Superficies y vacío

ISSN: 1665-3521
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Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología
de Superficies y Materiales A.C.
México

Carbajal Franco, G.; Tiburcio Silver, A.; Domínguez, J. M.; Sánchez Juárez, A.
Sensores de propano usando películas delgadas de SnO2
Superficies y vacío, núm. 10, junio, 2000, pp. 1-4
Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales A.C.
Distrito Federal, México

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Superficies y Vacío 10, 1-4, Junio 2000 Sociedad Mexicana de Ciencia de Superficies y de Vacío.

Sensores de propano usando películas delgadas de SnO2.

G. Carbajal-Franco, A. Tiburcio-Silver
H. Inst. Tec. de Toluca, Apdo. postal 890, 50000 Toluca, México.

J. M. Domínguez,
Inst. Mex. del Petróleo, Apdo. postal 14-805, 07730 México, D. F.

A.Sánchez-Juárez,
CIE-UNAM, Apdo. postal 34, 62580 Temixco, Mor.

En este trabajo se reporta la elaboración de películas delgadas de SnO2 y SnO2:Ag (espesor aproximado de 200 nm)
obtenidas por tratamiento térmico de películas de Sn y Sn:Ag depositadas por evaporación al vacío en substratos de
alúmina. Para la impurificación con plata se utilizó un procedimiento sencillo y muy barato. Se muestran resultados
preliminares de las propiedades de sensado. Las películas detectan selectivamente la presencia de C3H8 en la
mezcla de gas LP doméstico. La impurificación con Ag reduce aproximadamente 100 ºC el punto óptimo de
temperatura de operación de las películas de SnO2. Este resultado es muy importante al detectar gases explosivos.
Palabras clave: Sensor de Gas, SnO2, Ag, Histéresis,

In this work, we report on the elaboration of SnO2 and SnO2:Ag thin films (~200 nm in thickness) obtained by heat-
treatement in air of Sn and Sn:Ag thin films deposited by vacuum evaporation on alumina substrates. A simple and very
cheap procedure was used to dope the SnO2 films with Ag. Preliminary results on the sensing properties of these films
are presented. Films are able to detect selectively the presence of C3H8 in the LP-gas domestic mixture. Doping with
Ag allows to reduce the optimal operation temperature of the SnO2 sensors by 100ºC. This a very important result when
detecting such a highly explosive gas.
Keywords: Gas Sensor, SnO2, Ag, Hysteresis,

1. Introducción películas delgadas de SnO2, tanto sin impurificación

intencional, como impurificadas con plata.
Actualmente en la Ciudad de México se utiliza como
combustible una mezcla de gases hidrocarburos conocida 2. Procedimiento Experimental
como LP; es de uso tanto doméstico como industrial. Esta
mezcla está compuesta por gas propano (49%), gas n- En este trabajo se utilizaron substratos de alúmina
butano (28%), gas iso-butano (15%) y diversos alquenos (Coors Ceramic Company, Golden, Colorado) para
(8%) [1]. El gas LP es de fácil transportación en fase aplicaciones en microelectrónica. Estos están elaborados en
líquida, barato y abundante, pero presenta dos desventajas: alúmina (Al2O3) y tienen dimensiones de 1.27x12.7 mm
es altamente explosivo al ponerse en contacto con una con un espesor menor a 254 µm. Se eligieron debido a que
llama y en grandes concentraciones provoca asfixia. presentan una alta resistividad y un bajo coeficiente
Aunado a esto, en los últimos años, la contaminación por térmico de dilatación.
hidrocarburos en la Ciudad de México ha alcanzado Primeramente se prepararon películas evaporando al
valores superiores a los establecidos por las normas vacío 73.4 mgm de Sn metálico, el cual, al evaporarse por
internacionales [1,2] debido a fugas no detectadas y al mal completo produce una capa de Sn metálico de aprox. 200
manejo en su uso y transportación.
En numerosos artículos [3-8] se ponen de relieve las Tabla 1. Datos de espesor de diferentes películas. t1: Espesor de la película
características del SnO2 como detector de gases. Por otra de Sn antes de la oxidación. t2: Espesor medido de la película oxidada. tSn:
Espesor calculado de la película de Sn remanente después de la oxidación
parte, Yamazoe [9] ha mostrado que la presencia de (ver texto)
diversos aditivos en las películas de SnO2 permite mejorar
su respuesta eléctrica a diferentes gases. Uno de los CTGS t1 [Å] t2 [Å] tSn [Å]
materiales que se mencionan en ese trabajo como aditivo Calculado Medido
capaz de mejorar la respuesta a los hidrocarburos simples, 18 100 103 119.67 67.2
es la plata. 20 200 207 230.65 95.34
El presente trabajo se desarrolla precisamente como 21 300 311 340.67 119.61
respuesta a la necesidad de detectar el gas LP antes de 22 500 519 801.98 -
llegar a concentraciones peligrosas. Se elaboraron para ello

