LDS3000

Traducción del manual de instrucciones original
LDS3000, LDS3000 AQ
Módulo Espectrómetro de masas
560-300, 560-600
Versión del software igual o superior a

MS-Modul 2.72 jiqa54es1-08-(1901)
INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Colonia, Alemania

INFICON Índice
Índice
1 Acerca de estas instrucciones.......................................................................................................................... 7
1.1 Advertencias ............................................................................................................................................. 7
1.2 Otros documentos aplicables ................................................................................................................... 7
1.3 Grupos destinatarios................................................................................................................................. 8
1.4 Definiciones de los términos..................................................................................................................... 8
2 Seguridad ....................................................................................................................................................... 11
2.1 Uso reglamentario .................................................................................................................................. 11
2.2 Requisitos hacia la empresa gestora...................................................................................................... 11
2.3 Obligaciones del operador...................................................................................................................... 12
2.4 Peligros................................................................................................................................................... 12
3 Volumen de suministro, transporte, almacenamiento .................................................................................... 14
4 Descripción..................................................................................................................................................... 15
4.1 Función ................................................................................................................................................... 15
4.2 Estructura del aparato ............................................................................................................................ 16
4.2.1 Aparato completo (LDS3000) ..................................................................................................... 16
4.2.2 Aparato completo (LDS3000 AQ) ............................................................................................... 17
4.2.3 Bloque de conexión .................................................................................................................... 20
4.2.4 Caja MSB.................................................................................................................................... 20
4.2.5 Identificativos en el aparato ........................................................................................................ 23
4.3 Datos técnicos ........................................................................................................................................ 23
4.4 Ajustes de fábrica ................................................................................................................................... 24
5 Montaje LDS3000........................................................................................................................................... 27
5.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje .................................................... 27
5.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación ............................... 28
5.3 Seleccionar conexión ULTRA, FINE o GROSS...................................................................................... 29
5.4 Establecer las conexiones de los componentes..................................................................................... 31
5.5 Establecer las conexiones eléctricas...................................................................................................... 31
6 Montaje LDS3000 AQ (acumulación) ............................................................................................................. 33
6.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje .................................................... 33
6.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación ............................... 34
6.3 Seleccionar los componentes y establecer las conexiones.................................................................... 36
6.4 Establecer las conexiones eléctricas...................................................................................................... 38
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-08-(1901) iii
Índice INFICON
7 Funcionamiento LDS3000 .............................................................................................................................. 39
7.1 Conectar el aparato ................................................................................................................................ 39
7.2 Ajustes previos ....................................................................................................................................... 40
7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga............................................................................................. 42
7.4 Seleccionar la unidad para la presión..................................................................................................... 43
7.5 Seleccionar modo de compatibilidad ...................................................................................................... 43
7.6 Seleccionar el modo de servicio ............................................................................................................. 45
7.7 Seleccionar tipo de gas (masa) .............................................................................................................. 46
7.8 Calibrar el aparato .................................................................................................................................. 47
7.8.1 Momento y ajustes previos generales ........................................................................................ 47
7.8.2 Configurar e iniciar calibración interna........................................................................................ 49
7.8.3 Configurar e iniciar calibración externa....................................................................................... 50
7.8.4 Iniciar la calibración dinámica externa ........................................................................................ 52
7.8.5 Calibración externa con el conducto de aspiración SL3000XL................................................... 54
7.8.6 Comprobar calibración................................................................................................................ 55

7.8.6.1 Comprobar calibración con fuga calibrada interna............................................................. 55
7.8.6.2 Comprobar calibración con fuga calibrada externa............................................................ 55
7.8.7 Introducir el factor de calibrado................................................................................................... 56

7.8.7.1 Factor de calibrado muestreo ............................................................................................ 56
7.8.7.2 Factor de calibrado vacío................................................................................................... 56
7.8.8 Ajustar el factor máquina y de muestreo .................................................................................... 57

7.8.8.1 Ajuste manualmente el factor máquina y de muestreo ...................................................... 57
7.8.8.2 Ajustar el factor máquina y de muestreo a través de la calibración de la máquina ........... 58
7.9 Iniciar y parar la medición....................................................................................................................... 59
7.10 Guardar y cargar parámetros ................................................................................................................. 60
7.11 Copiar datos de medición, borrar datos de medición ............................................................................. 60
7.12 Suprimir límites inferiores de gas con las funciones "ZERO" ................................................................. 60
7.13 Representación de resultados de medición con filtros de señales......................................................... 61
7.14 Control de la válvula de gas de traza de la bomba de vacío previo ....................................................... 63
7.15 Seleccionar límites de indicación............................................................................................................ 63
7.16 Ajustar valores de disparo ...................................................................................................................... 64
7.17 Ajustar el control del capilar.................................................................................................................... 64
7.18 Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular ............................................................. 65
7.19 Selección del cátodo............................................................................................................................... 66
7.20 Ajustes para el XL Sniffer Adapter.......................................................................................................... 66
iv LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-08-(1901)
INFICON Índice
7.21 Resetear los ajustes ............................................................................................................................... 69
8 Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación)............................................................................................... 70
8.1 Conectar el aparato ................................................................................................................................ 70
8.2 Ajustes previos ....................................................................................................................................... 70
8.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga............................................................................................. 71
8.4 Seleccionar la unidad para la presión..................................................................................................... 72
8.5 Seleccionar modo de compatibilidad ...................................................................................................... 72
8.6 Realizar los ajustes básicos con el asistente ......................................................................................... 75
8.7 Determinar el peak ................................................................................................................................. 76
8.8 Indicar la tasa de fuga de la fuga calibrada ............................................................................................ 77
8.9 Calibrar el aparato .................................................................................................................................. 78
8.9.1 Momento y ajustes previos generales ........................................................................................ 78
8.9.2 Introducir el factor de calibrado................................................................................................... 79
8.9.3 Factor de calibrado vacío............................................................................................................ 79
8.9.4 Calibrar ....................................................................................................................................... 80
8.10 Ejecutar ZERO........................................................................................................................................ 82
8.11 Ajustar el factor máquina y de muestreo ................................................................................................ 83
8.11.1 Ajuste manualmente el factor máquina y de muestreo............................................................... 83
8.12 Realizar la medición ............................................................................................................................... 84
8.13 Guardar y cargar parámetros ................................................................................................................. 85
8.14 Copiar datos de medición, borrar datos de medición ............................................................................. 85
8.15 Adaptar el "Factor tiempo Zero AQ" ....................................................................................................... 86
8.16 Seleccionar límites de indicación............................................................................................................ 86
8.17 Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular ............................................................. 87
8.18 Selección del cátodo............................................................................................................................... 87
8.19 Resetear los ajustes ............................................................................................................................... 88
9 Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ)............................................................................... 89
9.1 Seleccionar el tipo del módulo de ampliación......................................................................................... 89
9.2 Ajustes para el módulo I/O IO1000......................................................................................................... 89
9.2.1 Ajustes generales de interfaz...................................................................................................... 89
9.2.2 Asignar entradas y salidas.......................................................................................................... 90

9.2.2.1 Asignar las entradas digitales del módulo I/O.................................................................... 97
9.2.2.2 Asignar las salidas digitales del módulo I/O....................................................................... 99
9.3 Ajustes para el módulo de bus BM1000 ............................................................................................... 101
10 Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ)......................................................................... 102
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-08-(1901) v
Índice INFICON
10.1 Representación del código de error con la ayuda de los LED de estado............................................. 111
11 Funcionamiento CU1000 (opcional) ............................................................................................................. 113
11.1 Elementos de la pantalla táctil .............................................................................................................. 113
11.1.1 Elementos de la pantalla de medición ...................................................................................... 113
11.2 Elementos de visualización de errores y advertencias......................................................................... 116
11.3 Ajustes y funciones............................................................................................................................... 117
11.3.1 Ajustes de la pantalla táctil ....................................................................................................... 117
11.3.2 Tipos de operador y autorizaciones.......................................................................................... 120

11.3.2.1 Desregistrar operadores .................................................................................................. 122
11.3.3 Funciones ................................................................................................................................. 122

11.3.3.1 Resetear los ajustes......................................................................................................... 122
11.3.3.2 Registrar datos................................................................................................................. 122
11.3.3.3 Consultar información ...................................................................................................... 124
11.3.4 Actualizar el software................................................................................................................ 127

11.3.4.1 Actualizar el software de la unidad de manejo................................................................. 127
11.3.4.2 Comprobar y actualizar la versión de software de la caja MSB....................................... 127
11.3.4.3 Actualizar el software del módulo I/O............................................................................... 128
12 Mantenimiento .............................................................................................................................................. 130
12.1 Mantenimiento por INFICON ................................................................................................................ 130
12.2 Indicaciones generales para el mantenimiento .................................................................................... 130
12.3 Plan de mantenimiento ......................................................................................................................... 131
12.4 Trabajos de mantenimiento .................................................................................................................. 132
12.4.1 Sustituir el depósito de lubricante de la bomba turbomolecular ............................................... 132
13 Puesta fuera de servicio ............................................................................................................................... 137
13.1 Parar el detector de fugas .................................................................................................................... 137
13.2 Eliminar el módulo de espectrómetro de masas................................................................................... 137
13.3 Envío del módulo de espectrómetro de masas .................................................................................... 137
14 Anexo ........................................................................................................................................................... 138
14.1 Conformidad CE ................................................................................................................................... 138
14.2 Declaración de incorporación ............................................................................................................... 139
14.3 Declaración de contaminación.............................................................................................................. 140
14.4 RoHS .................................................................................................................................................... 141
vi LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-08-(1901)
INFICON Acerca de estas instrucciones | 1
1 Acerca de estas instrucciones

Este documento es válido para la versión de software que se indica en la página del
título.
En el documento eventualmente se pueden mencionar nombres de productos que se

indican únicamente para fines de identificación y son propiedad del titular del
copyright.
Las presentes instrucciones de servicio describen el montaje y el manejo del módulo

espectrómetro de masas LDS3000. Está disponible en dos variantes diferentes:
• LDS3000
• LDS3000 AQ (acumulación), también conmutable para todos los demás modos de

funcionamiento.
1.1 Advertencias
PELIGRO
Peligro inminente que produce la muerte o lesiones graves
ADVERTENCIA
Situación peligrosa que puede provocar la muerte o lesiones graves
PRECAUCIÓN
Situación peligrosa que puede provocar lesiones leves
INDICACIÓN
Situación peligrosa que puede provocar daños materiales o medioambientales
1.2 Otros documentos aplicables

Instrucciones de servicio unidad de jina54
manejo CU1000
Instrucciones de servicio módulo de bus jiqb10
Instrucciones de servicio módulo I/O jiqc10
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-08-(1901) 7 / 143
1 | Acerca de estas instrucciones INFICON
Instrucciones de servicio XL Sniffer jinxa54

