de la imagen seleccionadas y no seleccionadas.
La ventana Zoom se utiliza para controlar el nivel de brillo debajo del puntero del mouse.
Procesando:
Utilice el botón Nuevo para iniciar el umbral.

Encuentre aproximadamente el color típico (o tono gris) del objeto en la imagen. Coloque el puntero del mouse en el lugar seleccionado en la imagen y haga clic con el botón
izquierdo del mouse. Puede controlar la posición exacta del puntero del mouse en la ventana de zoom en la que se muestra la parte ampliada de la imagen. Después de hacer
clic con el mouse, la parte seleccionada de la imagen se coloreará.
Extienda el coloreado en el modo Expandir y/o reduzca el rango seleccionado en el modo Reducir.
En el modo de trabajo Expandir, busque un lugar en la imagen que pertenezca al objeto y no esté coloreado. Haga clic en este lugar con el botón izquierdo del ratón. Si el
color excede el rango, cambie el botón Reducir. Haga clic en los bordes del rango estimado con el botón izquierdo del mouse y reduzca el rango coloreado.
Segmentación
El siguiente paso en el análisis morfológico es la selección del método de segmentación conveniente (Basic, Erosion a Watershed) y la configuración de los parámetros del método
seleccionado según el tipo de imagen. En el cuadro de diálogo puede seleccionar si se rellenarán los agujeros del objeto (Rellenar) o si se mantendrán (Mantener).
”
Método de segmentación Básico El área mínima del objeto se puede configurar ya que se ignorará el mín. tamaño[pxl] ”. Objetos con un área más pequeña que la comandada
parámetro en.
El método “Básico” es rápido. Los rangos de colores no se dividen de ninguna manera y los objetos se crean directamente a partir de ellos. Sólo se calculan los resultados.
El ejemplo típico se muestra en la figura.
Método de segmentación Erosión Puede configurar el área mínima del objeto en “Min. tamaño[pxl]”. El tamaño de la matriz "Matriz de erosión" define la rugosidad y la fuerza de
erosión utilizadas para la separación de objetos. La precisión y la forma de los objetos dependen del tamaño de la "Matriz de erosión" y del método y los parámetros utilizados en el
cuadro de diálogo "Preprocesamiento". Luego se calcularán los resultados de la segmentación. El método "Erosión" es conveniente para los objetos con el mismo color o escala
de grises. La detección de objetos se realiza sobre la base de contornos de objetos conocidos. Los márgenes de los objetos se eliminan hasta los núcleos de los objetos. Entonces el programa
agrega las capas a cada núcleo de objeto hasta que se alcanza la forma original, pero no se permite la conexión de los objetos vecinos. El elemento "Conectar núcleos" define si el
núcleo de los objetos cercanos se conectará o no.
Método de segmentación Watershed El área mínima del objeto se establecerá mediante “Min. size[pxl]” y la profundidad mínima de brillo se establecerá mediante “Min. profundidad".
El algoritmo funciona sobre la base de la información sobre el brillo y los bordes de la imagen. Al final el cálculo de los resultados es
hecho.
Edición
El cuadro de diálogo Editar está destinado a corregir las imperfecciones que surgieron durante la segmentación.
El botón Cortar objetos está diseñado para dividir el objeto en partes. Al hacer clic con el botón izquierdo del mouse, establece el primer punto de la línea de corte, con el siguiente clic,
establece el siguiente punto de la línea de corte y, clic a clic, dibuja toda la línea de corte. Al hacer doble clic con el botón izquierdo del mouse finaliza la línea de corte.
El botón Eliminar objetos está diseñado para eliminar objetos. Al hacer clic en el objeto con el botón izquierdo del ratón, se elimina el objeto.
El botón Fusionar objetos está diseñado para fusionar los objetos o crear un nuevo objeto. La forma de dibujar objetos es similar a dibujar líneas en el modo Cortar.
Con el botón izquierdo del ratón, haga doble clic en el objeto se cerrará y coloreará.
El botón Deshacer retrocede el estado un paso.
El clic derecho del mouse cancela la línea de corte y el dibujo de los bordes.
Clasificación de objetos
En el cuadro de diálogo puede configurar las condiciones de visualización y descripciones de los objetos en la imagen, la elección y clasificación de los objetos, la visualización de la tabla con
los resultados y el histograma.
La casilla de verificación Mostrar objetos está diseñada para permitir que los objetos se muestren y configuren el modo de presentación. Si el elemento Contorno está marcado, solo se
mostrarán los contornos de los objetos. Si el elemento no está marcado, se coloreará toda el área de objetos. El ítem Etiquetas permite mostrar los números de serie de los objetos en la imagen.
La parte de unidades está destinada a la configuración de las unidades para mostrar los resultados de las mediciones.
Ver parte controla la forma de mostrar los objetos en la imagen, en la tabla de resultados y en el histograma: Todo muestra todos los objetos. Visualización seleccionada son los objetos visibles
seleccionados. La elección de los objetos se puede configurar manualmente Propiedades del objeto o mediante el cuadro de diálogo Selección de resultados. Clase n.º
muestra los objetos incluidos en la clase dada.
La parte "Objetos" está destinada a la selección y clasificación de los objetos y para elegir la forma de visualización de los resultados. Mediante el elemento "Selección de resultados" puede
elegir cuál de los parámetros de los objetos calculados se mostrará. En los parámetros elegidos puede establecer el máximo y el mínimo para la reducción de la lista de los objetos encontrados
("Seleccionados"). El ítem “Clasificación” está destinado a la configuración del número de clases para resultados
la clasificación
seleccionados
de objetos.
o con
El elemento
las estadísticas
"Mostrarderesultados"
los objetosmuestra
medidos.laEl
tabla
elemento
con los
”
Histograma” muestra el histograma con la distribución de los resultados de la medición.
Con el botón "Inicio" vuelve al primer paso del análisis morfológico.
Cuadro de diálogo Selección de resultados
Hay todos los parámetros de objetos posibles en la columna izquierda del cuadro de diálogo. Usando los botones Agregar, Quitar y Quitar todo puede definir la lista de los resultados,
que se mostrarán en las tablas. La lista de parámetros seleccionados se muestra en la columna de la derecha.
Los botones Arriba y Abajo están destinados a su ordenación en la nota. Marque el resultado deseado y luego puede moverlo hacia arriba o hacia abajo. Si marca cualquier parámetro
en la columna Seleccionado , se mostrará el valor mínimo global y máximo global . Puede definir el nuevo valor mínimo y máximo.
Después de presionar el botón Ejecutar filtro, se realizará la selección de los objetos y se colorearán los objetos que cumplan con las condiciones ordenadas.
Marque los Objetos de borde para eliminar los objetos de procesamiento de resultados que tocan los bordes de la imagen.
Cuadro de diálogo Clasificación
El cuadro de diálogo está destinado a la distribución de los objetos en las clases de acuerdo con los parámetros calculados. ¡Solo se clasifican los parámetros seleccionados (del
grupo Seleccionado)!
Los objetos se clasifican según un criterio. Este criterio se selecciona de la lista “Criterio”.
Configuración automática de la clasificación La configuración automática de la clasificación se realiza en el cambio de número de clases o en el cambio de criterio. El nuevo tamaño
de clase "Ancho de clase de división automática" se calcula automáticamente y se configura el límite inferior de la primera clase. Después de presionar el botón "Clasificar", los
objetos de la imagen se colorean con el color de la clase a la que pertenecen. Los colores de las clases se pueden cambiar.
Configuración manual de la clasificación en el rango de clase constante El nuevo rango de clase El ancho de clase de división automática se ingresa manualmente y el nuevo límite inferior
de la 1ª clase se establece. Después de presionar el botón de , se calcularán los límites de las nuevas clases. Después de presionar el botón Clasificar un nuevo objeto
verificación, se realizará la clasificación.
Configuración manual de la clasificación Los límites de las clases individuales se establecen manualmente. Después de presionar el botón Clasificar, se realizará una nueva clasificación de objetos.
Los límites de las clases deben crear una secuencia monótona creciente. Si comete un error durante la configuración de los límites de las clases, los límites se establecerán correctamente.
Cuadro de diálogo Histograma
El cuadro de diálogo Histograma muestra la distribución de los diferentes tipos de objetos.
Marque Clases para mostrar el histograma de las clases.

Marque Resultado para mostrar el histograma de los resultados medidos.
En el modo Resultado, debe seleccionar el parámetro medido mediante el elemento Criterio y el número de columnas del histograma Bins (máx. 100).
El botón Guardar datos guarda los datos como una tabla en un archivo de texto. Estos datos pueden ser procesados por medio de los programas especializados.
Cuadro de diálogo Mostrar resultados
Este cuadro de diálogo está diseñado para mostrar los resultados del análisis morfológico.
Marque Mostrar resultados de objetos o Mostrar estadísticas de objetos para mostrar los parámetros de los objetos o los resultados de las estadísticas.
El botón Guardar datos guarda el contenido reciente de la tabla en un archivo que se puede importar a otros programas (por ejemplo, Excel).
El botón Cerrar cierra el cuadro de diálogo.
El contenido de la tabla depende de la elección en la parte Vista del cuadro de diálogo para seleccionar la visualización y clasificación de los resultados del análisis; consulte Clasificación de objetos.
Procedimientos auxiliares
Hacer doble clic con el botón izquierdo del mouse en el objeto de la imagen abre el cuadro de diálogo con las propiedades del objeto:
Haga clic en el botón Seleccionado (Visible) incluye el objeto entre los objetos seleccionados y un objeto seleccionado elimina de los seleccionados. No se debe elegir
el modo Todo en la Vista de la pieza del cuadro de diálogo para seleccionar la forma de visualización y clasificación de los resultados - ver Clasificación de Objetos.
Al hacer doble clic con el botón izquierdo del ratón en la línea de la tabla de resultados, aparece la cruz parpadeante en la imagen del objeto respectivo y se abre el
cuadro de diálogo con las propiedades del objeto.
Resultados obtenidos por el Análisis de Objetos
Parámetros geométricos
Parámetros que expresan las características geométricas del objeto (no se refieren al brillo ni al color del objeto)
Área área de objetos
Perímetro perímetro del objeto
G. Centro X Coordenada X del centro de gravedad del objeto
G. Centro YY coordenada del centro de gravedad del objeto
Longitud longitud del objeto
Ancho ancho del objeto
redondez Una característica no dimensional. Para el círculo es 1. Cuanto más se diferencia el objeto real del círculo, mayor es el número. La redondez se calcula como
Redondez
(Perímetro*Perímetro)/(4*ÿ*Área)
Relación de aspecto relación de los lados Una característica no dimensional del objeto calculada como largo/ancho
Ángulo ángulo de giro del objeto
Agujeros Cuenta el número de agujeros en el objeto
Área de agujeros área total de los agujeros en el objeto
Relación de agujeros relación del área total de objetos al área de objetos reducida por el área de agujeros (número no dimensional)
Área/Cuadro relación entre el área del objeto y el área del rectángulo circunscrito
equivalente
la característica se calcula a partir del área del objeto como si el área del objeto fuera un círculo
Diámetro
Parámetros fotométricos
Para el cálculo solo se utiliza la información sobre el brillo del objeto.
De. Significar brillo medio de los objetos (en las imágenes en color es RGB medio)
AV. Desv. est. desviación estándar promedio del brillo del objeto
R. Media brillo promedio del objeto para el componente rojo
Desv. estándar R. desviación estándar del brillo del objeto para el componente rojo
G. Media brillo promedio de objetos para el componente verde
G. Desv. est. desviación estándar del brillo del objeto para el componente verde
B. Media brillo promedio del objeto para el componente azul
B. Desv. est. desviación estándar del brillo del objeto para el componente azul
RaB relación de valores de brillo promedio (rojo/azul)
RaG relación de valores de brillo promedio (rojo/verde)
GaR relación de valores de brillo promedio (verde/rojo)
GaB relación de valores de brillo promedio (verde/azul)
BaR relación de valores de brillo promedio (azul/rojo)
BaG relación de valores de brillo promedio (azul/verde)
Elipse legendre
Lgn. Impr. Semieje mayor largo de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas geométricas principal
Lgn. Impr. Semieje menor corto de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas geométricas principal
Lgn. estándar Semieje mayor largo de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas estándar
Lgn. estándar Semieje menor corto de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas estándar
Parámetros especiales
Border Objects es una variable lógica; si el objeto no está completo (toca el borde de la imagen) su valor es 1, en otro caso es 0.
Calibrador de múltiples imágenes
El Multi Iimage Calibrator es un módulo adicional para el software VegaTC, que permite al usuario calibrar automáticamente el conjunto de imágenes. Para abrir el cuadro de diálogo
Calibrador de imágenes múltiples , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Calibrador de imágenes múltiples.
La calibración de la imagen significa establecer el tamaño del píxel. Esta información es utilizada por otros módulos para medir longitudes o áreas en unidades físicas (milímetros, pulgadas, etc.) escáneres o
cámaras digitales, puede calibrar el conjunto de imágenes utilizando la herramienta Multi Image Calibrator .
Usando el módulo Multi Image Calibrator
1. Abra el menú Herramientas y elija el elemento Calibrador de imágenes múltiples
2. Haga clic en el botón Carpeta actual para cambiar la carpeta actual. Se abre el cuadro de diálogo de selección de carpetas estándar. Seleccione la carpeta donde se almacenan las imágenes y confirme el
cuadro de diálogo.
3. La lista de imágenes en la carpeta seleccionada se muestra en el campo principal del cuadro de diálogo. Si la opción Mostrar todo no está marcada, solo las imágenes sin calibrar se muestran en la lista. Si
la opción está marcada, se enumeran todas las imágenes de la carpeta seleccionada.
4. Usando el botón izquierdo del mouse, seleccione las imágenes para la calibración, use los modificadores Shift y Ctrl para la selección de más imágenes.
5. De la lista de dispositivos, seleccione el perfil de calibración. Use el botón Agregar para crear un nuevo perfil de calibración, use el botón Editar para editar uno existente.
Haga clic en el botón Eliminar para eliminar el perfil seleccionado.
Nota: Para crear o editar un perfil, se debe abrir al menos una imagen en la ventana principal de la aplicación (utilice el menú Archivo-Abrir imagen).
6. Ingrese el factor de magnificación al Mag. campo de factores Si la ampliación no tiene importancia, ingrese 1.
Nota: Las herramientas del software VegaTC no utilizan el valor de ampliación para ninguna medición.
7. Opcionalmente, complete los elementos Nota y Firma. Usando las casillas de verificación Sobrescribir nota y Sobrescribir signo, usted decide si los elementos se ingresarán en el encabezado (o se
sobrescribirán en el encabezado en la calibración).
8. Haga clic en el botón Realizar calibración para ejecutar la calibración.
Creación de un nuevo perfil de calibración
1. Presione el botón Agregar en el cuadro de diálogo Calibrador de imágenes múltiples . Aparece una nueva ventana de diálogo.
2. En el cuadro de diálogo Calibrar dispositivo , ingrese el nombre del perfil de calibración. Este nombre se mostrará en la lista de dispositivos en el cuadro de diálogo principal.
3. Hay dos formas de configurar el tamaño de píxel: tomar el valor de una imagen ya calibrada o determinarlo a partir de la imagen de un estándar (un objeto de tamaño conocido).
4. Para copiar la calibración de otra imagen, abra la imagen en la ventana principal de la aplicación (menú Archivo - Abrir imagen). Haga clic en la ventana con la imagen y haga clic en el botón Copiar
calibración.
5. Alternativamente, es posible determinar el tamaño de píxel a partir de la imagen de un objeto de tamaño conocido (un estándar). Abra la imagen de un estándar en la ventana principal de la aplicación
(menú Archivo - Abrir imagen). Presione el botón Calibrar, luego haga clic en la ventana de la imagen y busque un estándar. Usando el botón izquierdo del mouse, dibuje una línea que marque la
característica de tamaño conocido. Introduzca la longitud de la función en el cuadro de diálogo Nueva calibración y seleccione la unidad adecuada.
6. Opcionalmente se puede introducir la magnificación, pero este valor es meramente informativo y no se tiene en cuenta en ninguna operación en el VegaTC.
7. Haga clic en el botón Aceptar para cerrar el cuadro de diálogo.
Temas relacionados: Medición.
Área de objetos
El módulo Área del objeto está diseñado para calcular el área tomada en una imagen por ciertas regiones. La región se define con el color (brillo) de los píxeles que se encuentran en la región. La región
se resalta con el color seleccionado y es posible calcular su área. La región debe ser distinguible en brillo o sombra de color. Puede procesar más imágenes al mismo tiempo. Los resultados obtenidos
se pueden guardar en el archivo de texto.
Para abrir el cuadro de diálogo Área de objetos , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Área de objetos.
Selección de perfil
Es posible marcar cuatro regiones independientes en una imagen. Cada región está marcada con otro color. Como las regiones pueden superponerse, es posible mostrar cada color
individualmente o más de un color al mismo tiempo. La superposición de las regiones está coloreada con un color blanco especial. Este color se puede cambiar.
La región activa se selecciona con el botón .
Si se presiona el botón Nuevo, la imagen no se colorea. En el modo Expandir o Reducir, la imagen se colorea y se calculan las áreas de las regiones.
Usando la casilla de verificación, puede desactivar el coloreado de la región.
En algunos casos, es útil colorear una región para que la imagen original se vea a través del color. Puede lograr este efecto marcando el campo Transparente.
Selección de región
Cuando se presiona el botón Nuevo, el usuario hace clic con el botón izquierdo del mouse en un punto típico del objeto que forma parte de la región. A partir de este momento, el programa toma
la información sobre el color y el brillo y, utilizando el color seleccionado, marca la región para que todos los píxeles con un color y brillo similares se incluyan en la región. Después de esta
selección primaria, el botón Expandir, para la extensión de la región, se presiona automáticamente. Al hacer clic con el botón izquierdo del mouse, se pueden agregar otros puntos a la región
para extender la región.
El procedimiento Reducir es una inversión del procedimiento Expandir. En el modo Reducir, al hacer clic en la imagen, puede ordenar que los píxeles se eliminen de la región.
Procesamiento de los datos calculados
El tamaño de la región seleccionada en % así como el valor absoluto en píxeles se ingresan para cada perfil. Si la imagen se ha creado con los programas VegaTC y el encabezado de la imagen
está disponible, el tamaño se muestra directamente en unidades de área (por ejemplo, µm2) en lugar de píxeles. Puede guardar los datos calculados en el archivo de texto presionando el botón
Guardar.
Análisis de partículas
El módulo del programa de análisis de partículas realiza el análisis, la medición y la clasificación automáticos de objetos. Expande las opciones disponibles en el módulo de Morfología al agregar
la capacidad de mover especímenes por medio de una platina motorizada que se requiere para las funciones del módulo. Actualmente, solo funciona con el programa VegaTC. Permite el análisis
de áreas que son más grandes que un campo de visión y también permite el análisis de múltiples muestras.
Para que aparezca el cuadro de diálogo Análisis de partículas , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Análisis de partículas.
Aviso: El elemento Análisis de partículas aparece en el menú Herramientas si el módulo está instalado correctamente.
El procedimiento se ejecuta en los siguientes pasos:
Trabajar con la configuración real del módulo: guardar la configuración real en un archivo o leer la configuración de un archivo de usuario existente.
Definición de las muestras - definición de la posición, forma y tamaño de las muestras a analizar.
Definición de las áreas de interés dentro de las muestras: definición más específica de las áreas dentro de las muestras individuales.
Selección del tamaño de partícula: configuración del tamaño de las superposiciones y el tamaño máximo de las partículas.
Preparación preliminar de la imagen: eliminación del ruido de la imagen.
Configuración de los límites de la imagen: especificación de las áreas en las que se realizará el análisis morfológico.
Segmentación de la imagen - selección del método de segmentación según el tipo de imagen.
Resultados del análisis de la prueba: verificar que los parámetros estén configurados correctamente, seleccionar los resultados mostrados, clasificar los objetos y mostrar las tablas de
resultados.
Análisis general: análisis personalizado de todos los especímenes enviados personalmente.
Resultados del análisis general: selección de los resultados mostrados, clasificación de los objetos y visualización de las tablas de resultados.
Se pueden elegir muchas opciones durante el procesamiento y evaluación de imágenes.
Al final de esta ayuda puede encontrar una lista de características calculadas en el análisis de objetos.
Trabajar con la configuración real del módulo
Este paso permite que la configuración del módulo activo se guarde en un archivo para su uso posterior o permite que se cargue la configuración que se guardó en un momento anterior. si al menos
una ventana de trama activa no está abierta, el módulo no permitirá que el usuario continúe y se muestra un mensaje de advertencia.
Definición de las muestras
Una muestra sirve para combinar objetos encontrados dentro del área de la muestra en un grupo combinado. Es necesario definir al menos una muestra
dentro de este paso. Si no se define ninguna muestra, el módulo del programa no permitirá que el usuario continúe con el siguiente paso y se mostrará un mensaje de advertencia. Todos
los objetos y sus resultados que se encuentran dentro del área de la muestra forman un grupo que está aislado de los objetos que se encuentran dentro de las otras muestras. Todos
Las operaciones y sus resultados (histograma, filtración, clasificación, etc.) se pueden realizar solo en los resultados de una muestra.
Una muestra se define ingresando su forma en el espécimen con la ayuda de la ventana activa. De esta manera no sólo se define su forma sino también su posición absoluta, que viene
dada por la posición de la platina motorizada. Es posible usar solo una de las tres formas de muestra predefinidas: punto, rectángulo o círculo.
La definición personalizada de formas se realiza posteriormente mediante los siguientes procedimientos:
Si se requiere una muestra de tipo puntual, presione el botón para seleccionarlo como el tipo que se utilizará. Al hacer clic en la ventana con la imagen activa se determina la ubicación
del punto. Durante el análisis, se procesa el área que tiene este punto como centro de su campo de visión y ocupa el área de exactamente un campo de visión con este punto como
centro.
Si la muestra es del tipo rectangular, presione el botón para configurar este como el tipo a utilizar. Mueva la muestra a la posición donde se espera que esté la esquina superior
izquierda del rectángulo y haga clic en la imagen para colocar un punto en esta ubicación. Luego mueva la muestra a la posición donde se espera que esté la esquina inferior derecha
del rectángulo y haga clic en la imagen para colocar un punto en esta ubicación. Un área especificada por un rectángulo definido de esta manera está sombreada para una mayor
claridad.
Si la muestra es de tipo circular, presione el botón para configurar este como el tipo a utilizar. El círculo está definido por tres puntos. El espécimen se mueve
a la ubicación del primer punto en la circunferencia y al hacer clic en la imagen se coloca un punto en esta ubicación. Luego, la muestra se mueve a otro punto de la circunferencia y,
al hacer clic en la imagen, se coloca un punto en esta segunda ubicación. Por último, la muestra se mueve a otro punto de la circunferencia y al hacer clic en la imagen se coloca un
punto en esta tercera ubicación. Un área especificada por un círculo definido de esta manera está sombreada para una mayor claridad.
Se asigna un nombre estándar a la muestra en el momento en que se crea y este nombre aparece en la Lista de muestras. Sin embargo, el nombre de la muestra se puede cambiar
libremente en cualquier momento. La muestra a renombrar se selecciona haciendo clic en su nombre en la Lista de Muestras. A continuación, este nombre se resalta. Al hacer clic
nuevamente en el mismo nombre, aparece un cursor de edición. Cambie el nombre de la muestra según sea necesario y confirme con la tecla Enter. Al presionar la tecla Esc finaliza el
proceso de edición sin ningún cambio.
La ubicación de cualquiera de los puntos de definición para cualquiera de los objetos se puede cambiar posteriormente. Al pulsar el botón se activa el modo de edición de muestras
existentes. La muestra que necesita ser editada debe ser seleccionada y marcada como activa. Esto se logra haciendo clic en el área de esta muestra en la ventana de imagen activa o
seleccionando el nombre de esta muestra en la Lista de muestras. El nombre de la muestra activa así como los puntos de definición.
que se han ingresado siempre se resaltan en la Lista de muestras. Ahora es posible reubicar los puntos de definición de esta muestra en una nueva posición.
Si el punto de definición no está visible en la ventana de imagen activa, se encuentra en una posición que está fuera del campo de visión y es necesario ajustar la posición del
manipulador para cambiar la posición del espécimen a fin de traer el punto de definición requerido en el campo de visión. Esto se hace fácilmente por
presionando el botón del símbolo que coincide con la forma del punto de definición apropiado: automáticamente y . El manipulador entonces cambia su posición.
trae el punto de definición especificado al centro de la ventana de imagen activa.
La muestra activa (es decir, resaltada) también se puede eliminar presionando el botón botón.
Definición de las áreas de interés dentro de las muestras
En el caso de que sea necesario combinar objetos que se encuentran solo en una pequeña porción de la muestra seleccionada en un grupo, es desventajoso y requiere mucho
tiempo analizar la muestra completa. En tal caso, es mejor limitar el área escaneada y analizada que se define como el área de interés. Luego, el módulo del programa analiza solo
el área que corresponde a la penetración del área de muestra y al menos un área de interés que se ha definido.
para la muestra específica.
Si no hay un área de interés definida para la muestra específica, se procesa toda el área de la muestra. Esto significa que para analizar toda el área de la muestra no es necesario
definir ningún área de interés.
Si es necesario definir un área de interés para alguna de las muestras, es necesario seleccionar esta muestra en particular como la muestra activa seleccionando la entrada
correspondiente del cuadro desplegable que se encuentra en la parte superior de la ventana de diálogo. .
Utilizando el El botón simplificará mover el centro de la muestra activa al centro del campo de visión.
Los procesos de personalización para trabajar con el área de interés, es decir, creación, edición, cancelación y cambio de nombre, son idénticos a los utilizados para trabajar con
muestras (ver arriba).
Selección del tamaño de partícula
El módulo del programa es capaz de analizar un área que es más grande que el campo de visión en la ventana activa. Mueve la muestra para conseguirlo.
Por lo tanto, es casi seguro que se dará una situación en la que algunos objetos existirán precisamente en la división entre dos posiciones del manipulador y, por lo tanto, se
separarán en dos imágenes analizadas.
Por esta razón, el programa no mueve el manipulador exactamente en el ancho o alto del campo de visión, sino en una distancia más corta. Por lo tanto, existe una superposición
en las áreas que se analizan. Para que el tamaño de la superposición sea correcto, debe ser al menos lo suficientemente grande como para contener el objeto de mayor tamaño
que se espera y, al mismo tiempo, no tan grande como para causar un retraso en el rendimiento. La ampliación real también debe ser tal que también permita que los objetos
esperados más pequeños sean visibles. Determinar cuál debe ser este escenario es el objetivo del diálogo que se describe.
Los procedimientos recomendados para realizar la configuración en caso de que no se conozca el tamaño máximo del objeto son los siguientes: * Configure la ampliación para que sea posible ver
tanto los objetos esperados más grandes como los más pequeños en la ventana activa y en un tamaño que es suficiente. * Mediante el uso de la barra deslizante, ajuste el tamaño
partículas
dedel
las cuadrado
ventanas en
de
la ventana activa para poder contener el tamaño de partícula más grande esperado.
El procedimiento recomendado para realizar la configuración si se conoce el tamaño máximo del objeto es el siguiente:
1. Escriba el tamaño en el campo Tamaño máximo de partícula y confirme presionando que el contenido botón. El botón aparece junto a este campo de edición tan pronto como su
cambie al escribir el nuevo valor.
2. Si los objetos esperados más pequeños no están visibles en la ventana activa, utilice la barra deslizante para ajustar el tamaño de las ventanas de partículas para aumentar el tamaño del cuadrado
en la ventana activa y repita el primer paso (el tamaño máximo de partículas habrá cambiado).
3. Si los objetos esperados más pequeños son innecesariamente grandes, use la barra deslizante para ajustar el tamaño de las ventanas de partículas para disminuir el tamaño del cuadrado en la
ventana activa y repita el primer paso (el tamaño máximo de partículas habrá cambiado).
4. Estos pasos definen el tamaño de la superposición y también excluyen los objetos que son más grandes que el tamaño de partícula máximo que se ha ingresado. Los objetos que tocan los bordes
de la imagen siempre se ignoran. Los diálogos adicionales que definen los parámetros para el análisis morfológico personalizado se pueden omitir presionando el botón Auto si se han configurado
previamente.
Preparación preliminar de la imagen.
Este diálogo está diseñado para la preparación preliminar de la imagen (eliminación de ruido) utilizando un método de filtro de paso bajo (que suaviza más la imagen pero da como resultado bordes
borrosos) o un modo de filtro medio (que suaviza menos la imagen pero conserva mejor definición de los bordes). Es posible seleccionar el tamaño de la matriz de filtro según el tamaño de la imagen
y la cantidad de ruido. Cuanto mayor sea el tamaño de la matriz del filtro, mayor será el cálculo y mayor la cantidad de ruido que se elimina, pero se pierde la nitidez de la definición en los bordes del
objeto.
La preparación preliminar de la imagen influye en la segmentación adecuada del objeto y, por lo tanto, es importante determinar los ajustes adecuados para los parámetros o incluso utilizar las
funciones del módulo de procesamiento de imágenes para el procesamiento preliminar de la imagen, es decir, ecualización adaptativa, Corrección de sombreado, etc.
Al pulsar el botón Siguiente se inicia el proceso de cálculo y una vez finalizado se muestra la siguiente ventana de diálogo. Al presionar el botón Atrás, se regresa al diálogo anterior y se pueden
realizar cambios en la configuración de los parámetros.
umbralización
El cuadro de diálogo está destinado a marcar las regiones en las que se realizará el análisis morfológico. El usuario puede definir el rango de los niveles de color y brillo en el que se ubican los
objetos a estudiar. El botón Nuevo establece el estado inicial cuando no se selecciona ningún rango. El botón Expandir se utiliza para ampliar la gama de colores. El botón Reducir está diseñado para
reducir el rango de color. El botón Deshacer retrocede el estado un paso.
El botón Invertir intercambia las partes de la imagen seleccionadas y no seleccionadas.
La ventana Zoom se utiliza para controlar el nivel de brillo debajo del puntero del mouse.
Procesando:
Utilice el botón Nuevo para iniciar el umbral.

