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RIO DE JANEIRO

NORMA ABNT NBR


BRASILEIRA ISO
14644-1

Segunda edição
22.11.2019
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Salas limpas e ambientes controlados


associados
Parte 1: Classificação da limpeza do ar por
concentração de partículas
Cleanrooms and associated controlled environments
Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration

ICS 13.040.35 ISBN 978-85-07-08344-3

Número de referência
ABNT NBR ISO 14644-1:2019
41 páginas

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Sumário Página

Prefácio Nacional ...............................................................................................................................vi


Introdução .........................................................................................................................................viii
1 Escopo ................................................................................................................................1
2 Referências normativas.....................................................................................................1
3 Termos e definições...........................................................................................................1
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4 Classificação ......................................................................................................................5
4.1 Estado(s) de ocupação .....................................................................................................5
4.2 Tamanho(s) de partículas ..................................................................................................5
4.3 Número da classe ISO .......................................................................................................5
4.4 Designação .........................................................................................................................6
4.5 Classes decimais intermediárias de limpeza e limites de tamanho de partícula.........6
5 Demonstração da conformidade ......................................................................................6
5.1 Princípio ..............................................................................................................................6
5.2 Ensaio..................................................................................................................................6
5.3 Avaliação da concentração de partículas em suspensão no ar ....................................7
5.4 Relatório de ensaio ............................................................................................................7
Anexo A (normativo) Método de referência para classificação da limpeza do ar por
concentração de partículas...............................................................................................8
A.1 Princípio ..............................................................................................................................8
A.2 Requisitos da aparelhagem...............................................................................................8
A.2.1 Instrumento de contagem de partículas ..........................................................................8
A.2.2 Calibração do instrumento................................................................................................8
A.3 Preparação para o ensaio de contagem de partículas ...................................................8
A.4 Determinação dos pontos de medição ............................................................................8
A.4.1 Definição do número de pontos de medição...................................................................8
A.4.2 Posicionamento dos pontos de medição ......................................................................10
A.4.3 Pontos de medição para grandes zonas ou salas limpas............................................10
A.4.4 Determinação do volume da amostra unitária e do tempo de amostragem por
ponto de medição.............................................................................................................10
A.5 Procedimento de amostragem ....................................................................................... 11
A.6 Processamento dos resultados ...................................................................................... 11
A.6.1 Registro dos resultados .................................................................................................. 11
A.6.1.1 Concentração média de partículas em cada ponto de medição .................................12
A.6.1.2 Cálculo da concentração por metro cúbico ..................................................................12
A.6.2 Interpretação dos resultados ..........................................................................................12
A.6.2.1 Requisitos de classificação ............................................................................................12
A.6.2.2 Resultados fora de especificação ..................................................................................12
Anexo B (informativo) Exemplos de cálculos de classificação......................................................13
B.1 Exemplo 1 .........................................................................................................................13
B.2 Exemplo 2 .........................................................................................................................14
B.3 Exemplo 3 .........................................................................................................................15

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B.4 Exemplo 4 .........................................................................................................................17


B.5 Exemplo 5 .........................................................................................................................18
B.6 Exemplo 6 .........................................................................................................................19
Anexo C (informativo) Contagem e discriminação de tamanho de macropartículas em
suspensão no ar...............................................................................................................23
C.1 Princípio ............................................................................................................................23
C.2 Considerações sobre partículas maiores que 5 µm (macropartículas) – Indicador M.... 23
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C.2.1 Aplicação ..........................................................................................................................23


C.2.2 Formato do indicador M ..................................................................................................23
C.3 Contagem de partículas em suspensão no ar para macropartículas .........................24
C.3.1 Princípio ............................................................................................................................24
C.3.2 Geral ..................................................................................................................................24
C.3.3 Considerações sobre o manuseio das amostras..........................................................24
C.3.4 Métodos de medição para macropartículas ..................................................................25
C.3.4.1 Medição in situ .................................................................................................................25
C.3.4.2 Coleta ................................................................................................................................25
C.4 Métodos para medição de macropartículas ..................................................................25
C.4.1 Medição de macropartículas sem coleta de partículas ................................................25
C.4.1.1 Geral ..................................................................................................................................25
C.4.1.2 Medição com contador de partículas por espalhamento de luz (LSAPC) .................25
C.4.1.3 Medição com aparelhagem de discriminação de tamanho de partícula pelo tempo
de voo................................................................................................................................26
C.4.2 Medição de macropartículas com coleta de partículas ................................................26
C.4.2.1 Geral ..................................................................................................................................26
C.4.2.2 Coleta por filtragem e medição microscópica...............................................................26
C.4.2.3 Coleta e medição por impactador de cascata ...............................................................27
C.5 Procedimento para contagem de macropartículas.......................................................27
C.6 Relatórios de ensaio para amostragem de macropartículas .......................................28
C.7 Adequação do indicador de macropartículas, de forma a harmonizar as
considerações sobre as partículas ≥ 5 µm para salas limpas ISO Classe 5 ..............28
Anexo D (informativo) Procedimento de amostragem sequencial.................................................29
D.1 Contexto e limitações ......................................................................................................29
D.1.1 Contexto............................................................................................................................29
D.1.2 Limitações.........................................................................................................................29
D.2 Base para o procedimento ..............................................................................................29
D.3 Procedimento para amostragem ....................................................................................31
D.4 Exemplos de amostragem sequencial ...........................................................................32
D.4.1 Exemplo 1 .........................................................................................................................32
D.4.2 Exemplo 2 .........................................................................................................................33
Anexo E (informativo) Especificação de classes de limpeza intermediárias decimais e os
limites inferiores do tamanho de partícula ....................................................................37
E.1 Classes de limpeza intermediárias decimais ................................................................37
E.3 Tamanhos intermediários de partículas.........................................................................38

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Anexo F (informativo) Instrumentos de ensaio ................................................................................39


F.1 Introdução.........................................................................................................................39
F.2 Especificações dos instrumentos ..................................................................................39
Bibliografia.........................................................................................................................................41

Figuras
Figura D.1 – Limites para a conformidade ou não, utilizando o procedimento de amostragem
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sequencial.........................................................................................................................31
Figura D.2 – Representação gráfica dos limites aprovado e reprovado para amostragem
sequencial.........................................................................................................................35

Tabelas
Tabela 1 – Classes ISO de limpeza do ar por concentração de partículas ....................................5
Tabela A.1 – Pontos de medição em função da área da sala limpa................................................9
Tabela B.1 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,3 µm ......................................................14
Tabela B.2 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 µm ......................................................14
Tabela B.3 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,1 μm ......................................................15
Tabela B.4 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm ......................................................16
Tabela B.5 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm ......................................................18
Tabela B.6 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm ......................................................19
Tabela B.7 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm ......................................................20
Tabela D.1 – Tabulação do cálculo dos valores de referência superior e inferior ......................32
Tabela D.2 – Resultado do cálculo do volume total de ar amostrado, número esperado
de partículas, limites superior e inferior ........................................................................34
Tabela D.3 – Exemplo de contagem sequencial de partículas .....................................................35
Tabela D.4 – Exemplo de contagem de partículas sequencial......................................................36
Tabela E.1 – Classes intermediárias decimais de limpeza do ar por concentração de
partículas ..........................................................................................................................37
Tabela F.1 ‒ Especificações para contador de macropartículas discretas..................................39
Tabela F.2 ‒ Especificações para o aparelho de discriminação de tamanho das partículas
pelo tempo de voo............................................................................................................40

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Prefácio Nacional

A Associação Brasileira de Normas Técnicas (ABNT) é o Foro Nacional de Normalização. As Normas


Brasileiras, cujo conteúdo é de responsabilidade dos Comitês Brasileiros (ABNT/CB), dos Organismos
de Normalização Setorial (ABNT/ONS) e das Comissões de Estudo Especiais (ABNT/CEE), são
elaboradas por Comissões de Estudo (CE), formadas pelas partes interessadas no tema objeto
da normalização.
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Os Documentos Técnicos ABNT são elaborados conforme as regras da ABNT Diretiva 3.

A ABNT chama a atenção para que, apesar de ter sido solicitada manifestação sobre eventuais direitos
de patentes durante a Consulta Nacional, estes podem ocorrer e devem ser comunicados à ABNT
a qualquer momento (Lei nº 9.279, de 14 de maio de 1996).

Os Documentos Técnicos ABNT, assim como as Normas Internacionais (ISO e IEC), são voluntários
e não incluem requisitos contratuais, legais ou estatutários. Os Documentos Técnicos ABNT não
substituem Leis, Decretos ou Regulamentos, aos quais os usuários devem atender, tendo precedência
sobre qualquer Documento Técnico ABNT.

Ressalta-se que os Documentos Técnicos ABNT podem ser objeto de citação em Regulamentos
Técnicos. Nestes casos, os órgãos responsáveis pelos Regulamentos Técnicos podem determinar as
datas para exigência dos requisitos de quaisquer Documentos Técnicos ABNT.

A ABNT NBR ISO 14644 foi elaborada no Comitê Brasileiro de Salas Limpas e Controladas
(ABNT/CB-046), pela Comissão de Estudo de Aspectos Gerais de Áreas Limpas (CE-046:000.001).
O Projeto de Revisão circulou em Consulta Nacional conforme Edital nº 07, de 03.07.2019 a
08.08.2019.

A ABNT NBR ISO 14644 é uma adoção idêntica, em conteúdo técnico, estrutura e redação, à
ISO 14644-1:2015, que foi elaborada pelo Technical Committee Cleanrooms and Associated Contrelled
Environments (ISO/TC 209).

A ABNT NBR ISO 14644:2019 cancela e substitui a ABNT NBR ISO 14644-1:2005, a qual foi tecnica-
mente revisada.

A ABNT NBR ISO 14664, sob o título geral “Salas limpas e ambientes controlados associados”, tem
previsão de conter as seguintes partes:

— Parte 1: Classificação da limpeza do ar por concentração de partículas;

— Parte 2: Monitoramento para comprovar o desempenho da sala limpa em relação à limpeza do ar


por concentração de partículas;

— Parte 3: Métodos de ensaio;

— Parte 4: Projeto, construção e partida;

— Parte 5: Operações;

— Parte 7: Dispositivos de separação (compartimentos de ar limpo, gloveboxes, isoladores e mini-


ambientes);

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ABNT NBR ISO 14644-1:2019

— Parte 8: Classificação da limpeza do ar por concentração química (ACC) ;

— Parte 9: Classificação da limpeza de superfície por concentração de partículas;

— Parte 10: Classificação da limpeza de superfície por concentração química;

O Escopo em inglês da ABNT NBR ISO 14644 é o seguinte:


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Scope
This Part of ABNT NBR ISO 14644 specifies the classification of air cleanliness in terms of
concentration of airborne particles in cleanrooms and clean zones; and separative devices as defined in
ABNT NBR ISO 14644-7.

Only particle populations having cumulative distributions based on threshold (lower limit) particle sizes
ranging from 0,1 µm to 5 µm are considered for classification purposes.

The use of light scattering (discrete) airborne particle counters (LSAPC) is the basis for determination
of the concentration of airborne particles, equal to and greater than the specified sizes, at designated
sampling locations.

This Part of ABNT NBR ISO 14644 does not provide for classification of particle populations that
are outside the specified lower threshold particle-size range, 0,1 µm to 5 µm. Concentrations of
ultrafine particles (particles smaller than 0,1 µm) will be addressed in a separate standard to specify air
cleanliness by nano-scale particles. An M descriptor (see Annex C) may be used to quantify populations
of macroparticles (particles larger than 5 µm).

This Part of ABNT NBR ISO 14644 cannot be used to characterize the physical, chemical, radiological,
viable or other nature of airborne particles.

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ABNT NBR ISO 14644-1:2019

Introdução

Salas limpas e ambientes controlados associados proporcionam o controle de contaminação do ar


e, se apropriado, de superfícies, para níveis adequados para a realização de atividades sensíveis
à contaminação. O controle de contaminação pode ser benéfico para a proteção da integridade do
produto ou do processo, em indústrias, como aeroespacial, microeletrônica, produtos farmacêuticos,
dispositivos médicos, tratamento de saúde e alimentos.
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Esta Parte da ABNT NBR ISO 14644 especifica classes de limpeza de ar em termos do número de
partículas, expressas como concentração em volume de ar. Também especifica o método padrão de
ensaio para determinação da classe de limpeza, incluindo a seleção dos pontos de medição.