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Fig. 1. Sistema de caracterización eléctrica.

Fig. 3. Curva de conductancia de una película impurificada expuesta a 1%

de C3H8 diluido en N2. n 1ª rampa de subida en temperatura. m 1ª rampa
de bajada en temperatura. s 2ª rampa de subida en temperatura. t 2ª
rampa de bajada en temperatura.

Fig. 2. Curva de respuesta de conductancia de una muestra con

impurificación intencional: m Línea de base (N2). n Datos de conductancia
en C3H8 al 1%.  Línea de ajuste.

nm de espesor a 10 cm de la fuente de evaporación. Con la

Fig. 4. Curva de conductancia de una película impurificada expuesta a 1%
información así obtenida, se elaboraron películas de de C4H10 diluido en N2. n 1ª rampa de subida en temperatura. m 1ª rampa
diferentes espesores. Posteriormente se oxidaron las de bajada en temperatura. s 2ª rampa de subida en temperatura.
muestras en un flujo de oxígeno seco dentro de un horno t 2ª rampa de bajada en temperatura.
tubular a 900 ºC durante 6 hrs. Las películas impurificadas
se obtuvieron evaporando pintura de plata sobre la película Se puede calcular el valor del espesor esperado si la
de Sn metálico, previo a la oxidación de las mismas. película se oxidara completamente, suponiendo una
Los contactos fueron “pintados” en forma interdigitada reacción estequiométrica. Esta variación nos lleva a
sobre las películas oxidadas. suponer que no hubo la inclusión de oxigeno suficiente
para producir la oxidación completa del Sn. Dado que la
3. Resultados y Discusión oxidación sigue las leyes de Fick [10], se debe esperar que
la concentración de oxígeno se reduzca de manera gradual
Se crecieron diversas películas buscando obtener a partir de la superficie de la película y, por tanto, que en
distintos espesores. El espesor de las películas fue medido la vecindad de la superficie de la película se tenga el SnO2
con un perfilómetro aplha-step 100, de la marca TENCOR de mayor estequiometría.
INSTRUMENTS. Las películas presentan una desviación
del 4% en el espesor. Esto se debe a que para el cálculo del Para comprobar la presencia de plata en las películas
mismo se supuso que la radiación del Sn metálico cubriría impurificadas se utilizó la técnica de microanálisis de
el 40% de una semiesfera de radio igual a 10 cm. rayos X, empleando un MEB marca JEOL modelo 100 CX,
Las mediciones de espesor de las películas oxidadas equipado con un equipo de microanálisis TRACOR
muestran que el Sn no se oxidó completamente (Tabla 1).

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Fig. 5.Sensibilidad de una película sin impurificación intencional expuesta a Fig. 6.Sensibilidad de una película con impurificación intencional expuesta a
C3H8 al 1% en N2. C3H8 al 1% en N2.