Encuentre aproximadamente el color típico (o tono gris) del objeto en la imagen. Coloque el puntero del mouse en el lugar seleccionado en la imagen y haga clic con el botón izquierdo del
mouse. Puede controlar la posición exacta del puntero del mouse en la ventana de zoom en la que se muestra la parte ampliada de la imagen. Después de hacer clic con el mouse, la parte
seleccionada de la imagen se coloreará.
Extienda el coloreado en el modo Expandir y/o reduzca el rango seleccionado en el modo Reducir.
En el modo de trabajo Expandir, busque un lugar en la imagen que pertenezca al objeto y no esté coloreado. Haga clic en este lugar con el botón izquierdo del ratón. Si el color excede el
rango, cambie el botón Reducir. Haga clic en los bordes del rango estimado con el botón izquierdo del mouse y reduzca el rango coloreado.
Segmentación
El siguiente paso en el análisis morfológico es la selección del método de segmentación conveniente (Basic, Erosion a Watershed) y la configuración de los parámetros del método seleccionado
según el tipo de imagen. En el cuadro de diálogo puede seleccionar si se rellenarán los agujeros del objeto (Rellenar) o si se mantendrán (Mantener).
”
Método de segmentación Básico El área mínima del objeto se puede configurar ya que se ignorará el parámetro mín. tamaño[pxl] ”. Objetos con un área más pequeña que la comandada
en.
El método “Básico” es rápido. Los rangos de colores no se dividen de ninguna manera y los objetos se crean directamente a partir de ellos. Sólo se calculan los resultados.
El ejemplo típico se muestra en la figura.
Método de segmentación Erosión Puede configurar el área mínima del objeto en “Min. tamaño[pxl]”. El tamaño de la matriz "Matriz de erosión" define la rugosidad y la fuerza de erosión
utilizadas para la separación de objetos. La precisión y la forma de los objetos dependen del tamaño de la "Matriz de erosión" y del método y los parámetros utilizados en el cuadro de diálogo
"Preprocesamiento". Luego se calcularán los resultados de la segmentación. El método "Erosión" es conveniente para los objetos con el mismo color o escala de grises. La detección de
objetos se realiza sobre la base de contornos de objetos conocidos. Los márgenes de los objetos se eliminan hasta los núcleos de los objetos. Entonces el programa
agrega las capas a cada núcleo de objeto hasta que se alcanza la forma original, pero no se permite la conexión de los objetos vecinos. El elemento "Conectar núcleos" define si el núcleo de
los objetos cercanos se conectará o no.
Método de segmentación Watershed El área mínima del objeto se establecerá mediante “Min. size[pxl]” y la profundidad mínima de brillo se establecerá mediante “Min. profundidad". El
algoritmo funciona sobre la base de la información sobre el brillo y los bordes de la imagen. Al final el cálculo de los resultados es
hecho.
Clasificación de objetos
En el cuadro de diálogo puede configurar las condiciones de visualización y descripciones de los objetos en la imagen, la elección y clasificación de los objetos, la visualización de la tabla con
los resultados y el histograma.
La casilla de verificación Mostrar objetos está diseñada para permitir que los objetos se muestren y configuren el modo de presentación. Si el elemento Contorno está marcado, solo se
mostrarán los contornos de los objetos. Si el elemento no está marcado, se coloreará toda el área de objetos. El ítem Etiquetas permite mostrar los números de serie de los objetos en la imagen.
La parte de unidades está destinada a la configuración de las unidades para mostrar los resultados de las mediciones.
Ver parte controla la forma de mostrar los objetos en la imagen, en la tabla de resultados y en el histograma: Todo muestra todos los objetos. Visualización seleccionada son los objetos visibles
seleccionados. La elección de los objetos se puede configurar manualmente Propiedades del objeto o mediante el cuadro de diálogo Selección de resultados. Clase n.º
muestra los objetos incluidos en la clase dada.
La parte Objetos está destinada a la selección y clasificación de los objetos y para elegir la forma de visualización de los resultados. Mediante el elemento Selección de resultados, puede elegir
cuáles de los parámetros de los objetos calculados se mostrarán. En los parámetros elegidos puede establecer el máximo y el mínimo para la reducción de la lista de los objetos encontrados
(Seleccionados). La Clasificación de elementos está destinada a la configuración del número de clases para la clasificación de objetos. El elemento Mostrar resultados muestra la tabla con los
resultados seleccionados o con las estadísticas de los objetos medidos. El histograma del elemento
muestra el histograma con la distribución de los resultados de la medición.
Con el botón Inicio vuelve al primer paso del análisis morfológico.
Análisis general
Este diálogo muestra el progreso del análisis, la muestra activa, el número de ventanas de imagen que componen esta muestra y el número de objetos que se han encontrado.
Al pulsar el botón Iniciar se inicia el proceso de análisis personalizado.
Al presionar el botón Interrumpir, se interrumpe el análisis que está en curso (el proceso de interrupción puede durar un tiempo).
Resultados del análisis general

La ventana de diálogo, como se muestra a continuación, permite la selección de las condiciones que se utilizarán para la visualización y descripción de los objetos en la imagen que
resultaron del análisis general, la selección y clasificación de los objetos y la visualización de tablas de resultados e histogramas.
La sección Mostrar objeto del diálogo está diseñada para seleccionar la visualización de objetos y establecer la forma en que se presentan.
Si la opción Contorno está marcada, solo se mostrarán los bordes del objeto; de lo contrario, se mostrará en color toda el área del objeto.
Si la opción Etiquetas está marcada, se mostrarán los números de secuencia de los objetos en la imagen.
La sección Unidades del diálogo es para configurar las unidades que se utilizarán para mostrar los resultados de la medición.
La sección Ver del diálogo guía la forma en que se muestran los objetos en la imagen y en las tablas de resultados y los histogramas. El menú desplegable contiene los nombres de todas
las muestras que se analizaron. Seleccionar un nombre de muestra para la lista hace que esa muestra sea la muestra activa, así como sus objetos y los resultados para esos objetos.
Todo mostrará todos los objetos.
Seleccionado permitirá la visualización de solo los objetos seleccionados (visibles). La selección de objetos se puede configurar manualmente a través de las propiedades del objeto o
mediante el diálogo de selección de resultados.
Clase no: mostrará solo los objetos que pertenecen a la clase especificada.
La sección Objetos del diálogo permite la selección y clasificación de objetos, así como la selección de la manera en que se van a obtener los resultados.
desplegado.
La selección de resultados se utiliza para seleccionar cuáles de los parámetros calculados para los objetos se mostrarán. Los límites mínimo y máximo se pueden establecer para los
parámetros seleccionados con el fin de reducir la lista de objetos encontrados (cuando la opción Vista seleccionada está marcada).
La clasificación se utiliza para establecer las diferentes clases para clasificar los objetos.
Mostrar resultados mostrará una tabla con los resultados seleccionados y las estadísticas de los objetos medidos.
Histograma mostrará un histograma que separa los resultados de la medición.
Al pulsar el botón Inicio, la morfología vuelve al primer paso del análisis.
Cuadro de diálogo Selección de resultados
Hay todos los parámetros de objetos posibles en la columna izquierda del cuadro de diálogo. Usando los botones Agregar, Quitar y Quitar todo puede definir la lista de los
resultados, que se mostrarán en las tablas. La lista de parámetros seleccionados se muestra en la columna de la derecha.
Los botones Arriba y Abajo están destinados a su ordenación en la nota. Marque el resultado deseado y luego puede moverlo hacia arriba o hacia abajo. Si marca cualquier
parámetro en la columna Seleccionado , se mostrará el valor mínimo global y máximo global . Puede definir el nuevo valor mínimo y máximo.
Después de presionar el botón Ejecutar filtro, se realizará la selección de los objetos y se colorearán los objetos que cumplan con las condiciones ordenadas.
Marque los Objetos de borde para eliminar los objetos de procesamiento de resultados que tocan los bordes de la imagen.
Cuadro de diálogo Clasificación
El cuadro de diálogo está destinado a la distribución de los objetos en las clases de acuerdo con los parámetros calculados. ¡Solo se clasifican los parámetros seleccionados
(del grupo Seleccionado)!
Los objetos se clasifican según un criterio. Este criterio se selecciona de la lista “Criterio”.
Configuración automática de la clasificación La configuración automática de la clasificación se realiza en el cambio de número de clases o en el cambio de criterio. El nuevo tamaño de clase "Ancho
de clase de división automática" se calcula automáticamente y se configura el límite inferior de la primera clase. Después de presionar el botón "Clasificar", los objetos de la imagen se colorean con
el color de la clase a la que pertenecen. Los colores de las clases se pueden cambiar.
Configuración manual de la clasificación en el rango de clase constante El nuevo rango de clase El ancho de clase de división automática se ingresa manualmente y el nuevo límite inferior
de la 1ª clase se establece. Después de presionar el botón de , se calcularán los límites de las nuevas clases. Después de presionar el botón Clasificar un nuevo objeto
verificación, se realizará la clasificación.
Configuración manual de la clasificación Los límites de las clases individuales se establecen manualmente. Después de presionar el botón Clasificar, se realizará una nueva clasificación de objetos.
Los límites de las clases deben crear una secuencia monótona creciente. Si comete un error durante la configuración de los límites de las clases, los límites se establecerán
correctamente.
Cuadro de diálogo Histograma
El cuadro de diálogo Histograma muestra la distribución de los diferentes tipos de objetos.
Marque Clases para mostrar el histograma de las clases.

Marque Resultado para mostrar el histograma de los resultados medidos.
En el modo Resultado, debe seleccionar el parámetro medido mediante el elemento Criterio y el número de columnas del histograma Bins (máx. 100).
El botón Guardar datos guarda los datos como una tabla en un archivo de texto. Estos datos pueden ser procesados por medio de los programas especializados.
Cuadro de diálogo Mostrar resultados
Este cuadro de diálogo está diseñado para mostrar los resultados del análisis morfológico.
Marque Mostrar resultados de objetos o Mostrar estadísticas de objetos para mostrar los parámetros de los objetos o los resultados de las estadísticas.
El botón Guardar datos guarda el contenido reciente de la tabla en un archivo que se puede importar a otros programas (por ejemplo, Excel).
El botón Cerrar cierra el cuadro de diálogo.
El contenido de la tabla depende de la elección en la parte Vista del cuadro de diálogo para seleccionar la visualización y clasificación de los resultados del análisis; consulte Clasificación de objetos.
Procedimientos auxiliares
Hacer doble clic con el botón izquierdo del mouse en el objeto de la imagen abre el cuadro de diálogo con las propiedades del objeto:
Haga clic en el botón Seleccionado (Visible) incluye el objeto entre los objetos seleccionados y un objeto seleccionado elimina de los seleccionados. No se debe elegir el modo
Todo en la Vista de la pieza del cuadro de diálogo para seleccionar la forma de visualización y clasificación de los resultados - ver Clasificación de Objetos.
Al hacer doble clic con el botón izquierdo del ratón en la línea de la tabla de resultados, aparece la cruz parpadeante en la imagen del objeto respectivo y se abre el cuadro de
diálogo con las propiedades del objeto.
Resultados obtenidos por el Análisis de Objetos

Parámetros geométricos
Parámetros que expresan las características geométricas del objeto (no se refieren al brillo ni al color del objeto)
Área área de objetos
Perímetro perímetro del objeto
G. Centro X Coordenada X del centro de gravedad del objeto
G. Centro YY coordenada del centro de gravedad del objeto
Longitud longitud del objeto
Ancho ancho del objeto
redondez Una característica no dimensional. Para el círculo es 1. Cuanto más se diferencia el objeto real del círculo, mayor es el número. La redondez se calcula como
Redondez
(Perímetro*Perímetro)/(4*ð*Área)
Relación de aspecto relación de los lados Una característica no dimensional del objeto calculada como largo/ancho
Ángulo ángulo de giro del objeto
Agujeros Cuenta el número de agujeros en el objeto
Área de agujeros área total de los agujeros en el objeto
Relación de agujeros relación del área total de objetos al área de objetos reducida por el área de agujeros (número no dimensional)
Área/Cuadro relación entre el área del objeto y el área del rectángulo circunscrito
equivalente
la característica se calcula a partir del área del objeto como si el área del objeto fuera un círculo
Diámetro
Parámetros fotométricos
Para el cálculo solo se utiliza la información sobre el brillo del objeto.
De. Significar brillo medio de los objetos (en las imágenes en color es RGB medio)
AV. Desv. est. desviación estándar promedio del brillo del objeto
R. Media brillo promedio del objeto para el componente rojo
Desv. estándar R. desviación estándar del brillo del objeto para el componente rojo
G. Media brillo promedio de objetos para el componente verde
G. Desv. est. desviación estándar del brillo del objeto para el componente verde
B. Media brillo promedio del objeto para el componente azul
B. Desv. est. desviación estándar del brillo del objeto para el componente azul
RaB relación de valores de brillo promedio (rojo/azul)
RaG relación de valores de brillo promedio (rojo/verde)
GaR relación de valores de brillo promedio (verde/rojo)
GaB relación de valores de brillo promedio (verde/azul)
BaR relación de valores de brillo promedio (azul/rojo)
BaG relación de valores de brillo promedio (azul/verde)
Elipse legendre
Lgn. Impr. Semieje mayor largo de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas geométricas principal
Lgn. Impr. Semieje menor corto de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas geométricas principal
Lgn. estándar Semieje mayor largo de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas estándar
Lgn. estándar Semieje menor corto de la elipse de Legendre medido en el sistema de coordenadas estándar
Parámetros especiales
Border Objects es una variable lógica; si el objeto no está completo (toca el borde de la imagen) su valor es 1, en otro caso es 0.
Partículas
Particles Basic y Particles Advanced son módulos de software para el análisis morfológico de objetos (partículas, granos, fibras, etc.).
El módulo Particles Basic se utiliza para el análisis de una sola imagen.