Esta edição é o resultado da resposta a uma Revisão Sistemática da ISO e inclui as alterações
resultantes das experiências trazidas por usuários e especialistas, validadas por consulta pública
internacional. O título foi revisto para “Classificação da limpeza do ar por concentração de partículas”
para ser coerente com outras partes da ABNT NBR ISO 14644. As nove classes ISO de limpeza do
ar foram mantidas, com pequenas revisões. A Tabela 1 define a concentração de partículas em vários
tamanhos de partículas para as nove classes de número inteiro. A Tabela E.1 define a concentração
máxima de partículas em vários tamanhos de partículas para as classes intermediárias. O uso destas
tabelas garante uma melhor definição das faixas de tamanho de partícula apropriadas para as diferentes
classes. Esta Parte da ABNT NBR ISO 14644 mantém o conceito do indicador de macropartícula; no
entanto, o tema nanopartículas (anteriormente definidas como partículas ultrafinas) é abordado em
uma norma separada.

A mudança mais significativa é a adoção de uma abordagem estatística mais consistente para a
seleção e a quantidade de pontos de medição, bem como a avaliação dos dados coletados. O modelo
estatístico é baseado na adaptação da técnica de modelo de amostragem hipergeométrica, onde as
amostras são coletadas aleatoriamente, sem substituição, de uma população finita. A nova abordagem
permite que cada ponto de medição seja tratado de forma independente, com pelo menos 95 % de
nível de confiança de que no mínimo 90 % da área da sala limpa ou da área da zona limpa atenda ao
limite máximo de concentração de partículas para a respectiva classe de limpeza do ar. Não se assume
condição alguma sobre a distribuição (probabilística) da contagem real de partículas na área da sala
limpa ou zona limpa; já na ISO 14644:1999 assumia-se originalmente que as contagens de partículas
seguiam a mesma distribuição normal em toda a sala; esta hipótese foi então descartada para permitir
que a amostragem seja realizada em salas onde as contagens de partículas variam de forma mais
complexa. No processo de revisão foi reconhecido que o limite superior de confiança de 95 % não fora
adequado, nem fora aplicado de forma consistente na ISO 14644-1:1999. O número mínimo de pontos
de medição requerido foi alterado, comparado com o da ISO 14644-1:1999. Uma tabela de referência,
Tabela A.1, é fornecida para definir o número mínimo de pontos de medição necessários, baseado em
uma adaptação prática do modelo de amostragem. Assume-se que a área imediatamente em torno
de cada ponto de medição tem uma concentração homogênea de partículas. A área da zona limpa ou
da sala limpa é dividida em uma grade cujos setores têm praticamente a mesma área e cujo número
de setores é igual ao número de pontos de medição obtidos na Tabela A.1. Um ponto de medição é
colocado em cada setor da grade, de modo a ser representativo deste setor da grade.

Assume-se, para efeitos práticos, que os pontos de medição são escolhidos de forma representativa;
um local “representantivo” (ver A.4.2) significa que características como leiaute de zona limpa ou de
sala limpa, disposição do equipamento e sistemas de fluxo de ar devem ser consideradas quando
selecionados os pontos de medição. Pontos de medição adicionais podem ser acrescentados ao
número mínimo de pontos de medição.

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ABNT NBR ISO 14644-1:2019

Por fim, os anexos foram reordenados para melhorar a compreensão desta Parte da ABNT NBR ISO 14644
e o conteúdo de determinados anexos da ISO 14644-3:2005, relativos a ensaios e instrumentos para
ensaio, foram incluídos nesta Parte da ABNT NBR ISO 14644.

A versão revisada desta Parte da ABNT NBR ISO 14644 trata dos limites para partículas ≥ 5 µm
para ISO classe 5 nos anexos para produtos estéreis da UE, PIC/S e da OMS BPF por meio de uma
adaptação do conceito de macropartícula.
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A versão revisada desta parte da ISO 14644 inclui agora todos os assuntos relacionados à classificação
de limpeza do ar por concentração de partículas. A versão revisada da ISO 14644-2:2015 agora trata
exclusivamente do monitoramento da limpeza do ar por concentração de partículas.

Salas limpas também podem ser caracterizadas por atributos adicionais à classificação de limpeza de
ar por concentração de partículas. Outros atributos, como a limpeza de ar em termos de concentração
química, podem ser monitorados, e o grau ou nível do atributo pode ser indicado juntamente com
a classificação ISO de limpeza do ar. Estes atributos adicionais não são suficientes por si só para
classificar uma sala limpa ou zona limpa.

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Salas limpas e ambientes controlados associados


Parte 1: Classificação da limpeza do ar por concentração de partículas

1 Escopo
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Esta Parte da ABNT NBR ISO 14644 especifica a classificação de limpeza do ar em termos de
concentração de partículas no ar em salas limpas e zonas limpas; e dispositivos de separação como
estabelecido na ABNT NBR ISO 14644-7.

Para efeitos de classificação, são consideradas somente as populações de partículas com distribuições
cumulativas baseadas no limite inferior de tamanho variando de 0,1 µm a 5 µm.

A utilização de contadores de partículas (discretas) em suspensão no ar, por espalhamento de luz


(LSAPC), é a base para a determinação da concentração de partículas em suspensão no ar, iguais ou
maiores do que os tamanhos especificados, em pontos de medição designados.

Esta Parte da ABNT NBR ISO 14644 não fornece classificação para populações de partículas
que estão fora do limite inferior especificado de faixa de tamanho de partículas de 0,1 µm a 5 µm.
A concentração de partículas ultrafinas (partículas inferiores a 0,1 µm) será abordada em uma Norma
separada, na qual especificará a limpeza do ar por partículas em escala nanométrica. Um indicador
M (ver Anexo C) pode ser utilizado para quantificar as populações de macropartículas (partículas
maiores do que 5 µm).

Esta Parte da ABNT NBR ISO 14644 pode não ser utilizada para caracterizar outra atribuicão, seja
fisica, química, radiológica, viável ou de outra natureza, para as partículas em suspensão no ar.

2 Referências normativas
Os seguintes documentos, no todo ou em parte, são normativamente referenciados neste documento e
são indispensáveis para a sua aplicação. Para referências datadas, somente a edição citada se aplica.
Para referências não datadas, aplica-se a última edição do referido documento (incluindo emendas).

ABNT NBR ISO 14644-2, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 2: Monitoramento
para fornecer evidencias de desempenho da sala limpa relacionado a limpeza por concentração de
partículas no ar

ABNT NBR ISO 14644-7, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 7: Dispositivos de
separação (compartimentos de ar limpo, gloveboxes, isoladores, miniambientes)

3 Termos e definições
Para os efeitos deste documento, aplicam-se os seguintes termos e definições.

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3.1 Geral

3.1.1
sala limpa
sala em que a concentração de partículas em suspensão no ar é controlada e classificada, e a qual é
projetada, construída e utilizada de maneira a controlar a introdução, geração e retenção de partículas
dentro da sala
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Nota 1 de entrada: A classe de concentração de partículas em suspensão no ar é especificada.

Nota 2 de entrada: Outros atributos de limpeza, como concentrações químicas, de partículas viáveis ou nano-
partículas no ar, e também limpeza de superfície em função de concentrações de partículas, nanopartículas,
partículas viáveis e químicas, podem também ser especificados e controlados.

Nota 3 de entrada: Outros parâmetros físicos pertinentes também podem ser controlados, se requerido, por
exemplo, temperatura, umidade, pressão, vibração e eletrostática.

3.1.2
zona limpa
espaço exclusivo em que a concentração de partículas em suspensão no ar é controlada e classificada,
e o qual é construído e utilizado de maneira a controlar a introdução, geração e retenção de partículas
dentro da zona

Nota 1 de entrada: A classe de concentração de partículas em suspensão no ar é especificada.

Nota 2 de entrada: Outros atributos de limpeza, como concentrações químicas, de partículas viáveis
ou nanopartículas no ar, e também limpeza de superfície em função de concentrações de partículas,
nanopartículas, partículas viáveis e químicas, podem também ser especificados e controlados.

Nota 3 de entrada: Uma zona limpa pode ser um espaço estabelecido dentro de uma sala limpa, ou pode ser
obtida por meio de um dispositivo de separação. Tal dispositivo pode estar localizado dentro ou fora de uma
sala limpa.

Nota 4 de entrada: Outros parâmetros físicos pertinentes podem também ser controlados, se requerido, por
exemplo, temperatura, umidade e pressão, vibração e eletrostática.

3.1.3
instalação
sala limpa ou uma ou mais zonas limpas, incluindo todas as estruturas associadas, sistemas de
tratamento de ar, serviços e utilidades

3.1.4
classificação
método de determinarção do grau de limpeza em relação a uma especificação para uma sala limpa
ou uma zona limpa

Nota 1 de entrada: Convém que as concentrações sejam expressas em termos de classes ISO, as quais
representam a máxima concentração permitida de partículas para uma unidade de volume de ar.

3.2 Partículas em suspensão no ar

3.2.1
partícula
porção de matéria diminuta com limites físicos estabelecidos

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3.2.2
tamanho de partícula
diâmetro de uma esfera que produza uma resposta, por meio de um instrumento que discrimine
tamanhos de partículas, que seja equivalente à resposta produzida pela partícula sendo medida

Nota 1 de entrada: Para contagem de partículas discretas, utilizando instrumentos de espalhamento de luz,
é utilizado o diâmetro óptico equivalente.
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3.2.3
concentração de partículas
quantidade de partículas individuais por unidade de volume de ar

3.2.4
distribuição por tamanho de partículas
distribuição cumulativa da concentração de partículas em função do tamanho das partículas

3.2.5
macropartícula
partícula com diâmetro equivalente maior que 5 μm

3.2.6
indicador M
designação da concentração medida ou especificada de macropartículas, por metro cúbico de ar,
expressa em termos do diâmetro equivalente que é característico do método de medição utilizado

Nota 1 de entrada: O indicador M pode ser visto como um limite superior para as médias nos pontos de
medição. Indicadores M podem não ser usados para estabelecer classes de limpeza do ar para partículas
em suspensão, mas podem ser citados independentemente ou em conjunto com classes de limpeza para
partículas em suspensão no ar.

3.2.7
fluxo de ar unidirecional
fluxo de ar controlado por meio de toda a seção transversal de uma sala limpa ou zona limpa, com
velocidade constante e linhas de fluxo aproximadamente paralelas

3.2.8
fluxo de ar não unidirecional
distribuição de ar em que o ar insuflado na sala limpa ou zona limpa mistura-se com o ar interno por
indução

3.3 Estados de ocupação

3.3.1
como construído
condição em que a sala limpa ou zona limpa está completa, com todos os serviços interligados e
funcionando, mas sem a presença de equipamentos de produção, móveis, material ou pessoal

3.3.2
em repouso
condição em que a sala limpa ou zona limpa está completa, com equipamentos de produção instalados
e operando de forma acordada entre o usuário e o fornecedor, mas sem presença de pessoal

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3.3.3
em operação
condição acordada em que a sala limpa ou zona limpa está funcionando nas condições especificadas,
com equipamentos trabalhando e com o número especificado de pessoas presentes

3.4 Ensaiando instrumentação (ver Anexo F)

3.4.1
resolução
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menor alteração em uma quantidade sendo mensurada que cause uma alteração perceptível na
indicação correspondente
Nota 1 de entrada: Resolução pode depender de, por exemplo, ruído (interno ou externo) ou fricção. Pode
também depender do valor da quantidade sendo mensurada.

[FONTE: ISO/IEC Guide 99:2007, 4.14]

3.4.2
erro de medição máximo permitido
valor extremo de erro de medição, em relação a uma grandeza de referência conhecida, permitido
por especificações ou regulamentos para uma dada medição, instrumento de medição ou sistema de
medição
Nota 1 de entrada: Normalmente o termo “erro máximo permitido” ou “limites de erro” é usado quando há dois
valores extremos.

Nota 2 de entrada: Não convém que seja utilizado o termo “tolerância” para designar “erro máximo permitido”.

[FONTE: ISO/IEC Guide 99:2007, 4.26]

3.5 Especificações dos instrumentos

3.5.1
LSAPC
contador de partículas em suspensão no ar por espalhamento de luz
contador de partículas discretas em suspensão no ar por espalhamento de luz
instrumento que tenha a capacidade de contar e discriminar individualmente as partículas em suspen-
são no ar e relatar os dados de tamanho em termos de diâmetro óptico equivalente
Nota 1 de entrada: As especificações para o LSAPC são dadas na ISO 21501-4:2007.

3.5.2
contador de macropartículas discretas
instrumento capaz de contar e discriminar individualmente as macropartículas em suspensão no ar
Nota 1 de entrada: Ver tabela F.1 para especificações.

3.5.3
aparelhagem de discriminação de tamanho de partícula pelo seu tempo de voo
aparelhagem para contar e discriminar o tamanho de partículas discretas, que define o diâmetro
aerodinâmico destas, por meio da medição do tempo necessário para a acomodação de uma partícula
diante da alteração de velocidade do ar
Nota 1 de entrada: Isto é normalmente feito pela medição, por meio óptico, do tempo de transição da partícula
após alteração da velocidade de escoamento de um fluido.