Adapter
Protocolos de interfaz jira54
1.3 Grupos destinatarios

Estas instrucciones de servicio se dirigen a la empresa gestora y al personal técnico
cualificado y especializado con experiencia en el ámbito de la técnica de
comprobación de estanqueidad y la integración de detectores de fugas en
instalaciones de comprobación de estanqueidad. Además, la instalación y la
aplicación del aparato exigen conocimientos en el manejo de interfaces electrónicas.
1.4 Definiciones de los términos
Mención del helio en el manual

El aparato es un detector de fugas de helio. En caso de que se forme mezcla de
hidrógeno y nitrógeno en vez de helio, para determinar el contenido de hidrógeno que
contiene, las indicaciones para el helio también son válidas para el hidrógeno.
Acumulación
Junto con la prueba de estanqueidad, se trata del enriquecimiento de gases de
prueba en un lapso de tiempo definible. Esto permite la detección de pequeñas tasas
de fuga sin tener que utilizar una prueba de envoltura al vacío. Se pueden emplear el
helio o el formigas.
Cuando en este manual se mencione "AQ", se refiere al modo de acumulación. Solo
se encuentra disponible en aparatos en la ejecución AQ.
Ajuste automático / ajuste de la masa

Esta función ajusta el espectrómetro de masas de forma que se alcanza una
visualización de las tasas de fugas máximas. Para detectar una corriente iónica
máxima con el detector de iones, el ordenador de control adapta la tensión a la
aceleración iónica dentro del correspondiente intervalo de masa seleccionado.
En cada calibración se realiza un ajuste automático.
Modo de servicio
El detector de fugas distingue entre los modos de servicio "Vacío" y "Aspiración". En
el modo de servicio "Vacío", por lo general el gas de prueba fluye dentro del objeto de
ensayo. La presión en el objeto de ensayo es menor que la presión ambiente.
8 / 143 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-08-(1901)
INFICON Acerca de estas instrucciones | 1
En el modo de servicio "Aspiración", el gas de prueba sale del objeto de ensayo y se

aspira con un mango de aspiración. La presión en el objeto de ensayo es mayor que
la presión ambiente.
FINE
FINE designa la conexión a la bomba turbomolecular para presiones de entrada de
hasta 0,4 mbar. Este también se emplea para el modo de servicio "Aspiración".
Formigas
Formigas es un concepto colectivo para mezclas de gas de nitrógeno e hidrógeno.
GROSS
GROSS designa la conexión a la bomba turbomolecular con la sensibilidad más baja.
Este también permite presiones de entrada elevadas (hasta 15 mbar).
Fondo de helio interno

El sistema de medición del detector de fugas siempre contiene una cierta cantidad
residual de helio. Esto crea una parte de señal de medición interna (límite inferior) que
desde el principio se solapa con la visualización de la fuga y molesta en la detección
de fugas.
Para ocultar este límite inferior, se activa la "supresión de fondo" interna por ajuste de
fábrica.
Tasa de fuga mínima detectable

La tasa de fuga mínima detectable que el detector de fugas puede registrar en
-12
condiciones ideales (< 5x10 mbar l/s).
ULTRA
ULTRA designa la conexión en la bomba turbomolecular para el rango de medición
con la mayor sensibilidad a presiones de entrada por debajo de 0,4 mbar (ajustable).
Límite inferior
El helio y el hidrógeno (como parte del agua) son componentes naturales del aire.
Modo de servicio "vacío": Antes de la detección de fugas, hay una cierta cantidad del
gas de prueba ajustado en el volumen, en las superficies de la cámara de prueba, los
conductos e incluso en el propio detector de fugas. Esta cierta cantidad de gas de
prueba crea una señal de medición que se llama "límite inferior". Mediante la
evacuación continua de la cámara de prueba se disminuye continuamente este límite
inferior.
1 | Acerca de estas instrucciones INFICON
Modo de servicio «Aspiración»: Mediante el conducto de aspiración se lleva de forma

continua el aire ambiente al detector de fugas. La cantidad de helio o hidrógeno
presente en el aire de forma natural crea así un límite inferior constante.
Presión de vacío previo

La presión de vacío previo entre la bomba turbomolecular y la bomba de vacío previo.
ZERO
Hay helio que, como componente natural del aire ambiente durante una medición, p.
ej. unido débilmente a la superficie de un cuerpo de prueba, se bombea
paulatinamente dentro del sistema de medición del detector de fugas. Crea una señal
de medición que baja lentamente.
En caso de que desee ocultar este límite inferior o también la visualización de una
fuga existente, puede ajustar la función ZERO.
INFICON Seguridad | 2
2 Seguridad
2.1 Uso reglamentario

El aparato es un comprobador de estanqueidad modular para la incorporación en
instalaciones industriales de comprobación de estanqueidad. El aparato puede medir
con los gases de prueba helio e hidrógeno (formigas).
El LDS3000 es apto para comprobar la sobrepresión y la presión negativa. Además

de la comprobación en vacío también es posible realizar una prueba local con un
conducto de aspiración.
El LDS3000 AQ sirve para medir los gases de prueba para su enriquecimiento en una
cámara de medición externa, pero también se puede remodelar para todos los demás
fines.
► La instalación, el uso y el mantenimiento del aparato se deben realizar únicamente

conforme a este manual de instrucciones.
► Respete los límites de utilización, consulte "Datos técnicos".

Utilizaciones erróneas ► Evite los siguientes usos no reglamentarios:
• Uso en áreas radioactivas
• Extraer con bomba sustancias explosivas, agresivas, corrosivas, inflamables,

tóxicas o reactivas
• Extraer con bomba líquidos o vapor condensables
• Aspiración de líquidos en el aparato
• Uso con cargas de gas elevadas no permitidas
• Uso con vacío previo elevado no permitido
• Uso con una temperatura ambiente demasiado elevada
• Inundación con tasas de inundación elevadas no permitidas
• Uso de la bomba en instalaciones donde hay cargas de choque y vibraciones o

fuerzas periódicas que actúan sobre la bomba
2.2 Requisitos hacia la empresa gestora

Las siguientes indicaciones están destinadas a la empresa o a aquellos responsables
de la seguridad y el uso efectivo del producto por parte del usuario, empleado o
terceros.
Trabajo consciente de la seguridad

• Opere el dispositivo solo si se encuentra en perfectas condiciones técnicas y no
presenta daños.
2 | Seguridad INFICON
• Utilice el aparato únicamente de forma reglamentaria, pensando en la seguridad y

en los posibles peligros y observando el manual de instrucciones.
• Siga las normas siguientes y vigile su cumplimiento:
– Uso reglamentario
– Normas de vigencia general en materia de seguridad y prevención de

accidentes
– Normas y directivas de vigencia internacional, nacional y local
– Disposiciones y normas adicionales aplicables al aparato en particular
• Utilice únicamente piezas originales o aprobadas por el fabricante.
• Mantenga disponible este manual de instrucciones en el lugar de uso del aparato.
Cualificación del personal

• No deje trabajar con el aparato o en él más que a personal instruido. El personal
instruido deberá haber recibido formación práctica en el uso del aparato.
• Cerciórese de que, antes de iniciar el trabajo, el personal encargado haya leído y

comprendido estas instrucciones y todos los demás documentos aplicables.
2.3 Obligaciones del operador

• Leer, tener en cuenta y seguir la información en estas instrucciones de uso y en
las instrucciones de trabajo creadas por el propietario. Esto atañe en especial a
las indicaciones de seguridad y las advertencias.
• Tenga siempre en cuenta las instrucciones de uso completas para todos los
trabajos.
• En caso de preguntas sobre el manejo o el mantenimiento que no se respondan

en estas instrucciones, diríjase a atención al cliente.
2.4 Peligros
El aparato se ha fabricado conforme a los últimos adelantos técnicos y las reglas
técnicas de seguridad reconocidas. No obstante, en caso de uso no reglamentario
existe la posibilidad de riesgos para la vida y la integridad física del usuario o de
terceros o de daños en el aparato y otros daños materiales.
Peligros derivados de Líquidos y sustancias químicas pueden dañar el aparato.
líquidos y sustancias • Respete los límites de utilización, consulte "Datos técnicos".
químicas
• No aspire líquidos con el aparato.
• Mantenga la concentración de hidrógeno por debajo del 5% para evitar la ignición.

Imanes permanentes Los imanes permanentes en el aparato representan un riesgo para la salud. El
funcionamiento de los marcapasos puede verse afectado.
INFICON Seguridad | 2
• Mantenga una distancia suficiente frente al aparato.
• Mantenga las distancias indicadas por el fabricante del marcapasos.

Peligros derivados de El aparato funciona con tensiones eléctricas de hasta 24 V. En el interior del aparato
la energía eléctrica existen unas tensiones netamente más elevadas. Existe peligro de muerte al tocar
componentes eléctricos en el interior del aparato.
• Antes de iniciar cualquier trabajo de instalación y mantenimiento, desconecte el

aparato de la alimentación eléctrica. Cerciórese de que la alimentación eléctrica
no se pueda volver a conectar sin autorización.
• Antes de iniciar la comprobación de fugas, corte la alimentación eléctrica de los

objetos de ensayo que funcionen con electricidad.
El aparato contiene componentes eléctricos que pueden resultar dañados por

tensiones eléctricas elevadas.
• Antes de la conexión a la alimentación eléctrica, asegúrese de que la tensión de

alimentación sea de 24 V +/- 5 %.
Energía cinética En caso de que los elementos rotatorios en la bomba turbomolecular quedaran
bloqueados como consecuencia de un defecto, se necesitan absorber las elevadas
fuerzas centrífugas. Si esto no se consigue, el módulo de espectrómetro de masas se
rompe y se pueden causar daños materiales y personales.
• Asegúrese de que la fijación del módulo de espectrómetro de masas pueda

absorber un par de frenado de 820 Nm.
Peligro de lesiones por Si un objeto de ensayo conectado o las conexiones al objeto de ensayo no resisten la
estallido de objetos presión negativa de la operación de vacío, existe peligro de que estalle el objeto.
• Tome medidas de protección adecuadas.

Peligro derivado de la Una cámara de medición externa que se conecta a un LDS3000 AQ se drena con
implosión de una aprox. 60 sccm. Si se respeta el tiempo de medición habitual (2 - 30 segundos), no se
cámara de medición genera una presión negativa peligrosa.
En el caso de que la cámara de medición esté estanca, aunque no sea resistente al

vacío y continúe drenándose, puede implosionar. Esto puede ocurrir, por ejemplo, en
una cámara de medición de 1 l transcurridos 10 minutos.
• No siga bombeando una cámara de medición después del proceso del tiempo de
medición.
• ¡Respete las medidas preventivas oportunas!
3 | Volumen de suministro, transporte, almacenamiento INFICON
3 Volumen de suministro, transporte,

almacenamiento
Volumen de suministro Artículo Cantidad
1)
Módulo del espectrómetro de masas 1
Clavija para conexión de 24 V 1
Sensor de presión PSG500 1
Tuercas autobloqueantes 4
Clavija para Output 1
Clavija para Gauges Exit 1
Módulo de entrada (solo en la ejecución LDS3000 AQ) 1
2)
Adaptador DN16 con estrangulador (solo en la ejecución 1
LDS3000 AQ)
Manual de instrucciones 1
Lápiz USB con instrucciones, planos en 3D y vídeos 1
1º) Incluye o bien el AQ LDS3000 560-300 o bien el 560-600 LDS3000 (acumulación).
2º) Véase «Seleccionar los componentes y establecer las conexiones [} 36]».
► A la recepción del aparato, compruebe si el volumen de suministro está completo.