NORTHERN, integrado a una computadora TN-5500. En figuras, podemos apreciar que la conductancia de la
el espectro de la película con impurificación se encontró el película expuesta a C4H10 presenta valores menores,
pico de baja energía de la plata, lo que hace suponer que respectivamente, que los valores de la conductancia de la
existe plata presente en la superficie de la película. película expuesta a C3H8. Con esto se puede suponer que
la combustión del gas propano sobre la muestra es más
Para la caracterización eléctrica de las películas se
eficiente que la del gas butano.
montó un sistema de atmósfera y temperatura controladas
Por último se presentan los datos de sensibilidad de
(Fig. 1).
una película sin impurificación y una impurificada
El concepto de sensibilidad empleado fue el propuesto
intencionalmente. La Fig. 5 se refiere a una película sin
por Morrison [11] que se define como:
impurificación intencional. Podemos observar que el punto
de máxima sensibilidad se presenta a aprox. 380 ºC. En la
Fig. 6 se aprecia que el punto de máxima sensibilidad al
(1) gas propano de la película impurificada intencionalmente
se sitúa cerca de los 290 ºC.
donde G es la conductancia eléctrica de la película
expuesta al gas a sensar, Go es la conductancia eléctrica de 4. Conclusiones
la película en una atmósfera sin la presencia del gas a
sensar (N2 en este trabajo), ∆G es igual a G-Go, ∆nS es el Se elaboraron películas de SnO2 y SnO2:Ag por
cambio superficial de portadores de carga, n es la cantidad evaporación al vacío y posterior oxidación. De acuerdo a
de portadores de carga en la película y t es el espesor mediciones de espesor y cálculos estequiométricos se
de la misma. Se empleó esta definición ya que las encontró que probablemente las películas no se hayan
cantidades involucradas son de fácil medición, además de
que nos proporciona datos directos sobre los cambios de oxidado completamente. Se midió la conductancia de las
concentración de portadores a nivel superficial. películas en atmósfera inerte (N2) y en mezclas de n-
En la Fig. 2 se muestra una curva de la conductancia propano-N2. Se definió la sensibilidad como ∆G/Go y se
en función de la temperatura de la muestra, en una encontró que la película impurificada presentó una
atmósfera de C3H8 disuelto al 1% en N2. Se observa una reducción en su punto optimo de temperatura de operación.
alteración considerable en su comportamiento para un Esto puede ser favorable para el sensor debido a que el gas
rango de temperaturas. Esto lo atribuimos a la desorción de propano es el gas de ignición de la mezcla LP.
agua de las películas [12].
Se realizaron mediciones para conocer el efecto de los Referencias
cambios de temperatura sobre la conductancia. En la Fig. 3
se presentan los datos de una película impurificada [1]. G. Riveros. Ciencia y Desarrollo. XXI, 1995 (125).
intencionalmente expuesta a C3H8 diluido al 1% en N2, y [2]. D.R. Blake, F.S. Rowland. . Science. 269, 953 (1995).
en la Fig. 4 se muestran los datos de la misma película [3]. R Huck., U. Böttger, D. Kohl, G. Heiland. Sensors and
Actuators. 17, 355 (1989).
pero expuesta a C4H10 al 1% en N2. Comparando los
[4]. M. Egashira, T. Matsumoto, Y. Shimizu, H. Iwanaga.
datos de conductividad contra temperatura de ambas Sensors and Actuators. 14, 205 (1988).

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[5]. F. Boyle, K. A. Jones. Sensor J. of Electron. Mat. 6, 717

(1977).
[6]. T. W. Capehart, S. C. Chang. J. Vac. Sci. Technol. 18, 393
(1981).
[7]. N. Yamazoe, J. Fuchigami, M. Kishikawa, T. Seiyama.
Surface Science. 86, 335 (1979).
[8]. P. Van Geloven, J. Moons, M. Honore, J. Roggen. Sensors
and Actuators. 17, 361 (1989).
[9]. N. Yamazoe, Y. Korokawa, T. Seiyama. Sensors and
Actuators. 4, 283 (1983).
[10]. Gay A. G. Fundamentos de Ciencia de Materiales.
(McGraw Hill, México, 1980).
[11]. S. R. Morrison. Sensors and Actuators. 2, 329 (1982).
[12]. P. T. Moseley, B. C. Tofield Solid State Gas Sensors,
(AdamHilger, Bristol, 1987).