Nota 2 de entrada: Ver Tabela F.2 para especificações.

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4 Classificação
4.1 Estado(s) de ocupação
A classe de limpeza do ar por concentração de partículas em suspensão em uma sala limpa ou zona
limpa deve ser estabelecida em um ou mais estados de ocupação, como: “como construído”, “em
repouso” ou “em operação” (ver 3.3).

4.2 Tamanho(s) de partículas


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Deve ser utilizado um, ou mais de um, tamanho(s) de partículas no limite inferior, situado(s) na faixa
de 0,1 µm a 5 µm, para determinar a concentração de partículas da limpeza do ar para classificação.

4.3 Número da classe ISO


A classe de limpeza por concentração de partículas no ar é designada por um número de classe ISO,
N. A máxima concentração de partículas permitida para cada tamanho de partícula considerada é
determinada a partir da Tabela 1.
Os valores de concentração de partículas para os diferentes limites de tamanho na Tabela 1 não
refletem o tamanho real da partícula nem sua distribuição no ar e servem somente como critério para
classificação. Exemplos de cálculos de classificação estão incluídos no Anexo B.
Tabela 1 – Classes ISO de limpeza do ar por concentração de partículas

Máximas concentrações permitidas (partículas/m3) para partículas iguais


Número da classe ISO
ou maiores do que os tamanhos considerados abaixo a
(N)
0,1 µm 0,2 µm 0,3 µm 0,5 µm 1 µm 5 µm
1 10 b d d d d e

2 100 24 b 10 b d d e

3 1 000 237 102 35b d e

4 10 000 2 370 1 020 352 83b e

5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 d, e, f

6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293


7 c c c 352 000 83 200 2 930
8 c c c 3 520 000 832 000 29 300
9g c c c 35 200 000 8 320 000 293 000
a Todas as concentrações na Tabela são cumulativas, por exemplo: para ISO classe 5, as 10 200 partículas ≥ 0,3 µm
incluem todas as partículas iguais ou maiores que este tamanho.
b Estas concentrações levam a grandes volumes de amostras de ar para a classificação. Pode ser aplicado o
procedimento de amostragem sequencial; ver Anexo D.
c Os limites de concentração não são aplicáveis nesta região da Tabela devido à concentração de partículas muito elevada.
d Limitações estatísticas e de amostragem para baixas concentrações de partículas tornam a classificação inadequada.
e Limitações na coleta da amostra para partículas em concentrações baixas e de tamanho superior a 1 μm tornam
a classificação imprópria para este tamanho de partícula, devido à perda potencial de partículas no sistema de
amostragem.
f A fim de especificar este tamanho de partícula em associação com a ISO classe 5, o indicador de macropartículas M
pode ser adaptado e utilizado em conjunto com pelo menos um outro tamanho de partícula. (Ver C.7).
g Esta classe é aplicável somente ao estado em operação.

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4.4 Designação

A designação de concentração de partículas no ar para salas limpas e zonas limpas deve incluir:

a) o número da classe ISO, expresso como “ ISO classe N “;

b) o estado de ocupação para o qual a classificação se aplica; e


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c) o(s) tamanho(s) de partícula(s) considerado(s).

Para contagem de dois ou mais tamanhos considerados de partículas, o diâmetro da partícula maior
(D2) deve ser no mínimo 1,5 vez maior que o diâmetro da partícula imediatamente menor (D1), ou
seja, D2 ≥ 1,5 × D1.

EXEMPLO Número da classe ISO; estado de ocupação; tamanho(s) de partícula considerado ISO classe 4;
em repouso; 0,2 µm, 0,5 µm

4.5 Classes decimais intermediárias de limpeza e limites de tamanho de partícula

Quando forem requeridas classes intermediárias ou tamanho intermediário de partículas, para classes
inteiras e intermediárias, consultar o Anexo E, informativo.

5 Demonstração da conformidade
5.1 Princípio

A conformidade com os requisitos especificados pelo usuário para a limpeza do ar (classe ISO) é
verificada pela realização de procedimentos de ensaio especificados e fornecendo documentação dos
resultados e condições de ensaio.

A classificação em repouso ou em operacão pode ser realizada periodicamente, com base na avalia-
ção de risco do processo, geralmente em uma base anual.

Para monitoramento de salas limpas, zonas limpas e dispositivos de separação, a ABNT NBR ISO 14644-2
deve ser utilizada.

NOTA Quando a instalação está equipada com instrumentação para monitoramento contínuo ou frequente
da limpeza do ar por concentração de partículas e outros parâmetros de desempenho, conforme o caso, os
intervalos de tempo entre classificações podem ser prorrogados, desde que os resultados do monitoramento
mantenham-se dentro dos limites especificados.

5.2 Ensaio

O método de ensaio de referência para demonstrar a conformidade é dado no Anexo A (normativo).


Métodos alternativos ou instrumentação (ou ambos), que tenham desempenho pelo menos comparável,
podem ser especificados. Se nenhuma alternativa for especificada ou acordada, deve ser utilizado o
método de referência.

Os ensaios para demonstrar a conformidade devem ser realizados utilizando os instrumentos que
estejam em conformidade com os requisitos de calibração no momento do ensaio.

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5.3 Avaliação da concentração de partículas em suspensão no ar

Após a conclusão dos ensaios conforme o Anexo A, a concentração de partículas (expressa em número
de partículas por metro cúbico) em um volume de amostra unitária, em cada ponto de medição, não
pode exceder o(s) limite(s) de concentração indicado (s) na Tabela 1 ou Tabela E.1 para as classes
decimais intermediárias no(s) tamanho(s) considerado(s). Se vários volumes de amostra unitária
forem tomados em um ponto de medição, as concentrações devem ser calculadas e a concentração
média não pode exceder os limites de concentração indicados na Tabela 1 ou Tabela E.1, para classes
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decimais intermediárias, ou calculados pela Equação (E.1) para tamanhos intermediários de partículas.

Concentrações de partículas utilizadas para a determinação da conformidade das classes ISO devem
ser obtidas pelo mesmo método para todos os tamanhos de partículas considerados.

5.4 Relatório de ensaio

Os resultados de ensaio de cada sala limpa ou zona limpa devem ser registados e apresentados como
um relatório global, juntamente com uma declaração de conformidade ou não conformidade com a
designação específica de classes de limpeza do ar por concentração de partículas.

O relatório de ensaio deve incluir

a) nome e endereço da organização de ensaios, e a data em que foi realizado cada ensaio;

b) número e ano de publicação desta Parte da ABNT NBR ISO 14644, ou seja,
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c) uma clara identificação da localização física da sala limpa ou zona limpa ensaiada (incluindo
referência a áreas adjacentes, se necessário) e denominações específicas de coordenadas de
todos os pontos de medição (uma representação esquemática pode ser útil);

d) critérios de designação especificados para a sala limpa ou zona limpa, incluindo o número de classe
ISO, o(s) estado(s) de ocupação pertinente(s) e o(s) tamanho(s) de partícula considerado(s);

e) detalhes do método de ensaio utilizado, com todas as condições especiais relativas ao ensaio,
ou desvios do método de ensaio, e a identificação do instrumento de ensaio e seu certificado de
calibração atual;

f) resultados do ensaio, incluindo dados de concentração de partículas para todos os pontos de


medição.

Se as concentrações de macropartículas forem quantificadas, conforme descrito no Anexo C, convém


que as informações pertinentes sejam incluídas no relatório de ensaio.

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Anexo A
(normativo)

Método de referência para classificação da limpeza do ar por


concentração de partículas
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A.1 Princípio
Um instrumento de contagem de partículas discretas é utilizado para determinar a concentração de par-
tículas em suspensão no ar, iguais e maiores que os tamanhos especificados, em pontos de medição
designados.

A.2 Requisitos da aparelhagem

A.2.1 Instrumento de contagem de partículas


O instrumento deve possuir meios para exibir ou registrar a contagem e o tamanho de partículas
discretas no ar, com capacidade de discriminação do tamanho para detectar a concentração total de
partículas nas faixas de tamanhos apropriadas, para a classe em consideração.
NOTA Contadores de partículas (discretas) em suspensão no ar por espalhamento de luz (LSAPC) são
normalmente utilizados para a determinação da classificação da limpeza do ar.

A.2.2 Calibração do instrumento


O contador de partículas deve possuir um certificado de calibração válido: convém que a frequência
e o método de calibração sejam baseados nas práticas atualmente aceitas, conforme especificado na
ISO 21501-4.[1]
NOTA Alguns contadores de partículas não estão aptos a atender a todos os ensaios requeridos na
calibração conforme a ISO 21501-4. Se este for o caso, anotar no relatório do ensaio a decisão de utilizar o
referido contador.

A.3 Preparação para o ensaio de contagem de partículas


Antes do ensaio, verificar se todos os aspectos pertinentes da zona ou sala limpa, que contribuem
para sua integridade, estão completos e operando de acordo com sua especificação de desempenho.

Deve-se tomar cuidado ao se determinar a sequência para a realização dos ensaios de apoio para
o desempenho da sala limpa. A ABNT NBR ISO 14644-3, Anexo A, fornece uma lista de verificação.

A.4 Determinação dos pontos de medição

A.4.1 Definição do número de pontos de medição


Definir o número mínimo de pontos de medição, NL, conforme a Tabela A.1. A Tabela A.1 fornece o
número de pontos de medição em função da área de cada zona ou sala limpa a ser classificada, tendo

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no mínimo 95 % de nível de confiança de que ao menos 90 % da área da zona ou sala limpa não
excede o limite da classe.

Tabela A.1 – Pontos de medição em função da área da sala limpa

Área da sala limpa (m2) Número mínimo de pontos de medição


menor ou igual a a serem ensaiados (NL)
2 1
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4 2
6 3
8 4
10 5
24 6
28 7
32 8
36 9
52 10
56 11
64 12
68 13
72 14
76 15
104 16
108 17
116 18
148 19
156 20
192 21
232 22
276 23
352 24
436 25
636 26
1 000 27
> 1 000 Ver Equação (A.1)
NOTA 1 Se a área considerada ficar entre dois valores na tabela, convém que o maior dos dois
seja selecionado.
NOTA 2 No caso de fluxo de ar unidirecional, a área pode ser considerada a seção transversal
ao ar em movimento, perpendicular à direção do fluxo de ar. Em todos os outros casos, a área
pode ser considerada a área do plano horizontal da zona ou sala limpa.

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A.4.2 Posicionamento dos pontos de medição


Para distribuição dos pontos de medição:

a) usar o número mínimo de pontos de medição NL determinado pela Tabela A.1;

b) dividir toda a zona ou sala limpa em NL setores de áreas iguais;

c) selecionar, dentro de cada setor, um ponto de medição considerado representativo das


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características do setor; e

d) em cada ponto de medição, posicionar a sonda do contador de partículas no plano da atividade


de trabalho ou outro ponto especificado.

Pontos de amostragem adicionais podem ser selecionados para pontos de medição considerados
críticos. O número de pontos e seu posicionamento também devem ser acordados e especificados.

Setores adicionais e pontos de medição associados podem ser incluídos para facilitar a subdivisão em
setores equivalentes.

Para zonas ou salas limpas com fluxo de ar não unidirecional, pontos de medição podem não ser
representativos, se eles estiverem posicionados diretamente abaixo de fontes de insuflação de ar sem
difusão.

A.4.3 Pontos de medição para grandes zonas ou salas limpas


Quando a área da zona ou sala limpa for maior que 1 000 m2, utilizar a equação (A.1) para determinar
o número mínimo requerido de pontos de medição.
 A 
N L = 27 x   (A.1)
 1 000 

onde

NL é o número mínimo de pontos de medição a serem avaliados, arredondado para o número


inteiro acima;

A é a área da sala limpa, expressa em metros quadrado (m2).

A.4.4 Determinação do volume da amostra unitária e do tempo de amostragem por


ponto de medição
Em cada ponto de medição, amostrar um volume suficiente de ar, de maneira que um mínimo de 20
partículas possa ser detectado, se a concentração para o maior tamanho considerado de partículas
estiver no limite da classe ISO designada.

O volume da amostra unitária, Vs, por ponto de medição é determinado utilizando a Equação (A.2):
 
 20 
Vs =   ×1 000 (A.2)
 C n, m 

onde

Vs é o volume mínimo da amostra unitária por ponto de medição, expresso em litros (para
exceções, ver Anexo D);

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Cn,m é o limite da classe (número de partículas por metro cúbico) para o maior tamanho
considerado da partícula, especificado para a classe relevante;

20 é o número de partículas que poderiam ser contadas, se a concentração de partículas


estivesse no limite da classe.

O volume amostrado em cada ponto de medição deve ser pelo menos de 2 L, com um tempo de
amostragem mínimo de 1 min para cada amostra, em cada ponto de medição. Cada volume da
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amostra unitária, em cada ponto de medição, deve ser o mesmo.