Transporte
INDICACIÓN
Daños en caso de embalaje inadecuado
El aparato puede sufrir daños si se transporta en un embalaje inadecuado.
► Transporte el aparato únicamente en el embalaje original.
► Conserve el embalaje original.
INDICACIÓN
Daños materiales por una fijación incorrecta del amortiguador
► Fije el amortiguador con los tornillos de transporte para evitar daños por
vibraciones.
Almacenamiento Almacene el aparato observando los datos técnicos, consulte "".
INFICON Descripción | 4
4 Descripción
4.1 Función
Objetivo El módulo de espectrómetro de masas es un detector de los gases de prueba helio e
hidrógeno. Integrado en instalaciones de comprobación, el aparato sirve para detectar
el gas que sale de un objeto de ensayo e indicar fugas.
El aparato se puede utilizar tanto para la detección de fugas en vacío como para la
detección de fugas por muestreo. Para el modo de muestreo se dispone de conductos
de aspiración de distintas longitudes.
Modo AQ Para poder detectar pequeñas tasas de fuga sin emplear una prueba de envoltura al
(acumulación) vacío, los aparatos para el modo AQ se conectan a una cámara de medición externa.
El gas de prueba se enriquece en la cámara de medición externa (acumulación).
El objeto de ensayo bajo presión lleno de helio o formigas se conduce a la cámara de
medición o se somete a presión en la cámara de medición. Si el objeto de ensayo
presenta fugas, aumenta la concentración de helio o formigas en la cámara de
medición. Este aumento se mide y se emite como tasa de fuga.
Interfaces El módulo de espectrómetro de masas forma parte del sistema de prueba de
estanqueidad LDS3000 y LDS3000 AQ. Se puede utilizar en una instalación de
comprobación junto con un módulo de bus o un módulo I/O y un cable de datos sin
accesorios INFICON adicionales.
La caja MSB emite datos a través de interfaces digitales a la unidad de manejo

CU1000, al módulo I/O IO1000 o al módulo de bus BM1000.
Otros accesorios Además, el XL Sniffer Adapter y el conducto de aspiración SL3000XL, disponibles
como accesorios, permiten detectar fugas en caso de un límite de detección
empeorado a una distancia mayor del supuesto punto de fuga (funcionamiento en
"High Flow").
4 | Descripción INFICON
4.2 Estructura del aparato
4.2.1 Aparato completo (LDS3000)
Fig. 1: Módulo de espectrómetro de masas LDS3000
1 Bloque de conexión. Conexiones para instalación de comprobación, bomba

de vacío previo, sensor de presión PSG500, fuga calibrada interna y conducto
de aspiración, consulte también "Bloque de conexión [} 20]".
2 Sensor de presión PSG500 para medir la presión en la bomba de vacío
previo
3 Preamplificador del módulo de espectrómetro de masas
4 Bomba turbomolecular con unidad de refrigeración
5 Caja MSB. Interfaces del módulo del espectrómetro de masas (consulte "Caja
MSB [} 20]")
6 Convertidor turbobomba molecular
7 Elementos de fijación para el montaje del módulo de espectrómetro de masas
en una instalación de comprobación
8 Placa de características con los datos característicos del módulo de
espectrómetro de masas
4.2.2 Aparato completo (LDS3000 AQ)

En la ejecución de acumulación, el módulo del espectrómetro de masas se integra en
un procedimiento de medición particular a través del hardware y el software.
1
2 3 4 7
6
1
4
11
4
10
8
4
9
4
Fig. 2: Acumulación: Visión general del montaje
1 Cámara de medición con 7 Fuente de alimentación 24 V

ventilador
2 ISO-KF DN16 8 Bomba previa seca con
alimentación eléctrica separada)
3 Módulo de entrada 9 ID de tubo 10
4 Tubo corrugado 10 Conector recto 8 a 10 mm
5 Carácter de final 11 Adaptador a DN16
6 Módulo del espectrómetro de
masas
4
3
3 2
Fig. 3: Módulo del espectrómetro de masas (ejecución de acumulación)
1 Sensor de presión PSG500 para la 2 Tubo de conexión a la bomba de

medición del presión de entrada vacío previa
3 Tubo corrugado a la cámara de 4 Conexiones ULTRA embridadas
medición
Fig. 4: Módulo de entrada. No requiere conexión eléctrica para conectarlo a una cámara de
medición.
Si se emplea un sistema de dos cámaras, la válvula del módulo de entrada puede encenderse
aplicando 24 V.
1 Para la conexión a la cámara de medición
Accesorio del cliente Para completar el procedimiento de medición, pueden suministrarse las piezas
faltantes al cliente.
Si quiere ajustar una bomba de vacío previo particular, asegúrese de que se trata de
una bomba de vacío previo seca con un flujo de gas de más de 60 sccm con una
presión base de menos de 5 mbar. Debería disponer de una alimentación eléctrica
propia.
En caso de querer configurar una unidad de manejo propia, tenga en cuenta que el
asistente para el procedimiento de ajustes de medición, el calibrado y el ajuste de la
función ZERO se encuentran en la unidad de manejo CU1000 de INFICON.
Véase también «Seleccionar los componentes y establecer las conexiones [} 36]».
Accesorio opcional de Con la excepción de la cámara de medición, INFICON también oferta las piezas
INFICON necesarias.
• Unidad de manejo CU1000 (incl. el asistente para efectuar los ajustes

importantes)
• I/O1000 (interfaz entre un detector de fugas y un control externo).
• El BM1000 (interfaz de aparatos, p. ej. entre la caja MSB del módulo de

espectrómetro de masa LDS3000 y un control externo).
• Bomba de vacío previa seca de INFICON (número de catálogo 560-630)
Conexión para tubo ID 10 mm
Conexión para silenciador (opcional)
Conexión Minus
Conexión Plus (24 V)
Fig. 5: Bomba de vacío previa de INFICON
Consulte también
2 Aparato completo (LDS3000) [} 16]
4.2.3 Bloque de conexión
Fig. 6: Bloque de conexión
1 Conexión ULTRA 3 Conexión GROSS/FOREPUMP

2 Conexión FINE/SNIFFER
4.2.4 Caja MSB
Fig. 7: Conexiones caja MSB
OUTPUT
Conexión para gas de traza y tres válvulas
Asignación de conectores
1 Válvula 2 (gas de traza), 24 V, máx. 1 A
2 Válvula 3 (no se utiliza, reserva)
5 GND
SNIFFER
Conexión eléctrica para el conducto de aspiración
GAUGES, EXT
Conexión para puntos de medición de presión externos opcionales (0 ... 10 V/0 … 20

mA) para el servicio técnico de INFICON
Asignación de conectores
1 Salida de +24 V, máx. 200 mA
2 Entrada para punto de medición de presión del servicio técnico P3, 0... 10 V
3 GND
4 Referencia para la entrada para el punto de medición de presión del servicio
técnico P3
5 Entrada de 20 mA para el punto de medición de presión del servicio técnico
P3
1 (véase también la imagen caja MSB)
Conexión para sensor de presión PSG500, fuga calibrada y supresor en el

preamplificador (cable triple premontado)
24VDC
Conexión para la fuente de alimentación de 24 V para la alimentación del módulo de

espectrómetro de masas, unidad de manejo, módulo I/O y módulo de bus.
Conexión para el convertidor de la bomba turbomolecular y el ventilador de la bomba

turbomolecular (cable doble premontado)
ION SOURCE
Conexión para la fuente iónica
Conexión para el preamplificador

LED de potencia / LED de estado
El LED de potencia y el LED de estado indican el estado de funcionamiento del

aparato.
LED de potencia LED de estado Significado

Off Rojo Aparato no preparado
Verde Azul Bomba turbomolecular acelerando
Verde Naranja Se conecta la emisión
LED de potencia LED de estado Significado

Verde Verde Emisión estable
Verde Lila El número de revoluciones de la bomba
turbomolecular no se encuentra en el
margen normal
Verde Códigos de error Distintas actividades del aparato
del LED de
estado
Verde, parpadea Tensión de alimentación < 21,6 V
despacio
Verde, parpadea Tensión de alimentación > 26,4 V
deprisa
Verde, parpadea Off Se está actualizando el software
Verde Verde, parpadea Se está actualizando el software
SERVICE
Conexión RS232 para el servicio técnico de INFICON
I/O / ANYBUS
CONTROL UNIT
Conexión para módulo I/O o de bus o unidad de manejo
Las conexiones "I/O Anybus" y "Control Unit" tienen la misma funcionalidad. A

elección, se pueden conectar:
– Unidad de manejo CU1000 + módulo I/O IO1000
– Unidad de manejo CU1000 + módulo de bus BM1000
STATUS
LED de estado
El LED de estado y el LED de potencia indican el estado de funcionamiento del

aparato.
4.2.5 Identificativos en el aparato
PELIGRO
Los imanes permanentes en el aparato representan un riesgo para la salud.
El funcionamiento de los marcapasos puede verse afectado.
► Mantenga una distancia suficiente frente al aparato.
► Mantenga las distancias indicadas por el fabricante del marcapasos.
El aparato no se puede eliminar con la basura doméstica.
4.3 Datos técnicos
Datos mecánicos
Datos eléctricos
560-300, 560-600
Consumo de corriente max. 10 A
Datos físicos
560-300, 560-600
Tiempo de respuesta modo de muestreo Gross: < 5 s, Fine/Ultra: < 1 s
Presión de entrada máxima 0,2 mbar - 18 mbar
Tiempo de arranque 150 s
Gases detectables Helio, hidrógeno
Mínima tasa de fuga detectable en vacío 5E-12 mbar l/s
Mínima tasa de fuga detectable en 1E-7 mbar l/s
muestreo
Masas detectables 4He, H2, Masa 3 (por ejemplo H-D, 3He
o H3)
Fuente iónica 2 longlife filamentos de iridio, revestido
con itria
560-600 (modo AQ)

-7
Tasa de fuga mínima detectable de 1 x 10 mbar l/s
formigas o helio
Rango de medición 6 décadas
Presión en la cámara de pruebas 1 atm
Constante de tiempo de la tasa de fuga <1s
Condiciones ambientales
560-300, 560-600
Temperatura ambiente (servicio) 10 °C ... 45 °C
Altitud máx. sobre el nivel del mar 2000 m
Campo magnético máx. admisible 7 mT
Humedad relativa del aire máx. superior 50%
a 40 °C
Humedad relativa del aire máx. de 31 °C 80% ... 50% (disminuyendo linealmente)
a 40 °C
Humedad máx. 31°C 80%
Temperatura de almacenamiento -20 °C ... 60 °C
Grado de contaminación II
4.4 Ajustes de fábrica