El módulo Particles Advanced se utiliza para la detección automática de partículas en el área que es más grande que un campo de visión (hasta el rango máximo de movimientos de etapa
X e Y). El análisis se puede realizar en múltiples muestras.
Abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Partículas para iniciar el cuadro de diálogo Partículas.
posicionador
El posicionador es una herramienta de software que permite al usuario mover la plataforma de muestra de acuerdo con una plantilla. La plantilla puede ser una imagen realizada por un microscopio
electrónico u óptico o la tabla de posiciones predefinidas almacenadas en un archivo.
Se requiere la platina de muestra con ejes motorizados para utilizar esta herramienta. El diálogo de control del posicionador se abre en el menú Herramientas - Posicionador.
Caja de herramientas del posicionador
La caja de herramientas del Posicionador contiene un conjunto de iconos en su parte superior. La primera sección de la barra de herramientas controla el modo operativo:
Use una imagen como plantilla: mueva el escenario de acuerdo con una imagen.
Use una mesa como plantilla: mueva el escenario de acuerdo con una tabla de posiciones predefinidas.
Mover el escenario según una imagen
Este modo de trabajo permite que un usuario mueva la platina de la muestra de acuerdo con una imagen, que se realizó con un microscopio óptico, una cámara digital u otro dispositivo de imagen. La
imagen de la plantilla debe guardarse en uno de los formatos de imagen admitidos (TIFF, JPEG, BMP, PNG, …). Necesitará dos características fácilmente reconocibles en la imagen, que se utilizarán
para calibrar el sistema de coordenadas de la imagen a las coordenadas del escenario.
El procedimiento en este modo de trabajo es el siguiente: Cargue una imagen de plantilla en el software VegaTC, calibre la imagen usando dos puntos de referencia. Haga clic en la imagen calibrada
para mover la plataforma de muestra a la posición deseada.
La siguiente sección demuestra el uso del módulo en detalles. Se supone que la imagen de la plantilla se guarda en un disco y el microscopio está equipado con una platina de muestra motorizada.
Antes de comenzar, asegúrese de que el SEM esté listo y de que vea una imagen en la ventana de escaneo del SEM.
Procedimiento:
1. En el menú principal, abra el menú SEM y haga clic en el elemento Control de escenario. Aparece el cuadro de diálogo Control de escenario. Compruebe si la platina está calibrada (el botón Calibrar
no parpadea). De lo contrario, calibre la platina con el botón Calibrar. Espere hasta que la operación haya terminado.
2. En el menú principal, abra el menú Archivo y haga clic en Abrir imagen. Aparece el cuadro de diálogo de selección de archivos estándar. Seleccione un archivo con una imagen de plantilla y ábralo.
3. En el menú principal, abra el menú Herramientas y haga clic en el Posicionador. Aparece el cuadro de diálogo Posicionador .
4. En la parte superior del cuadro de diálogo Posicionador , haga clic en el botón para cambiar el módulo al modo de trabajo correcto.
5. Haga clic en el botón Calibrar para iniciar la calibración manual de la imagen. El programa espera a ingresar el primer punto de calibración.
6. En la ventana del documento con la imagen de la plantilla, haga clic en un primer punto de referencia. Debe ser cualquier característica fácilmente reconocible. Haga clic en él con el botón izquierdo
del ratón. Los lugares están resaltados.
7. Busque la misma característica en la ventana de escaneo SEM. Para lograr esto, puede cambiar la ampliación y mover el escenario en los ejes X e Y y la rotación. Haga clic en la función con el botón
izquierdo del ratón. El lugar también se destaca.
8. Repita los pasos 6 y 7 para ingresar el segundo punto de calibración. El cuadro de diálogo del posicionador debería tener este aspecto:
9. Cuando haya finalizado el procedimiento de calibración, cada vez que haga clic con el botón izquierdo del mouse en la ventana del documento con la imagen de la plantilla, la plataforma de muestra se
moverá al lugar correspondiente en la muestra al centro de la ventana de escaneo SEM.
10. Cierre el cuadro de diálogo Posicionador para finalizar esta función.
Notas:
Hay dos características extendidas en el cuadro de diálogo:
Es posible calibrar la rotación de la muestra según una imagen. Para habilitar esta función, abra el cuadro de diálogo de configuración y marque Usar X
y ejes Y, opción de rotación de alineación.
También puede bloquear uno de los ejes y dejar que el programa use la rotación en su lugar. Consulte el cuadro de diálogo de configuración para ver todas las posibilidades.
Mover el escenario según una tabla

Este modo de trabajo permite al usuario mover la platina de muestra según una tabla de posiciones predefinidas. Cada elemento recibe un nombre y dos coordenadas (X e Y) en el sistema cartesiano. La
tabla debe almacenarse en un archivo CSV. (La descripción detallada del formato sigue). Se requieren al menos dos puestos:
se utilizarán como puntos de referencia.
El procedimiento en este modo de trabajo es el siguiente: Cargar una tabla desde un archivo, calibrarla utilizando los dos puntos de referencia. Haga clic en la mesa para mover la plataforma de muestra a
la posición deseada.
La siguiente sección demuestra el uso del módulo en detalles. Se supone que la mesa se guardó en un disco y el microscopio está equipado con una platina de muestra motorizada. Antes de comenzar,
asegúrese de que el SEM esté listo y de que vea una imagen en la ventana de escaneo del SEM.
Procedimiento: 1. En el menú principal, abra el menú SEM y haga clic en el elemento Control de escenario. Aparece el cuadro de diálogo Control de escenario. Compruebe si la platina está calibrada (el
botón Calibrar no parpadea). De lo contrario, calibre la platina con el botón Calibrar. Espere hasta que la operación haya terminado.
3. En la parte superior del mismo, haga clic en el botón para cambiar el módulo al modo de trabajo correcto.
3. Haga clic en el botón Cargar tabla. Aparece el cuadro de diálogo abierto estándar. Seleccione el archivo con la tabla de posiciones y ábralo. En el siguiente cuadro de diálogo, seleccione el separador
de campo. Debería ver la lista de posiciones en el cuadro de diálogo Posicionador.
4. Haga clic en el botón Calibrar para iniciar la calibración. El programa espera a ingresar el primer punto de calibración.
6. En el cuadro de diálogo Posicionador, seleccione la posición del primer punto de referencia. El número 1 aparece antes del artículo.
7. Busque la misma característica en la ventana de escaneo SEM. Para lograr esto, puede cambiar la ampliación y mover el escenario en los ejes X e Y y la rotación. Haga clic en la función con el botón
izquierdo del ratón. El lugar también se destaca.
8. Repita los pasos 6 y 7 para ingresar el segundo punto de calibración. El cuadro de diálogo del posicionador debería tener este aspecto:
9. Cuando haya finalizado el procedimiento de calibración, cada vez que seleccione un elemento de la tabla con el botón izquierdo del mouse, la etapa de muestra se moverá a la
lugar correspondiente en la muestra al centro de la ventana de escaneo SEM.
10. Cierre el cuadro de diálogo Posicionador para finalizar esta función.
Notas:
Hay dos características extendidas en el cuadro de diálogo:
Es posible configurar la rotación de la muestra para que el eje X del sistema de coordenadas de la mesa se dirija de izquierda a derecha. Para habilitar esta función,
abra el cuadro de diálogo de configuración y marque la opción Usar ejes X e Y, alinear rotación.
También puede bloquear uno de los ejes y dejar que el programa use la rotación en su lugar. Consulte el cuadro de diálogo de configuración para conocer todas las posibilidades.
Descripción del formato de archivo
La tabla del módulo Posicionador debe guardarse como archivo de texto. Es posible crear un archivo de este tipo utilizando un editor de texto común (por ejemplo, el Bloc de notas) o un procesador de hojas
de cálculo. Por lo general, este formato se llama "CSV".
Cada posición se almacena en una línea separada, las líneas vacías y las líneas que no contienen una posición válida se ignoran silenciosamente. Una línea consta de campos separados por coma, punto y
coma, espacios o caracteres de tabulación. Las cadenas pueden estar entre comillas simples o dobles, pero esto no es obligatorio. La codificación de caracteres siempre es UTF-8. El separador decimal
puede ser un punto o una coma.
Cada fila consta de tres o cuatro campos. El primer campo es el nombre de una posición, los siguientes dos campos definen las coordenadas X e Y respectivamente. El cuarto campo es opcional, contiene
una cadena que se muestra como información sobre herramientas en el cuadro de diálogo Posicionador.
La descripción detallada del formato está disponible bajo petición.
Mesa modelo con posición:
Nombre, Posición X, Posición Y, Comentario
"Ref 1",26.3,14.5,"Punto de referencia 1"
"Ref 2",25.6,15.3,"Punto de referencia 2"
"Posición 1",25.7,14.6
"Posición 2",31.2,4.6
"Posición 3",43.8,-15.6
Creando la tabla usando el SEM
El módulo Positioner permite a un usuario hacer una tabla de lugares notables en una muestra. Tal tabla se puede usar para ubicar los lugares incluso si toma el
muestra fuera del microscopio. El siguiente procedimiento describe el procedimiento de creación de la tabla. Se supone que el microscopio está equipado con una platina de muestra motorizada. Antes de
comenzar, asegúrese de que el SEM esté listo y de que vea una imagen en la ventana de escaneo del SEM.
Procedimiento:
1. En el menú principal, abra el menú SEM y haga clic en el elemento Control de escenario. Aparece el cuadro de diálogo Control de escenario. Compruebe si la platina está calibrada (el botón Calibrar no
parpadea). De lo contrario, calibre la platina con el botón Calibrar. Espere hasta que la operación haya terminado.
3. En la parte superior del mismo, haga clic en el botón para cambiar el módulo al modo de trabajo correcto.
4. Haga clic en el botón. Se abre el nuevo cuadro de diálogo, muestra la posición ya definida.
5. Haga clic en el botón Nueva tabla para borrar el contenido de la tabla y comenzar la creación de la nueva tabla. El asistente simple le ayuda a hacer esto.
6. Encuentre una característica fácilmente reconocible en la muestra en la ventana de escaneo SEM. Para lograr esto, puede cambiar la ampliación y mover el escenario en los ejes X e Y y la rotación. Haga
clic en la función con el botón izquierdo del ratón. El lugar está resaltado.
7. En el cuadro de diálogo Nueva tabla, introduzca el nombre del primer punto de referencia (campo Nombre). Opcionalmente, también puede introducir una descripción (campo Descripción), que
se mostrará como información sobre herramientas en el cuadro de diálogo Posicionador.
9. Haga clic en el botón Siguiente. Repita los pasos 6 y 7 siete para el segundo punto de referencia. Haga clic en el botón Finalizar para cerrar el cuadro de diálogo. El cuadro de diálogo Editar tabla debería
verse así:
10. Ahora, puede ingresar posiciones adicionales a la tabla. En el cuadro de diálogo Editar tabla , haga clic en el botón Agregar posición. Se abre el nuevo cuadro de diálogo.
11. Busque otra característica en la ventana de escaneo SEM. Para lograr esto, puede cambiar la ampliación y mover el escenario en los ejes X e Y y la rotación. Haga clic en la función con el botón izquierdo
del ratón. El lugar está resaltado.
12. En el cuadro de diálogo Agregar posición , ingrese el nombre de la posición (campo Nombre). Opcionalmente, también puede ingresar una descripción (campo Descripción), que se mostrará como
información sobre herramientas en el cuadro de diálogo Posicionador.
13. Haga clic en el botón Siguiente. Repita los pasos 11 y 12 para continuar definiendo nuevas posiciones. Haga clic en el botón Cancelar para finalizarlo.
14. Para guardar la tabla en el archivo, haga clic en el botón Guardar tabla. Aparece el cuadro de diálogo estándar para guardar.
15. Haga clic en el botón Cerrar para finalizar el modo de edición y volver al cuadro de diálogo Posicionador.
Temas relacionados: Escenario de muestra, Control de escenario.
Posiciones X
El X-Positioner es una herramienta de software innovadora que permite al usuario mover la platina de muestra de acuerdo con una plantilla. La orientación en un escenario de muestra será más fácil con el
módulo opcional avanzado y totalmente automatizado de navegación óptica del escenario.
La plantilla puede ser una imagen realizada por un microscopio electrónico, un microscopio óptico, una cámara digital u otro dispositivo de formación de imágenes o una tabla de posiciones.
La imagen de la plantilla debe guardarse en uno de los formatos de imagen admitidos (TIFF, JPEG, BMP, PNG, …). Se supone que la imagen de la plantilla se guarda en un
disco. Asegúrese de que el SEM esté listo para usar.
El núcleo del posicionador X (estándar) se puede ampliar aún más con módulos opcionales:
Coral X-Positioner: extensión de microscopía correlativa compatible con varios formatos de imagen no estándar (p. ej., Nikon ND2)
Synopsys Camelot Client: navegación en obleas y circuitos integrados según un diseño CAD.
RISE - Microscopía Corellativa Raman y SEM
SPM: navegación calibrada de la punta SPM
Nota: Se requiere la platina de muestra con ejes XYR motorizados.
El diálogo de control del Posicionador X se abre en el menú Herramientas y Posicionador X.
conjuntos de capas
La caja de herramientas X-Positioner sirve para la navegación del escenario según una imagen o tabla de posiciones. Las imágenes de interés del usuario se pueden agrupar en los conjuntos de imágenes
que comparten la misma calibración:
Los conjuntos de capas contienen imágenes de nuestro interés.

Las capas son imágenes constituyentes del Conjunto de capas.
Conjuntos de capas:
Tras abrir la ventana desde la barra de herramientas principal, se activa automáticamente la pestaña Conjuntos de capas.
El usuario puede crear un nuevo conjunto de capas haciendo clic en el botón Agregar conjunto.
El Conjunto también se puede agregar haciendo clic en el botón Importar, donde la imagen de nuestro interés se importa automáticamente directamente al nuevo conjunto de seleccionado
carpeta.
El conjunto de capas se puede eliminar haciendo clic en el botón Eliminar conjunto.

El conjunto no calibrado está etiquetado con una cruz roja antes del nombre del conjunto de imágenes.
El conjunto calibrado está etiquetado con una marca de verificación verde antes del nombre del conjunto de imágenes.
- Al hacer clic con el botón derecho del mouse directamente en el conjunto no calibrado, aparece una ventana de diálogo:
El usuario puede rápidamente:
Agregar ítem nuevo.

Eliminar: eliminar el elemento.
Añadir capa: asigna una nueva capa al conjunto seleccionado.
Renombrar: cambia el nombre del elemento.
Importar imagen: asigna la imagen de la carpeta de destino a un nuevo conjunto.
Mostrar posiciones: abre la tabla donde se almacenan posiciones definidas en las capas. Ver la parte Posiciones.
Iniciar calibración general: este elemento permite al usuario calibrar el sistema de coordenadas de la imagen a las coordenadas del escenario. Ver la Calibración de las capas.
- Si las imágenes del Conjunto ya están calibradas, aparece una ventana de diálogo y luego el usuario puede:

Eliminar: eliminar el elemento.
Añadir capa: asigna una nueva capa al conjunto seleccionado.
Mostrar posiciones: abre la tabla donde se almacenan posiciones definidas en las capas. Ver la parte Posiciones.
Crear vista general permite al usuario superponer imágenes seleccionadas y posiciones seleccionadas de un conjunto de imágenes a la nueva capa. El software guarda
automáticamente la imagen como una nueva capa en el Conjunto. La vista general también se puede guardar en la carpeta de destino haciendo clic en la imagen con el botón
derecho del ratón y seleccionando el elemento Guardar imagen.
Adición de una nueva capa al Conjunto de capas:
Abra las imágenes de su interés en el software SEM usando el Administrador de imágenes, o simplemente extraiga la imagen a la ventana principal desde la carpeta de destino.
Al hacer clic en el botón Agregar capa, el usuario puede cargar una nueva imagen en el Conjunto y, por lo tanto, crear una nueva capa. Solo la imagen real se agrega al conjunto.
El número de capas en el Conjunto no está limitado. Cada Conjunto tiene sus propias capas y atributos.
El botón Eliminar capa permite eliminar las imágenes seleccionadas (capas) del conjunto.
- Al hacer clic con el botón derecho del mouse directamente en la capa, aparece una ventana de diálogo:
Agregar nueva imagen al Conjunto.

Elimina la imagen seleccionada de la lista de capas.
Renombrar la capa.
Cambie la visibilidad de la capa en la ventana de escaneo. Al hacer clic en este elemento, la capa adecuada aparece o desaparece de la ventana de escaneo.
- La visibilidad de la capa también se puede cambiar haciendo doble clic con el botón izquierdo del mouse en la capa.
- La capa se transfiere al frente de la pantalla haciendo doble clic con el botón derecho del mouse en la capa.
El botón de calibración permite al usuario calibrar el sistema de coordenadas de la imagen a las coordenadas del escenario. Ver Calibración de las capas.
Crear vista general permite al usuario superponer imágenes seleccionadas y posiciones seleccionadas de un Conjunto a la nueva capa. El software guarda automáticamente la imagen como una nueva capa
en el Conjunto. La vista general también se puede guardar en la carpeta de destino haciendo clic en la imagen con el botón derecho del ratón y seleccionando el elemento Guardar imagen.
Mostrar superposición en vivo. Si la casilla está marcada, las imágenes seleccionadas se superponen a la ventana de escaneo.
Calibración
Para mover el escenario de muestra de acuerdo a una imagen de nuestro interés, es necesario correlacionar las imágenes (capas) y la ventana de escaneo. Necesitará dos características fácilmente reconocibles
en la imagen (capa), que se utilizarán para la calibración del sistema de coordenadas de la imagen a las coordenadas del escenario.
Calibración general:
1. Después de abrir la pestaña Calibración desde la pestaña Conjuntos de capas haciendo clic en el botón Calibrar, haga clic nuevamente en el botón Calibrar.
2. Seleccione una característica bien reconocible en la imagen de nuestro interés y haga clic en la característica con el botón izquierdo del mouse para ajustar el primer punto de calibración. los
se destaca el lugar.
3. Haga clic en la misma función de la ventana de escaneo SEM. El lugar también se destaca. Para encontrar la función, puede cambiar la ampliación y mover
el escenario en el eje X e Y y la rotación.
4. Repita el segundo y tercer paso nuevamente para ajustar el segundo punto de calibración.
5. Es posible agregar otros puntos de calibración (máx. 10) haciendo clic en el botón Agregar punto de calibración en la pestaña.
Nota: Se recomienda utilizar solo dos o tres puntos de calibración. Si se utilizan cuatro o más puntos de calibración, el proceso de cálculo se prolonga.
Nota: Se recomienda enfáticamente seleccionar los puntos de calibración desde el centro de la ventana de escaneo y usar la mayor ampliación posible.
El procedimiento de calibración es entonces más preciso.
6. Los valores de calibración se pueden guardar con un nombre determinado haciendo clic en el botón Guardar calibración.
7. Los valores guardados seleccionados pueden cargarse haciendo clic en el botón Cargar calibración o eliminarse haciendo clic en el botón Eliminar.
8. Cuando haya finalizado el procedimiento de calibración, cada vez que haga doble clic con el botón izquierdo del mouse en la imagen de la plantilla, la etapa de muestra
mueve el lugar correspondiente en la muestra al centro de la ventana de escaneo SEM.
Calibración en base a posiciones predefinidas:
En el caso de que el usuario disponga únicamente de la tabla de posiciones predefinidas en formato de archivo CSV (no hay imágenes disponibles), la calibración es la siguiente:
1. Cargue la tabla de puestos predefinidos (formato CSV) haciendo clic en el botón Importar desde CSV en la pestaña Puestos.
2. Haga clic en el botón Calibrar. Se abre el cuadro de diálogo Calibración.
3. Haga clic en el botón Calibrar en la parte izquierda del cuadro de diálogo. Se abre el cuadro de diálogo Posiciones.
4. Haga doble clic en una de las posiciones en la tabla y luego haga clic en el lugar de su interés en la ventana de escaneo SEM. El primer punto es
calibrado.
5. Haga doble clic nuevamente en otra posición en la tabla y nuevamente haga clic en el lugar de su interés en la ventana de escaneo SEM. El segundo punto es
calibrado.
6. Los puntos calibrados se resaltan con la marca roja antes del nombre de la posición.
7. Después de la calibración, el usuario puede agregar otras posiciones de su interés haciendo clic en el botón Agregar posición.
8. El proceso de calibración se puede guardar como se describe en la parte Calibración general.
Calibración fina:
El usuario puede usar las flechas para establecer un ajuste más preciso o escribir el valor apropiado para la columna en la parte Calibración fina y presionar el botón Usar
calibración.
La calibración fina se puede guardar como se describe en la sección Calibración general.
Posiciones
La pestaña Posiciones permite al usuario guardar posiciones de nuestro interés en la tabla o leer posiciones directamente desde la tabla (formato de archivo CSV). Es posible agregar tantas posiciones como
defina el usuario.
Cómo agregar una nueva posición:
1. Haga clic en el botón Agregar posición.

2. Se abre la tabla de información.
3. El usuario puede escribir un nombre y una descripción de la posición de la muestra.