Quando Vs for muito grande, o tempo requerido para amostragem pode ser significativo. Utilizando o
procedimento opcional de amostragem sequencial (ver Anexo D), tanto o volume da amostra requerido
como o tempo requerido para se obter as amostras podem ser reduzidos.

A.5 Procedimento de amostragem


A.5.1 Ajustar o contador de partículas (ver A.2) de acordo com as instruções do fabricante, inclusive
efetuando uma verificação de contagem zero.

A.5.2 A sonda de amostragem deve ter sua abertura posicionada de forma a captar frontalmente o
fluxo de ar. Se a direção do fluxo de ar sendo amostrado não for controlada ou previsível (por exemplo,
fluxo de ar não unidirecional), a sonda de amostragem deve ser posicionada verticalmente, com a
abertura voltada para cima.

A.5.3 Garantir que as condições normais para o estado ocupacional selecionado estejam
estabelecidas antes de iniciar a amostragem.

A.5.4 Amostrar o volume de ar determinado em A.4.4, como mínimo para cada amostra, em cada
ponto de medição.

A.5.5 Se uma contagem fora de especificação for encontrada em um ponto de medição devido a
uma ocorrência anormal identificada, então esta contagem pode ser descartada e anotada como tal
no relatório de ensaio, e uma nova amostra pode ser coletada.

A.5.6 Caso a contagem fora de especificação, encontrada em um ponto de medição, seja atribuída
a uma falha técnica da sala limpa ou do equipamento, então a causa deve ser identificada, as ações
corretivas executadas e o ensaio realizado novamente no ponto de medição não conforme, nos pontos
de medição imediatamente circundantes e quaisquer outros pontos de medição afetados. A escolha
destes pontos deve ser claramente documentada e justificada.

A.6 Processamento dos resultados

A.6.1 Registro dos resultados

Registrar o resultado da medição de cada amostra em termos de número de partículas em cada volume
de amostra unitária, para cada tamanho de partícula considerado apropriado para a classificação
pertinente da limpeza do ar

NOTA Para contadores de partículas com um modo de cálculo de concentração, a avaliação manual
pode não ser necessária.

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A.6.1.1 Concentração média de partículas em cada ponto de medição

Quando dois ou mais volumes da amostra unitária são tomados em um ponto de medição, calcular a
média do número de partículas conforme a Equação (A.3), a partir das amostras individuais efetuadas
para cada tamanho de partícula considerado e registrá-las.
 
 x + x i .2 + ... x i .n 
x i =  i .1  (A.3)
 n 
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onde

xi é o número médio de partículas no ponto de medição i, representando qualquer ponto


de medição;

xi.1 a xi.n são os números de partículas nas amostras individuais;

n é o número de amostras coletadas no ponto de medição i.

A.6.1.2 Cálculo da concentração por metro cúbico


x i × 1 000
Ci = (A.4)
Vt

onde

Ci é a concentração de partículas por metro cúbico;

x i é o número médio de partículas no ponto de medição i, representando cada ponto de medição;

Vt é o volume selecionado da amostra unitária, expresso em litros (L).

A.6.2 Interpretação dos resultados

A.6.2.1 Requisitos de classificação

A zona ou sala limpa atende aos requisitos de classificação especificada de limpeza do ar, se a média
das concentrações de partículas (expressa em número de partículas por metro cúbico), obtida em
cada um dos pontos de medição, não exceder os limites de concentração determinados na Tabela 1.

Se classes intermediárias ou tamanhos de partículas intermediários forem adotados, como estabele-


cidos no Anexo E, é recomendado utilizar os limites das classes determinados pela Tabela E.1 ou pela
Equação (E.1).

A.6.2.2 Resultados fora de especificação

No caso de uma contagem fora de especificação, deve ser efetuada uma investigação. O resultado da
investigação e a ação corretiva devem ser anotados no relatório de ensaio (ver 5.4).

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Anexo B
(informativo)

Exemplos de cálculos de classificação


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B.1 Exemplo 1
B.1.1 Uma sala limpa tem uma área de piso de 18 m2 e está especificada para ser ISO classe 5 em
operação. A classificação é executada usando um contador de partículas discretas de vazão 28,3 L/min.
Dois tamanhos de partículas são considerados: D ≥ 0,3 µm e D ≥ 0,5 µm.

O número de pontos de medição, NL, é determinado para ser seis, conforme a Tabela A.1.

B.1.2 Os limites de concentração de partículas para ISO classe 5, conforme a Tabela 1, são:

Cn (≥ 0,3 µm) = 10 200 partículas/m3

Cn (≥ 0,5 µm) = 3 520 partículas/m3

B.1.3 O volume requerido da amostra unitária pode ser calculado pela equação (A.2), como a
seguir:
 
 20 
Vs =   × 1 000
 C n, m 
 
 20 
Vs =   × 1 000
 3 520 
 

(
Vs = 0, 005 68 × 1 000)
Vs = 5, 68 L

O volume da amostra unitária foi calculado para ser 5,68 L. Como o contador de partículas discretas
usado neste ensaio tem vazão de 28,3 L/min, uma amostra unitária de 1 min é requerida (ver A.4.4) e,
portanto, 28,3 L são amostrados para cada amostra unitária.

NOTA Em A.4.4, o volume mínimo da amostra para o procedimento é estabelecido pelo cálculo mostrado
acima, determinando assim o volume da amostra para a operação do contador de partículas discretas para
um período de 1 min. A amostragem em cada ponto deve ser de no mínimo 1 min. Se o volume mínimo de
amostra, conforme calculado, for obtido no período de 1 min, o processo de amostragem pode ser interrompido
ao final de 1 min. Se o volume mínimo calculado não puder ser obtido no período de 1 min com a vazão do
instrumento utilizado, então a amostragem deve prosseguir por um período de tempo mais longo, até que
o volume mínimo da amostra seja obtido. Como há diferentes vazões de ar para contadores de partículas,
os usuários são alertados a verificar a capacidade de vazão do instrumento a ser utilizado, quando forem
determinar o tempo de amostragem requerido para atender às duas condições: o tempo mínimo de 1 min e
o volume mínimo calculado da amostra.

B.1.4 Em cada ponto de medição somente um volume de amostra é coletado. O número de


partículas por metro cúbico, xi, é calculado para cada ponto de medição e cada tamanho de partículas
como mostrado nas Tabelas B.2 e B.2.

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Tabela B.1 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,3 µm

Concentração
Média das
Amostra 1 média em cada
amostras em cada Limite para
Ponto de xi ≥ 0,3 µm ponto Conforme?
ponto partículas ≥ 0,3 µm
medição (contagem (contagens por Sim/Não
(contagem para para ISO Classe 5
para 28,3 L) m3 = média por
28,3 L)
ponto × 35,3)
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1 245 245 8 649 10 200 Sim


2 185 185 6 531 10 200 Sim
3 59 59 2 083 10 200 Sim
4 106 106 3 742 10 200 Sim
5 164 164 5 789 10 200 Sim
6 196 196 6 919 10 200 Sim

NOTA BRASILEIRA Adotado “Conforme? Sim/Não” para atender terminologia de Boas Práticas no Brasil,
na avaliação de conformidade dos resultados, sem prejuízo do uso alternativo “Passar/Falhar” (Tabelas B.1;
B.2; B.3; B.4; B.5; B.6; B.7).

Tabela B.2 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 µm

Média das Concentração média


Amostra 1 Limite para
Ponto amostras em em cada ponto
xi ≥ 0,5 µm partículas Conforme?
de cada ponto (contagens por m3 =
(contagem ≥ 0,5 µm para Sim/Não
medição (contagem para média por
para 28,3 L) ISO Classe 5
28,3 L) ponto × 35,3)
1 21 21 741 3 520 Sim
2 24 24 847 3 520 Sim
3 0 0 0 3 520 Sim
4 7 7 247 3 520 Sim
5 22 22 777 3 520 Sim
6 25 25 883 3 520 Sim

B.1.5 Cada valor de concentração para D ≥ 0,3 µm é menor do que o limite de 10 200 partículas/m3,
e para D ≥ 0,5 µm, é menor do que o limite de 3 520 partículas/m3, conforme estabelecido em
B.1.2; portanto, a limpeza do ar por concentração de partículas da sala limpa atende à classificação
especificada.

B.2 Exemplo 2
B.2.1 Uma sala limpa tem uma área de piso de 9 m2 e é especificada para ser ISO classe 3 em
operação. A classificação é para ser executada usando um contador de partículas discretas de vazão
de 50,0 L/min. Uma única faixa de tamanhos de partículas é considerada (D ≥ 0,1 µm).

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O número de pontos de medição, NL, é determinado para ser cinco, conforme a Tabela A.1.

B.2.2 O limite de concentração de partículas ≥ 0,1 µm para ISO classe 3, conforme a Tabela 1:

Cn (≥ 0,1 µm) = 1 000 partículas/m3

B.2.3 O volume da amostra unitária pode ser calculado pela equação (A.2), como a seguir:
 
 20 
Vs = 
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 × 1 000
 C n, m 
 
 20 
Vs =   × 1 000
1 000 
 
Vs = (0, 02) × 1 000
Vs = 20, 0 L

O volume da amostra unitária foi calculado para ser 20,0 L. Como o contador de partículas discretas
usado neste ensaio tem vazão de 50,0 L/min, uma amostra unitária de 1 min foi requerida (ver A.4.4)
e, portanto, 50,0 L são amostrados para cada amostra unitária.

B.2.4 Em cada ponto de medição somente um volume de amostra é coletado. O número de


partículas por metro cúbico, xi, é calculado para cada ponto e cada tamanho de partículas, como
mostrado na Tabela B.3.

Tabela B.3 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,1 μm

Média das Limite para


Amostra 1 Concentração média
Ponto amostras em partículas
xi ≥ 0,1 µm em cada ponto Conforme?
de cada ponto ≥ 0,1 µm
(contagem (contagens por m3 = Sim/Não
medição (contagem para para ISO
para 50,0 L) média por ponto × 20,0)
50,0 L) Classe 3
1 46 46 920 1 000 Sim
2 47 47 940 1 000 Sim
3 46 46 920 1 000 Sim
4 44 44 880 1 000 Sim
5 9 9 180 1 000 Sim

B.2.5 Cada valor de concentração para D ≥ 0,1 µm é menor do que o limite de 1 000 partículas/m3,
conforme estabelecido na Tabela 1; portanto, a limpeza do ar por concentração de partículas na sala
limpa atende à classificação especificada.

B.3 Exemplo 3
B.3.1 Uma sala limpa tem uma área de piso de 64 m2 e é especificada para ser ISO classe 5
em operação. A classificação é executada usando um contador de partículas discretas de vazão de
28,3 L/min. Uma única faixa de tamanhos de partículas é considerada (D ≥ 0,5 µm).

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O número de pontos de medição, NL, é determinado para ser 12, conforme a Tabela A.1.

B.3.2 O limite de concentração de partículas ≥ 0,5 µm para ISO Classe 5, conforme a Tabela 1:

Cn (≥ 0,5 µm) = 3 520 partículas/m3

B.3.3 O volume da amostra unitária pode ser calculado pela equação (A.2), como a seguir:
 
 20 
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Vs =   × 1 000
 C n, m 
 
 20 
Vs =   × 1 000
 3 520 
 

( )
Vs = 0, 005 68 × 1 000

Vs = 5, 68 L

O volume da amostra unitária foi calculado para ser 5,68 L. Como o contador de partículas discretas
usado neste ensaio tem vazão de 28,3 L/min, uma amostra unitária de 1 min foi requerida (ver A.4.4)
e, portanto, 28,3 L são amostrados para cada amostra unitária.

B.3.4 Em cada ponto de medição somente um volume de amostra é coletado. O número de


partículas por metro cúbico, xi, é calculado para cada ponto de medição e cada tamanho de partículas,
como mostrado na Tabela B.4.

Tabela B.4 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm

Média das Concentração média


Amostra 1 Limite para
Ponto amostras em em cada ponto
xi ≥ 0,5 µm partículas Conforme?
de cada ponto (contagens por m3 =
(contagem ≥ 0,5 µm para Sim/Não
medição (contagem para média por
para 28,3 L) ISO Classe 5
28,3 L) ponto × 35,3)
1 35 35 1 236 3 520 Sim
2 22 22 777 3 520 Sim
3 89 89 3 142 3 520 Sim
4 49 49 1 730 3 520 Sim
5 10 10 353 3 520 Sim
6 60 60 2 118 3 520 Sim
7 18 18 635 3 520 Sim
8 44 44 1 553 3 520 Sim
9 59 59 2 083 3 520 Sim
10 51 51 1 800 3 520 Sim
11 6 6 212 3 520 Sim
12 31 31 1 094 3 520 Sim

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B.3.5 Cada valor de concentração para D ≥ 0,5 µm é menor do que o limite de 3 520 partículas/m3,
conforme estabelecido na Tabela 1; portanto, a limpeza do ar por concentração de partículas da sala
limpa atende à classificação especificada.