Parámetros Ajuste de fábrica
-5
Exponente límite superior 1 x 10
Modo de servicio Vacío
1)
AQ
1)
Volumen de la cámara AQ 1 l
1)
Tiempo de medición AQ 10 s
1)
Factor de tiempo cero AQ 4
Dirección módulo de bus 126
Presión de control capilar obstruido 0,4 mbar
– con XL Sniffer Adapter (Low Flow) 0,2 mbar
Presión de control capilar roto 2 mbar
– con XL Sniffer Adapter (Low Flow) 0,6 mbar
Presión de control capilar obstruido
– con XL Sniffer Adapter (High Flow) 150 mbar
Presión de control capilar roto
– con XL Sniffer Adapter (High Flow) 400 mbar

Unidad de presión (interfaz) mbar
Emisión On
-10
Filtro tasa de fuga de conmutación 1 x 10
Filtro tiempo ZERO 5s
Tipo de filtro I•CAL
Proporción de gas en porcentaje H2 (M3, 100 %
1)
He) 5 % H2 (-, 100 % He)
Gas de traza Off
Protocolo módulo I/O ASCII
Solicitud de calibrado On
Factor de calibración VAC/SNIF Mx 1.0
(para vacío, aspiración y todas las
masas)
Selección de cátodos Auto Cat1
Modo de compatibilidad LDS3000
1)
AQ
Config. Salida analógica 1 Mantisa tasa de fuga
Config. Salida analógica 2 Exponente tasa de fuga
Config. Salida analógica escala 0.5 V / década
Configuración salidas digitales Pin 1: Disparador 1, invertido
Pin 2: Disparador 2, invertido
Pin 5: Ready
Pin 6: Error, invertido
Pin 7: CAL request, invertido
Pin 8: Open, invertido
Configuración entradas digitales Pin 1: Select dyn. / normal CAL
Pin 2: Sniff
Pin 3: Start/Stop, invertido
Pin 4: ZERO
Pin 5: External CAL
Pin 6: Internal CAL
Pin 7: Clear
Pin 8: ZERO update
Pin 9: –
Pin 10: –
Unidad de tasa de fuga SNIF, (pantalla e mbar l/s
interfaz)

Unidad de tasa de fuga VAC, (pantalla e mbar l/s
interfaz)
4
Límite superior tasa de fuga VAC 1.0 x 10
(interfaz)
-12
Tasa de fuga límite inferior VAC (interfaz) 1.0 x 10
4
Tasa de fuga límite superior SNIF 1.0 x 10
(interfaz)
-8
Tasa de fuga límite inferior SNIF 1.0 x 10
(interfaz)
Control de ventilador Ventilador siempre conectado
Factor de máquina en Standby Off
Factor de máquina / muestreo 1,0 (para todas las masas)
Masa 4
Módulo en la conexión I/O IO1000
Estado nominal TMP On
-2
Fuga calibrada externa SNIF 9.9 x 10
-2
Fuga calibrada externa VAC 9.9 x 10
-2
Fuga calibrada interna 9.9 x 10
Abrir fuga calibrada interna Off
Detección del conducto de aspiración On
Punta de muestreo tecla ZERO On
Idioma Inglés
Número de revoluciones TMP 1500
1)
1000
-5
Nivel de disparo 1 (2, 3, 4) 1 x 10 mbar l/s
-5 -5 1)
5 x 10 (1 x 10 ) mbar l/s
Comprobación del preamplificador en On
CAL
Mensaje de mantenimiento Off
ZERO al iniciar Off
Modo ZERO Suprimir todo
1) en el modo AQ
INFICON Montaje LDS3000 | 5
5 Montaje LDS3000
5.1 Adaptar la posición de las conexiones a las

condiciones de montaje
Seleccionar la ubicación
Escoja un entorno a ser posible libre de helio para llevar a cabo el procedimiento de
medición. Para obtener mediciones fiables con el aparato, el contenido de helio en el
aire debe ser menor que 10 ppm.
Normalmente, hay 5 ppm (0,0005 %) de helio en el aire.
Montar la caja MSB

Para poder adaptarse de manera óptima a las condiciones de espacio en la posición
de montaje, la caja MSB se puede girar y voltear.
La caja MSB está colocada en dos carriles guía y se puede introducir en la carcasa
desde la izquierda o la derecha. Si es necesario, también se puede girar, de manera
que las rotulaciones se encuentren boca abajo.
Para extraer la caja MSB se necesita soltar el disco de bloqueo.
Si se desea introducir la caja MSB en la carcasa desde el otro lado, también se

necesita apretar el disco de bloqueo en el otro lado de la carcasa. Existe un agujero
roscado previsto para este fin.
Fig. 8: Bloqueo
5 | Montaje LDS3000 INFICON
5.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas

en la instalación de comprobación
El módulo de espectrómetro de masas se puede montar en todas las posiciones.
Fig. 9: Componentes de un elemento de fijación
1 Tornillo Allen M8 x 50 5 Tuerca M8 (autobloqueante)

2 Arandela 6 Bastidor base
3 Cojinete MO 7 Goma amortiguadora
4 Instalación de comprobación 8 Guía caja MSB
Necesita:
- Tuercas autobloqueantes M8
- Llave de boca 13 mm
- Llave Allen 6 mm
- Agujeros para el montaje en la instalación de comprobación
En el estado de entrega, los cojinetes están fijados en el bastidor base con la ayuda
de los tornillos Allen y las tuercas de transporte. Para el montaje del módulo de
espectrómetro de masas, utilice las tuercas autobloqueantes adjuntas, no las tuercas
de transporte.
El fondo debe ser estable.
ADVERTENCIA
Lesiones graves en caso de rotura del módulo de espectrómetro de masas
Si el módulo de espectrómetro de masas no está atornillado lo suficiente, un bloqueo
repentino del rotor de la bomba turbomolecular puede causar la rotura del módulo de
espectrómetro de masas. En este caso se pueden causar lesiones de máxima
gravedad.
► Asegúrese de que la fijación del módulo de espectrómetro de masas pueda

1 Taladre los agujeros pasantes:

– Distancia X: 283 mm
–Distancia Y: 121,5 mm
–Agujero pasante en chapa: Ø 9 mm
–Tornillos de fijación: M8 x 50
2 Desmonte las tuercas de transporte.
3 Coloque el módulo de espectrómetro de masas encima de los agujeros
pasantes y atorníllelo con los elementos de fijación, tal como se muestra en la
imagen superior
5.3 Seleccionar conexión ULTRA, FINE o GROSS

El modo de servicio de la conexión de vacío y el número de revoluciones de la bomba
turbomolecular establecen:
• Tasa de fuga mínima detectable (KnL)
• Presión de entrada admisible en permanencia (pmax)
• Capacidad de aspiración (S)
Los siguientes datos son válidos en caso de uso de helio como gas de prueba.
Para alcanzar la KnL se tienen que cumplir las siguientes condiciones:
• El LDS3000 debe estar en funcionamiento desde hace 20 minutos, como mínimo.
• Las condiciones ambientales deben ser estables (temperatura, ausencia de

vibraciones/choques, entorno limpio)
• El objeto de ensayo tiene que funcionar con ZERO desconectado hasta que la
base sea estable. Solo después se permite activar la función ZERO.
Conexión Número de revoluciones bomba

turbomolecular
1000 Hz 1500 Hz
-12 -11
ULTRA KnL: 5 x 10 mbar l/s 1 x 10 mbar l/s
pmax: 0,2 mbar 0,2 mbar
pmax brevemente (< 3 s): 0,2 mbar 0,4 mbar
S: 5 l/s 6 l/s
-11 -11
FINE KnL: 1 x 10 mbar l/s 5 x 10 mbar l/s
pmax: 0,9 mbar 0,4 mbar
pmax brevemente (< 3 s): 0,9 mbar 0,7 mbar
S: 1,8 l/s 2,5 l/s
-9 -8
GROSS KnL: 1 x 10 mbar l/s 2 x 10 mbar l/s
pmax: 18 mbar 15 mbar
S: en función de la bomba de vacío previo
La superación de la presión de entrada admisible en permanencia genera el mensaje

de advertencia "Sobrecalentamiento TMP".
INDICACIÓN
Daños materiales por golpes de presión
Los golpes de presión que superan la presión admisible máxima causan daños en el
módulo de espectrómetro de masas.
- No se permite superar la presión de admisión máxima.
1 Defina el modo de servicio de la conexión de vacío y el número de revoluciones

de la bomba turbomolecular según las condiciones físicas de vacío de la
instalación de comprobación.
2 Conecte el módulo de espectrómetro de masas a través de las conexiones
"ULTRA", "FINE" o "GROSS" al sistema de vacío de la instalación de
comprobación.
3 Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular.
5.4 Establecer las conexiones de los componentes

1 Conecte el sensor de presión PSG500 a una de las conexiones GROSS/
FOREPUMP.
2 Conectar la bomba de vacío previo a la segunda conexión GROSS/
FOREPUMP.
3 Para el modo de muestreo, conecte el conducto de aspiración a una de las
conexiones FINE/SNIFFER.
4 Si existe, conecte la fuga calibrada interna 560-323 a la segunda brida libre
(FINE o ULTRA) de la conexión de vacío.
En caso de utilizar una válvula de muestreo: Para que el aparato trabaje

correctamente al abrir la válvula de muestreo, no se deben conectar más líneas entre
el bloque de conexión y la válvula de muestreo, así como entre la válvula de muestreo
y el conducto de aspiración.
5.5 Establecer las conexiones eléctricas

La totalidad de las conexiones eléctricas se tienden de y a la caja MSB.
INDICACIÓN
Daños materiales en caso de dimensionado y conexión incorrectos de la
fuente de alimentación
Una fuente de alimentación dimensionada o conectada incorrectamente puede
destruir el aparato.
► Utilice una fuente de alimentación apropiada: Utilice una fuente de alimentación que
suministre una tensión de salida con una separación eléctrica segura, tensión de
salida: 24 V +/-5 %, Intensidad máxima admisible: mín. 8 A
► Con una corriente de cortocircuito de la fuente de alimentación de > 10 A, intercale
un fusible entre la fuente de alimentación y el módulo de espectrómetro de masas.
► Utilice un cable de alimentación eléctrica con una sección transversal suficiente.
1 Monte el cable de alimentación eléctrica de 24 V en la clavija adjunta