4. Haga clic en el botón Determinar posición y luego haga clic en la imagen abierta para especificar el lugar de nuestro interés. El lugar de nuestro interés se puede determinar también haciendo clic
directamente en la ventana de escaneo si las imágenes están calibradas. Si hace clic y mantiene presionado el botón izquierdo del mouse, se determina la posición y su tamaño.
5. Si es necesario, determine el lugar exacto donde se presenta el área de nuestro interés escribiendo el valor exacto en el campo de coordenadas X e Y.
6. Si es necesario, determine el tamaño exacto del área de nuestro interés escribiendo los valores exactos en los campos X e Y tamaño.
7. Haga clic en el botón Ok para confirmar su configuración.
Al hacer clic con el botón derecho del mouse directamente en el nombre de la posición, aparece la ventana de diálogo:
Agregar posición permite al usuario crear una nueva posición en la imagen.

Ir a posición mueve el escenario a la posición. La flecha verde antes del nombre de la posición indica cuál de las posiciones está en el medio de la ventana de escaneo. La marca roja antes del
nombre de la posición indica que la posición sirve también como punto de calibración.
Eliminar posición permite al usuario eliminar la posición actual.
Editar posición permite al usuario cambiar la configuración de la posición.
Opciones de filtro abre la pestaña Opciones donde el usuario puede configurar el filtrado de posiciones.
Encuentre la ruta óptima organiza las posiciones, de modo que el escenario tenga que moverse mínimamente durante el movimiento entre las posiciones.
Crear resumen. La posición seleccionada se puede utilizar para crear una imagen general.
- Elimine la posición inadecuada haciendo clic en el botón Eliminar posición.

- Para eliminar todas las posiciones definidas, haga clic en el botón Borrar todo.
- El usuario puede leer las posiciones guardadas antes en la imagen si los datos se guardan en los formatos admitidos haciendo clic en el botón Importar desde CSV.
De lo contrario, las posiciones se pueden guardar haciendo clic en el botón Exportar a CSV.
- El botón Calibrar lleva al usuario a la tabla de calibración, donde se puede eliminar la calibración ya realizada y se pueden volver a calibrar las imágenes. El usuario también puede agregar puntos de
calibración o realizar una calibración fina.
- El botón Ir a la posición permite al usuario moverse por la muestra hasta las posiciones definidas.
Nota: El conjunto de imágenes tiene que ser calibrado.
- El filtro de puestos se puede activar haciendo clic con el botón derecho del ratón sobre el nombre del puesto y seleccionando las opciones de Filtro. O puede ir directamente a la pestaña Opciones.
- Al marcar la casilla Posiciones desde la vista, el usuario puede seleccionar si desea mostrar todas las posiciones (filtradas/no filtradas) o solo las posiciones visibles en la ventana de escaneo real.
- Al hacer clic en el encabezado de cada columna, las posiciones se pueden ordenar por nombre, eje x e y, por tamaño o descripción.
Opciones
La pestaña Opciones permite al usuario establecer varios modos de cómo navegar por el escenario de acuerdo con la plantilla, cambiar el modo de superposición o filtrar las posiciones en las que el usuario no
está interesado.
Modos de navegación:
Use los ejes X e Y, mantenga la rotación : el escenario se mueve en los ejes X e Y, la rotación sigue siendo la misma
Use los ejes X e Y, alinee la rotación : el escenario se mueve en los ejes X e Y, la rotación está alineada
Use X y rotación, mantenga el eje Y : el escenario se mueve en el eje X y la rotación cambia, el eje Y permanece igual
Use X y rotación, eje Y cero : el escenario se mueve en el eje X y la rotación cambia, el eje Y es cero
Use Y y rotación, mantenga el eje X : el escenario se mueve en el eje Y y la rotación cambia, el eje X permanece igual
Use Y y rotación, eje X cero : el escenario se mueve en el eje Y y la rotación cambia, el eje X es cero
Navegación de oblea : el movimiento del escenario está optimizado para la navegación de oblea
La selección se confirma haciendo clic en el botón Aplicar.
Filtrado de las posiciones:
Esta parte permite al usuario seleccionar un área específica de la muestra filtrando las coordenadas seleccionadas que se enumeran en la pestaña. Las posiciones también se pueden filtrar por su nombre
marcando el elemento Descripción. La selección se confirma haciendo clic en el botón Aplicar.
Modos de superposición:
El usuario puede seleccionar entre cinco modos de superposición y establecer la intensidad deseada de la superposición moviendo el cursor.
La tabla del módulo Posicionador debe guardarse como archivo de texto. Es posible crear un archivo de este tipo utilizando un editor de texto común (por ejemplo, el Bloc de notas) o un procesador de hojas de
cálculo. Por lo general, este formato se llama "CSV".
Cada posición se almacena en una línea separada, las líneas vacías y las líneas que no contienen una posición válida se ignoran silenciosamente. Una línea consta de campos separados por coma, punto y coma,
espacios o caracteres de tabulación. Las cadenas pueden estar entre comillas simples o dobles, pero esto no es obligatorio. La codificación de caracteres siempre es UTF-8. El separador decimal puede ser un
punto o una coma.
Cada fila consta de tres o cuatro campos. El primer campo es el nombre de una posición, los siguientes dos campos definen las coordenadas X e Y respectivamente. El cuarto campo es opcional, contiene una
cadena que se muestra como información sobre herramientas en el cuadro de diálogo Posicionador.
Nombre, Posición X, Posición Y, Comentario, Tamaño X, Tamaño Y
"Referencia 1", 26,3, 14,5, "Punto de referencia 1", 0,0, 0,0
"Ref 2",25.6,15.3,"Punto de referencia 2", 0.0, 0.0
"Posición 1", 25,7, 14,6, 0,0, 0,0
"Posición 2",31.2,4.6, 0.0, 0.0
"Posición 3",43,8,-15,6, 0,0, 0,0
Posicionador X: Coral
El X-Positioner Coral es una herramienta de software innovadora que correlaciona datos de microscopía óptica con datos ultraestructurales de SEM. Gracias a este módulo, un usuario puede superponer
fácilmente imágenes de luz y fluorescencia en vivo en la ventana SEM. Está diseñado principalmente para leer formatos de archivos de imágenes de ciencias de la vida (p. ej., ND2). Permite a un usuario
mover la etapa de muestra de acuerdo con una plantilla. La plantilla puede ser una imagen realizada por un microscopio electrónico, un microscopio óptico, una cámara digital u otro dispositivo de
formación de imágenes o una tabla de posiciones. La imagen de la plantilla debe guardarse en uno de los formatos de imagen admitidos (TIFF,
JPEG, BMP, PNG, …). La orientación en un escenario de muestra será más fácil con el módulo opcional avanzado y totalmente automatizado de navegación óptica del escenario.
El núcleo del posicionador X Coral se puede ampliar aún más con módulos opcionales:
Synopsys Camelot Client: navegación en obleas y circuitos integrados según un diseño CAD.
RISE - Microscopía Corellativa Raman y SEM
SPM: navegación calibrada de la punta SPM
Nota: Se supone que la imagen de la plantilla se guarda en un disco. Asegúrese de que el SEM esté listo para usar.
Nota: Se requiere la platina de muestra con ejes XYR motorizados.
El diálogo de control de X-Positioner Coral se abre en el menú Herramientas y X-Positioner: Coral.
conjuntos de capas
La caja de herramientas X-Positioner Coral sirve para la navegación del escenario según una imagen o tabla de posiciones. Las imágenes de interés del usuario se pueden agrupar en los conjuntos de
imágenes que comparten la misma calibración:
Los conjuntos de capas contienen imágenes de nuestro interés.

Las capas son imágenes constituyentes del Conjunto de capas.
Conjuntos de capas:
Tras abrir la ventana desde la barra de herramientas principal, se activa automáticamente la pestaña Conjuntos de capas.
El usuario puede crear un nuevo conjunto de capas haciendo clic en el botón Agregar conjunto.
El Conjunto también se puede agregar haciendo clic en el botón Importar, donde la imagen de nuestro interés se importa automáticamente directamente al nuevo conjunto desde la seleccionada.
carpeta.
El conjunto de capas se puede eliminar haciendo clic en el botón Eliminar conjunto.
El conjunto no calibrado está etiquetado con una cruz roja antes del nombre del conjunto de imágenes.
El conjunto calibrado está etiquetado con una marca de verificación verde antes del nombre del conjunto de imágenes.
- Al hacer clic con el botón derecho del mouse directamente en el conjunto de imágenes no calibradas, aparece una ventana de diálogo:

Quitar eliminar el elemento.
Añadir capa: asigna una nueva capa al Set seleccionado.
Mostrar posición: abre la tabla donde se almacenan posiciones definidas en las capas. Ver la parte Posiciones.
Iniciar calibración general: En caso de que la calibración no se haya realizado antes, permite al usuario calibrar el sistema de coordenadas de la imagen a las coordenadas del escenario.
Ver la parte Calibración.
Calibración fuera de línea: Ver la parte Calibración fuera de línea.
- Si las imágenes del Conjunto ya están calibradas, aparece una ventana de diálogo y luego el usuario puede:
Crear instantánea SEM: permite al usuario superponer imágenes seleccionadas y posiciones seleccionadas de un conjunto de imágenes a la nueva capa. El software guarda
automáticamente la imagen como una nueva capa en el Conjunto de capas. La vista general también se puede guardar en la carpeta de destino haciendo clic en la imagen con el botón
derecho del ratón y seleccionando el elemento Guardar imagen.
Crear vista general: permite al usuario superponer imágenes seleccionadas y posiciones seleccionadas de un conjunto de capas a la nueva capa. El software automáticamente
guarda la imagen como una nueva capa en el Conjunto de capas. La vista general también se puede guardar en la carpeta de destino haciendo clic en la imagen con el botón derecho del mouse
y seleccionando el elemento Guardar imagen.
Calibración fuera de línea: Ver la parte Calibración fuera de línea.
Nota: Al hacer clic en el botón Importar o al seleccionar el elemento Importar imagen, el usuario puede agregar una nueva imagen, una tabla de posiciones (CSV) o datos de formatos de archivo
de imagen de ciencias de la vida admitidos.
Adición de una nueva capa al Conjunto de capas:
Abra las imágenes de su interés en el software SEM usando el Administrador de imágenes, o simplemente extraiga la imagen a la ventana principal desde la carpeta de destino.
Al hacer clic en el botón Agregar capa, el usuario puede cargar una nueva imagen en el Conjunto y, por lo tanto, crear una nueva capa. Solo la imagen real se agrega al conjunto.
El número de capas no está limitado. Cada Conjunto tiene sus propias capas y atributos.
El botón Eliminar capa permite eliminar las imágenes seleccionadas (capas) del conjunto.
- Al hacer clic con el botón derecho del mouse directamente en la capa, aparece una ventana de diálogo:
Agregar nueva imagen al Conjunto.

Elimina la imagen seleccionada de la lista de capas.
Renombrar la capa.
Cambie la visibilidad de la capa en la ventana de escaneo. Al hacer clic en este elemento, la capa adecuada aparece o desaparece de la ventana de escaneo.
- La visibilidad de la capa también se puede cambiar haciendo doble clic con el botón izquierdo del mouse en la capa.
- La capa se transfiere al frente de la pantalla haciendo doble clic con el botón derecho del mouse en la capa.
El botón de calibración permite al usuario calibrar el sistema de coordenadas de la imagen a las coordenadas del escenario. Ver Calibración de las capas.
Crear vista general permite al usuario superponer imágenes seleccionadas y posiciones seleccionadas de un Conjunto a la nueva capa. El software guarda automáticamente la imagen como
una nueva capa en el Conjunto. La vista general también se puede guardar en la carpeta de destino haciendo clic en la imagen con el botón derecho del ratón y seleccionando el elemento
Guardar imagen.
Crear instantánea SEM permite al usuario superponer imágenes seleccionadas y posiciones seleccionadas de un conjunto de imágenes con la ventana de escaneo. La imagen resultante se guarda como una
capa en el nuevo conjunto denominado Adquisiciones. La vista general también se puede guardar en la carpeta de destino haciendo clic en la imagen con el botón derecho del ratón y seleccionando el
elemento Guardar imagen.
Mostrar superposición en vivo. Si la casilla está marcada, las imágenes seleccionadas se superponen a la ventana de escaneo.
Calibración
Para mover el escenario de muestra de acuerdo a una imagen de nuestro interés, es necesario correlacionar las imágenes (capas) y la ventana de escaneo. Necesitará dos características fácilmente reconocibles
en la imagen (capa), que se utilizarán para la calibración del sistema de coordenadas de la imagen a las coordenadas del escenario.
Calibración general:
1. Después de abrir la pestaña Calibración desde la pestaña Conjuntos de capas haciendo clic en el botón Calibrar, haga clic nuevamente en el botón Calibrar.
2. Seleccione una característica bien reconocible en la imagen de nuestro interés y haga clic en la característica con el botón izquierdo del mouse para ajustar el primer punto de calibración. los
se destaca el lugar.
3. Haga clic en la misma función de la ventana de escaneo SEM. El lugar también se destaca. Para encontrar la función, puede cambiar la ampliación y mover
el escenario en el eje X e Y y la rotación.
4. Repita el segundo y tercer paso nuevamente para ajustar el segundo punto de calibración.
5. Es posible agregar otros puntos de calibración (máx. 10) haciendo clic en el botón Agregar punto de calibración en la pestaña.
Nota: Se recomienda utilizar solo dos o tres puntos de calibración. Si se utilizan cuatro o más puntos de calibración, el proceso de cálculo se prolonga.
Nota: Se recomienda enfáticamente seleccionar los puntos de calibración desde el centro de la ventana de escaneo y usar la mayor ampliación posible.
El procedimiento de calibración es entonces más preciso.
6. Los valores de calibración se pueden guardar con un nombre determinado haciendo clic en el botón Guardar calibración.
7. Los valores guardados seleccionados pueden cargarse haciendo clic en el botón Cargar calibración o eliminarse haciendo clic en el botón Eliminar.
8. Cuando haya finalizado el procedimiento de calibración, cada vez que haga doble clic con el botón izquierdo del ratón en la ventana del documento con el
imagen de la plantilla, la etapa de muestra se mueve al lugar correspondiente en la muestra al centro de la ventana de escaneo SEM.
Calibración en base a posiciones predefinidas:
En el caso de que el usuario disponga únicamente de la tabla de posiciones predefinidas en formato de archivo CSV (no hay imágenes disponibles), la calibración es la siguiente:
1. Cargue la tabla de puestos predefinidos (formato CSV) haciendo clic en el botón Importar desde CSV en la pestaña Puestos.
2. Haga clic en el botón Calibrar. Se abre el cuadro de diálogo Calibración.
3. Haga clic en el botón Calibrar en la parte izquierda del cuadro de diálogo. Se abre el cuadro de diálogo Posiciones.
4. Haga doble clic en una de las posiciones en la tabla y luego haga clic en el lugar de su interés en la ventana de escaneo SEM. El primer punto es
calibrado.
5. Haga doble clic nuevamente en otra posición en la tabla y nuevamente haga clic en el lugar de su interés en la ventana de escaneo SEM. El segundo punto es
calibrado.
6. Los puntos calibrados se resaltan con la marca roja antes del nombre de la posición.
7. Después de la calibración, el usuario puede agregar otras posiciones de su interés haciendo clic en el botón Agregar posición.
8. El proceso de calibración se puede guardar como se describe en la parte anterior Calibración general.
Calibración fina:
El usuario puede usar las flechas para establecer un ajuste más preciso o escribir el valor apropiado para la columna en la parte Calibración fina y presionar el botón Usar
calibración.
La calibración fina se puede guardar como se describe en la sección Calibración general.
Calibración fuera de línea
La calibración fuera de línea permite al usuario superponer imágenes (capas) de diferentes conjuntos de capas en una imagen general. La imagen resultante se guarda en el Conjunto predeterminado como
una nueva capa. Pueden ocurrir dos opciones de calibración fuera de línea: calibración fuera de línea de imágenes calibradas o no calibradas en los Conjuntos.
Para iniciar la calibración fuera de línea, haga clic en el botón Calibrar dos imágenes estáticas en la parte Calibración fuera de línea.
1. Las imágenes (capas) en los Conjuntos están calibradas:
Seleccione el conjunto original en la parte izquierda de la ventana de diálogo.

Seleccione Conjunto de superposición en la parte derecha de la ventana de diálogo.
Las imágenes se calibran automáticamente. Haga clic en el botón Crear imagen con superposición para ver la descripción general resultante.
La imagen general se guarda automáticamente en el conjunto predeterminado. El usuario también puede guardar la imagen haciendo clic con el botón derecho del mouse en la imagen y seleccionando
el elemento Guardar imagen.
2. Las imágenes (capas) en los Conjuntos no están calibradas:
Seleccione el conjunto original en la parte izquierda de la ventana de diálogo.

Seleccione Conjunto de superposición en la parte derecha de la ventana de diálogo.
Calibre las imágenes.
Seleccione una característica bien reconocible en la imagen original y haga clic en la característica con el botón izquierdo del mouse para ajustar el primer punto de calibración. El lugar está resaltado.
Haga clic en la misma característica de la imagen superpuesta. El lugar también se destaca.

Repita los dos pasos anteriores para ajustar el segundo punto de calibración.
Después de la calibración general, un usuario puede realizar una calibración fina con flechas en la parte central del cuadro de diálogo. Una vez finalizada la calibración, haga clic en el
botón Usar calibración.
Haga clic en el botón Crear superposición de imagen para ver la descripción general resultante.
La imagen general se guarda automáticamente en el conjunto predeterminado. El usuario también puede guardar la imagen haciendo clic con el botón derecho del mouse en la imagen y seleccionando
el elemento Guardar imagen.
Posiciones
La pestaña Posiciones permite al usuario guardar posiciones de nuestro interés en la tabla o leer posiciones directamente desde la tabla (formato de archivo CSV). Es posible agregar tantas posiciones como
defina el usuario.
Cómo agregar una nueva posición:
1. Haga clic en el botón Agregar posición.

2. Se abre la tabla de información.
3. El usuario puede guardar el nombre y la descripción de la posición de la muestra.

4. Haga clic en el botón Determinar posición y luego haga clic en la imagen abierta para especificar el lugar de nuestro interés. El lugar de nuestro interés se puede determinar también haciendo clic
directamente en la ventana de escaneo si las imágenes están calibradas. Si hace clic y mantiene presionado el botón izquierdo del mouse, se determina la posición y su tamaño.
5.- De ser necesario, determine el lugar exacto donde se presenta el área de nuestro interés ingresando el valor exacto al campo de coordenadas X e Y.
6. Si es necesario, determine el tamaño exacto del área de nuestro interés escribiendo los valores exactos en los campos X e Y tamaño.
7. Haga clic en el botón Ok para confirmar su configuración.
Al hacer clic con el botón derecho del mouse directamente en el nombre de la posición, aparece la ventana de diálogo:
Agregar posición crea una nueva posición en la imagen.

Ir a posición mueve el escenario a la posición. La flecha verde antes del nombre de la posición indica cuál de las posiciones está en el medio de la ventana de escaneo. La marca roja antes del
nombre de la posición indica que la posición sirve también como punto de calibración.
Eliminar posición permite al usuario eliminar la posición actual.
Editar posición permite al usuario cambiar la configuración de la posición.
Opciones de filtro abre la pestaña Opciones donde el usuario puede configurar el filtrado de posiciones.
Encuentre la ruta óptima organiza las posiciones, de modo que el escenario tenga que moverse mínimamente durante el movimiento entre las posiciones.
Crear resumen. La posición seleccionada se puede utilizar para crear una imagen general.
- Elimine la posición inadecuada haciendo clic en el botón Eliminar posición.