B.4 Exemplo 4
B.4.1 Uma sala limpa de 25 m2 de área está especificada para ser ISO Classe 5 em operação.
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A classificação deve ser executada utilizando-se um contador de partículas (LSAPC) com vazão igual
a 28,3 L/min. Somente um tamanho de partícula é considerado (D ≥ 0,5 µm).

O número mínimo de pontos de medição da Tabela A.1 é igual a 7.

B.4.2 O limite de concentração de partículas para ISO Classe 5 ≥ 0,5 µm é obtido da Tabela 1,
como a seguir:

Cn (≥ 0,5 µm) = 3 520 partículas/m3

B.4.3 O volume da amostra unitária requerido pode ser calculado pela Equação (A.2), como a
seguir:
 
 20 
Vs =   × 1 000
 C n, m 
 
 20 
Vs =   × 1 000
 3 520 
 

( )
Vs = 0, 005 68 × 1 000

Vs = 5, 68 L

O volume de amostra unitária foi calculado como sendo 5,68 L. Como o contador de partículas utilizado
neste ensaio tem vazão de 28,3 L/min e como é requerida uma contagem de 1 min para uma amostra
unitária (ver A.4.4), então 28,3 L são amostrados para cada volume de amostra unitária.

B.4.4 O número de pontos de medição requeridos da Tabela A.1 é 7 , entretanto, este exemplo
mostra que o usuário e o fornecedor concordaram em colocar 3 pontos adicionais, totalizando 10
pontos. Em cada ponto de medição o número de volumes da amostra unitária varia de 1 a 3.

B.4.5 Para fins de registro, o número de partículas (concentração) por metro cúbico, xi, é calculado
pela contagem da média por unidade de volume (28,3 L) em cada ponto (28,3 × 35,3), como mostrado
na Tabela B.5.

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Tabela B.5 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm

Média das Concentração


Limite
Amostra 1 Amostra 2 Amostra 3 amostras média em
para
Ponto xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm em cada cada ponto
partículas Conforme?
de (contagem (contagem (contagem ponto (contagens
≥ 0,5 µm Sim/Não
medição para para para (contagem por m3 =
ISO
28,3L) 28,3 L) 28,3 L) para média por
Classe 5
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28,3 L) ponto × 35,3)


1 47 57 52 1 836 3 520 Sim
2 12 12 424 3 520 Sim
3 162 78 32 91 3 201 3 520 Sim
4 148 74 132 118 4 165 3 520 Não
5 1 0 0,5 18 3 520 Sim
6 19 22 17 19 682 3 520 Sim
7 5 15 3 8 271 3 520 Sim
8 38 21 30 1 041 3 520 Sim
9 54 159 78 97 3 424 3 520 Sim
10 48 62 53 54 1 918 3 520 Sim

B.4.6 No ponto de medição 4, a concentração média da amostra de 4 165 partículas não atende ao
critério de contagem máxima de 3 520 partículas, especificado pela ISO classe 5. Nos pontos 3 e 9,
uma das contagens de concentração individual de partículas não atende aos limites estabelecidos
na Tabela 1; entretanto, a concentração média de partículas para os pontos 3 e 9 atende aos limites
estabelecidos na Tabela 1. Devido ao ponto 4 não atender à concentração de partículas requerida
para a classe, esta sala não atende aos requisitos da classe ISO estabelecida.

B.5 Exemplo 5
B.5.1 Uma sala limpa com área de 10,7 m2 é especificada para ser ISO Classe 7,5 em operação.
A classificação é para ser executada utilizando-se um contador de partículas (LSAPC) com vazão
igual a 28,3 L/min. Somente um tamanho de partícula é considerado (D ≥ 0,5 µm).

O número de pontos de medição é determinado para ser 6, conforme a Tabela A.1.

B.5.2 O limite para concentração de partículas ≥ 0,5 µm para a ISO classe 7,5 é obtido na Tabela E.1.
 0, 1 2,08
Cn ( )
≥ 0, 5 µm = 10 ×  
N
 D 
onde N = 7, 5 e D = 0, 5 µm

 0, 1  2,08
( )
C n ≥ 0, 5 µm = 10 7,5 × 
 0, 5 

( )
C n ≥ 0, 5 µm = 31622 777 × 0, 035 167 57

Cn (≥0,5 µm) = 1 112 096 arredondados para três algarismos significativos = 1 110 000 partículas/m3

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B.5.3 O volume da amostra unitária requerido pode ser calculado pela Equação (A.2), como a
seguir:
 
 20 
Vs =   × 1 000
 C n, m 
 
 20  × 1 000 = 0, 017 99 L
Vs = 
 111 2 00 0 
 
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O volume da amostra unitária foi calculado como sendo 0,017 99 L. Como o contador de partículas
utilizado para este ensaio possui uma vazão de 28,3 L/min. e como é requerida a contagem de 1 min
para uma amostra unitária (ver A.4.4), então 28,3 L são amostrados para cada volume de amostra
unitária.

B.5.4 Em cada ponto de medição o número de volumes de amostra unitária varia de 1 a 3.


O número de partículas por metro cúbico, xi, é calculado para cada ponto e registrado na Tabela B.6.

Tabela B.6 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm

Média das Concentração Limite


Amostra 1 Amostra 2 Amostra 3
amostras média em para
Ponto xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm xi ≥ 0,5 µm
em cada cada ponto partículas Conforme?
de (contagem (contagem (contagem
ponto (contagens por ≥ 0,5 µm Sim/Não
medição para para para
(contagem m3 = média por ISO
28,3 L) 28,3 L) 28,3 L)
para 28,3 L) ponto × 35,3) Classe 7,5
1 11 679 11 679 412 269 1 110 000 Sim
2 9 045 9 045 319 289 1 110 000 Sim
3 12 699 12 699 448 275 1 110 000 Sim
4 26 232 27 555 34 632 29 473 1 040 397 1 110 000 Sim
5 7 839 7 839 276 717 1 110 000 Sim
6 13 669 13 669 482 516 1 110 000 Sim

B.5.5 No ponto de medição 4, a terceira concentração de volume da amostra de 1 222 507 partículas
(34 632 × 35,3) não atende ao critério máximo de contagem de partículas de 1 110 000 para a ISO
classe 7,5. A concentração de cada volume de amostra unitária não atende aos limites estabelecidos
na Tabela E.1, no entanto, a concentração média de partículas para cada ponto de medição atende
aos limites estabelecidos na Tabela E.1. Portanto, a limpeza do ar por concentração de partículas da
sala limpa atende aos requisitos da classe ISO estabelecida.

B.6 Exemplo 6
B.6.1 Uma sala limpa de área igual a 2 100 m2 está especificada como ISO classe 7 em operação.
A medição da classificação é realizada utilizando-se um contador de partículas que possui uma vazão
de 28,3 L/min. Somente um tamanho de partículas (D ≥ 0,5 µm) é considerado.

O número de pontos de medição NL, dado pela Tabela A.1 é limitado a salas limpas de 1 000 m2 de área.

Para uma área de 2 100 m2, o número de pontos de medição, NL, é obtido pela Equação (A.1):

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 27 
2 100 x   = 56,7 arredondado para 57
1 000 
B.6.2 O limite de concentração de partículas para ISO classe 7 (≥ 0,5 µm) é dado pela Tabela 1:

Cn (≥ 0,5 µm) = 352 000 partículas/m3

B.6.3 O volume de amostra unitária pode ser calculado pela Equação (A.2), como a seguir:
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 
 20 
Vs =   × 1 000
 C n, m 
 
 20  × 1 000
Vs = 
 352 000 
 

(
Vs = 0, 000 056 8 × 1 000 )

Vs = 0, 056 8 L

O volume da amostra unitária foi calculado como sendo 0,056 8 L. Como o contador de partículas
utilizado para este ensaio possui uma vazão de 28,3 L/min. e como é requerida a contagem de 1 min
para uma amostra unitária (ver A.4.4), então 28,3 L são amostrados para cada volume de amostra
unitária.

B.6.4 Em cada ponto de medição somente um volume de amostra é coletado. O número de partí-
culas por metro cúbico, xi, é calculado para cada ponto e registrado na Tabela B.7.

Tabela B.7 – Dados da amostragem para partículas ≥ 0,5 μm (continua)

Média das Concentração média Limite para


Amostra 1
amostras em em cada ponto partículas Conforme?
Ponto de xi ≥ 0,5 µm
cada ponto (contagens por m3 = ≥ 0,5 µm para
medição (contagem Sim/Não
(contagem média por
para 28,3 L) ISO classe 7
para 28,3 L) ponto × 35,3)
1 5 678 5 678 200 434 352 000 Sim
2 7 654 7 654 270 187 352 000 Sim
3 2 398 2 398 84 650 352 000 Sim
4 4 578 4 578 161 604 352 000 Sim
5 8 765 8 765 309 405 352 000 Sim
6 4 877 4 877 172 159 352 000 Sim
7 8 723 8 723 307 922 352 000 Sim
8 7 632 7 632 269 410 352 000 Sim
9 7 643 7 643 269 798 352 000 Sim
10 6 756 6 756 238 487 352 000 Sim
11 5 678 5 678 200 434 352 000 Sim

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Tabela B.7 (continuação)

Média das Concentração média Limite para


Amostra 1
amostras em em cada ponto partículas Conforme?
Ponto de xi ≥ 0,5 µm
cada ponto (contagens por m3 = ≥ 0,5 µm para
medição (contagem Sim/Não
(contagem média por
para 28,3 L) ISO classe 7
para 28,3 L) ponto × 35,3)
12 5 476 5 476 193 303 352 000 Sim
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13 8 576 8 576 302 733 352 000 Sim


14 7 765 7 765 274 105 352 000 Sim
15 3 456 3 456 121 997 352 000 Sim
16 5 888 5 888 207 847 352 000 Sim
17 3 459 3 459 122 103 352 000 Sim
18 7 666 7 666 270 610 352 000 Sim
19 8 567 8 567 302 416 352 000 Sim
20 8 345 8 345 294 579 352 000 Sim
21 7 998 7 998 282 330 352 000 Sim
22 7 665 7 665 270 575 352 000 Sim
23 7 789 7 789 274 952 352 000 Sim
24 8 446 8 446 298 144 352 000 Sim
25 8 335 8 335 294 226 352 000 Sim
26 7 988 7 988 281 977 352 000 Sim
27 7 823 7 823 276 152 352 000 Sim
28 7 911 7 911 279 259 352 000 Sim
29 7 683 7 683 271 210 352 000 Sim
30 7 935 7 935 280 106 352 000 Sim
31 6 534 6 534 230 651 352 000 Sim
32 4 667 4 667 164 746 352 000 Sim
33 6 565 6 565 231 745 352 000 Sim
34 8 771 8 771 309 617 352 000 Sim
35 5 076 5 076 179 183 352 000 Sim
36 6 678 6 678 235 734 352 000 Sim
37 7 100 7 100 250 630 352 000 Sim
38 8 603 8 603 303 686 352 000 Sim
39 7 609 7 609 268 598 352 000 Sim

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Tabela B.7 (conclusão)

Média das Concentração média Limite para


Amostra 1
amostras em em cada ponto partículas Conforme?
Ponto de xi ≥ 0,5 µm
cada ponto (contagens por m3 = ≥ 0,5 µm para
medição (contagem Sim/Não
(contagem média por
para 28,3 L) ISO classe 7
para 28,3 L) ponto × 35,3)
40 7 956 7 956 280 847 352 000 Sim
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41 7 477 7 477 263 939 352 000 Sim


42 7 145 7 145 252 219 352 000 Sim
43 6 998 6 998 247 030 352 000 Sim
44 7 653 7 653 270 151 352 000 Sim
45 6 538 6 538 230 792 352 000 Sim
46 3 679 3 679 129 869 352 000 Sim
47 4 887 4 887 172 512 352 000 Sim
48 7 648 7 648 269 975 352 000 Sim
49 8 748 8 748 308 805 352 000 Sim
50 7 689 7 689 271 422 352 000 Sim

B.6.5 Cada valor de concentração para D ≥ 0,5 µm é menor que o limite de 352 000 partículas/m3
estabelecido na Tabela 1, portanto, a limpeza do ar por concentração de partículas na sala limpa
atende aos requisitos da classe ISO estabelecida.