(conexiones: +24 V en 1+ y GND en 1-).
2 Conecte el cable de alimentación eléctrica a la hembrilla "24VDC".
3 Conecte la unidad de manejo a la hembrilla "Control Unit".
4 Conecte el módulo I/O o de bus a la "hembrilla I/O".
5 Conecte el sensor de presión PSG500 y, si se utiliza, la fuga calibrada 560-323
al cable de la hembrilla "1". Para la hembrilla 1, consulte "Caja MSB [} 20]".
6 Conecte el conducto de aspiración a la hembrilla "Sniffer".
7 Conecte la válvula de gas de traza a la hembrilla "Output".
INFICON Montaje LDS3000 AQ (acumulación) | 6
6 Montaje LDS3000 AQ (acumulación)
6.1 Adaptar la posición de las conexiones a las

condiciones de montaje
Seleccionar la ubicación
Escoja un entorno a ser posible libre de helio para llevar a cabo el procedimiento de
medición. Para obtener mediciones fiables con el aparato, el contenido de helio en el
aire debe ser menor que 10 ppm.
Normalmente, hay 5 ppm (0,0005 %) de helio en el aire.
Montar la caja MSB

Para poder adaptarse de manera óptima a las condiciones de espacio en la posición
de montaje, la caja MSB se puede girar y voltear.
La caja MSB está colocada en dos carriles guía y se puede introducir en la carcasa
desde la izquierda o la derecha. Si es necesario, también se puede girar, de manera
que las rotulaciones se encuentren boca abajo.
Para extraer la caja MSB se necesita soltar el disco de bloqueo.
Si se desea introducir la caja MSB en la carcasa desde el otro lado, también se

necesita apretar el disco de bloqueo en el otro lado de la carcasa. Existe un agujero
roscado previsto para este fin.
Fig. 10: Bloqueo
6 | Montaje LDS3000 AQ (acumulación) INFICON
6.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas

en la instalación de comprobación
El módulo de espectrómetro de masas se puede montar en todas las posiciones.
Fig. 11: Componentes de un elemento de fijación
1 Tornillo Allen M8 x 50 5 Tuerca M8 (autobloqueante)

2 Arandela 6 Bastidor base
3 Cojinete MO 7 Goma amortiguadora
4 Instalación de comprobación 8 Guía caja MSB
Necesita:
- Tuercas autobloqueantes M8
- Llave de boca 13 mm
- Llave Allen 6 mm
- Agujeros para el montaje en la instalación de comprobación
En el estado de entrega, los cojinetes están fijados en el bastidor base con la ayuda
de los tornillos Allen y las tuercas de transporte. Para el montaje del módulo de
espectrómetro de masas, utilice las tuercas autobloqueantes adjuntas, no las tuercas
de transporte.
El fondo debe ser estable.
ADVERTENCIA
Lesiones graves en caso de rotura del módulo de espectrómetro de masas
Si el módulo de espectrómetro de masas no está atornillado lo suficiente, un bloqueo
repentino del rotor de la bomba turbomolecular puede causar la rotura del módulo de
espectrómetro de masas. En este caso se pueden causar lesiones de máxima
gravedad.
► Asegúrese de que la fijación del módulo de espectrómetro de masas pueda

1 Taladre los agujeros pasantes:

– Distancia X: 283 mm
–Distancia Y: 121,5 mm
–Agujero pasante en chapa: Ø 9 mm
–Tornillos de fijación: M8 x 50
2 Desmonte las tuercas de transporte.
3 Coloque el módulo de espectrómetro de masas encima de los agujeros
pasantes y atorníllelo con los elementos de fijación, tal como se muestra en la
imagen superior
6.3 Seleccionar los componentes y establecer las

conexiones
1
2 3 4 7
6
1
4
11
4
10
8
4
9
4
Fig. 12: Acumulación: Visión general del montaje
1 Cámara de medición con 7 Fuente de alimentación 24 V

ventilador
2 ISO-KF DN16 8 Bomba de vacío previa seca con
alimentación eléctrica separada
3 Módulo de entrada 9 ID de tubo 10
4 Tubo corrugado 10 Conector recto 8 a 10 mm
5 Carácter de final 11 Adaptador a DN16
6 Módulo del espectrómetro de
masas
ü Consta de un módulo del espectrómetro de masas (acumulación) de INFICON, un

tubo corrugado y las conexiones representadas.
ü Dispone de una bomba de vacío previo seca con su propia alimentación eléctrica.
Puede utilizar todas las bombas de vacío secas con un caudal de gas de más de
60 sccm con una presión base de menos de 5 mbar. En estas instrucciones se
describe cómo utilizar la bomba de vacío previa seca de INFICON (número de
catálogo 560-630).
ü Dispone de una cámara de medición apropiada.

La cámara de medición debe ser estanca. El volumen neto, es decir, el volumen de
la cámara de medición menos el volumen del objeto de ensayo debe encontrarse
en el rango entre 0,1 y 10000 litros. La cámara de medición no debería ser más
grande de lo necesario, pero el objeto de ensayo no debe estar en contacto con las
paredes.
La cámara de medición debe contener un ventilador que expulse el aire por el

objeto de ensayo. El helio/formigas que sale a través de la fuga se distribuye
simultáneamente en la cámara de medición a través del ventilador.
Por lo tanto, en los resultados de medición no juega ningún papel si la fuga se
encuentra cerca del cable de medición. El caudal de gas del ventilador deberá ser
de al menos 1 volumen de la cámara de medición por segundo. En tiempos de
medición por debajo de 15 segundos, el caudal de gas del ventilador debe ser de al
menos 2 volúmenes de cámara de medición. El aparato estima un tiempo de
medición adecuado.
Tenga en cuenta que una cámara de medición que sea estanca, pero que no sea
resistente al vacío puede implosionar si continúa drenándose sobrepasando el
tiempo de medición habitual. Véase también «Realizar la medición [} 84]».
1 Conecte el sensor de presión PSG500 a la conexión FINE.
2 Conecte un tubo corrugado con la conexión FINE del módulo del espectrómetro
de masas.
3 Conecte el extremo abierto del tubo corrugado a través el módulo de entrada
con la cámara de medición.
4 Monte un adaptador a DN16 con regulador en la conexión GROSS/FOREPUMP
el módulo espectrómetro de masas.
5 Introduzca la espiga de 8 mm del conector recto del volumen de suministro de
la bomba previa de INFICON (número de catálogo 560-630) en el adaptador.
Fig. 13: Conector recto, 8 a 10 mm
6 Empalme la conexión de 10 mm del conector recto con un ID de tubo de 10 mm

con la bomba previa seca.
7 Establezca la conexión eléctrica de la bomba previa.
Para utilizar la bomba previa de INFICON (número de catálogo 560-630),
proceda como se indica a continuación:
ð Determine si los bornes Plus y Minus del bloque de terminales ya han sido
conectados con cables por el fabricante.
+
-
Fig. 14: Punto de conexión a la bomba previa seca de INFICON
ð En caso afirmativo, conecte los cables Plus y Minus con una fuente de
corriente continua 24 V +/- 10 %, 5 A.
ð En caso contrario, conecte los cables Plus y Minus con virolas 8 mm AWG 18
con aislamiento rojo en los bornes y después conecte los cables con una
fuente de corriente continua, 24 V +/- 10 %, 5 A.
La salida de aire de la bomba de vacío previa debería encontrarse lo más lejos

posible de la cámara de pruebas.
Consulte también
2 Aparato completo (LDS3000 AQ) [} 17]
6.4 Establecer las conexiones eléctricas

La totalidad de las conexiones eléctricas se tienden de y a la caja MSB.
INDICACIÓN
Daños materiales en caso de dimensionado y conexión incorrectos de la
fuente de alimentación
Una fuente de alimentación dimensionada o conectada incorrectamente puede
destruir el aparato.
► Utilice una fuente de alimentación apropiada: Utilice una fuente de alimentación que
suministre una tensión de salida con una separación eléctrica segura, tensión de
salida: 24 V +/-5 %, Intensidad máxima admisible: mín. 8 A
► Con una corriente de cortocircuito de la fuente de alimentación de > 10 A, intercale
un fusible entre la fuente de alimentación y el módulo de espectrómetro de masas.
► Utilice un cable de alimentación eléctrica con una sección transversal suficiente.
1 Monte el cable de alimentación eléctrica de 24 V en el conector (Conexiones:

+24 V en 1+ y GND en 1-).
2 Conecte el cable de alimentación eléctrica a la hembrilla "24VDC".
3 Conecte la unidad de manejo a la hembrilla "Control Unit".
4 Conecte el módulo I/O o de bus a la hembrilla "I/O".
5 Conecte el sensor de presión PSG500 al cable de la hembrilla 1. Para la
hembrilla 1, consulte "Caja MSB [} 20]".
INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7
7 Funcionamiento LDS3000
Puede utilizar el módulo de espectrómetro de masas con los siguientes accesorios:
• Unidad de manejo CU1000
• Módulo de bus BM1000
• Módulo I/O IO1000
Además, el XL Sniffer Adapter y el conducto de aspiración SL3000XL, disponibles

como accesorios, permiten detectar fugas en caso de un límite de detección
empeorado a una distancia mayor del supuesto punto de fuga (funcionamiento en
"High Flow").
Los aparatos LDS3000 AQ también se pueden usar si no se operan en el modo AQ.
Más información sobre la unidad de manejo, los módulos y el XL Sniffer Adapter se

encuentran en los documentos:
• Instrucciones de servicio unidad de manejo CU1000
• Instrucciones de servicio módulo I/O IO1000
• Instrucciones de servicio módulo de bus BM1000
• Instrucciones de servicio XL Sniffer Adapter
• Interface Protocols LDS3000
Las rutas indicadas en los siguientes apartados se refieren al manejo del módulo de
espectrómetro de masas con el panel de mando CU1000. En caso de utilizar el
módulo de bus o el módulo I/O, las acciones se tienen que realizar en el marco del
protocolo empleado.
La indicación de la ruta para la unidad de manejo empieza siempre en el menú

principal.
ADVERTENCIA
Peligro de muerte y daños materiales en caso de condiciones de servicio
inadecuadas
En caso de condiciones de servicio inadecuadas existe peligro de muerte. El aparato
puede sufrir daños.
► Evite cambios de posición repentinos del aparato.
► Evite vibraciones externas y golpes extremos.
7.1 Conectar el aparato

1 Conecte la bomba de vacío previo.
7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON
2 Establezca la alimentación de tensión hacia el módulo de espectrómetro de

masas.
ð El sistema arranca automáticamente.
ð Si un XL Sniffer Adapter y el CU1000 están conectados, después del arranque

se le preguntará si desea ajustar el modo de servicio "XL Sniffer Adapter". Esto
no se aplica en los aparatos en el modo AQ.
Un tiempo de arranque más largo en los aparatos en el modo AQ

Para contrarrestar la distorsión de los resultados de medición por un valor límite
inferior aumentado, el tiempo de calentamiento es de aprox. 10 minutos después de
encenderse.
Antes de determinar el "peak", por ejemplo, espere al menos 60 minutos antes del
calibrado.
Véase también «Realizar la medición [} 84]».
7.2 Ajustes previos