- Para eliminar todas las posiciones definidas, haga clic en el botón Borrar todo.
- El usuario puede leer las posiciones guardadas antes en la imagen si los datos se guardan en los formatos admitidos haciendo clic en el botón Importar desde CSV.
De lo contrario, las posiciones se pueden guardar haciendo clic en el botón Exportar a CSV.
- El botón Calibrar lleva al usuario a la tabla de calibración, donde se puede eliminar la calibración ya realizada y se pueden volver a calibrar las imágenes. El usuario también puede agregar un punto de
calibración o realizar una calibración fina.
- El botón Ir a la posición permite al usuario moverse por la muestra hasta las posiciones definidas.
Nota: El conjunto de imágenes tiene que ser calibrado.
- El filtro de puestos se puede activar haciendo clic con el botón derecho del ratón sobre el nombre del puesto y seleccionando las opciones de Filtro. O puede ir directamente a la pestaña Opciones.
- Al marcar la casilla Posiciones desde la vista, el usuario puede seleccionar si desea mostrar todas las posiciones (filtradas/no filtradas) o solo las posiciones visibles en la ventana de escaneo real.
- Al hacer clic en el encabezado de cada columna, las posiciones se pueden ordenar por nombre, eje x e y, por tamaño o descripción.
Opciones
La pestaña Opciones permite al usuario establecer varios modos de cómo navegar por el escenario de acuerdo con la plantilla, cambiar el modo de superposición o filtrar las posiciones en las que el usuario no
está interesado.
Modos de navegación:
Use los ejes X e Y, mantenga la rotación : el escenario se mueve en los ejes X e Y, la rotación sigue siendo la misma
Use los ejes X e Y, alinee la rotación : el escenario se mueve en los ejes X e Y, la rotación está alineada
Use X y rotación, mantenga el eje Y : el escenario se mueve en el eje X y la rotación cambia, el eje Y permanece igual
Use X y rotación, eje Y cero : el escenario se mueve en el eje X y la rotación cambia, el eje Y es cero
Use Y y rotación, mantenga el eje X : el escenario se mueve en el eje Y y la rotación cambia, el eje X permanece igual
Use Y y rotación, eje X cero : el escenario se mueve en el eje Y y la rotación cambia, el eje X es cero
Navegación de oblea : el movimiento del escenario está optimizado para la navegación de oblea
La selección se confirma haciendo clic en el botón Aplicar.
Filtrado de las posiciones:
Esta parte permite al usuario seleccionar un área específica de la muestra filtrando las coordenadas seleccionadas que se enumeran en la pestaña. Las posiciones también se pueden filtrar por su nombre
marcando el elemento Descripción. La selección se confirma haciendo clic en el botón Aplicar.
Modos de superposición:
El usuario puede seleccionar entre cinco modos de superposición y establecer la intensidad deseada de la superposición moviendo el cursor.
La tabla del módulo Posicionador debe guardarse como archivo de texto. Es posible crear un archivo de este tipo utilizando un editor de texto común (por ejemplo, el Bloc de notas) o un procesador de hojas de
cálculo. Por lo general, este formato se llama "CSV".
Cada posición se almacena en una línea separada, las líneas vacías y las líneas que no contienen una posición válida se ignoran silenciosamente. Una línea consta de campos separados por coma, punto y coma,
espacios o caracteres de tabulación. Las cadenas pueden estar entre comillas simples o dobles, pero esto no es obligatorio. La codificación de caracteres siempre es UTF-8. El separador decimal puede ser un
punto o una coma.
Cada fila consta de tres o cuatro campos. El primer campo es el nombre de una posición, los siguientes dos campos definen las coordenadas X e Y respectivamente. El cuarto campo es opcional, contiene una
cadena que se muestra como información sobre herramientas en el cuadro de diálogo Posicionador.
Nombre, Posición X, Posición Y, Comentario, Tamaño X, Tamaño Y
"Referencia 1", 26,3, 14,5, "Punto de referencia 1", 0,0, 0,0
"Ref 2",25.6,15.3,"Punto de referencia 2", 0.0, 0.0
"Posición 1", 25,7, 14,6, 0,0, 0,0
"Posición 2",31.2,4.6, 0.0, 0.0
"Posición 3",43,8,-15,6, 0,0, 0,0
Observador de muestra
El módulo Sample Observer amplía la funcionalidad del software como una cámara secuencial en el tiempo. Esto se puede utilizar para registrar procesos de larga duración. El
módulo almacena imágenes en intervalos de tiempo preseleccionados como imágenes individuales y como secuencia de video en formato AVI en el disco duro. Aparecer el Observador de Mues
cuadro de diálogo, abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Observador de muestra.
El cuadro de diálogo del observador de muestra
Número de imágenes: la cantidad total de imágenes capturadas.
Período de instantánea [s]: el tiempo de retraso entre imágenes consecutivas.
Generar AVI: habilita o deshabilita la generación del archivo AVI; las imágenes independientes estáticas siempre se almacenan independientemente de si la generación de
archivos AVI está habilitada o no.
Cuadros AVI por segundo: la velocidad de reproducción del archivo AVI. Es posible crear un efecto de reproducción más lenta/rápida del proceso grabado en combinación
con el parámetro Periodo de instantánea [s]. Por ejemplo, para Snapshot period=1s y AVIFramepersec=2 , el proceso se reproducirá con el doble de velocidad en comparación
con el proceso real grabado.
El botón Escanear y generar inicia el proceso de almacenamiento de imágenes. Se le pedirá al usuario el directorio de destino y el nombre base del conjunto de imágenes.
El progreso de la adquisición se muestra en la ventana:
Es posible interrumpir el proceso en cualquier momento mediante el botón Cancelar; las imágenes adquiridas hasta el momento se conservan, pero no se creará un archivo
AVI en caso de interrupción.
El botón Reproducir película en el cuadro de diálogo Sample Observer Toolbox puede reproducir un archivo AVI seleccionado por medio de Windows Media Player o por
cualquier otro reproductor asociado con la extensión AVI.
Temporizador de apagado
El temporizador de apagado permite apagar el microscopio en un momento definido. Esta función del dispositivo es adecuada, por ejemplo, para análisis automáticos que se ejecutan sin
una supervisión permanente del operador del microscopio.
El cuadro de diálogo Temporizador de apagado
Para acceder al cuadro de diálogo Temporizador de apagado , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Temporizador de apagado.
Este cuadro de diálogo ofrece dos funciones básicas:
Apagar el suministro de alto voltaje

Después de su inicio, el usuario puede configurar la fecha y la hora de apagado y definir si solo se apagará el suministro de alto voltaje o todo el microscopio.
El temporizador se inicia mediante el botón de inicio. Usando el mismo botón puedes detenerlo. Se muestra el tiempo restante hasta el apagado.
Nota: En el caso del VEGA3 SEM con la opción LaB6, solo se reduce el calentamiento del filamento si se selecciona "apagar solo HV".
Tolerancia
La Tolerancia es un módulo de software, que está destinado a un control rápido de las dimensiones de los objetos y la tolerancia de las dimensiones. Para que aparezca el cuadro de diálogo
Tolerancia , abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Tolerancia.
En la imagen hay una figura de control que se colocará sobre el objeto medido. Luego, el operador verifica si el objeto se encuentra en la zona de tolerancia dada.
Nota: La medida puede ser correcta solo si la imagen está calibrada correctamente.
Configuración de la figura de control
En la parte superior del cuadro de diálogo puede seleccionar el tipo de figura de control (cuadrado, círculo, …..).
La parte Tamaño y posición está diseñada para configurar las unidades de dimensión, rotación y medida. Las dimensiones y la rotación se pueden configurar también mediante el mouse
directamente en la imagen.
Tolerance pat está diseñado para establecer los límites de tolerancia superior e inferior.
Los botones A - D en el campo Perfil indican la memoria para guardar las tolerancias de forma, dimensiones y figura de control. Puedes crear hasta cuatro figuras de control diferentes e
intercambiarlas.
Si la casilla de verificación Mostrar contornos de objetos está marcada, solo se muestran los límites superior e inferior de la figura de control en el objeto no seleccionado.
Haga clic en el botón Opciones para abrir el cuadro de diálogo para configurar las dimensiones del objeto que se muestran directamente en la imagen.
El botón Restablecer establece el tamaño básico de la figura de control y la coloca en el centro de la imagen.
Operaciones con los objetos de la imagen

Con el ratón puede mover la figura de control, cambiar sus dimensiones y establecer el ángulo de rotación. El control se realiza mediante los puntos de agarre.
Si solo desea mover o rotar la figura de control sin ningún cambio de dimensión, mantenga presionada la tecla Mayús.
Si hace doble clic en el punto seleccionado en la imagen, el centro de la figura de control se mueve en este punto.
Si abre una nueva imagen, la figura de control se copiará automáticamente en esta imagen respetando la ampliación de la nueva imagen. De esta manera puede ejecutar mediciones
en más imágenes rápidamente.
Si desea ocultar los puntos de agarre, haga clic fuera de la figura de control.
EBIC
El EBIC significa medición y mapeo de corriente/conductividad inducida por haz de electrones. El haz de electrones induce una corriente dentro de una muestra que puede usarse
como señal para generar imágenes que representen las características de la muestra, por ejemplo, las ubicaciones de las uniones pn en la muestra, la presencia de defectos
locales y las faltas de homogeneidad por dopaje.
Este método se utiliza para un estudio de la calidad de los semiconductores locales (uniones de barrera o detección de defectos; examen de las propiedades de los portadores
minoritarios). La corriente generada se mide con un picoamperímetro dedicado dentro del detector. La muestra estudiada se puede conectar directamente mediante un cable
eléctrico especial o mediante puntas de sonda de nanomanipuladores.
La señal EBIC se puede mostrar en la ventana de escaneo SEM como un detector de señal o se puede medir localmente (punto, línea) por un valor.
El detector EBIC también está equipado por polarización, por lo que también se puede utilizar para medir la medición de las características de corriente-voltaje IV.
El esquema eléctrico del principio EBIC en una muestra de diodo:
Fig. Ejemplo de imagen EBIC: unión PN en SE y señal EBIC.
Conectores EBIC
Hay dos tipos de conectores EBIC disponibles.
Tipo A: Conexión directa de la muestra por cable Tipo B: Conexión para sondeo con nanomanipulador (tipo LEMO FFA.00.250.CTAC22)
pin1: sesgo, X1: conector de polarización para conector de escenario (plataforma como sustrato), X2: conector de polarización para nanomanipulador (o cable de contacto)
pin3: señal medida X3: conector de señal medida
Control EBIC
Para que aparezca el panel de Control EBIC, abra el menú SEM y seleccione el elemento Control EBIC.
Si se inicia el módulo, aparece el siguiente cuadro de diálogo:
El control deslizante está diseñado para establecer la polarización del voltaje de muestra dentro del rango seleccionado. Esto se puede configurar en el rango de +-5V o +-2mV. El valor de ajuste es
se muestra en el campo de texto sobre el control deslizante. En el campo de texto debajo del control deslizante se muestra la corriente medida absorbida por la muestra. El EBIC actual
la respuesta se mide en el rango seleccionado.
La variante extendida del cuadro de diálogo muestra los perímetros y el gráfico para la respuesta de tiempo o la medición de características IV:
Descripción:
Rango de voltaje: un rango de polarización (+/- 5 V, +/- 2 mV)

Rango de corriente - un rango de medida del preamplificador del medidor pA Mín./ Máx. bias
[V] - define el rango de bias para la medición de la curva VA Min./Max. actual [A]: define los valores límite
(parada) para la medición de la curva VA, la medición I(t) o la medición del perfil EBIC.
Tiempo de permanencia: define un período de medición o un tiempo de permanencia del haz para la medición de las características
Resolución: define el paso de polarización de voltaje para la medición de la curva VA (media de resolución completa 14 bits DAC, es decir, paso de voltaje = rango de voltaje / (2^14 /
resolución_reducción) ))
Selección del método de medición - posibilidades de medición de la curva VA, medición I(t) o medición del perfil I(pos) Medir - inicia la medición.
Guardar: guarda la medición como una tabla de valores csv.
Muestra de conexión para EBIC
Hay dos conectores para el EBIC: 1 - La conexión de medición debe conectarse a la parte P de la unión oa la sonda del nanomanipulador de medición. 2 - El cable de polarización (blindaje), debe conectarse a
la parte N de la unión (sustrato de la celda solar) oa la segunda sonda del nanomanipulador.
La muestra en sí debe estar aislada de la etapa (que está conectada a tierra a través del picoamperímetro) o (cuando se instala un BDM conmutable) el picompermetro debe cambiarse al estado "Muestra fuera
de medición externa".
Uso de EBIC como detector de señal
1. Inserte la muestra en la cámara del microscopio.

2. Conecte los cables EBIC o las sondas del nanomanipulador a la muestra y al conector EBIC, asegúrese de que la muestra esté aislada de
puesta a tierra del escenario
3. En el panel SEM Detectors & Mixer, seleccione los detectores EBIC y SE simultáneamente.
4. Establezca el valor adecuado de alto voltaje e intensidad del haz. (Las energías de haz más altas aumentan la penetración del haz pero reducen la resolución EBIC, si no
asegúrese de probar 20kV y luego baje hasta que la señal sea visible)
5. Establezca el valor óptimo del voltaje de polarización y utilice simultáneamente la función de señal automática para recibir una imagen EBIC adecuada
Sugerencia: para ver la señal EBIC como un mapa de color, puede crear un nuevo "Detector virtual" en el menú SEM -> Detectores.
Uso de EBIC para medir las características IV
El dispositivo EBIC también se puede utilizar para la medición característica de VA. En este caso, siga estas instrucciones:
1. Inserte la muestra y conecte dos nanomanipuladores a los conectores EBIC.

2. Conecte los cables o las puntas del manipulador a la superficie de la muestra. Coloque las puntas en el borde de un lugar de interés.
3. Abra el panel de control EBIC ampliado y seleccione el elemento Medir característica VA.
4. Escriba el valor máximo y mínimo de tensión y corriente de polarización en la tabla del panel de control EBIC.
5. Seleccione el rango de voltaje y la resolución
6. Apague el haz de electrones
7. Haga clic en el botón Medir para iniciar la medición.
8. Guarde los datos en el archivo csv o txt haciendo clic en el botón Guardar. Para guardar solo la imagen de la curva, haga clic con el botón derecho en la ventana del gráfico.
Nota: Cuando el valor de la corriente supera el valor máximo/ mínimo de la min.-max. corriente, la medición se detiene automáticamente.
Fig. Comportamiento VA típico de una muestra de diodo
Medición cuantitativa EBIC de perfiles de línea

Es posible la medición cuantitativa EBIC sobre la línea. Durante la medición, el haz de electrones escanea la línea y mide un valor cuantitativo de la corriente EBIC. Esto se puede usar, por ejemplo, para medir
el ancho de la zona de agotamiento de la unión PN.
1. Encienda el haz de electrones.
2. Seleccione la opción “Medir perfil I(pos)”

3. Defina la línea en la imagen SEM en vivo
4. Establecer el tiempo de permanencia para el punto
5. Haga clic en el botón Medir para iniciar la medición.
6. Guarde los datos en el archivo csv o txt haciendo clic en el botón Guardar. Para guardar solo la imagen de la curva, haga clic con el botón derecho en la ventana del gráfico.
Uso de EBIC en células solares

El detector EBIC estándar está diseñado principalmente para el tipo de muestra de fuente de corriente, con alta resistencia de fuente (unión PN). La celda solar tiene una fuente de baja resistencia, parece una
fuente de voltaje. Esto provoca el cambio del amplificador de corriente original (etapa de entrada del detector) al amplificador de voltaje, lo que puede aumentar el ruido de la señal. Utilice un rango de
polarización de ±2 mV para cancelar la compensación EBIC al apagar el haz manualmente.
Vista de la cámara
El módulo Camera View controla una pequeña cámara adjunta a la cámara SEM. Dentro de la cámara, hay diodos LED, que se pueden encender y apagar. Para que aparezca el cuadro de diálogo Vista de cámara ,
abra el menú Herramientas y seleccione el elemento Vista de cámara
o haga clic en el botón en la barra de herramientas principal.
La siguiente ventana se muestra cuando se inicia el módulo Vista de cámara :
El tamaño de la ventana de vista de inclinación se puede cambiar arrastrando su borde.
Al hacer clic con el botón derecho en la imagen de la cámara, aparece el menú contextual:
Haga clic en el elemento Brillo y contraste… para abrir el cuadro de diálogo para el ajuste de Brillo y contraste.
Nota: algunos detectores son sensibles a la luz LED de iluminación de la cámara. Apague el LED si utiliza los siguientes detectores: EDX, EBSD, CL, 4Q-BSE y TE. El LED también se apaga automáticamente si la ventana de vista de la
cámara está cerrada.
EDX variables
El módulo EDX variable es adecuado para el análisis de muestras con detector EDX bajo ángulos de despegue y distancias de trabajo variables. El detector EDX se conecta a la cámara SEM a través
de una brida especial equipada con el tornillo EDX. Con el tornillo EDX, el usuario puede cambiar la inclinación del detector EDX y ajustarlo de forma óptima.
condiciones de trabajo del análisis EDX.
Para abrir el cuadro de diálogo EDX variable, abra el menú Herramientas y seleccione el elemento EDX variable.
Usando el módulo de software Variable EDX, es posible calcular la distancia de trabajo [mm], el ángulo de despegue [grados] o/y la configuración del tornillo EDX
[mm]. El valor calculado del tornillo EDX debe ajustarse manualmente en la brida EDX.
El offset de la pieza polar [mm] tiene solo carácter informativo y se lee automáticamente desde la configuración del SEM.
Para leer la distancia de trabajo real, presione el botón GET ACTUAL.
Barra de herramientas flotante SEM
La barra de herramientas flotante SEM está conectada con la ventana de escaneo SEM en vivo. Está diseñado para un control rápido y cómodo de las funciones básicas del
microscopio mediante iconos. El clic izquierdo activa la función seleccionada. El clic derecho abre el menú adicional (solo para funciones seleccionadas).
Al hacer clic en este botón, se abre el menú contextual para seleccionar Modos de visualización. El ítem Campo Amplio Continuo es el modo especial. Si este modo especial está habilitado, el modo de escaneo cambia automáticamente
de RESOLUCIÓN a CAMPO AMPLIO y viceversa dependiendo de la ampliación actual.
Al hacer clic en este botón, se abre el menú contextual para seleccionar una de las velocidades de escaneo predefinidas. Auto Speed establece automáticamente la velocidad adecuada para la configuración del microscopio.
Scan Speed Continual permite configurar la velocidad exacta en el Panel de control.
Haga clic con el botón izquierdo en este botón para establecer la Ampliación como función activa. Al hacer clic con el botón derecho en este botón, se abre el menú contextual con el valor predefinido de la ampliación.
Haga clic con el botón izquierdo en este botón para establecer la Distancia de trabajo como función activa. Al hacer clic con el botón derecho en este botón, se abre el menú contextual. Auto inicia el procedimiento de afilado automático. Este
El procedimiento puede tardar decenas de segundos.
Reset establece la distancia de trabajo según la ecuación WD new = WD orig - Defocus
Restablecer desenfoque establece el desenfoque para una distancia de trabajo establecida en 0,0 mm.
Al hacer clic con el botón izquierdo en este botón, se establece la corrección de astigmatismo - Stigmators como función activa. Al hacer clic con el botón derecho en este botón, se abre el menú contextual.
Auto inicia el procedimiento de corrección automática del astigmatismo. El correcto funcionamiento de esto depende del tipo de muestra y del aumento actual.
Hacer clic en este botón establece el control de Contraste y Brillo como función activa. El primer valor indica el contraste (amplificación, ganancia) del fotomultiplicador en % del valor máximo y el segundo valor indica el nivel de brillo
(offset, nivel de negro) de la imagen.
Al hacer clic en este botón, se inicia el ajuste automático de brillo y contraste .
Haga clic con el botón izquierdo en este botón para establecer la Intensidad del haz como función activa. Al hacer clic con el botón derecho en este botón, se abre el menú contextual.
Automático (BI Opti Mag) inicia el ajuste automático del tamaño del punto de acuerdo con la ampliación real. El tamaño del punto está determinado por el parámetro BI (Beam Intensity), que
cambia la corriente del haz de electrones. El aumento del valor de Beam Intensity provoca menos ruido en la imagen. Sin embargo, al aumentar el valor de Intensidad del haz, aumenta el Tamaño del punto y, por lo tanto, la resolución
del microscopio es peor. Por el contrario, cuando necesite alcanzar una resolución más alta (para una mayor ampliación), es necesario reducir el tamaño del punto para que reduzca el valor de la intensidad del haz. En este caso hay
más ruido en la imagen por lo que es necesario emplear tiempos más largos para escanear y capturar la imagen.
Restablecer: si se utilizó la función BI Fine, establece la Intensidad del haz al valor original.
BI Fine establece Beam Intensity Fine como función activa para la corrección fina de la intensidad del haz (control directo de la excitación del condensador C1). Se utiliza cuando es necesaria una configuración precisa de la intensidad
del haz.
Al hacer clic izquierdo en este botón, se abre una nueva ventana de escaneo, la imagen se leerá y se guardará en el disco duro de la computadora. Para establecer el tamaño de la imagen guardada, utilice el cuadro de diálogo
Parámetros de imagen. La ventana con la imagen guardada permanece en la pantalla o se cerrará automáticamente (Esta opción es conveniente si se necesita guardar una gran cantidad de imágenes). Para establecer esta opción,
utilice el cuadro de diálogo Preferencias.
Sugerencia: Aparecerá una breve explicación de la función si el cursor del mouse se deja sobre el botón durante unos segundos.
Ventana de enfoque
La ventana de enfoque es un pequeño rectángulo que se puede hacer en la ventana de escaneo SEM. Cuando la ventana de enfoque está activa, el haz escanea solo sobre su área, por lo que
la frecuencia de actualización aumenta mucho. Esta característica es vital para las operaciones que necesitan una alta frecuencia de actualización de la imagen, es decir, el enfoque, el ajuste y
el centrado del brillo y el contraste.
Para crear una ventana de enfoque, haga doble clic con el botón izquierdo del mouse en la ventana de escaneo SEM.
Usando el botón izquierdo del ratón, es posible mover la ventana.
Usando el botón derecho del mouse, es posible cambiar su tamaño.
Hacer doble clic en la ventana de enfoque la mueve al centro de la ventana de escaneo.
Sugerencia: si se utiliza la ventana de enfoque, las muestras de la señal de imagen para los procedimientos automáticos se toman del área delimitada por esta ventana. Por lo tanto, es posible
definir un área de interés en la imagen en la que se enfoca la imagen y se configuran el brillo y el contraste sin respetar el resto de la imagen.
Sugerencia: para cambiar el color de la ventana de enfoque, abra desde las opciones de la barra de menú y seleccione el elemento Preferencias. En la sección Superposiciones es posible cambiar la
color.
Parámetros de imagen SEM