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Anexo C
(informativo)

Contagem e discriminação de tamanho de macropartículas em


suspensão no ar
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C.1 Princípio
Em algumas situações, normalmente aquelas relacionadas a requisitos específicos do processo, níveis
alternativos de limpeza do ar podem ser especificados com base em populações de partículas que não
estão dentro da faixa de tamanhos aplicáveis para classificação. A concentração máxima permitida
de tais partículas e a escolha do método de ensaio para verificar a conformidade são questões a
serem acordadas entre o usuário e o fornecedor. Considerações sobre métodos de ensaio e formatos
prescritos para especificação são apresentadas em C.2.

C.2 Considerações sobre partículas maiores que 5 µm (macropartículas) –


Indicador M

C.2.1 Aplicação

Convém que sejam avaliados os riscos de contaminação causados por partículas maiores que 5 µm,
e podem ser empregados dispositivos de contagem de partículas e procedimentos de medição
adequados às características específicas destas partículas.

A medição das concentrações de partículas em suspensão no ar, que têm um limite inferior de tamanho
entre 5 µm e 20 µm, pode ser realizada em qualquer um dos três estados de ocupação estabelecidos:
como construído, em repouso e operacional.

Como normalmente a fração de macropartículas em relação à população total de partículas em


suspensão no ar é liberada predominantemente pelo ambiente de processo, convém escolher os
dispositivos e os procedimentos de medição apropriados, tendo como base a aplicação específica.
Fatores como densidade, forma, volume e comportamento aerodinâmico das partículas precisam ser
levados em consideração. Além disso, pode ser necessário colocar ênfase especial em componentes
específicos da população total em suspensão no ar, como fibras.

C.2.2 Formato do indicador M

O indicador M pode ser especificado como um complemento para a classe de limpeza do ar por
concentração de partículas. O indicador M é expresso no formato:

“ISO M (a; b); c”

onde

a é a concentração máxima permitida de macropartículas (expressa em macropartículas por


metro cúbico de ar);

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b é o diâmetro equivalente (ou diâmetros) associado (s) ao método especificado para medição de
macropartículas (expresso em micrometros);

c é o método de medição especificado.

EXEMPLO 1 Para expressar uma concentração no ar de 29 partículas/m³ na faixa de tamanho de partícula


≥ 5 µm, com base no uso de um contador de partículas em suspensão no ar por espalhamento de luz
(LSAPC), a designação seria: “ISO M (29; ≥ 5 µm); LSAPC”.
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EXEMPLO 2 Para expressar uma concentração de partículas no ar de 2 500 partículas/m³ na faixa de


tamanho de partícula ≥ 10 µm, com base na utilização de um contador de partículas de aerossol pela medição
do tempo de voo para determinar o diâmetro aerodinâmico das partículas, a designação seria: “ISO M (2 500;
≥ 10 µm); contador de partículas por tempo de voo”.

EXEMPLO 3 Para expressar uma concentração de partículas no ar de 1 000 partículas/m³ na faixa de


tamanho de partícula de 10 a 20 µm, com base na utilização de um impactador de cascata seguido por
discriminação e contagem por microscópio, a designação seria: “ISO M (1 000; 10 a 20 µm); impactador de
cascata seguido por discriminação e contagem por microscópio”.

NOTA 1 Se a população de partículas no ar a ser amostrado contiver fibras, estas podem ser representadas
adicionando ao indicador M um indicador separado para fibras, que tem o formato “Mfibra (a; b); c”.

NOTA 2 Métodos adequados de ensaio para concentrações de partículas maiores que 5 µm são dados em
IEST-G-CC1003. [2]

C.3 Contagem de partículas em suspensão no ar para macropartículas

C.3.1 Princípio

Este método de ensaio descreve a medição de partículas em suspensão no ar com um limite inferior
de tamanho de diâmetro > 5 µm (macropartículas). O procedimento dado em C.3 foi adaptado a partir
do IEST-G-CC1003:1999.[2] As medições podem ser feitas em uma zona ou sala limpa, em qualquer
um dos três estados de ocupação designados: como construído, em repouso ou em operação. As
medições são feitas para estabelecer a concentração de macropartículas, e os princípios em 5.1, 5.2 e
5.4 podem ser aplicados. É enfatizada a necessidade de coleta e tratamento de amostras apropriadas
para minimizar as perdas de macropartículas nas operações de manipulação da amostra.

C.3.2 Geral

O número de pontos de medição, sua localização e a quantidade de dados requeridos devem estar
em conformidade com A.4. Convém que o usuário e o fornecedor concordem com a concentração
máxima permitida de macropartículas, o diâmetro equivalente das partículas e o método de medição
especificado. Outros métodos adequados de exatidão equivalente e que fornecem dados similares
podem ser utilizados mediante acordo entre usuário e fornecedor. Se nenhum outro método for
acordado ou em caso de disputa, é recomendado usar o método de referência do Anexo C.

C.3.3 Considerações sobre o manuseio das amostras

É necessário cuidado com a coleta e manuseio das amostras quando se trabalha com macropartículas.
No documento IEST-G-CC1003:1999.[2] é fornecida uma discussão completa dos requisitos para
sistemas, os quais podem ser usados para a amostragem isocinética ou anisocinética da contagem
de partículas e transporte de partículas para o ponto de medição.

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C.3.4 Métodos de medição para macropartículas

Existem duas categorias gerais de métodos de medição de macropartículas. Podem não ser obtidos
resultados comparáveis, se forem utilizados métodos de medição diferentes. A correlação entre
diferentes métodos pode não ser possível por esta razão. As informações sobre os métodos e os
tamanhos de partículas obtidas pelos vários métodos estão descritas em C.3.4.1 e C.3.4.2.

C.3.4.1 Medição in situ


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Utilizando medição in situ da concentração e do tamanho de macropartículas com um contador de


partículas por tempo de voo ou um contador de partículas em suspensão no ar por espalhamento de
luz (LSAPC):

a) medição com contador de partículas em suspensão no ar por espalhamento de luz (C.4.1.2)


discrimina as macropartículas pelo tamanho de partícula, com base no diâmetro óptico equivalente;

b) medição do tamanho da partícula por tempo de voo (C.4.1.3) discrimina as macropartículas pelo
tamanho da partícula, com base em um diâmetro aerodinâmico.

C.3.4.2 Coleta

Coleta por filtragem ou efeito inercial, seguida por medição microscópica do tamanho e número de
partículas coletadas:

a) coleta por filtro e medição microscópica (C.4.2.2) discriminam as macropartículas pelo tamanho
de partícula, com base no diâmetro acordado;

b) medição microscópica e coleta por impactador de cascata (C.4.2.3) discriminam as macropartículas


pelo tamanho de partícula, com base na escolha acordada do diâmetro das partículas.

C.4 Métodos para medição de macropartículas

C.4.1 Medição de macropartículas sem coleta de partículas

C.4.1.1 Geral

Macropartículas podem ser medidas sem coletar partículas do ar. O processo envolve a medição
óptica das partículas em suspensão no ar. Uma amostra de ar é movimentada a uma vazão específica
por um LSAPC, que registra o diâmetro óptico equivalente ou o diâmetro aerodinâmico das partículas.

C.4.1.2 Medição com contador de partículas por espalhamento de luz (LSAPC)

Os procedimentos para medição de macropartículas utilizando um LSAPC são os mesmos que os


do Anexo A para contagem de partículas em suspensão no ar, com uma exceção. A exceção é que
o LSAPC, neste caso, não requer sensibilidade para a detecção de partículas menores de 1 µm,
visto que os requisitos são apenas para contagem de macropartículas. É recomendado ter cuidado
para assegurar que o LSAPC tome amostras do ar diretamente do ponto de medição. Convém que
o LSAPC tenha uma vazão de amostra de no mínimo 28,3 L/min e, em zonas de fluxo unidirecional,
esteja equipado com uma sonda cuja abertura de entrada esteja dimensionada para amostragem
isocinética. Convém que, em áreas de fluxo de ar não unidirecional, o LSAPC esteja com a abertura
da entrada da sonda direcionada verticalmente para cima.

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Convém que a sonda de amostragem seja escolhida para permitir que a amostragem seja a mais
isocinética possível em áreas com fluxo unidirecional. Se isso não for possível, posicionar a sonda
de amostragem de tal forma que o fluxo de ar entrando na sonda tenha o mesmo sentido que o fluxo
de ar sendo amostrado; em locais onde o fluxo de ar que está sendo amostrado não é controlado ou
previsível (por exemplo, em fluxo de ar não unidirecional), a entrada da sonda de amostragem deve
ser direcionada verticalmente para cima. Convém que o tubo de ligação entre a entrada da sonda
de amostragem e o sensor do LSAPC seja o mais curto possível. Para amostragem de partículas
maiores ou iguais a1 µm, não convém que o comprimento do tubo de ligação exceda o comprimento
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e o diâmetro recomendados pelo fabricante, e normalmente não será maior que 1 m de comprimento.

Convém minimizar os erros de amostragem decorrentes da perda de partículas grandes no interior


dos sistemas de amostragem.

Os ajustes das faixas de tamanho no LSAPC são estabelecidos de modo que somente macropartículas
sejam detectadas. Convém que os dados de um tamanho menor que 5 µm sejam registrados para
assegurar que a concentração de partículas detectadas de tamanho menor que o tamanho da
macropartícula não seja suficientemente alta para causar erro de coincidência na medição do LSAPC.
Não convém que a concentração de partículas nesta faixa de tamanho menor, quando adicionada à
concentração de macropartícula, exceda 50 % da concentração máxima recomendada especificada
para o LSAPC sendo utilizado.

C.4.1.3 Medição com aparelhagem de discriminação de tamanho de partícula pelo tempo de voo

Dimensões de macropartícula podem ser determinadas com aparelhagem de tempo de voo. Uma
amostra de ar é aspirada para dentro do aparelho e acelerada por expansão por meio de um bico até
um vácuo parcial, onde está localizada a região de medição. Qualquer partícula nesta amostra de ar
será acelerada para atingir a velocidade do ar na região de medição. A taxa de aceleração da partícula
varia inversamente com a massa de partículas. A relação entre a velocidade do ar e a velocidade
da partícula no ponto da medição pode ser utilizada para determinar o diâmetro aerodinâmico da
partícula. Conhecendo a diferença de pressão entre o ar ambiente e a pressão na região de medição,
a velocidade do ar pode ser calculada diretamente. A velocidade da partícula é medida pelo tempo de
voo entre dois feixes de laser. A aparelhagem do tempo de voo é indicado determinar os diâmetros
aerodinâmicos das partículas de até 20 µm. Procedimentos de coleta de amostra são os mesmos
requeridos quando utilizado o LSAPC para medição de macropartículas. Além disso, os mesmos
procedimentos do LSAPC são utilizados com este aparelho, a fim de estabelecer as faixas de tamanho
de partícula a serem registradas.

C.4.2 Medição de macropartículas com coleta de partículas

C.4.2.1 Geral

Macropartículas podem ser medidas por coleta de partículas do ar. Uma amostra de ar é transportada
a uma vazão específica por meio de um dispositivo de coleta. A análise microscópica é utilizada para
contar as partículas coletadas.

NOTA A massa das partículas coletadas também pode ser determinada, mas já que a limpeza do ar é
determinada pela concentração em número, isto não é abordado nesta Parte da ABNT NBR ISO 14644.

C.4.2.2 Coleta por filtragem e medição microscópica

Selecionar uma membrana filtrante e um suporte ou um monitor de aerossol pré-montado; convém


que seja utilizada uma membrana com tamanho de poro de 2 µm ou menor. Rotular o suporte do filtro
para identificar sua localização e instalação. Conectar a saída a uma fonte de vácuo que vai captar o

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ar na vazão requerida. Se o ponto de medição, no qual a concentração de macropartículas deve ser


determinada, estiver em uma área de fluxo unidirecional, convém que a vazão seja estabelecida de
forma a permitir amostragem isocinética no suporte do filtro ou na entrada do monitor de aerossol,
posicionado de tal forma que o fluxo de ar entrando tenha o mesmo sentido que o fluxo de ar sendo
amostrado.

Determinar o volume da amostra requerida utilizando a Equação (C.1).


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Remover a proteção do suporte da membrana filtrante ou do monitor do aerossol e armazenar em um


local limpo. Amostrar o ar nos pontos de medição conforme determinado em comum acordo entre o
usuário e o fornecedor. Se uma bomba de vácuo portátil for utilizada para conduzir o ar pela membrana
do filtro, Convém que a exaustão desta bomba seja direcionada para fora da instalação limpa ou passe
pelo filtro adequado. Após término da coleta da amostra, recolocar a proteção do suporte do filtro ou
do monitor do aerossol. Convém que o suporte da amostra seja transportado de tal maneira que a
membrana filtrante seja sempre mantida na posição horizontal e que não esteja sujeita à vibração
ou choque no período de tempo entre a coleta da amostra e sua análise. Contar as partículas na
superfície do filtro (ver ASTM F312-08) [3].