Seleccionar el idioma Seleccione el idioma de visualización. Los ajustes de fábrica están en inglés. (El
display en el mango del conducto de aspiración SL3000XL muestra los mensajes en
inglés en lugar de en ruso y chino.)
Alemán
Inglés
Francés
Italiano
Español
Portugués
Ruso
Chino
Japonés
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Unidad de manejo > Idioma
Protocolo LD Comando 398
Protocolo ASCII *CONFig:LANG
Ajustar fecha y hora Ajustar la fecha

Formato: DD.MM.AA
Unidad de manejo Ajustes > Fecha/hora > Fecha

Protocolo ASCII *HOUR:DATE
Ajustar la hora
Formato hh:mm
Unidad de manejo Ajustes > Fecha/hora > Hora

Protocolo ASCII *HOUR:TIME
7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga

Indicación unidad Selección de la unidad de tasa de fuga en el display para vacío y muestreo
de tasa de fuga
0 mbar l/s (Ajustes de fábrica)
1 Pa m3/s
2 atm cc/s
3 Torr l/s
4 ppm (no VAC, no AQ)
5 g/a (no VAC, no AQ)
6 oz/año (no VAC, no AQ)
7 sccm (solo AQ)
Unidad de Indicación > Unidades (indicación) > Unidad tasa de fuga VAC
manejo (SNIF)
Protocolo LD Comando 396 (vacío)
Comando 396 (muestreo)

Protocolo ASCII Comando *CONFig:UNIT:VACDisplay
Comando *CONFig:UNIT:SNDisplay
Unidad de tasa de fuga Selección de la unidad de tasa de fuga de las interfaces para vacío y muestreo
interfaz
1 Pa m3/s
2 atm cc/s
3 Torr l/s
4 ppm (no VAC)
5 g/a (no VAC)
6 oz/yr (no VAC)
7 sccm (solo AQ)
Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Unidades (interfaz) > Unidad
manejo tasa de fuga VAC (SNIF)

Protocolo ASCII Comando *CONFig:UNIT:LRVac
Comando *CONFig:UNIT:LRSnif
7.4 Seleccionar la unidad para la presión

Unidad de presión Selección de la unidad de presión de las interfaces
interfaz
0 mbar (Ajustes de fábrica)
1 Pa
2 atm
3 Torr
manejo de presión
Protocolo LD Comando 430 (vacío/muestreo)
Protocolo ASCII Comando *CONFig:UNIT:Pressure
7.5 Seleccionar modo de compatibilidad

Para reequipar un sistema de prueba de estanqueidad disponible LDS1000 /
LDS2010 con un LDS3000, active el modo de compatibilidad correspondiente:
• Modo de compatibilidad para LDS1000 o
• Modo de compatibilidad para LDS2010
Al cambiar a un modo de compatibilidad se ponen todos los parámetros en los

ajustes de fábrica y se reinicia el aparato. Se muestra el idioma según los ajustes de
fábrica. Para modificar el idioma, consulte “Ajustes previos [} 40]“.
Si posteriormente desea volver a utilizar el LDS3000 en el modo normal, guarde

antes sus parámetros en una memoria USB, consulte "Guardar y cargar parámetros
[} 60]". Puede volver a cargar los parámetros guardados después de cambiar al
modo de servicio normal.
Modo de compatibilidad para LDS1000
Modo LDS3000
Modo XL Sniffer Adapter
Modo AQ (este modo solo está disponible en aparatos para AQ. Viene predefinido
en aparatos para AQ. Es posible cambiar a otros modos).
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Compatibilidad > Modo de

compatibilidad
Protocolo LD Comando 2594 (dez)
Protocolo ASCII Comando *CONFig:COMP
La siguiente tabla muestra las diferencias funcionales y los puntos en común de

LDS2010 y LDS3000:
LDS2010 LDS3000
Salidas de disparador sin referencia común con referencia común
Otras salidas con referencia común con referencia común
Disparador 1 (LED de muestreo, Activación LED de muestreo, salida Activación LED de muestreo, salida
salida de relé, señal de audio) de audio PWM en la unidad de de audio en la unidad de manejo
manejo para altavoces activos para altavoces activos
Limit-Low/High (puertos serie, Limit Low actúa en todas las Posibilidad de ajuste separado para
display, salida analógica) salidas, Limit High únicamente en protocolos de interfaz, display y
el display salidas analógicas
Gas de traza (3 ajustes) OFF Desconecta la válvula de gas 0 = OFF,
traza del módulo de bombeo. 1 = on, pero gobernable mediante
ON: Conecta la válvula de gas entrada digital en IO1000
traza del módulo de bombeo hasta 2 = on, y no gobernable mediante
la siguiente desconexión de la red. entrada digital en IO1000.
Si "CAL mode" no es igual a 3
(menú 26), la válvula de gas de
traza se puede controlar a través
de la entrada digital DynCAL.
F-ON: Fixed on permite conectar
en permanencia la válvula de gas
traza (a prueba de interrupción de
corriente e independiente de las
entradas digitales).
Modo de control LOCAL, RS232, RS485 Suprimir, el control es posible
simultáneamente desde todos los
puntos de control.
Modo de compatibilidad 9.2 Otras funciones Valores por defecto y mensajes de
LDS1000 error (los valores por defecto se
emiten a través de la interfaz; en la
pantalla táctil aparece el mensaje
origina- -> motivo: el nuevo
hardware puede generar errores
que no existían con las versiones
anteriores)
Corrección de la tasa de fuga en ajustable (sí/no) ajustable (sí/no)
Stand-by (factor máquina)
ZERO al iniciar a partir de V1.02 como LDS2010
Apertura de la válvula de muestreo en SNIF después del arranque en SNIF después del arranque
LDS2010 LDS3000
Número de revoluciones de la solo 2 números de revoluciones ajustable mediante puertos en serie
bomba turbomolecular de 750 Hz hasta 1500 Hz, mediante
panel de mando 1000 Hz y 1500 Hz
Dirección RS485 sí, apto para bus no, no apto para bus
Pulsador de muestreo CON/DES seleccionable seleccionable
Valor por defecto para fuga 1E-15 mbar l/s 9.9E2 mbar l/s
calibrada interna
Valor por defecto ext. Fuga 1E-7 mbar l/s 9.9E2 mbar l/s
calibrada modo VAC/SNIF
Margen de ajuste fuga calibrada 10E-7 1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
interna
Ajuste factor máquina manual manual/automático
Margen de ajuste factor máquina/ Factor máquina: 1E-3...9.9E+3 Factor máquina: 1E-4...1E+5
muestreo Factor de muestreo: 1E-3...9.9E+3 Factor de muestreo: 1E-4...1E+4
Presión: Control del capilar 20 presente, presión ajustable
Salida analógica Características fijas libremente configurable
Solicitud de calibrado Modificación de temperatura del Variación de temperatura del
preamplificador 5 K o 30 min preamplificador 5 K o 30 min. o
número de revoluciones TMP
modificado
Unidades de presión/tasa de fuga sí Unidad de manejo y resto
(VAC/SNIF) para todas las separados
interfaces
Autorizaciones de usuario 3 niveles mediante PIN en el panel 4 niveles mediante unidad de
de mando o interruptor de llave manejo o interruptor de llave
opcional
Interruptor de llave instalado fijamente en caso necesario se puede
conectar externamente, consulte
"Asignar las entradas digitales del
módulo I/O [} 97]" (interruptor de
llave)
7.6 Seleccionar el modo de servicio

El aparato dispone de los siguientes modos de servicio:
• Modo de vacío
• Modo de muestreo
• XL Sniffer Adapter (modo de muestreo con tasa de flujo elevada, se necesita XL

Sniffer Adapter).
El aparato cambia automáticamente al modo de servicio “XL Sniffer Adapter“
cuando conecta un XL Sniffer Adapter.
En LDS3000 AQ, "AQ" viene predefinido.
► Si fuera necesario, puede ajustar "AQ" de nuevo en el "modo de compatibilidad".
Seleccionar el modo de servicio

0 VAC (Vacío)
1 SNIF (Muestreo)
2 Modo de servicio XL Sniffer Adapter
Unidad de manejo Modo de servicio modo de vacío o de muestreo:

Menú principal > Funciones > VAC/SNIF
Modo de servicio XL Sniffer Adapter:

Ajustes > Configurar > Accesorios > XL Sniffer Adapter
Protocolo ASCII Comando *CONFig:MODE
7.7 Seleccionar tipo de gas (masa)

El factor máquina, de calibración y de muestreo depende de la masa ajustada y está
guardado en el módulo de espectrómetro de masas.
2 H2 (hidrógeno, formigas)
3
3 He o hidrógeno deuterizado (HD), no en el modo AQ
4
4 He (helio) (ajustes de fábrica)
Unidad de manejo Ajustes > Masa

Protocolo LD Comando 506 con valor 2 (3, 4)
Protocolo ASCII Comando *CONFig:MASS 2 (3, 4)
En aparatos con el modo AQ, se aplica: Lo más sencillo es modificar el tipo de gas
mediante los asistentes.
7.8 Calibrar el aparato
7.8.1 Momento y ajustes previos generales
INDICACIÓN
Calibración incorrecta debido a una temperatura de funcionamiento
demasiado baja
Si se calibra el aparato cuando está frío, puede suministrar resultados de medición
incorrectos.
► Para una precisión óptima, el aparato debe haber estado encendido por lo menos
20 minutos.
Se recomienda calibrar el aparato una vez por cada turno en el modo de servicio
deseado y para los gases correspondientes. Después se puede cambiar entre los
modos de servicio y gases sin necesidad de realizar una nueva calibración.
También es válido para el uso con XL Sniffer Adapter:
Se debe calibrar el aparato en LOW FLOW y en HIGH FLOW una vez por turno.
Después se puede cambiar entre los flujos sin necesidad de realizar una nueva
calibración.
Además, es necesario calibrar en los casos siguientes:
• Cambio del conducto de aspiración
• Cambio de filtro
• Solicitud de calibración por parte del sistema
Apagar la Durante la calibración el aparato comprueba el preamplificador instalado. Puede

comprobación del desconectar la comprobación del preamplificador. Así la calibración será más rápida,
preamplificador pero disminuirá la fiabilidad.
0 OFF
1 ON
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Módulo MS > Preamplificador >
Comprobación > Comprobación del preamplificador en CAL
Protocolo ASCII Comando *CONFig:AMPTest (ON,OFF)
Activar solicitud de Si la solicitud de calibración está activada, el aparato solicita una calibración en caso
calibración de variaciones de temperatura superiores a 5°C y al cabo de 30 minutos desde la
conexión.
0 OFF
1 ON
Unidad de manejo Funciones > CAL > Ajustes > Solic CAL > Solicitud de
calibrado
o bien
Ajustes > Configurar > Solic CAL > Solicitud de calibrado

Protocolo ASCII *CONFig:CALREQ (ON,OFF)
Advertencia de El mensaje de advertencia Wrn650 "Calibración no recomendada en los primeros 20

calibración Wrn650 minutos" se puede autorizar o suprimir.
0 OFF (suprimido)
1 ON (permitido)
Unidad de manejo Funciones > CAL > Ajustes > Solic CAL > Advertencia de
calibración W650
o bien
Ajustes > Configurar > Solic CAL > Advertencia de

calibración W650
Protocolo ASCII *CONFig:CALWarn ON (OFF)
Particularidades de la Se puede calibrar el aparato en todos los modos de servicio. Se distingue entre
calibración calibración interna y externa.
La calibración interna se puede efectuar con ayuda de la fuga calibrada instalada.