El cuadro de diálogo Parámetros de imagen SEM está diseñado para configurar los parámetros de las ventanas de escaneo SEM y adquisición SEM.
Para cambiar la configuración, abra el menú SEM y haga clic en el elemento Parámetros de imagen. Se abre el cuadro de diálogo Parámetros de imagen SEM.
El cuadro de diálogo Parámetros de imagen SEM
Ventanas : tamaño de la ventana de escaneo (En vivo) y adquisición (Guardar). Seleccione la relación de aspecto en el cuadro de la izquierda, luego seleccione el tamaño en el cuadro de la derecha.
Promedio : se puede utilizar para escanear a velocidad 4.
Usar acumulación de fotogramas: cambie la cantidad de fotogramas que se acumulan al mostrar la imagen en vivo y adquirir imágenes del SEM.
Usar acumulación de líneas: cambie la cantidad de líneas que se acumulan al mostrar la imagen en vivo y adquirir imágenes del SEM.
Adquisición
Conservar velocidad real: en el cuadro superior, seleccione este elemento para conservar la velocidad de escaneo real de la ventana de escaneo activa o seleccione la velocidad de escaneo
que se utiliza durante la adquisición de imágenes.
Conservar campo de visualización/ampliación de impresión o Conservar ampliación de SEM: seleccione una de las funciones para conservar el campo de visualización o la ampliación durante
la adquisición de la imagen.
La sección de textos de la barra de información contiene seis cuadros de lista. La casilla de verificación Mostrar barra de información habilita o deshabilita el área de la barra de información en la
ventana de escaneo SEM. Se pueden seleccionar seis parámetros diferentes que se mostrarán en el área de la barra de información. Los cuatro campos superiores serán visibles en las ventanas de
escaneo SEM y adquisición SEM, los dos restantes solo en la ventana de adquisición SEM. La lista de posibles textos se muestra a continuación:
Si el elemento Grabar textos de notas y firmas en la imagen está marcado, los textos de notas y firmas también se agregarán al área final de la barra de información. Los textos de la Nota y el Signo
son parte del encabezado de la imagen, que se puede completar después de adquirir la imagen con el comando Leer y Guardar.
Control remoto del microscopio

El control remoto del microscopio VEGA3 es el control del microscopio desde otro ordenador que está conectado al PC del microscopio mediante el protocolo de red TCP/IP. El control remoto le
permite realizar todas las operaciones básicas con el microscopio, como la adquisición de imágenes, el escaneo y el control del haz.
La PC en la que se ejecuta el programa para el microscopio se llama servidor. El programa que se ejecuta en la computadora remota (computadora remota = la computadora que está conectada a
través de la red) se llama cliente.
El software VegaTC puede funcionar como un servidor de control remoto. Es posible configurar una política de seguridad para los clientes que intentan conectarse al microscopio. Los ajustes del
acceso remoto se configuran en el cuadro de diálogo Configuración de control remoto .
El cuadro de diálogo de configuración del control remoto
Para abrir el cuadro de diálogo Configuración del control remoto, haga clic en Opciones en la barra de menú y seleccione el elemento Configuración del control remoto.
Este cuadro de diálogo gestiona las direcciones IP (usuarios), que pueden controlar el microscopio mediante el control remoto descrito anteriormente. Para que aparezca el cuadro de diálogo de configuración del
control remoto, abra el menú Opciones y seleccione el elemento de configuración del control remoto.
Agregar: agrega un cliente a la lista. La IP del cliente o el nombre se puede ingresar en la línea IP del cliente o nombre de la red. Es posible definir acceso de solo lectura (Read) o acceso completo, incluido el cambio
de parámetros del microscopio (Change).
Eliminar: elimina el cliente seleccionado.
Reemplazar: reemplaza el cliente seleccionado por uno nuevo.
Permitir para todos los clientes: cuando esta opción está marcada, cualquier cliente puede conectarse al microscopio, independientemente de la lista de clientes a continuación. De lo contrario, solo los clientes
enumerados a continuación pueden conectarse al microscopio.
El cuadro de diálogo de estado del control remoto
Para abrir el cuadro de diálogo Estado del control remoto, haga clic en Diagnóstico en la barra de menú y seleccione el elemento Estado del control remoto.
Este diálogo muestra el estado actual del control remoto del microscopio: los clientes conectados y el estado del servidor. Al usar este cuadro de diálogo, puede activar el tráfico de registro (verificando el tráfico de
registro) y se puede ver a través de la herramienta Vista de depuración. También es posible desconectar los clientes registrados.
Autotest
La función de autocomprobación está diseñada para el diagnóstico de la funcionalidad del microscopio. Para iniciar la autoprueba, abra el menú Diagnósticos y seleccione el elemento Autoprueba.
El programa realiza una prueba de funcionalidad de todas las partes principales del microscopio y los parámetros del propio programa. Si la autocomprobación encuentra alguna
problema, trata de diagnosticar el problema e informa al usuario al respecto. La misma prueba se realiza durante cada inicio de sesión del usuario.
Estado de salud SEM

Muestra los datos que describen el estado real del microscopio; es muy útil abrir este panel durante la solución de problemas del microscopio. Para que aparezca el cuadro de diálogo
Estado de salud de SEM, abra el menú Diagnóstico y seleccione el elemento Estado de salud de SEM o haga clic en el botón Detalles en la parte superior de la barra lateral.
Cuadro de diálogo Estado de salud de SEM
Los valores se agrupan según su carácter:
Común: temperaturas reales de la unidad de alto voltaje, la unidad de control y procesador de señal digital (unidad DSP), la unidad de vacío y el supresor de haz, si
está instalado.
Vacío: estados de los subsistemas de la unidad de vacío, tiempo de aceite restante en días de la bomba turbomolecular principal o bomba turbomolecular pequeña del
detector LVSTD, si está instalado.
Avanzado: este panel está destinado al diagnóstico de fallas del sistema y sirve para fines de servicio.
Se pueden mostrar los siguientes estados:
Estado Descripción
APAGADO
El bombeo está apagado.
Bombeo RTP La bomba rotativa está bombeando.
Bombeo TMP La bomba turbomolecular está bombeando.
Listo. Está bien. Se ha alcanzado el vacío requerido, el microscopio está listo para usar.
Desfogue La cámara de muestra está siendo ventilada o la cámara está ventilada.

RTP espera La bomba rotativa está encendida, el calentamiento de la bomba rotativa está en curso.
Bombas en funcionamiento La bomba rotativa y la bomba turbomolecular están en funcionamiento.
Adaptación de la curva La calibración del modo de bajo vacío está en curso.

¡Se acabó el tiempo! Se alcanzó el tiempo de espera antes de que pudiera finalizar el procedimiento especificado.
¡Error de válvula! El error ocurrió durante un cambio de válvula.
¡Error de hardware! Se produjo un error de hardware en una pieza de vacío.
Puede haber estados extendidos para los procedimientos que consumen mucho tiempo:
Estado ampliado Descripción
Esperando válvula SV Esperando el cambio de la válvula de división.
Esperando filamento Esperando a que el filamento se enfríe.
Menú de ayuda
El menú Ayuda en la barra de menú permite adquirir información sobre el microscopio:
Contenido: este comando muestra el contenido de la ayuda en línea con información sobre la descripción básica del microscopio, el uso del software VegaTC y el mantenimiento del microscopio. La
ayuda en línea se puede abrir utilizando los métodos abreviados de teclado F1.
Nota: Si no puede encontrar la información que necesita, comuníquese con [email protected]
Enviar archivos de registro: este comando permite crear un paquete comprimido de los archivos relacionados con la operación anterior y el estado actual del microscopio.
Esta información será utilizada por la empresa de servicios para el análisis preliminar de los problemas eventuales del microscopio.
Si la computadora del microscopio está directamente conectada a la red de Internet, la ventaja es que se puede usar la opción Vía Internet. En este caso, el programa realiza el esquema básico de un
mensaje de correo electrónico con la dirección electrónica rellenada y con el paquete de archivos adjuntos de forma automática. El usuario aún puede agregar otra información y enviar el mensaje de
correo electrónico directamente.
Si no se dispone de una conexión directa a la red de Internet, se puede utilizar la opción A archivo. En este caso, el paquete solo se guarda en el disco. El archivo guardado se enviará a la empresa de
servicios por cualquier otro medio conveniente.
Nota: es necesario configurar correctamente el cliente de correo electrónico para el envío de correos electrónicos para el correcto funcionamiento de la opción Vía Internet.
Métodos abreviados de teclado: este tema de ayuda describe los métodos abreviados de teclado para tareas comunes en el software VegaTC.
Acerca de la aplicación: este comando muestra información sobre la organización del servicio de la versión del software, el propietario de los derechos de autor y los usuarios registrados.
Licencias: este comando abre el cuadro de diálogo con información sobre las licencias de software.
Temas relacionados: Cuentas de usuario especiales, Usuarios, Atajos de teclado
Descripción del Centrado del Microscopio
Para alcanzar imágenes de alta calidad es necesario centrar la óptica electrónica de la columna. El objetivo es asegurar que el haz esté lo más cerca posible del eje óptico de la columna y así minimizar
las aberraciones ópticas. El centrado es electrónico y totalmente controlado por el PC.
Es necesario ajustar cada modo de visualización y cada rango de alto voltaje que pretenda utilizar. Significa que una vez que se trabaja en modo Resolución y se trabaja en 10 kV y 30 kV, es necesario
centrar el microscopio tanto para 10 kV como para 30 kV. El software recuerda la configuración.
Condiciones de centrado recomendadas

El centrado se realiza mediante una muestra de centrado especial, que forma parte de los accesorios del microscopio y está marcada como ADJ. La superficie de esta probeta tiene una fina estructura
que facilita el centrado. Si este espécimen no está disponible, es posible utilizar un trozo de espécimen común. Una vez tú
empezar a centrar, la imagen debe estar perfectamente enfocada.
Modo Distancia de trabajo (WD) Intensidad del haz (BI) Ampliación (Mag)
Resolución 10 - 15 mm 10 2000 - 5000x
Profundidad 10 - 15 mm 10 2000x
Campo 10 - 15 mm 10 500x
Campo ancho 10 - 15 mm 10 máx. revista
Es posible realizar el centrado de forma automática o manual. El centrado manual es adecuado para las situaciones en las que es necesario establecer condiciones especiales de trabajo.
Centrado del cañón de electrones

El centrado se realiza por el procedimiento automático. Siempre es necesario realizar este centrado automático después de que el valor de alto voltaje cambie dentro de un rango especificado por el
elemento Alto voltaje en el panel Pad.
1. Inserte la muestra de centrado.

2. Configure las condiciones de trabajo recomendadas.
3. Haga clic en el botón Ajuste en el panel Haz de electrones y seleccione la función Centrado automático de pistola.
Centrado automático
El procedimiento automático de centrado de columnas es muy rápido y cómodo para pequeños aumentos. Para trabajos muy precisos con grandes aumentos, el centrado manual es más adecuado.

2. Configure las condiciones de trabajo recomendadas para comenzar.
3. Haga clic en el botón Ajuste en el panel Haz de electrones y seleccione la función Centrado automático de columnas.
Centrado manual
2. Configure las condiciones de trabajo para comenzar.
Modo de resolución
1. Haga clic en el botón Ajuste en el panel Haz de electrones y seleccione la función Centrado de columna manual.
La imagen comienza a tambalearse, es decir, cambia periódicamente la distancia de trabajo. Pulse el botón Siguiente.
2. Minimice el movimiento de la imagen cambiando el Centrado OBJ usando el trackball y las teclas F11 y F12.
modo de profundidad
1. Establezca la misma ampliación para los modos RESOLUCIÓN y PROFUNDIDAD. Usa el trackball.
2. Establezca el mismo campo de visión mediante el cambio de los parámetros de centrado IML usando trackball y las teclas F11 y F12.
3. Minimice el movimiento de la imagen mediante el cambio de Centrado OBJ.
Modo de campo
1. Establezca la misma ampliación para los modos RESOLUCIÓN y CAMPO. Usa el trackball.
2. Minimice el movimiento de la imagen cambiando el Centrado IML usando el trackball y las teclas F11 y F12.
3. Establezca el mismo campo de visión cambiando el Centrado OBJ.
Modo de campo ancho
1. Establezca la misma ampliación para los modos RESOLUCIÓN y CAMPO AMPLIO.

2. Establezca el mismo campo de visión cambiando el centrado IML.
Nota: Es necesario mantener la secuencia descrita para cada procedimiento. El modo RESOLUCIÓN siempre debe ajustarse primero.
Intercambio de filamentos
El microscopio VEGA3 utiliza un cañón de electrones con un filamento de cátodo de tungsteno de calentamiento directo. El filamento del cátodo se consumirá durante el uso del microscopio y se
quemará después de un cierto período de tiempo. La vida del filamento depende sobre todo de la corriente de emisión utilizada y de las condiciones de vacío. Se trata de 200 - 300 horas de uso. El
cambio de cátodo es una operación realizada por un usuario capacitado.
Nota: Es necesario verificar la limpieza del cilindro Wehnelt y, si es necesario, limpiar el cilindro Wehnelt. Es necesario mantener los principios de la higiene al vacío durante el intercambio de
filamentos. El desmontaje y montaje de la pistola se realizará a ser posible en un ambiente limpio y sin polvo, a ser posible, y siempre con guantes.
¡ADVERTENCIA! ¡Nunca toque las partes cerámicas de la pistola! Funcionan como aisladores de alta tensión y su superficie no debe ensuciarse, no es posible limpiar las partes cerámicas de ninguna forma.
El microscopio puede utilizar el hexaboruro de lantano (LaB6) en lugar del filamento de tungsteno (W) como fuente de electrones. El tipo de filamento se puede elegir en el menú SEM - Tipo de
emisor. Para cada filamento LaB6, es necesario especificar la corriente de calentamiento máxima de acuerdo con la hoja de datos del filamento. Siga las instrucciones para el intercambio de
filamentos en el capítulo LaB6.
Procedimiento de intercambio de filamentos
1. Asegúrese de que el filamento del cátodo esté realmente quemado. Por ejemplo, el voltaje es de 30 kV, el calentamiento del 60% y la corriente de emisión inferior a 10 µA (ver Electron
Panel de haz), el filamento se quema.
2. Apague el alto voltaje (haga clic en el botón HV en el panel de haz de electrones).
3. Ventile el microscopio (haga clic en el botón VENT en el panel de vacío).
4. Tire del cañón de electrones hacia arriba, quítelo y déjelo con el cátodo hacia arriba.
5. Proteja la parte abierta de la columna del polvo utilizando, por ejemplo, polietileno o papel de aluminio.
6. Si el cuerpo del cañón de electrones está caliente después del uso anterior, déjelo enfriar durante unos minutos.
7. Desenrosque la tuerca ciega de acero inoxidable pulido.
8. Retire la parte extraíble del cañón de electrones. Si tiene un filamento precentrado nuevo, vaya al paso 15: colocar un filamento precentrado nuevo. Si usted
cambia el filamento y no tienes la pistola precentrada pasa al siguiente punto.
9. Coloque el cilindro Wehnelt con el filamento como se muestra en la imagen. Afloje cuatro tornillos en el costado del cilindro Wehnelt aproximadamente dos vueltas. Utilice el destornillador
hexagonal de 1,5 mm.
10. Retire el filamento con el anillo de centrado. Sostenga el filamento en los contactos.
11. Si es necesario, limpie el cilindro Wehnelt. No olvide quitar las arandelas de distancia y luego volver a colocarlas antes de limpiar el Wehnelt
cilindro.
12. Inserte con cuidado el nuevo filamento con el anillo de centrado y atornille suavemente los cuatro tornillos de centrado para sujetar el filamento aproximadamente en el centro del cilindro Wehnelt.
Los contactos del filamento deben estar en línea con el pin de posición en el cilindro Wehnelt. Los tornillos no deben fijarse en este punto, debe haber un juego de aproximadamente 0,5 mm (0,02
in).
Nota: Deje la misma cantidad de arandelas de distancia debajo del filamento que con el filamento anterior. En caso de que utilice un cilindro Wehnelt nuevo o desconozca la cantidad de arandelas
usadas, utilice dos arandelas de distancia de 0,05 mm (0,002 in).
13. Gire el cilindro Wehnelt con el filamento insertado y colóquelo en el soporte de centrado. El pin de orientación y el contacto del filamento deben encajar en el
agujeros en el soporte.
14. Centre la punta del filamento dentro del cilindro Wehnelt apretando y aflojando los tornillos de centrado opuestos en ambas direcciones.
15. Vuelva a colocar la pistola terminada en el cuerpo de la pistola. Asegúrese de que los contactos del filamento y el pasador de centrado encajen en los orificios correspondientes de la pistola.
16. Fije la pistola al cuerpo de la pistola con la tuerca pulida.
17. Sople la pistola completa con aire seco comprimido o nitrógeno y vuelva a colocar el cuerpo de la pistola en la columna.
18. Evacúe el microscopio (el botón BOMBA en el panel de vacío).
19. Confirmar el cambio de filamento en el menú SEM - Mantenimiento - Confirmar cambio de filamento. Esto provoca el restablecimiento de la vida útil del filamento y
puesta a cero de los valores de calefacción.
Nota: el intercambio de filamentos solo está permitido para usuarios de nivel experto y superior.
Puesta en marcha del microscopio después de un intercambio de filamentos
Es necesario realizar el siguiente procedimiento después del cambio de filamento:
1. Coloque el trozo de muestra estándar en la posición 7 en la platina de muestra y calibre la platina de muestra. El objetivo es que el haz de electrones sea dirigido
a la superficie plana de aluminio.
2. Configure 30 kV y espere a que se estabilice el alto voltaje. Espere hasta que cese la descarga de alto voltaje, no debe ser mayor a 10 minutos.
3. Utilice la función Calentamiento automático de pistola desde el panel de haz de electrones. Un procedimiento automático configurará la saturación del filamento y el centrado del filamento. Eso
establece el ajuste automático de brillo y contraste.
4. El calentamiento de saturación de filamento nuevo típico es de 48% a 53% para un voltaje de aceleración de 30 kV. El filamento desgastado tiene un nivel de calentamiento más bajo, generalmente del 43 % al
47%. La corriente de emisión para el filamento saturado debe estar en un rango de 60 - 90 µA. En la siguiente tabla se muestra una corriente absorbida típica, medida en copa de Faraday. Los
valores típicos que puede alcanzar se enumeran en la primera columna, pero los rangos adecuados para las corrientes se enumeran en la segunda.
columna. En general, tratamos de obtener la mayor corriente absorbida posible, ya que la corriente absorbida nos da información sobre cuántos electrones pasan a través de la columna, más
electrones significan una mejor señal de la muestra.
5. Si la corriente de emisión no está en el rango de 60 a 90 µA, es necesario repetir los pasos 1 a 10 en la sección Procedimiento de intercambio de filamentos. Debe quitar o agregar las arandelas de
distancia y centrar el filamento de acuerdo con los pasos 12 a 19. Agregar una arandela de distancia de tamaño 0,05 mm (0,02 in) disminuye la corriente de emisión en un valor de 13 µA, quitar la
arandela aumenta la corriente de emisión en la misma cantidad. Monto.
Ejemplo: La corriente de emisión para el filamento saturado es de 105 µA, agregando 2 arandelas de distancia se obtiene la corriente de emisión en el rango deseado de 75 ± 15 µA.
6. Es posible verificar la configuración del punto de saturación del filamento por medio de las flechas en el panel de haz de electrones.
7. Repita el procedimiento anterior para ese rango HV (índice HV) si necesita trabajar en el otro rango HV.
Nota: el alambre de filamento se vuelve más delgado durante la operación. Si desea aumentar su vida útil, verifique su punto de saturación. Cuanto más delgado es el filamento, menor es el nivel de
calentamiento (saturación).
Centrado mecánico de pistolas

En caso de que no se alcance la corriente absorbida mencionada, o el valor de Gun Shift o Gun Tilt (utilice el cuadro combinado en el panel Pad) sea superior al 60 %, es necesario realizar un centrado
mecánico de la pistola.
Nota: ¡El filamento en sí debe estar perfectamente centrado dentro del cilindro Wehnelt, de lo contrario no será posible el centrado mecánico de la pistola!
1. Asegúrese de que el microscopio esté escaneando sobre la superficie conductora. Lo mejor es poner el talón estándar en la posición 7 de la platina de muestra y
realizar la calibración de la etapa. La etapa de muestra estará debajo del objetivo después de la calibración.
2. Configure: Alto voltaje a 30 kV, Intensidad del haz (BI) a 10 y Velocidad de exploración a 1.
3. Restablezca los parámetros Gun Shift a Gun Tilt.
Nota: La puesta a cero de los valores puede provocar la caída de la corriente absorbida o la pérdida total de la señal. Esto no es un defecto, al seguir el centrado obtendrá el mismo y probablemente
incluso un mejor nivel.
4. Configure un nivel adecuado de la señal mediante el brillo y el contraste automáticos (función Auto Signal).
5. Afloje los 4 tornillos aproximadamente 0,5 - 1 revolución del tornillo.
6. Intente maximizar el brillo y el contraste apretando y aflojando los tornillos opuestos correspondientes. Si la imagen se satura (toda la imagen es blanca), vuelva a ajustar Señal automática para
configurar el nivel adecuado. Trate de ajustar la pistola en direcciones alternas. Nunca apriete los tornillos a la fuerza
fuerza. Los tornillos opuestos trabajan uno contra el otro, por lo que en caso de que un tornillo esté fijo, es necesario aflojar el respectivo.
7. Una vez que obtenga la señal máxima (brillo y corriente absorbida), fije los 4 tornillos de manera uniforme para fijar la pistola en su posición. La ligera caída de la
la señal no es un problema, la optimización se realizará mediante centrado de pistola eléctrica.
8. Para realizar el procedimiento de centrado automático de pistola, utilice la función Centrado automático de pistola en el panel de haz de electrones. Una vez que la pistola automática
terminado el centrado, se recomienda comprobar los valores de Gun Shift y Gun Tilt. No deben exceder el valor de ± 30 %.
Nota: En caso de que no pueda encontrar ninguna señal durante el centrado mecánico, la pistola puede estar extremadamente desalineada mecánicamente. En este caso, debe colocar la pistola en el centro
del sistema. Intente apretar igualmente los tornillos en la misma posición. Luego, intente encontrar la señal alrededor de esta posición, la posición correcta normalmente está en un rango de no más de ± 1
mm (2 vueltas completas del tornillo).
Intercambio de apertura
Nota: Las aperturas de la columna no se pueden cambiar si el microscopio es el VEGA3 SEM con la opción LaB6 y el sistema de bombeo modificado. En tal caso, las aperturas siguen siendo las mismas y
se debe insertar un soporte de apertura en el objetivo (de acuerdo con las instrucciones del capítulo sobre apertura de vacío bajo).
Inserción del soporte - LaB6) antes de cambiar al modo de vacío bajo. Por lo tanto, los siguientes párrafos son solo para microscopios sin la opción LaB6.
La columna del microscopio está equipada con dos aperturas en todos los modos.
Los modos de vacío alto y medio: la apertura de pulverización superior (500 µm) está ubicada justo debajo del condensador C2 y el diafragma de apertura inferior (50 µm) al final del tubo de vacío central
aproximadamente en el medio de la lente IML. Ambas aberturas están ubicadas en el mismo soporte de abertura que se inserta en el tubo de vacío central hasta el tope mecánico. El microscopio se entrega
con este soporte de apertura dentro de la columna del microscopio.
El modo de vacío bajo: se usa el mismo soporte de apertura que para el modo de vacío alto y medio, pero solo se usa una apertura de pulverización de 500 µm, que se encuentra justo debajo del
condensador C2 (igual que en los modos de vacío alto y medio). El diafragma de apertura (75 µm) se encuentra en el soporte de apertura especial de bajo vacío, que luego se inserta en el objetivo. Ambos
soportes de apertura son parte de los accesorios del microscopio, consulte la sección 9.1.
Es necesario mantener los principios de la higiene al vacío. Las operaciones de desmontaje y montaje deben realizarse en un ambiente limpio y sin polvo, si es posible, y utilizando guantes.
Intercambio de soporte de apertura
1. Ventile el microscopio: el botón VENT en el panel de vacío.