C.4.2.3 Coleta e medição por impactador de cascata

Em um impactador de cascata, a separação da partícula é realizada por impacto inercial de partículas.


O fluxo de ar amostrado passa por uma série de furos com tamanhos de orifício decrescentes. As
partículas maiores são depositadas diretamente abaixo dos orifícios maiores e partículas menores
são depositadas em cada estágio sucessivo do impactador. O diâmetro aerodinâmico correlaciona-se
diretamente com a coleta de partículas nos diferentes estágios ao longo do escoamento do impactador,

Para medição da limpeza do ar por concentração de partículas, pode ser utilizado um tipo de impactador
de cascata destinado à coleta e contagem de macropartículas. Neste tipo de impactador, as partículas
são depositadas nas superfícies das placas removíveis que são levadas para subsequente exame
microscópico. Vazões de amostragem de 0,47 L/s ou mais são normalmente utilizadas para este tipo
de impactador de cascata.

C.5 Procedimento para contagem de macropartículas


Determinar a concentração do indicador “ISO M (a; b); c” na(s) faixa(s) de tamanho de partícula
selecionada(s), conforme acordado entre usuário e fornecedor, e relatar os dados.

Em cada ponto de medição, amostrar um volume de ar que seja suficiente para detectar no mínimo
20 partículas do tamanho de partícula selecionado, no limite de concentração determinado.

O volume de amostra unitária, Vs, por ponto de medição é determinado conforme a equação (C.1):
 
 20 
Vs =   × 1 000 (C.1)
 C n, m 

onde

Vs é o volume mínimo da amostra unitária por ponto de medição, expresso em litros (L) (exceto
conforme D.4.2);

Cn,m é o limite da classe (número de partículas por metro cúbico) para o maior tamanho de
partícula considerado, especificado para a classe relevante;

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20 é o número de partículas que poderia ser contado, se a concentração de partícula estivesse


dentro do limite da classe.

Quando for requerida informação referente à estabilidade da concentração de macropartícula, realizar


três ou mais medições nos pontos de medição selecionados em intervalos de tempo, conforme
acordado entre usuário e fornecedor.

Posicionar a entrada da sonda de amostragem do aparelho selecionado e realizar o ensaio.


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C.6 Relatórios de ensaio para amostragem de macropartículas


Convém que os seguintes dados e informações do ensaio sejam relatados:

a) definição dos tamanhos de partícula aos qual a aparelhagem responde;

b) método de medição;

c) método de medição do limite do indicador M, como complemento à classe ISO de limpeza;

d) designação do tipo de cada instrumento e aparelhagem de medição utilizada e o estado de


calibração;

e) classe ISO da instalação;

f) faixa(s) de tamanho de macropartícula e contagem para cada faixa de tamanho relatada;

g) vazão da amostra na captação e vazão na detecção;

h) localização dos pontos de medição;

i) plano de amostragem para classificação ou protocolo de amostragem para ensaio;

j) estado(s) de ocupação;

k) outros dados pertinentes para medição, como estabilidade da concentração de macropartícula.

C.7 Adequação do indicador de macropartículas, de forma a harmonizar as


considerações sobre as partículas ≥ 5 µm para salas limpas ISO Classe 5
De modo a expressar uma concentração de 29 partículas/m3 em suspensão no ar em uma faixa de
tamanho ≥ 5 µm usando um contador LSAPC, a designação é “ISO M (29; ≥ 5 µm); LSAPC” e para
20 partículas/m3, a designação é “ISO M (20; ≥ 5 µm); LSAPC” (ver Tabela 1, Nota f).

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Anexo D
(informativo)

Procedimento de amostragem sequencial


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D.1 Contexto e limitações

D.1.1 Contexto

Em algumas circunstâncias onde é necessário ou requerido classificar um ambiente limpo controlado


com uma concentração muito baixa de partículas no limite da classe, a amostragem sequencial é
uma técnica útil que reduz o volume da amostra e o tempo de amostragem. A técnica de amostragem
sequencial mede a taxa de contagem e prevê a probabilidade de atender ou não aos requisitos da
classificação. Se o ar sendo amostrado for significativamente mais ou significativamente menos
contaminado que o limite especificado de concentração da classe para o tamanho de partícula
considerado, o uso do procedimento de amostragem sequencial pode reduzir, frequentemente de
maneira drástica, o volume da amostra e o tempo de amostragem.

Algumas reduções também podem ser realizadas quando a concentração está próxima do limite
especificado. A amostragem sequencial é mais apropriada para limpeza do ar ISO classe 4 ou mais
limpo. Pode também ser utilizada para outras classes, quando o limite para o tamanho de partículas
escolhido é baixo. Neste caso, o volume de amostra requerido pode ser muito alto para detectar o
número esperado de 20 partículas.

NOTA Para mais informações sobre amostragem sequencial, ver IEST-G-CC1004[4] ou JIS B 9920:2002[5].

D.1.2 Limitações

As principais limitações da amostragem sequencial são:

a) o procedimento só é aplicável quando o número esperado de partículas para uma amostra unitária
para < 20 para o maior tamanho de partícula (ver A.4.4);

b) cada medição de amostra requer monitoramento adicional e análise dos dados, os quais podem
ser facilitados por um sistema computadorizado; e

c) as concentrações de partículas não são determinadas tão precisamente como no procedimento


de amostragem convencional, devido à redução do volume da amostra.

D.2 Base para o procedimento


O procedimento é baseado na comparação do resultado em tempo real do número total de partículas
com os valores de referência. Os valores de referência são calculados pelas equações para limites
superior e inferior:

Limite superior: Creprov = 3,96 + 1,03 E (D.1)

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Limite inferior: Caprov = −3,96 + 1,03 E (D.2)

onde

Creprov é o limite superior para o número de partículas contadas;

Caprov é o limite inferior para o número de partículas contadas;


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E é o número esperado de partículas (limite da classe), mostrado pela equação (D.5).

De acordo com a Equação (A.2), o volume de amostra unitária, Vs, é calculado como a seguir:
 
 20 
Vs =   × 1 000 (D.3)
 C n, m 

onde

Vs é o volume mínimo de amostra unitária por ponto de medição, expresso em litros (L);

Cn,m é o limite da classe ( número de partículas por metro cúbico) para o tamanho de partícula
considerado especificado para a classe pertinente;

20 é o número estabelecido de partículas que poderiam ser contadas se a concentração de


partículas estivesse no limite da classe.

O tempo total de amostragem, tt, é calculado como a seguir:


Vs
tt = (D.4)
Q
onde

Vs é o volume acumulado da amostra, expresso em litros (L);

Q é a vazão nominal do contador de partículas, expressa em litros por segundo (L/s).

O número esperado de partículas é estabelecido como a seguir:


Q × t × C n, m
E= (D.5)
1 000
onde

t é o tempo de amostragem, expresso em segundo (s).

Para ajudar a entender, uma ilustração gráfica do procedimento de amostragem sequencial é forne-
cida na Figura D.1. Conforme o ar está sendo amostrado em cada ponto de medição designado, o
número total de partículas contadas é continuamente comparado ao número esperado de partículas,
o qual é proporcional ao volume até então amostrado. Se o número total de partículas for menor que
o limite inferior dos valores de referência, Caprov , correspondente ao número esperado de partículas,
o ar sendo amostrado atende à classe especificada ou ao limite da concentração especificado, e a
amostragem é interrompida.

Se o número total de partículas exceder o limite superior, Creprov , correspondente ao número esperado
de partículas, o ar sendo amostrado não atende à classe especificada ou ao limite de concentração
especificado, e a amostragem é interrompida. Enquanto o número total de partículas permanecer

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entre os limites superior e inferior, a amostragem continua até que o número de partículas contadas
atinja 20 ou até que o volume cumulativo de amostra, V, seja igual ao volume mínimo de amostra
unitária, Vs , onde o número esperado de partículas é 20.

Na Figura D.1, o número de partículas contadas, C, é plotado versus o número esperado de partículas,
E, até que a amostra seja interrompida ou até que o número de partículas contadas atinja 20.
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D.3 Procedimento para amostragem


A Figura D.1 ilustra os limites estabelecidos nas equações (D.1) e (D.2), limitados por E = 20, que
representa o tempo requerido para coletar uma amostra completa, e por C = 20, que é o número
máximo permitido de partículas contadas.

Legenda

x número esperado de partículas, E


y número de partículas contadas, C
1 interromper a contagem, REPROVADO (C ≥ 3,96 + 1,03E)
2 continuar a contagem
3 interromper a contagem, APROVADO (C ≤ −3,96 + 1,03E)

Figura D.1 – Limites para a conformidade ou não, utilizando o procedimento


de amostragem sequencial
O número de partículas contadas é plotado versus o número esperado de partículas, para o ar
apresentando uma concentração de partículas exatamente igual à da classe especificada. A passagem
do tempo corresponde ao aumento do número esperado de partículas, com E = 20 representando o
tempo necessário para acumular o volume total da amostra, se a concentração de partículas estiver
no limite da classe.

O procedimento para amostragem sequencial usando a Figura D.1 é como a seguir:

1) registrar o número total de partículas contadas em função do tempo;

2) calcular o número esperado de partículas seguindo o procedimento descrito em D.2, Equação


(D.5);

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3) plotar o número total de partículas versus o número esperado de partículas, como na Figura D.1;

4) comparar o número de partículas contadas com os limites superior e inferior da Figura D.1;

5) se o número de partículas contadas ultrapassar a linha superior, a amostragem no ponto de


medição é interrompida e a limpeza do ar é declarada como não atendendo ao limite de classe
especificado;
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6) se o número de partículas contadas ultrapassar a linha inferior, interromper a amostragem, e a


limpeza do ar é declarada em conformidade com o limite de classe especificado;

7) se o número de partículas contadas permanecer entre as linhas inferior e superior, continuar a


amostragem.

Se o número total de partículas contadas for menor ou igual a 20 no final do período de amostragem
prescrito e não ultrapassar a linha superior, o ar atende ao limite de classe.

D.4 Exemplos de amostragem sequencial

D.4.1 Exemplo 1

a) Avaliação de uma sala limpa classificada como ISO classe 3 (0,1 μm, 1 000 partículas/m3) pelo
procedimento de amostragem sequencial. Este procedimento observa a razão de contagem e
procura prever a possibilidade de conformidade ou não.

NOTA A vazão de amostragem no contador de partículas é 0,0283 m3/min (28,3 L/min ou 0,47 L/s).

b) Preparação para a medição – método para cálculo dos valores-limites.

A Tabela D.1 mostra o resultado dos cálculos. Primeiro, o número esperado de partículas é
calculado com base no tempo de amostragem. Em seguida, os valores de referência superior e
inferior são calculados usando as Equações (D.1) e (D.2), ou são obtidos na Figura D.1.

Tabela D.1 – Tabulação do cálculo dos valores de referência superior e inferior (continua)

Limite
Número Limite inferior
Volume superior para
Período de Tempo de esperado de para o número
total de ar o número de
medição amostragem partículas de partículas
amostrado partículas
contadas contadas
contadas
Conforme Creprov = Caprov=
t (s) litro
Equação (D.5) 3,96 + 1,03 E −3,96 + 1,03 E
1ª 5 2,4 2,4 7 (6,4) N.A. (−1,5)
2ª 10 4,7 4,7 9 (8,8) 0 (0,9)
3ª 15 7,1 7,1 12 (11,2) 3 (3,3)
4ª 20 9,4 9,4 14 (13,7) 5 (5,8)
5ª 25 11,8 11,8 17 (16,1) 8 (8,2)

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Tabela D.1 (conclusão)

Limite
Número Limite inferior
Volume superior para
Período de Tempo de esperado de para o número
total de ar o número de
medição amostragem partículas de partículas
amostrado partículas
contadas contadas
contadas
Creprov = Caprov=
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Conforme
t (s) litro
Equação (D.5) 3,96 + 1,03 E −3,96 + 1,03 E
6ª 30 14,2 14,1 19 (18,5) 10 (10,6)
7ª 35 16,5 16,5 20 (21,0) 13 (13,0)
8ª 40 18,9 18,9 20 (23,4) 15 (15,5)
9ª 45 21,2 21,2 21 20
NOTA O valor numérico entre parênteses mostra o resultado do cálculo dos limites superior e inferior para
o número de partículas contadas, com um dígito depois da vírgula. No entanto, como os dados reais são
números inteiros, cada valor calculado é considerado, no momento da avaliação, o número inteiro mostrado.
O limite superior para o número de partículas contadas é arredondado para cima, para a primeira casa
decimal do valor calculado.
O limite inferior para o número de partículas contadas é arredondado para baixo, para a primeira casa decimal
do valor calculado.
Quando Caprov calculado conforme a Equação (D.2) é negativo, isto é anotado como 'N.A.' (não aplicável).
Neste caso, não se pode concluir que a classe de limpeza atenda às condições da classe especificada,
mesmo que o número de partículas contadas seja zero.

c) Avaliação utilizando procedimento de amostragem sequencial.