Para una calibración externa se necesita una fuga calibrada separada.
Las calibraciones externas tienen la ventaja de que se pueden efectuar en

condiciones de presión o tiempo de medición iguales a las de la medición posterior.
interna – con fuga calibrada interna

– Autotune (equilibrado de masa)
– Determinación del factor de calibración con la señal
estabilizada de la fuga calibradas
– Comprobación del preamplificador
– Determinación del fondo. Si es necesario, ajustar después
de la calibración el factor máquina o de muestreo, consulte

"Ajustar el factor máquina y de muestreo [} 57]"
– No con el XL Sniffer Adapter
externa – Modo de vacío: con fuga calibrada externa en una
instalación de comprobación
– Modo de muestreo: con fuga calibrada externa
– Consideración de las características de la instalación de
comprobación (presión, proporción de flujo parcial)
– Autotune (equilibrado de masa)
– Determinación del factor de calibración una vez que se
haya estabilizado la señal de la fuga calibrada
– Determinación del fondo
externa - dinámica – con fuga calibrada externa en una instalación de
comprobación
– Consideración de las características de la instalación de
comprobación (presión, proporción de flujo parcial, tiempo
de medición)
– Tiempo de medición conforme al desarrollo dinámico de la
señal
– Determinación del factor de calibración antes de que se
haya estabilizado la señal de la fuga calibrada
– Determinación del fondo
7.8.2 Configurar e iniciar calibración interna

El requisito para la calibración con la fuga calibrada interna es la entrada única de la
tasa de fuga de la fuga calibrada.
Tasa de fuga de la Definición de la tasa de fuga de la fuga que será utilizada para la calibración. Si no
fuga calibrada se introduce este valor, la calibración no es posible.
interna
1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Fuga cal.
int.
o
Funciones > CAL > Ajustes > Fuga cal. int.
Protocolo ASCII Comando *CONFig:CALleak:INT
Abrir/ Abrir/cerrar fuga calibrada. Se realiza automáticamente con la calibración interna. Si

cerrar fuga calibrada la fuga calibrada se abre mediante la unidad de manejo o la interfaz, no se puede
realizar una calibración interna. En este caso, primero se debe volver a cerrar la
fuga calibrada.
0 Cerrado
1 Abierto
Unidad de manejo Funciones > Válvulas > Abrir fuga calibrada interna
Protocolo ASCII Comando *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF)
► Iniciar la calibración
Unidad de manejo: Funciones > CAL > interna
Protocolo LD: 4, Parámetro 0
Protocolo ASCII: *CAL:INT
IO1000: CAL interna, consulte "Ajustes para el módulo I/O IO1000 [} 89]"
ð La calibración se realiza automáticamente.
7.8.3 Configurar e iniciar calibración externa

El requisito para la calibración con la fuga calibrada externa es la entrada única de la
tasa de fuga de la fuga calibrada y una fuga calibrada abierta.
En el modo de vacío, la fuga calibrada se monta en la instalación de comprobación y

se abre antes de la calibración.
En el modo de muestreo se aspira con un conducto de aspiración en la fuga

calibrada, abierta en permanencia.
Tasa de fuga, fuga Definición de la tasa de fuga de la fuga que será utilizada para la calibración. Si no
calibrada se introduce este valor, la calibración no es posible.
externa vacío
Para cada gas (masa) se tiene que ajustar una tasa de fuga específica.
1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Unidad de manejo Ajustes > Configurar >Modos de servicio > Vacío > Fuga cal.
ext. > Masa 2 (3, 4) > Fuga calibrada externa VAC H2 (M3,
He)
o bien
Funciones > CAL > Ajustes > Fuga cal. ext. (para la masa
actual en la unidad seleccionada)
Protocolo ASCII Comando *CONFig:CALleak:EXTVac (para la masa actual en
la unidad seleccionada)
Tasa de fuga calibrada Definición de la tasa de fuga de la fuga que será utilizada para la calibración. Si no
– externa muestreo se introduce este valor, la calibración no es posible.
Para cada gas (masa) se tiene que ajustar una tasa de fuga específica.
1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Fuga
cal. ext. > Masa 2 (3, 4) > Fuga calibrada externa SNIF H2
(M3, He)
o bien
Funciones > CAL > Ajustes > Fuga cal. ext. (para la masa
actual en la unidad seleccionada)
Protocolo ASCII Comando *CONFig:CALleak:EXTSniff (para la masa actual
en la unidad seleccionada)
► Protocolo LD y ASCII: el desarrollo se tiene que consultar a través de: Comando

260 o *STATus:CAL
1 Abra la fuga calibrada externa o coloque el conducto de aspiración junto a la
fuga calibrada.
2 Inicie la medición.
3 Espere hasta que la señal de la tasa de fuga se haya estabilizado.
4 Iniciar la calibración:
Unidad de manejo: Funciones > CAL > externa
Protocolo ASCII: *CAL:EXT
IO1000: véase la imagen siguiente.
ð Solicitud "Cerrar fuga calibrada"

5 Modo de vacío: Cerrar la fuga calibrada en la instalación de comprobación.
Modo de muestreo: Retire el conducto de aspiración de la fuga calibrada.
ð La señal de tasa de fuga desciende.

6 Confirme el valor medido de fondo estable:
Unidad de manejo: "OK"
Protocolo ASCII: *CAL:CLOSED
IO1000: véase la figura siguiente.
ð La calibración está terminada cuando:

Unidad de manejo: Se muestra el factor de calibración viejo y el nuevo
Protocolo LD: LD comando 260 da 0 (READY)
Protocolo ASCII: Comando *STATus:CAL? da IDLE
IO1000 véase la figura siguiente.
Fig. 15: Calibración externa con IO1000 en el ejemplo del conducto de aspiración SL3000XL,
descripción de las entradas y salidas de PCL, consulte "Asignar entradas y salidas [} 90]"
7.8.4 Iniciar la calibración dinámica externa

Para tener en cuenta condiciones de tiempo y presión especiales en un sistema de
prueba, se puede efectuar una calibración dinámica. En este modo de calibración no
se realiza autotune. El tiempo entre la apertura de la fuga calibrada externa y la
activación de la calibración se puede elegir de tal forma que se ajuste de forma
óptima al procedimiento de medición normal de la instalación.
Prerrequisitos: Entrada única de la tasa de fuga de la fuga calibrada y una fuga

calibrada abierta, consulte "Configurar e iniciar calibración externa [} 50]".
Protocolo LD y ASCII: el desarrollo se tiene que consultar a través de: Comando 260
o *STATus:CAL?

fuga calibrada.
2 Inicie la medición.
3 Espere hasta el momento en el que la señal de la tasa de fuga se ajuste de
forma óptima al procedimiento de medición normal de la instalación.
4 Iniciar la calibración:
Unidad de manejo: Funciones > CAL > dinámica
Protocolo ASCII: *CAL:DYN


6 Confirme el valor de limite inferior:
ð La calibración está terminada cuando:

Unidad de manejo: Se muestra el factor de calibración viejo y el nuevo
Protocolo LD: LD comando 260 da 0 (READY)
Protocolo ASCII: Comando *STATus:CAL? da IDLE
IO1000 véase la figura siguiente.
Fig. 16: Fig. 7 Calibración externa dinámica con IO1000 en el ejemplo del conducto de
aspiración SL3000XL, descripción de las entradas y salidas de PCL, consulte "Asignar entradas
y salidas [} 90]"
7.8.5 Calibración externa con el conducto de aspiración

SL3000XL
El procedimiento corresponde al de una calibración externa o externa dinámica en el
modo de muestreo.
Low Flow y High Flow se tienen que calibrar por separado.
Para garantizar la calibración óptima con hidrógeno o formigas para Low Flow y High
Flow, la fuga calibrada debe cumplir los siguientes requisitos:
-4
– 100 % H2: TF > 1 x 10
-3
– Formigas (95/5): TF > 2 x 10
Para la calibración recomendamos nuestra fuga calibrada con el número de catálogo

12322.
7.8.6 Comprobar calibración

Para comprobar si una calibración es necesaria, puede comprobar las existentes.
7.8.6.1 Comprobar calibración con fuga calibrada interna

Esta prueba solamente es posible con el ajuste "Masa 4".
► Iniciar comprobación:
Unidad de manejo: Funciones > CAL >Compr.int.
Protocolo ASCII: *CAL:PROOFINT
IO1000: Comprobación CAL interno, consulte "Ajustes para el módulo I/O IO1000
[} 89]"
ð La prueba se realiza automáticamente.
7.8.6.2 Comprobar calibración con fuga calibrada externa

► Protocolo LD y ASCII: el desarrollo se tiene que consultar a través de: Comando
260 o *STATus:CAL
fuga calibrada.
2 Espere hasta que la señal de la tasa de fuga se haya estabilizado.
3 Iniciar comprobación:
Unidad de manejo: Funciones > CAL > Compr.ext.
Protocolo ASCII: *CAL:PROOFEXT
IO1000 compare la figura en "Configurar e iniciar calibración externa [} 50]".


5 Confirme el valor medido de fondo estable:
IO1000 compare la figura en "Configurar e iniciar calibración externa [} 50]".
ð La prueba está terminada cuando:

Unidad de manejo: Se muestra el resultado de la prueba
Protocolo LD: Como en los otros pasos, se tiene que consultar el desarrollo
Protocolo ASCII: Como en los otros pasos, se tiene que consultar el desarrollo
IO1000 compare la imagen en "Configurar e iniciar calibración externa [} 50]".
7.8.7 Introducir el factor de calibrado

Normalmente se fija el factor de calibración mediante la rutina de calibración
correspondiente. Por tanto, normalmente no es necesario ajustar el factor de
calibración manualmente.
¡Un factor de calibración mal ajustado inevitablemente provoca una visualización

incorrecta de la tasa de fuga!
7.8.7.1 Factor de calibrado muestreo

Entrada de los factores de calibrado para masa 2, 3, 4 en Low Flow y en High Flow.
Los valores se sobrescriben en la siguiente calibración.
Los ajustes "High Flow" o XL solo están disponibles en el modo de servicio "XL
Sniffer Adapter".
El factor de calibrado para Low Flow también es válido para aplicaciones de

muestreo que no se realizan en el modo de servicio "XL Sniffer Adapter".
Los factores de calibración se separan en función de la masa y se administran
según "High Flow" y "Low Flow".
0,01 … 100
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear >
Fac.calib. > Masa 2 (3, 4, 2XL, 3XL, 4XL) > Factor de calibrado
SNIF H2 (M3, He, XL H2, XL M3, XL He)
Protocolo LD Comando 519, 521
Protocolo ASCII Comando *FACtor:CALSniff y *FACtor:CALSXL para la masa
actual
7.8.7.2 Factor de calibrado vacío

También se aplica en los aparatos en el modo AQ.
Entrada de los factores de calibrado para masa 2, 3, 4.