2. Tire del cañón de electrones hacia arriba, quítelo y déjelo con el cátodo hacia arriba.
3. Desenrosque el ánodo en sentido antihorario.
4. Inserte la varilla de ajuste de los accesorios suministrados en el tubo de vacío central y bájela con cuidado hasta que llegue al soporte de la abertura. Gire la varilla
de ajuste en el sentido de las agujas del reloj (aproximadamente una vuelta) para enroscar la rosca del extremo de la varilla de ajuste en el soporte de apertura y tire
hacia arriba para sacar el soporte de apertura.
5. Este punto es aplicable solo si el soporte de apertura está configurado para alto y medio vacío. Desmonte la parte inferior del soporte con un
destornillador o pinzas y sacuda la abertura (50 µm).
6. Divida la parte media y superior del soporte desenroscando y sacudiendo la abertura de pulverización (500 µm).
7. Deje caer la abertura de pulverización limpia o nueva (500 µm) en la parte superior del soporte de la abertura. Compruebe si la apertura está orientada hacia arriba con la
apertura más grande. Una vez que el soporte esté insertado en la columna, la apertura se orientará correctamente, hacia arriba con el lado plano de la apertura. Si la apertura
no está correctamente orientada, intente girarla golpeando el soporte contra la almohadilla o la mesa.
8. Fije la abertura atornillando la parte central del soporte de la abertura. Verifique la limpieza de ambos lados de la apertura de la abertura; lo mejor es hacerlo
bajo un microscopio óptico. Si es necesario, sople la abertura con aire seco comprimido o nitrógeno.
9. Este punto es aplicable solo para la configuración del soporte de apertura media y alta. Coloque la apertura final limpia o nueva (50 ÿm) en el extremo inferior de la parte media
del soporte de la apertura. Una vez que el soporte ensamblado esté en la columna, la abertura se orientará hacia arriba con el lado plano. Si la apertura no está correctamente
orientada, intente girarla golpeando el soporte contra la almohadilla o la mesa.
10. Fije la abertura atornillando la tercera parte (inferior) del soporte de la abertura. Utilice un destornillador pequeño o unas pinzas.
11. Atornille el soporte de apertura en la varilla de ajuste e insértelo en el tubo de vacío central completamente hacia abajo hasta que golpee el tope mecánico dentro del
tubo central de vacío.
12. Atornille el ánodo y apriételo ligeramente.
13. Limpie el cuerpo de la pistola y la cámara de la pistola con aire seco a presión o nitrógeno. Pon el arma en la columna.
14. Bombee el microscopio.
15. Abra el menú SEM y seleccione el elemento Opciones para comprobar el diámetro del orificio de apertura final.
Temas relacionados: Modos de vacío
Inserción de la apertura final para el modo de bajo vacío

Esta apertura se inserta en el objetivo y es accesible desde la parte inferior, desde la cámara del microscopio.
1. Coloque el cuerpo del soporte de apertura en la almohadilla con la parte más ancha hacia abajo. Coloque la apertura nueva o limpia (75 µm) en el soporte de la apertura.
Compruebe si el lado plano de la abertura está hacia arriba. Si la apertura no está correctamente orientada, intente girarla golpeando el soporte contra la almohadilla o la mesa.
Tome el collarín con las pinzas, con la rosca del collarín hacia arriba y atorníllelo en el cuerpo del soporte de la abertura para bloquear y asegurar la abertura. Compruebe la
limpieza de ambos lados de la apertura (preferiblemente con un microscopio óptico). Si es necesario, limpie la abertura con aire a presión o nitrógeno.
2. Coloque el anillo de sellado en la ranura del cuerpo del soporte de la abertura.

3. Coloque el resorte de contacto en la ranura del cuerpo del soporte de la abertura.
4. Antes de insertar la apertura en el objetivo, saque el detector BSE.
5. Abra la puerta de la cámara e inserte el soporte de apertura en el objetivo con la parte más ancha hacia abajo.
6. Para sacar el soporte de apertura, utilice el tornillo que se incluye en los accesorios del microscopio. Inserte el tornillo en el soporte de la abertura y tirando
Abajo el tornillo, saque el soporte de apertura.
Si desea utilizar el modo de bajo vacío, es necesario confirmar el cambio en el menú SEM - Cambiar Modo Uni.
Confirme el cambio de las aperturas en el menú Configuración - Cambiar apertura. Si cambia alguna de las aperturas, es necesario volver a centrar todo el sistema óptico.
Las aberturas se contaminan durante el uso del microscopio, lo que puede provocar una disminución de las cualidades ópticas de la columna. Es necesario limpiarlos de vez en
cuando o cambiarlos.
Temas relacionados: Modos de vacío
Inserción del soporte de apertura de bajo vacío - LaB6

1. Antes de insertar la apertura en el objetivo, saque el detector BSE.
2. Abra la puerta de la cámara e inserte el soporte de apertura, que se incluye en los accesorios del microscopio, en el objetivo con la parte más ancha hacia abajo.
Desatornille el tornillo en el soporte de la abertura.
3. Cambie el microscopio al modo de vacío bajo (rango de presión 3 - 500 Pa, opcionalmente 3 - 2000 Pa) usando el botón UniVac en el modo de vacío bajo.
Panel de modo.
Nota: Vuelva a cambiar el microscopio al modo de alto vacío con el botón UniVac cuando finalice el examen de una muestra en bajo vacío. Utilice el mismo tornillo que utilizó para
insertar el soporte de apertura dentro del objetivo para sacar el soporte de apertura.
Nota: Es necesario limpiar la apertura de vez en cuando debido a las impurezas que se insertan en la cámara junto con las muestras. La frecuencia y la forma de limpieza dependen
de las condiciones de funcionamiento. En condiciones normales, recomendamos limpiar la apertura cada 3 a 6 meses. La abertura final está hecha de platino y por lo tanto requiere
un tratamiento especial. El procedimiento de limpieza recomendado se describe en el capítulo Limpieza de la columna - Limpieza de las aberturas. El soporte de apertura que contiene
la apertura se puede desmontar y volver a montar de acuerdo con las instrucciones de Inserción del soporte de apertura de bajo vacío.
Limpieza de la columna
La contaminación en las superficies internas de vacío de la columna aparece durante la operación del microscopio y disminuye las cualidades ópticas del microscopio. Por eso es
necesario limpiar las superficies de la aspiradora de vez en cuando.
Tipos de Contaminaciones o Impurezas

Coberturas orgánicas, mal conductoras, surgidas mediante la interacción de los gases residuales orgánicos en el vacío con los electrones. Estos recubrimientos
aparecen a lo largo de todo el camino de los electrones primarios. Provocan una mala conductividad eléctrica y por lo tanto la carga de las partes internas y la superficie de
la muestra.
Las capas de tungsteno surgen por la vaporización del filamento y la eliminación del polvo del tungsteno del filamento del cátodo de tungsteno. Deterioran la fuerza
electrostática del sistema (cátodo - cilindro de Wehnelt - ánodo) y provocan la fuga de la corriente de calentamiento y microdescargas en el cañón de electrones.
Partículas de polvo retenidas en las superficies internas. Entran en el microscopio con cada ventilación durante el intercambio de muestras, aberturas o cátodo. Las partículas
de polvo retenidas en las aberturas empeoran las cualidades ópticas.
Impurezas introducidas en el microscopio por un procedimiento incorrecto durante el intercambio de aperturas, cátodos o muestras.
La frecuencia de la limpieza
La frecuencia y la forma de limpieza dependen de la parte específica del sistema óptico, el tipo de impurezas y las condiciones de funcionamiento. los
Se recomiendan las siguientes frecuencias de limpieza para el funcionamiento habitual:
Cilindro Wehnelt, ánodo - según la necesidad, si la corriente de emisión es inestable, si hay corriente de emisión sin calentamiento del filamento, si hay descargas de alto
voltaje en la pistola.
Apertura - en calidades ópticas empeoradas, es decir, si aparece un alto astigmatismo, si hay cambios importantes de los valores para el centrado de la lente y para los
diferentes voltajes de aceleración, etc.
Apertura de pulverización, soportes de apertura, tubos de vacío: una vez cada 3 a 6 meses.
Otras partes - en el examen de servicio.
Limpieza de la Columna
Los soportes de apertura incluyen pinzas de resorte, cilindro Wehnelt y ánodo.
Pasos de limpieza recomendados:
Limpiar las partes muy sucias con un trozo de algodón y polvo abrasivo fino. Es adecuado un limpiador líquido con material abrasivo fino. (No usar para aberturas).
Coloque las piezas en el vaso de precipitados, diluya el material abrasivo fino (limpiador líquido con material abrasivo fino) en el agua destilada. Coloque el vaso de precipitados con las
piezas en el baño ultrasónico durante unos 20 minutos. (No usar para aberturas).
Enjuague las piezas con agua destilada y colóquelas en alcohol isopropílico, etanol o combustible Coleman y colóquelas en el baño ultrasónico durante otros 10 minutos.
Seque las piezas correctamente con aire comprimido limpio o nitrógeno después de la limpieza.
Limpieza de las Aberturas
Las aberturas están hechas de platino y, por lo tanto, necesitan un tratamiento especial.
Pasos de limpieza recomendados:
Coloque la abertura en el vaso de precipitados lleno de alcohol isopropílico, etanol o combustible Coleman. Lave la abertura en el baño ultrasónico durante unos 10 minutos.
Recocer la apertura limpia en el mechero de alcohol. Use solo etanol limpio para el quemador para evitar que los productos de la combustión contaminen la abertura.
Coloque la apertura en el soporte de la apertura y sople el soporte ensamblado con la apertura con aire comprimido limpio o nitrógeno.
Advertencias y notas importantes
No manipule con líquido refrigerante por encima de las partes eléctricas del microscopio.
Utilice agua destilada pura como líquido refrigerante. No utilice ningún líquido refrigerante "anticorrosión" recomendado para las cajas de refrigeración de los ordenadores. Puede causar
daños fatales al sistema de vacío del microscopio (en caso de que se desconecte accidentalmente la manguera del circuito dentro de la cámara).
Antes del (primer) uso de la etapa Peltier, el aire presente en el sistema de refrigeración debe eliminarse (alejarse) del circuito de refrigeración. Si queda (cualquier) gas en el sistema de
refrigeración, la platina Peltier se sobrecalentará y se pueden dañar la platina y otras partes del microscopio.
¡No enfríe la etapa Peltier por debajo de 5 °C si la cámara está ventilada! El daño a las partes electrónicas puede ser causado por un cortocircuito dentro de la etapa Peltier
(agua condensada).
El modo de vapor de agua se puede utilizar junto con la etapa Peltier, pero el rango de temperatura es limitado. En este caso, no se recomienda ajustar la temperatura de la etapa Peltier por
debajo de -30 °C.
Si se utiliza el modo de vapor de agua, bajar la temperatura por debajo de 0 °C y aumentar la temperatura por encima de 0 °C puede desestabilizar la regulación de presión y prolongar el
tiempo de bombeo.
Especificación de la etapa de enfriamiento y calentamiento Peltier
Diámetro del portamuestras: 12,5 mm

Rango de temperatura: -50 °C a +70 °C (modo de alto vacío)
Precisión de temperatura: ±1.2°C
Estabilidad de temperatura: ±0.2°C
Velocidad máxima de enfriamiento: 30°C por minuto
Regulación: automática, configurada por software de control
Enfriamiento del lado caliente de la celda Peltier: agua destilada o desmineralizada
1. Etapa de enfriamiento y calentamiento Peltier

2. Dos medias bridas para asegurar una brida de cámara de etapa Peltier
3. Brida de cámara
4. Arandela de
teflón 5. Conexiones del circuito
de refrigeración 6. Conector de la
etapa Peltier 7. Conector de corriente
absorbida 8. Ranura para el cable eléctrico Peltier exterior
Brida de cámara de montaje

No se recomienda desenchufar las mangueras de las boquillas de las mangueras en la brida de la cámara o la etapa, porque todas las conexiones de la etapa Peltier, la brida de la cámara
y las mangueras se prueban juntas como un solo conjunto para evitar fugas dentro de la cámara.
Quitar la brida ciega según el tipo de cámara: Cámara XM y GM: situada

en la parte trasera de la cámara (Figura A).
Cámara LM: situada en el anteojera rectangular del lado derecho (Figura B).
Inserte la brida de la cámara desde el interior de la cámara hasta su puerto adecuado (etiquetado).
Coloque la arandela de teflón y asegure la brida de la cámara con dos medias bridas
Nota: Una brida de cámara de la etapa Peltier y una brida ciega están equipadas con juntas tóricas. Utilice una cantidad adecuada de grasa de vacío de los accesorios SEM para sellar las
juntas tóricas de vez en cuando para mejorar el vacío en la cámara y el tiempo de bombeo. ¡Utilice únicamente la grasa de vacío suministrada con los microscopios TESCAN!
Conexión de la etapa Peltier a la etapa SEM
Retire la parte de rotación del manipulador.

Deshabilite la rotación en el software de control del microscopio (usuario con derechos de "experto"; menú "Configuración", elemento "Configuración del escenario").
La platina se monta utilizando 4 tornillos (XM, GM) o 3 tornillos (LM) y la placa adaptadora en el manipulador. En el caso de la cámara XM y GM, las conexiones de las mangueras de agua deben
apuntar hacia la derecha; para la cámara LM en la parte posterior.
Conecte el conector Peltier al lado del escenario y el conector de medición de corriente absorbida a la brida del medidor de pA. Una vez enchufado el conector Peltier, no es necesario desconectarlo.
Conexión y llenado del sistema de refrigeración líquida
1. Enchufe los conectores del circuito de refrigerante a las mangueras de la caja de refrigeración.
¡IMPORTANTE! ¡No conecte todavía el cable eléctrico Peltier exterior!
2. Coloque la caja de refrigeración en el piso y llénela con agua destilada pura. Para obtener más información, cómo utilizar el sistema de refrigeración líquida (llenado,
mantenimiento), lea el manual original del modelo actual.
3. Enchufe el cable de alimentación eléctrica de la nevera.
4. Abra el panel de refrigeración Stage en el software de control del microscopio y ajuste la temperatura a 10 °C.
Presione el botón Cool Stage para comenzar a bombear agua al sistema de enfriamiento (¡el conector eléctrico Peltier externo todavía está desenchufado!).
5. Levante la caja de refrigeración para que entre agua en las mangueras y para eliminar las burbujas de aire del sistema de refrigeración.
¡IMPORTANTE! Es necesario asegurarse de que no haya aire dentro de las mangueras. El líquido refrigerante que circula debe funcionar correctamente antes de enchufar el conector eléctrico Peltier
exterior a la brida de la cámara.
6. Coloque la caja de refrigeración y las mangueras del circuito de refrigeración en una mesa de microscopio para mantenerlas aproximadamente al mismo nivel que la platina Peltier.
7. Revise el circuito de enfriamiento para detectar posibles fugas y luego bombee el microscopio. Compruebe si no hay ningún problema para alcanzar el estado de preparación para el vacío (el tiempo
para llegar a la preparación para el vacío puede ser bastante más largo de lo habitual, pero el sistema de vacío del microscopio debería poder alcanzar el estado de preparación para el vacío antes
de que aparezca el mensaje de tiempo de espera de fuga débil).
8. Conecte el cable eléctrico Peltier exterior a la brida de la cámara y debería ver el panel de enfriamiento de etapa activado.
¡IMPORTANTE! Si queda aire en el circuito de refrigeración, la etapa Peltier puede sobrecalentarse y se detiene el enfriamiento o calentamiento de la etapa.
En este caso es necesario esperar 15 minutos para que el escenario se enfríe espontáneamente. Después de abrir SEM Health Status, aparece el mensaje de error Peltier
Aparece fallo de etapa (comprobar la circulación del agua de refrigeración) . Es imprescindible eliminar el aire del circuito de refrigeración repitiendo el procedimiento descrito
en este capítulo excepto el procedimiento de llenado de agua. Desconecte el conector eléctrico Peltier exterior y siga las instrucciones del punto número 4.
mantenimiento
Cambie el refrigerante en un circuito por completo cada año.

En caso de que se cambie el líquido refrigerante al menos cuatro veces al año en un depósito de caja de refrigeración y se utilice regularmente la etapa Peltier, no es necesario
eliminar líquido de todo el sistema.
Temas relacionados: Refrigeración por etapas
Sistema de entrada de vapor de agua
Introducción
Comúnmente, la microscopía electrónica de barrido opera en presencia de alto vacío dentro de la cámara. Sin embargo, para las muestras que contienen agua, como las muestras
biológicas, el alto vacío provoca una deshidratación masiva, lo que da como resultado muchos artefactos no deseados (p. ej., contracción de la muestra, ruptura de la membrana,
etc.). El ejemplo de tal daño se puede ver en las siguientes figuras. Aunque la extensión de los artefactos se puede reducir mediante la preparación de la muestra (como la fijación y
la pulverización catódica), estos pasos inevitablemente tienen un efecto negativo en la estructura general de la muestra.
El Sistema de Entrada de Vapor de Agua junto con la etapa de enfriamiento/calentamiento Peltier permite generar un ambiente de vapor de agua dentro de la cámara SEM. Esto
permite obtener imágenes de muestras en estado hidratado, incluidas observaciones dinámicas de transiciones de fase, procesos de cristalización, etc.
Diagrama de fase de agua
El agua puede existir en tres fases principales (sólida, líquida y gaseosa) dependiendo de las condiciones reales de presión y temperatura. Un diagrama de fase es un común
manera de representar gráficamente la existencia de varias fases a cualquier presión y temperatura dadas. Un diagrama de fase típico de agua pura contiene tres áreas principales
correspondientes a fases estables, que están separadas por curvas, donde el agua coexiste en más fases.
Las características clave del diagrama de fase son:
El punto triple representa una combinación única de temperatura y presión donde las tres fases coexisten en equilibrio.
El punto crítico representa un límite superior donde el agua y el gas pueden coexistir. Por encima de este punto, ambas fases se vuelven indistinguibles.
Curva de fusión (congelación): la curva representa la transición de fase entre los estados líquido y sólido.
Curva de sublimación (deposición): la curva representa la transición de fase entre los estados gaseoso y sólido.
Curva de evaporación (condensación): la curva representa la transición de fase entre los estados líquido y gaseoso.
En una cámara SEM cerrada, los procesos de transición de fase dependerán de las condiciones reales de presión y temperatura y cambiarán continuamente hasta alcanzar el equilibrio termodinámico.
Para mantener un estado de equilibrio adecuado en el sistema cerrado, es necesario establecer una presión parcial de vapor de agua y la temperatura en la cámara adecuadas, de acuerdo con la curva
de transición de fase.
En los SEM TESCAN en modo UniVac, la presión de la cámara y la temperatura de la muestra se pueden controlar de forma independiente mediante el sistema de entrada de vapor de agua y la etapa
Peltier TESCAN. La presión se puede configurar de 3 a 500 Pa (hasta 2000 Pa si el microscopio está equipado con una bomba rotativa adicional) mientras que la temperatura de la platina se puede
ajustar entre -30 °C y +70 °C. Al cambiar la temperatura y la presión de la etapa Peltier, los estados del agua contenida en la muestra pueden transformarse en tres formas distintas: líquido, sólido y
vapor de agua.
Muestras que contienen agua en SEM