O número esperado de partículas consideradas na primeira medição é 2,4; é considerado


“REPROVADO” quando o número de partículas contadas é maior ou igual a 7. No entanto, quando
o número de partículas contadas durante este período está entre 0 e 6, o resultado pode não ser
considerado. Neste caso, a amostragem continua. Quando a amostragem continua, o número de
partículas contadas pode aumentar. A amostragem continua até que o volume da amostra atinja
o volume estabelecido ou até que o número de partículas contadas tenha ultrapassado os limites
de Caprov ou Creprov, respectivamente. Se o número de partículas contadas for 20 ou menor no
final do período preestabelecido de amostragem, e se não tiver ultrapassado o limite superior, a
limpeza do ar é considerada “APROVADA”. Se o número de partículas contadas for menor ou
igual aos valores arredondados para baixo para Caprov antes de atingir o período completo de
amostragem, a amostragem é interrompida e a limpeza do ar é considerada “APROVADA”.

D.4.2 Exemplo 2

Avaliação de uma sala limpa classificada como ISO classe 3 (0,5 µm, 35 partículas/m3) pelo
procedimento de amostragem sequencial. A vazão de fluxo de amostragem do contador de partículas
(Q) é 0,028 3 m3/min = 0,47 L/s.

Calcular o volume de amostra unitária, VS, conforme a Equação (D.3).


 
 20  20
Vs =   × 1 000 = × 1 000 = 571, 429 L (D.6)
 C n, m  35

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Calcular o tempo total de amostragem, tt, conforme a Equação (D.4). Este é o maior tempo necessário
para avaliação da amostragem em um ponto de medição. O procedimento de amostragem sequencial
deve ter um tempo reduzido.
V
t t = s = 1211, 5 s = 20, 19 min (D.7)
Q
Calcular a tabela:
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1) calcular o número esperado de partículas, E, conforme a Equação (D.5);


Q × t × C n, m
E= (D.8)
1 000

2) calcular os limites superior e inferior para o número de partículas contadas conforme as


Equações (D.1) e (D.2);

3) o resultado do cálculo é mostrado na Tabela D.2 e Figura D.2.

Tabela D.2 – Resultado do cálculo do volume total de ar amostrado, número esperado


de partículas, limites superior e inferior
Volume total de Número Limites
t t
ar amostrado, esperado de
(min) (s) Superior, Creprov Inferior, Caprov
Q×t partículas, E
1 60 28,3 1,0 5 (5,0) N.A. (−2,9)
2 120 56,6 2,0 7 (6,0) N.A. (−1,9)
3 180 84,9 3,0 8 (7,0) N.A. (−0,9)
4 240 113,2 4,0 9 (8,0) 0 (0,1)
5 300 141,5 5,0 10 (9,1) 1 (1,1)
6 360 169,8 5,9 11 (10,1) 2 (2,2)
7 420 198,1 6,9 12 (11,1) 3 (3,2)
8 480 226,4 7,9 13 (12,1) 4 (4,2)
9 540 254,7 8,9 14 (13,1) 5 (5,2)
10 600 283,0 9,9 15 (14,2) 6 (6,2)
11 660 311,3 10,9 16 (15,2) 7 (7,3)
12 720 339,6 11,9 17 (16,2) 8 (8,3)
13 780 367,9 12,9 18 (17,2) 9 (9,3)
14 840 396,2 13,9 19 (18,2) 10 (10,3)
15 900 424,5 14,9 20 (19,3) 11 (11,3)
16 960 452,8 15,8 20 (20,3) 12 (12,4)
17 1 020 481,1 16,8 20 (21,3) 13 (13,4)
18 1 080 509,4 17,8 20 (22,3) 14 (14,4)
19 1 140 537,7 18,8 20 (23,3) 15 (15,4)
20 1 200 566,0 19,8 20 (24,4) 16 (16,4)
20,19 = tt 1 211,5 571,429 = Vs 20 21 20

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Na Figura D.2, os limites superior e inferior para o número de partículas contadas estão plotados em
função do tempo da contagem. Cada barra vertical mostra os limites (superior e inferior) em intervalos
de 1 min.
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Legenda

x tempo, em minutos
y número de partículas
limite superior para o número de partículas contadas
limite inferior para o número de partículas contadas

Figura D.2 – Representação gráfica dos limites aprovado e reprovado


para amostragem sequencial
Comparar o número de partículas contadas e os limites superiores e inferiores, e aplicar o procedimento
descrito em D.3.

a) Situação reprovado, ver Tabela D.3.

Tabela D.3 – Exemplo de contagem sequencial de partículas

Número Limite para número de


Partículas Número de
esperado partículas contadas
t t contadas partículas
de Resultado
(min) (s) Superior, Inferior, durante o acumuladas,
partículas,
Creprov Caprov intervalo C
E
1 60 1,0 5 N.A. 2 2 Continuar
2 120 2,0 7 N.A. 3 5 Continuar
3 180 3,0 8 N.A. 1 6 Continuar
4 240 4,0 9 0 0 6 Continuar
5 300 5,0 10 1 5 11 REPROVADO

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O número esperado de partículas para a primeira medição é 1,0; o número de partículas acumuladas
é considerado “REPROVADO” quando for maior ou igual a 5. No entanto, quando o número de
partículas contadas estiver entre 0 e 5, pode não ser avaliado. Neste exemplo, a amostragem deve
continuar. Quando a amostragem continua, o número de partículas contadas aumenta. No entanto,
é fácil concluir, porque o número esperado de partículas e o limite de referência aumentam. Na 5ª
medição (t = 300 s), o número de partículas contadas é 11 e excede o limite superior (10). Então é
considerado “REPROVADO”.
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b) Situação aprovado, ver Tabela D.4.

Tabela D.4 – Exemplo de contagem de partículas sequencial

Número Limite para número


de partículas Partículas Número de
esperado
t t contadas contadas partículas
de Resultado
(min) (s) durante o acumuladas,
partículas, Superior, Inferior, intervalo C
E Creprov Caprov
1 60 1.0 5 N.A. 0 0 Continuar
2 120 2.0 7 N.A. 0 0 Continuar
3 180 3.0 8 N.A. 0 0 Continuar
4 240 4.0 9 0 0 0 APROVADO

O número esperado de partículas para a primeira medição é 1,0; o número de partículas acumuladas é
considerado “REPROVADO” quando for maior ou igual a 5. No entanto, quando o número de partículas
contadas estiver entre 0 e 5, pode não ser avaliado. Neste exemplo, a amostragem continua, mas o
número de partículas acumuladas não aumenta. Na 4ª medição (t = 240 s), o número de partículas
acumuladas é 0 e é igual ao limite inferior (0). Então é considerado “APROVADO”.

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Anexo E
(informativo)

Especificação de classes de limpeza intermediárias decimais e os limites


inferiores do tamanho de partícula
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E.1 Classes de limpeza intermediárias decimais


Se classes de limpeza intermediárias decimais forem necessárias, convém que a Tabela E.1 seja
usada.

A Tabela E.1 fornece as classes de limpeza de ar intermediárias decimais permitidas. Incertezas associa-
das à contagem de partículas tornam impróprios os incrementos menores do que 0,5. As notas abaixo
da tabela identificam as restrições devido às limitações da amostragem e da coleta de partículas.

Tabela E.1 – Classes intermediárias decimais de limpeza do ar por concentração de partículas

Concentração de partículas (partículas/m3) a


Número da classe
0,1 0,2 0,3 0,5 1,0 5,0
ISO (N)
ISO classe 1,5 [32]b d d d d e

ISO classe 2,5 316 [75]b [32]b d d e

ISO classe 3,5 3 160 748 322 111 d e

ISO classe 4,5 31 600 7 480 3 220 1 110 263 e

ISO classe 5,5 316 000 74 800 32 200 11 100 2 630 e

ISO classe 6,5 3 160 000 748 000 322 000 111 000 26 300 925
ISO classe 7,5 c c c 1 110 000 263 000 9 250
ISO classe 8,5f c c c 11 100 000 2 630 000 92 500
a Todas as concentrações na tabela são cumulativas, por exemplo, para ISO classe 5,5, as 11 100 partículas
de 0,5 µm indicadas incluem todas as partículas maiores ou iguais a este tamanho.
b Estas concentrações acarretam grandes volumes de amostras de ar para a classificação. Ver Anexo D,
Procedimento de amostragem sequencial.
c Limites de concentração não são aplicáveis nesta região da tabela, devido à concentração muito elevada
de partículas.
d Limitações estatísticas e de amostragem para partículas em baixas concentrações tornam a classificação
inadequada.
e Limitações na coleta da amostra para partículas de tamanhos maiores que 1 µm, em baixas concentrações,
tornam a classificação inadequada, devido às perdas potenciais de partículas no sistema de amostragem.
f Esta classe só é aplicável para o estado em operação.

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E.3 Tamanhos intermediários de partículas


Se tamanhos intermediários de partículas forem requeridos para qualquer número de classe, inteiro
ou decimal, a Equação (E.1) pode ser utilizada para determinar a concentração máxima das partículas
com o tamanho de partícula considerada:
 K  2,08
C n = 10 N ×  (E.1)
 D 
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onde

Cn é a concentração máxima permitida (partículas por metro cúbico) de partículas em suspensão no


ar que sejam maiores ou iguais ao tamanho da partícula considerada. Cn deve ser arredondado
para o número inteiro mais próximo, usando não mais que três algarismos significativos;

N é o número da Classe ISO que não pode exceder um valor de 9 ou ser menor que 1;

D é o tamanho considerado da partícula, expresso em micrometros (µm), que não esteja indicado
na Tabela 1;

K é uma constante, 0,1, expressa em micrometros (µm).

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Anexo F
(informativo)

Instrumentos de ensaio
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F.1 Introdução
Este Anexo descreve o aparelho de medição que deve ser utilizado para os ensaios recomendados
nos Anexos A, C e D.

Neste Anexo, os dados informados nas Tabelas F.1 e F.2 indicam os requisitos mínimos necessários
para cada item da aparelhagem. Convém que a aparelhagem de medição seja escolhida mediante
acordo entre usuário e fornecedor.

Não convém que este Anexo informativo impeça a utilização de aparelhagens aprimoradas, quando
estas se tornarem disponíveis. Aparelhagens alternativas podem ser apropriadas e ser utilizadas
mediante acordo entre usuário e fornecedor.

F.2 Especificações dos instrumentos


É recomendado utilizar os seguintes instrumentos para os ensaios recomendados nos Anexos A, C e D:

a) contador de partículas (discretas) em suspensão no ar por espalhamento da luz (LSAPC);

NOTA As especificações para o LSAPC são encontradas na ISO 21501-4:2007. [1]

b) contador de macropartículas discretas;

c) aparelhagem para discriminação de tamanho das partículas pelo tempo de voo;

d) medição microscópica das partículas coletadas sobre papel filtrante. Ver ASTM F312-8.[3]

Os termos e definições para estes instrumentos são encontrados na Seção 3.

Tabela F.1 ‒ Especificações para contador de macropartículas discretas

Item Especificação
O tamanho mínimo detectável deve estar na faixa de 5 µm a 80 µm e ser
Limites de apropriado para o tamanho de partícula considerado e a capacidade do
medição instrumento. A concentração máxima de partículas do LSAPC deve ser igual ou
maior que a concentração máxima esperada para as partículas consideradas
Resolução 20 % para partículas de calibração de um tamanho especificado pelo fabricante
Erro máximo
20 % para contagem de partículas em um tamanho especificado
permissível

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Tabela F.2 ‒ Especificações para o aparelho de discriminação de tamanho das partículas


pelo tempo de voo

Item Especificação
Tamanho de partículas de 0,5 µm a 20 µm;
Limites de medição
Concentração de partículas de 1,0 × 103/m3 a 1,0 × 108/m3
Resolução Diâmetro aerodinâmico: 0,02 µm a 1,0 µm; 0,03 µm a 10 µm
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Erro máximo permissível 10 % da leitura completa

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Bibliografia

[1]  ISO 21501-4:2007, Determination of particle size distribution – Single particle light interaction
methods – Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces

[2]  ASTMF312-08, Standard test methods for microscopial sizing and counting particles from
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aerospace fluids on membrane filters

[3]  IEST-G-CC1003, Measurement of Airborne Macroparticles. Institute of Environmental Sciences


and Technology, Arlington Heights, Illinois, 1999

[4]  IEST-G-CC1004, Sequential-Sampling Plan for use in Classification of the Particulate Cleanliness
of Air in Cleanrooms and Clean Zones. Institute of Environmental Sciences and Technology,
Arlington Heights, Illinois, 1999

[5]  JIS B 9920:2002, Classification of air cleanliness for cleanrooms

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