En general, las muestras hidratadas (especialmente las muestras biológicas) deben observarse lo más cerca posible de su estado natural. La evaporación y la condensación del agua son los fenómenos
más importantes que deben tenerse en cuenta cuando se trabaja con muestras biológicas. La evaporación del agua de la superficie de la muestra provoca la contracción de una muestra hidratada. Por
otro lado, la condensación de agua puede provocar el hinchamiento de la muestra (eventualmente una ruptura) u ocultar las estructuras de la muestra debido a la acumulación de gotas de agua en la
superficie.
Para evitar estos efectos adversos, la muestra debe observarse en condiciones estables cercanas al estado de equilibrio. Esto se logra estableciendo las condiciones de temperatura y presión
correspondientes a los puntos de las curvas de evaporación o sublimación. Se sabe por el comportamiento cinético de los gases que la evaporación se reduce a temperaturas más bajas. Sin embargo,
el uso de temperaturas por debajo del punto de congelación ralentiza la evaporación del agua, pero la formación de cristales de hielo puede causar un daño masivo a la muestra. Por lo tanto, se
recomienda utilizar temperaturas de 1 a 5 °C y presiones de 600 - 800 Pa. Un aspecto importante a tener en cuenta cuando se trabaja con muestras reales es el hecho de que no están compuestas solo
de agua pura, sino que contienen sales disueltas, y otros compuestos. Estas "impurezas" reducen la presión parcial del agua y provocan desviaciones del diagrama de fase del agua pura. En el caso
de muestras biológicas, el citoplasma contiene una variedad de polisacáridos, proteínas y minerales. Estos podrían reducir la presión de vapor de equilibrio del sistema hasta un 20 % a 25 % en
comparación con el agua pura. Por lo tanto, es mejor realizar la investigación de las muestras hidratadas en condiciones por debajo de la saturación (100% de humedad relativa al agua). De lo contrario,
las moléculas de agua se condensan en la muestra y ocultan las estructuras de la superficie (por lo general, una humedad relativa superior al 90 %).
Finalmente, las condiciones finales elegidas dependerán en gran medida de la muestra y su estabilidad frente a la pérdida de agua. Muchas muestras están equipadas con mecanismos (p. ej.,
membrana celular) que protegen a los organismos vivos contra un entorno inadecuado. Por lo tanto, se puede acomodar una reducción adicional de la presión de la cámara (otro 20 - 25 %) y puede
ayudar durante la investigación de la muestra. En general, presiones inferiores a 370 Pa (esto corresponde a menos del 50% de humedad a 2 °C) suelen provocar la deshidratación de las muestras. Por
lo tanto, se recomienda tener en cuenta la estructura y las propiedades de cada muestra hidratada y tratar de encontrar condiciones específicas para la observación de la muestra en el modo UniVac.
Referencias
1. Echlin, P. (2009). Manual de preparación de muestras para microscopía electrónica de barrido y microanálisis de rayos X. Springer Science+Business Media: Nuevo
York, Estados Unidos. (ISBN: 978-0-387-85730-5).
2. GOLDSTEIN, J; NEWBURY, D.; ALEGRÍA, D.; LYMAN, Cap.; ECHLIN, P.; LIFSHIN, E.; SAWYER, L.; MICHAEL, J. (2003). Microscopía electrónica de barrido y X
Ray Microanalysis, 3.ª ed., Klu-wer Academic/Plenum Publishers: Nueva York, EE. UU. (ISBN: 0-306-47292-9).
3. Stokes, JD (2003). Avances recientes en imágenes electrónicas, interpretación de imágenes y aplicaciones: microscopía electrónica de barrido ambiental. Fil.
Trans. R Soc. Londres. A, 361, 2771 – 2787. doi 10.1098/rsta.2003.1279
Descripción del sistema de entrada de vapor de agua
El Sistema de Entrada de Vapor de Agua junto con la etapa de enfriamiento/calentamiento Peltier permite generar un ambiente de vapor de agua dentro de la cámara SEM. Esto permite obtener
imágenes de muestras en estado hidratado, incluidas observaciones dinámicas de transiciones de fase, procesos de cristalización, etc.
El sistema de entrada de vapor de agua se puede utilizar con microscopios TESCAN equipados con la opción de presión variable (es decir, modo UniVac). El sistema se puede usar solo en los modos
de vacío medio o bajo (extendido) dentro de los rangos de presión que se muestran en la Tabla de presión de vapor de agua y hielo:
Tipo de SEM Modo de vacío medio Modo de vacío bajo

VEGA3 3 – 150 Pa 3 – 500 (2000) Pa
VEGA3 (LaB6) - 3 – 500 (2000) Pa
VELA3 3 – 150 Pa 3 – 500 (2000) Pa

MIRA3 - 3 – 500 Pa
LYRA3 - 3 – 500 Pa
FERA3 - 3 – 500 Pa
Nota: si el microscopio está equipado con una bomba rotativa adicional, el modo de bajo vacío puede extenderse hasta 2000 Pa.
¡ADVERTENCIA! Si un usuario quiere trabajar en el modo de bajo vacío, se debe insertar una apertura de bajo vacío en el objetivo.
El sistema de entrada de vapor de agua está listo para usar después de la instalación inicial del microscopio por parte de un técnico de servicio de TESCAN. La única parte del sistema visible para el usuario es
un matraz de vidrio que sirve como fuente de vapor de agua para el sistema.
El matraz se coloca dentro de una cesta de metal caliente ubicada en la parte posterior del microscopio.
¡ADVERTENCIA! La placa de aluminio calienta continuamente el depósito del matraz de vidrio en la cesta para ayudar a la evaporación del agua en el interior. Evite tocar el matraz y la placa calentada con las manos
descubiertas.
El matraz debe contener al menos 50 ml de agua limpia y desionizada. Si no hay suficiente agua en el depósito (<50 ml) y/o la calidad del agua es mala (por ejemplo, partículas de polvo visibles, algas, etc.),
cambie el agua de acuerdo con las instrucciones descritas en la parte Procedimiento de desgasificación.
Advertencias y notas importantes
Antes de empezar, LEA atentamente todo el manual.

NO manipule con ningún líquido por encima de las partes eléctricas del microscopio. La fuga de agua puede causar un cortocircuito.
NO use ningún líquido que no sea agua para llenar el depósito. Esto puede causar un daño fatal al sistema de vacío del microscopio.
Utilice únicamente agua destilada pura para llenar el depósito de agua. Los minerales y las impurezas disueltas en el agua desmineralizada o potable pueden dañar el microscopio.
No cubra el depósito de agua destilada y evite el sobrecalentamiento.

No toque el calentador y el depósito sin los guantes adecuados. ¡Peligro de quemaduras!
Mantenga el soporte del depósito de agua alejado de fuentes de calor y ventilación. El enfriamiento o sobrecalentamiento del depósito puede provocar el mal funcionamiento del modo de vapor de
agua.
Cuando utilice el modo de vapor de agua con la etapa Peltier, NO configure la temperatura de la etapa Peltier por debajo de -30 °C.
Si se utiliza el modo de vapor de agua, los cambios de temperatura (especialmente alrededor de 0 °C) pueden desestabilizar temporalmente la regulación de la presión y, finalmente, prolongar el tiempo
de bombeo.
Antes de utilizar el sistema en Modo Vapor de Agua, siga atentamente el manual de usuario de la etapa de Refrigeración/Calefacción Peltier.
Si la cámara está ventilada, ¡NO enfríe la etapa Peltier por debajo de 0 °C! Puede causar daños a las partes electrónicas por un cortocircuito dentro de la etapa Peltier (agua condensada).
Procedimiento de operación básica
El sistema de entrada de vapor de agua se activa y controla desde la pestaña Modo de vacío bajo en el panel principal del software de control SEM.
puesta en marcha del sistema
1. Haga clic en el botón UNIVAC para habilitar el modo de vacío bajo.
2. Haga clic en el botón Vapor de agua para activar la inyección de vapor de agua. Tenga en cuenta que el botón de vapor de agua está desactivado en el modo de alto vacío.
3. Configure la presión requerida dentro del rango permitido en el cuadro de texto y confírmela con el botón OK.
4. Cierre la cámara y presione el botón BOMBA.
5. Espere a que el sistema alcance la presión de agua objetivo dentro de la cámara. Cuando la presión del vapor de agua en la cámara alcanza el valor solicitado, la barra de presión de la cámara se vuelve azul
y el indicador de presión muestra una presión dentro del rango de ±5 % de la presión solicitada. .
Nota: El sistema realiza un procedimiento de desgasificación de 2 minutos de duración antes de que comience la regulación.
6. Observe la muestra como de costumbre.
7. Apague el Sistema de Vapor de Agua. Cuando haya terminado, desmarque el botón Vapor de agua.
8. Apague el modo Univac. Cuando termine, desmarque el botón UniVac.
Consideraciones al usar el sistema de entrada de vapor de agua con la etapa de enfriamiento y calentamiento Peltier
La combinación del sistema de entrada de vapor de agua y la etapa Peltier permite la investigación de muestras en el entorno de vapores de agua saturados en la cámara (consulte el capítulo Diagrama de fase
de agua). Esto se logra mediante el ajuste simultáneo de las condiciones de temperatura y presión dentro de la cámara, para que sigan el equilibrio de las curvas de vapor de agua saturada (ver la tabla a
continuación o la tabla completa).
Temperatura (°C) -30 -25 -20 -15 -10 -5 0 1 2 3 4 5 6
Presión (Pa) 38 64 104 165 260 401 611 657 705 758 813 872 935
En la práctica, la muestra se enfría con la etapa Peltier, mientras que la presión del vapor de agua dentro de la cámara se regula a la correspondiente
presión en equilibrio a una temperatura dada. En tales condiciones, la muestra se expone a artefactos mínimos de evaporación e hinchamiento.
¡IMPORTANTE!
Use estrictamente temperaturas y presiones en el equilibrio cuando use la etapa Peltier y el sistema de entrada de vapor de agua juntos (vea la Tabla anterior y
tabla completa de presión de vapor).
La desviación hacia una presión más alta a una temperatura determinada provocará la condensación de agua o la acumulación de hielo en la platina, lo que eventualmente puede dañar el instrumento.
No se recomienda ajustar la temperatura de la etapa Peltier por debajo de -30 °C. Por el contrario, el calentamiento rápido a temperaturas por encima del equilibrio puede provocar una evaporación o
sublimación masiva, lo que puede desestabilizar la regulación de la presión y prolongar el logro del nuevo equilibrio.
Evitar cambios bruscos de presión y/o temperatura.
Operación en la Región de Presión de Vapor de Agua Saturada con la Etapa Peltier
El siguiente procedimiento describe el funcionamiento del Sistema de Entrada de Vapor de Agua junto con la etapa Peltier para lograr condiciones de vapor de agua saturado dentro de la cámara SEM. Este
modo permite mantener y observar la muestra en un ambiente húmedo, lo que minimiza el secado de la muestra. También es adecuado para monitorear procesos dinámicos como transiciones de fase,
formación de cristales, etc.
1. Preenfriar la muestra en la platina.
Al iniciar, abra la cámara SEM y configure la temperatura de la etapa Peltier entre 0 y 5 °C en la pestaña de control Peltier y confirme con OK
botón.
2. Coloque una pequeña cantidad de la muestra en el portamuestras (p. ej., un trozo) y fije el portamuestras a la platina Peltier.
3. Enfriar la muestra. Espere un par de minutos hasta que la muestra se enfríe a la temperatura solicitada (esto dependerá en gran medida del tamaño de la muestra).
4. Haga clic en el botón UniVac para habilitar el modo de vacío bajo.
5. Haga clic en el botón Vapor de agua para activar la inyección de vapor de agua.
6. Establecer condiciones de equilibrio. Configure la presión requerida dentro del rango permitido en el cuadro de texto y confírmela con el botón OK.
7. Cierre y bombee la cámara usando el botón PUMP. Espere hasta que la presión alcance el valor objetivo y el indicador de la barra de presión de la cámara se vuelva azul.
El sistema realizará un procedimiento de desgasificación de 2 minutos de duración antes de que comience la regulación.
8. Ajuste la temperatura de la muestra en el cuadro de texto de la pestaña Stage Cooling/Heating. La nueva temperatura debe corresponder con la presión de vapor de agua
en equilibrio. Consulte la tabla Presión de vapor del agua y el hielo para encontrar la presión y la temperatura adecuadas.
¡IMPORTANTE! Evite desviaciones drásticas del estado de equilibrio al establecer la presión y la temperatura del vapor de agua. La violación de las recomendaciones mencionadas anteriormente puede
causar una fuerte congelación o condensación de agua que provoque una falla en el enfriamiento y/o la regulación de la presión.
9. Espere al estado estable de 2 a 5 minutos. Utilice la vista de cámara para observar cualquier posible acumulación de hielo en el escenario. En caso de formación masiva de hielo,
disminuir ligeramente la presión de vapor de agua o aumentar la temperatura.
10. Establezca la distancia de trabajo adecuada para la observación (aprox. 5 mm)
11. Seleccione la tensión de aceleración y la intensidad del haz adecuadas.
12. Observe la muestra de manera similar al modo UniVac.
Nota: Cuando se trabaja cerca del estado de equilibrio, se puede observar una deposición lenta de hielo y agua o un secado lento de la muestra. Este puede ser particularmente el caso de las muestras
biológicas, donde los compuestos orgánicos e inorgánicos disueltos en la muestra pueden disminuir la presión parcial del agua hasta en un 25 %. Sin embargo,
el cambio de presión parcial depende en gran medida de la muestra. Por lo tanto, las mejores condiciones deben encontrarse experimentalmente. Además, observe continuamente cualquier posible
acumulación de hielo en el escenario usando la cámara IR en la vista de cámara.
Apagado del sistema

1. Disminuya la presión del vapor de agua dentro de la cámara. Establezca la presión del vapor de agua por debajo de 150 Pa, pero preferiblemente por debajo de 50 Pa. Eventualmente, desactive el modo
de vapor de agua desmarcando el botón Water Vapor.
2. Aumentar la temperatura del escenario. Establezca la temperatura entre 0 y 5 °C para descongelar el portamuestras y espere hasta que no se vea escarcha en la platina (utilice SEM ÿ Vista de la cámara
para la observación). También es posible ventilar el microscopio haciendo clic en el botón VENT.
Nota: Trabajar por encima de las condiciones de equilibrio hará que la muestra se seque.
3. Salga del modo UniVac quitando el clic del botón UNIVAC.
Mantenimiento del Sistema de Entrada de Vapor de Agua
Nivel del agua
Se recomienda encarecidamente controlar periódicamente el volumen y la calidad del agua del depósito. El mantenimiento del sistema (procedimiento de recarga) debe realizarse si el volumen es inferior
a 50 ml y/o si la calidad del agua no es suficiente.
(crecimientos de algas verdes en el agua, partículas de polvo y suciedad visibles en el vial, etc.). En este caso, siga el procedimiento de recarga descrito en el capítulo Procedimiento de recarga de agua.
Procedimiento de desgasificación
Para asegurarse de que el sistema entregue vapores de agua saturados en la cámara SEM, es esencial minimizar la presencia de aire, ya sea en el sistema de vacío o disuelto en el agua. El sistema elimina
el aire (o cualquier otro gas) del sistema de vacío mediante un breve procedimiento de desgasificación. El procedimiento de desgasificación es un paso estándar que se ejecuta cada vez que se activa el
sistema de entrada de vapor de agua. El procedimiento dura aprox. 2 minutos y asegura que se introduzcan vapores de agua saturados en el interior de la cámara.
Si el sistema no se usa con mucha frecuencia o si se abrió el depósito de agua, se recomienda realizar un procedimiento de desgasificación manual. El procedimiento se activa desde el menú SEM y se
ejecuta durante 5 minutos.
1. Inicialice el asistente de recarga/desgasificación del depósito de agua en el menú SEM
2. Haga clic en el botón 'Solo desgasificación'.
3. Aparece la pantalla de confirmación.
4. Confirme su decisión haciendo clic en el botón SIGUIENTE.
5. Comienza el procedimiento de desgasificación. Se recomienda esperar hasta que finalice la desgasificación, pero se puede cancelar en cualquier momento cerrando la ventana de diálogo.
Procedimiento de recarga de agua
El procedimiento de recarga de agua debe realizarse cada vez que:
el nivel del agua en el depósito cae por debajo de 50 ml el

agua en el depósito se contamina (p. ej. crecimiento de algas verdes, partículas de polvo, cristales de sal, otras impurezas visibles).
En ambos casos, inicie el procedimiento de recarga de agua en el asistente de recarga/desgasificación del depósito de agua del menú SEM.
1. Inicialice el procedimiento de recarga de agua en el menú SEM Mantenimiento ÿ Recarga/desgasificación del depósito de agua y siga las instrucciones para realizar el procedimiento (consulte la
parte Procedimiento de desgasificación).
2. Haga clic en el botón SIGUIENTE para confirmar su decisión. Este paso apaga automáticamente la HV y la bomba de vacío e inicia el procedimiento de desgasificación. Se recomienda esperar hasta
que finalice la desgasificación, pero se puede cancelar en cualquier momento cerrando la ventana de diálogo.
3. Aparece la pantalla de confirmación.
¡IMPORTANTE! ¡No encienda ningún modo de vacío hasta que haya terminado todo el procedimiento!
4. Retire el matraz de la cesta de calentamiento y desenrosque la tapa.
5. Verifique la pureza del agua restante. Si hay partículas de polvo o suciedad visibles en el agua, vacíe los matraces y límpielos.
6. Vuelva a llenar el agua. Retire el matraz de la cesta y llénelo con agua. ¡No exceda los 200 ml en el matraz!
¡IMPORTANTE! Está prohibido llenar el vial con agua directamente en la cesta calentadora y/o cerca de los aparatos eléctricos.
7. Atornille la tapa. Sostenga la tapa firmemente y gire el matraz en sentido contrario a las agujas del reloj. Vuelva a colocar con cuidado el matraz en la cesta de calentamiento.
8. Cuando finalice el procedimiento de recarga, haga clic en el botón SIGUIENTE en la ventana Rellenar el depósito de agua.
9. Aparece la ventana donde se puede inicializar o cancelar el procedimiento de desgasificación. Haga clic en el botón SIGUIENTE para confirmar la desgasificación o cierre la ventana para cancelar el asistente.
10. Comienza el procedimiento de desgasificación. Se recomienda esperar hasta que finalice la desgasificación, pero se puede cancelar en cualquier momento cerrando la ventana de diálogo.
11. Cuando termine, aparecerá una ventana de diálogo.
¡IMPORTANTE!
Lleva de 1 a 2 horas calentar el agua a la temperatura óptima. Tenga en cuenta que durante este tiempo puede que no sea posible alcanzar el vapor de agua
presión superior a aprox. 1500 Pa. También pueden ocurrir algunas fluctuaciones de presión notables. En este caso, vuelva a realizar la desgasificación del agua.
Si se saltó o acortó la desgasificación del agua, no olvide realizarla antes de encender el vapor de agua (ver el apartado Nivel del agua). Probablemente haya una gran cantidad de aire disuelto en el agua.
Si el sistema no se desgasifica lo suficiente, habrá una mezcla indefinida de aire y vapor de agua en el microscopio durante algún tiempo después de activar el modo de vapor de agua.
Bloqueo de carga
Un bloqueo de carga es un accesorio opcional para los SEM TESCAN, que permite un intercambio de muestras rápido y fácil sin necesidad de ventilar la cámara SEM.
El Load Lock está disponible en dos versiones:
Bloqueo de carga manual

Bloqueo de carga automatizado

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Encendido del microscopio

Ventana de escaneo SEM

Centrado de óptica electrónica

Fecha de construcción: 2015-02-02

Reparación de microscopios y uso de repuestos

El reemplazo del fusible

Temas relacionados: Estado de salud, Autocomprobación, Control remoto.

La columna de electrones del microscopio consta de las siguientes partes principales:

Los siguientes gráficos muestran la sección transversal de la columna de electrones VEGA 3:

Descripción de los modos de visualización

Movimientos en el eje Z 47mm 100mm 100mm

Rotación 360° continuo 360° continuo 360° continuo

máx. altura de la muestra con plataforma de rotación 60mm 116mm 116mm

la muestra con plataforma de rotación BDT 50mm 145mm 98mm

Movimientos en el eje X 45mm 35mm

Movimientos en el eje Y 45mm 35mm

Movimientos en el eje Z 27mm 27mm

Movimientos en el eje Z 6mm 6mm

Rotación 360° continuo 360° continuo

Inclinación (WD y tamaño de muestra dependiente) - 90° a + 90° - 90° a + 90°

máx. altura de la muestra 36mm 34mm

Cámara Tipo Ejes motorizados Ejes manuales Eucentricidad Tipo de microscopio

SB X, Y, Rotación Z, Inclinación Manual VEGA (sin opción LaB6)

Medidor de pA y alarma táctil

Modo Presión [Pa] Tipo de microscopio Nota

0.009 SBH, LMH, XMH, GMH

bajo vacío 3 - 500 1x bomba rotativa

Modo de alto vacío

Hay una selección de detectores opcionales para cada microscopio.

Este es el caso de:

InBeam SE: requiere la activación del modo InBeam

Accesorios básicos del microscopio y su uso

1. Varilla de ajuste para el soporte de apertura.

Accesorios adicionales para el VEGA3 SEM con opción LaB6:

1. Pinzas antimagnéticas - curvas

El portamuestras HM-114-R - El portamuestras es adecuado para muestras planas de hasta 16 mm de ancho.

El portamuestras HM-116-R - El portamuestras es adecuado para muestras planas de hasta 40 mm de ancho.

El portamuestras ACB-16-00 - El portamuestras es adecuado para muestras planas de hasta 4 mm de ancho.

El portamuestras TE00038R - El portamuestras está diseñado para muestras estándar de 30 mm de diámetro.

El portamuestras GM-154-R - Adaptador de portamuestras CAMSCAN de 12,5 mm.

Funciones del mouse durante el escaneo normal:

Si el microscopio está escaneando solo en la ventana de enfoque, entonces

El trackball se usa a menudo con el panel Pad.

Botones de control del trackball

Bloqueo del trackball

SIN panel de control

Nota: El panel de control TESCAN SEM no es una parte estándar de SEM.

Funcionamiento del panel de control SEM

Control de las funciones del microscopio a través de la pantalla táctil LCD:

Hay tres ventanas diferentes que se muestran en la pantalla táctil.

Instalación del panel de control SEM

Conecte el cable a un puerto USB vacío.

Encendido del microscopio

Temas relacionados: Panel de vacío, Haz de electrones, .

Los microscopios sin opción LaB6:

1. Apague el alto voltaje haciendo clic en el botón HV en el panel de haz de electrones.

Los microscopios con opción LaB6:

El panel principal está destinado al control del microscopio.