0,01 … 5000
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Fac.calib.
>Masa 2 (3, 4) > Factor de calibrado VAC H2 (M3, He)
Protocolo ASCII Comando *FACtor:CALVac
7.8.8 Ajustar el factor máquina y de muestreo

La calibración interna calibra únicamente el sistema de medición del módulo de
espectrómetro de masas que se encuentra desacoplado de la instalación de
comprobación. En cambio, si, después de una calibración interna, el sistema de
medición se utiliza paralelamente a un sistema de bomba adicional (según el principio
de flujo parcial), el sistema de medición indica una tasa de fuga demasiado pequeña,
conforme a la proporción de flujo parcial. Con la ayuda de un factor máquina corrector
para el modo de vacío y un factor de muestreo para el modo de muestreo, el sistema
de medición indica la tasa de fuga efectiva. Con los factores se considera, por lo
tanto, la relación de la capacidad de aspiración efectiva del sistema de medición en
comparación en la capacidad de aspiración del sistema de medición en la instalación
de comprobación.
7.8.8.1 Ajuste manualmente el factor máquina y de muestreo

ü Módulo de espectrómetro de masas calibrado internamente.
1 Mida la fuga calibrada externa con la instalación de comprobación.
ð El aparato indica una tasa de fuga demasiado pequeña, conforme a la

proporción de flujo parcial.
2 Ajustar el factor máquina o de muestreo, ver abajo.
ð El aparato indica la tasa de fuga efectiva.

Ajustar el factor
máquina
Aparatos en el modo AQ:

El factor máquina "1" viene por defecto. Este ajusta no se puede modificar.
Corrige una posible desviación entre el calibrado interno y externo en el modo de

vacío.
Sin la opción de fuga calibrada interna debería ajustarse al valor 1,00. Al cambiar el
valor se indica la tasa de fuga resultante del cambio. De este modo se facilita el
ajuste.
Rango de valores 1E-4...1E+5
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Factor
máquina > Masa 2 (3, 4) > Factor máquina VAC H2 (M3, He)
Protocolo ASCII Comando *FACtor:FACMachine
Ajustar el factor de Corrige una posible desviación entre el calibrado interno y externo en el modo de
muestreo muestreo
F.muestreo > Masa 2 (3, 4) > Factor de muestreo H2 (M3, He)
Protocolo ASCII Comando *FACtor:FACSniff
7.8.8.2 Ajustar el factor máquina y de muestreo a través de la calibración

de la máquina
ü Fuga calibrada interna conectada.
ü Fuga calibrada externa montada en la instalación de comprobación montada y

cerrada.
ü Se han introducido las tasas de fuga de la fuga calibrada interna y externa.
ü Protocolo LD y ASCII: el desarrollo se tiene que consultar a través de: Comando

260 o *STATus:CAL
1 Inicie la calibración de la máquina.
Unidad de manejo: Funciones > CAL > Máquina (punta de muestreo)
Protocolo ASCII: *CAL:FACtor_Machine, *CAL:FACtor_Snif
IO1000 consulte la imagen en "Configurar e iniciar calibración externa [} 50]"
ð La calibración interna se realiza automáticamente.
ð Solicitud "Abrir fuga calibrada" (fuga calibrada externa).

2 Abra la fuga calibrada externa y la válvula (si existe) entre el detector de fugas y
la instalación.
3 Confirme la señal de tasa de fuga estabilizada.
Protocolo ASCII: *CAL:ACKnowledge
ð Solicitud "Cerrar fuga calibrada" (fuga calibrada externa).

4 Cierre la fuga calibrada externa. Deje abierta la válvula existente.
5 Confirme la señal de tasa de fuga estabilizada.

ð Se ha determinado el factor máquina o de muestreo.
7.9 Iniciar y parar la medición

Conmuta entre los modos de medición y Standby
START = Standby --> Medición
STOP = Medición --> Standby
Unidad de manejo Funciones > Start/Stop

Protocolo LD Comando 1, 2
Protocolo ASCII Comando *STArt, *STOp
Durante la medición Durante el standby

ZERO es posible. ZERO no es posible.
Las salidas de disparador conmutan en Las salidas de disparador emiten: Valor
función de la tasa de fuga y del umbral umbral de tasa de fuga sobrepasado.
de disparo.
El muestreo es posible. El muestreo no es posible.
Al activar la entrada digital CAL se inicia Al activar la entrada digital CAL se inicia
una calibración externa. una calibración interna.
Activar/ desactivar la En el modo de vacío, el factor máquina se puede activar o desactivar en la

corrección de la tasa corrección de la tasa de fuga para Standby. En el modo de muestreo se cierra la
de fuga en Standby válvula de muestreo en Standby. Por este motivo se suprime el factor de muestreo
con este ajuste.
0 OFF (el factor máquina no se tiene en cuenta en Standby.)
1 ON (el factor máquina se tiene en cuenta en Standby.)
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Corr. TF > Fact
máquina en Standby
Protocolo ASCII –
7.10 Guardar y cargar parámetros

Para salvar y restaurar los parámetros de la unidad de manejo y del módulo de
espectrómetro de masas se puede utilizar un lápiz USB en el CU1000.
Guardar parámetros:
► "Funciones > Datos > Parámetro > Cargar > Guardar parámetros"
Cargar parámetros:
ü El modo de compatibilidad ajustado debe coincidir con el modo de compatibilidad

en el archivo de parámetros. Véase también Seleccionar modo de compatibilidad
[} 43].
► "Funciones > Datos > Parámetro > Cargar > Cargar parámetros"
7.11 Copiar datos de medición, borrar datos de

medición
Los datos se pueden guardar con el CU1000 en un lápiz USB.
• "Funciones > Datos > Registrador > Copiar > Copiar archivos"
Los datos de medición se pueden borrar en el CU1000.
• "Funciones > Datos > Registrador > Borrar > Borrar archivos"
7.12 Suprimir límites inferiores de gas con las

funciones "ZERO"
Con "ZERO" se pueden suprimir fondos de helio no deseados. Al activar "ZERO", el
valor medido actual para la tasa de fuga se toma como fondo de helio y se deduce de
todos los valores medidos posteriores. El valor de fondo que es suprimido por "ZERO"
se adapta automáticamente cuando se reduce el límite inferior en el aparato. El valor
de fondo se adapta automáticamente en función del tiempo de ZERO ajustado,
excepto con el ajuste de filtro I•CAL, ver "Representación de resultados de medición
con filtros de señales [} 61]".
Activar y desactivar Activar/desactivar ZERO

"ZERO"
0 On
1 Off
Unidad de Función > ZERO > ZERO

manejo
Protocolo ASCII Comando "ZERO"
Activar y desactivar ZERO al iniciar suprime el fondo de helio automáticamente al iniciar una medición.
"ZERO al iniciar"
0 On
1 Off
Unidad de Ajustes > ZERO/filtro > ZERO > ZERO al iniciar

manejo
Protocolo ASCII Comando *CONFig:ZEROSTART
Ajustar el Se establece el grado del fondo de helio suprimido de ZERO (solo con el filtro "fijo" y
modo ZERO "2 niv").
0 todas las décadas
1 1 – 2 décadas
2 2 – 3 décadas
3 2 décadas
4 3 – 4 décadas
5 Se suprimen 19/20 del fondo de helio
Unidad de Ajustes > ZERO/filtro > ZERO >Modo ZERO

manejo
Protocolo ASCII Comando *CONFig:DECADEZero
Desactivar la tecla Al desactivar la tecla ZERO (ajuste del ZERO) se evita que se influya
ZERO en la punta de accidentalmente en la medición.
muestreo
0 On
1 Off
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Punta de
manejo muestreo > Pulsador > Pulsador ZERO de muestreo
Protocolo ASCII Comando *CONFig:BUTSniffer
7.13 Representación de resultados de medición con

filtros de señales
Seleccionar filtros de Con los filtros de señal se puede influir en la visualización de la tasa de fuga en
señales cuanto a la pendiente de frentes y el nivel de ruido.
– Para el modo "Vacío" se suele seleccionar el filtro de señales I•CAL.
– Para el modo "Husmear" se suele seleccionar el filtro de señales I.
– Si el filtro de señales debe imitar el comportamiento temporal de los aparatos

antiguos, se elige el filtro "Fijo" o "2 niv".
I•CAL Las tasas de fuga son promediadas en intervalos de tiempo
optimizados en función del margen de tasa de fuga. El
algoritmo usado ofrece una sensibilidad y tiempo de reacción
excelentes. Se recomienda expresamente la utilización de este
ajuste.
fijo Las tasas de fuga son promediadas con un tiempo fijo de 0,2
segundos.
2 niveles El filtro es compatible con LDS1000 y LDS2000. El tiempo de
promediación se conmuta en función de la tasa de fuga de
conmutación del filtro.
I-Filter Filtro optimizado para el modo de muestreo.
(ajuste por defecto con XL Sniffer Adapter Set)

I-Filter supr. flancos Como el I-Filter, pero con supresión de flancos adicional. La
supresión de flancos corrige los cambios de los valores de
medición durante la fase en caliente.
Unidad de manejo Ajustes > ZERO/filtro > Filtro > Tipo de filtro
Protocolo ASCII Comando *CONFig:FILTER
Ajustar la tasa de fuga Fondo de tasa de fuga para la duración de la promediación en mbar l/s. Por debajo
de conmutación del de este valor, la duración de la promediación es de 10,24 s. Por encima de este
filtro valor, la duración de la promediación es de 160 ms. El ajuste solamente es válido
para el filtro "2 niv".
1E-11 ... 9.9E-3
Unidad de manejo Ajustes > ZERO/filtro > Ajustes filtro > 2 niveles
Protocolo ASCII Comando *CONFig:LRFilter
Ajustar el tiempo Intervalo de actualización para el valor de offset con señal de tasa de fuga negativa
de filtro ZERO (salvo para el filtro I•CAL).
Resolución 0,1 s (50 = 5,0 s)
Unidad de manejo Ajustes > ZERO/filtro > Ajustes filtro > Tiempo ZERO
Protocolo ASCII Comando *CONFig:ZEROTIME
7.14 Control de la válvula de gas de traza de la

bomba de vacío previo
El módulo de espectrómetro de masas puede controlar a través de la conexión
"Output" una válvula de gas de traza eléctrica de 24 V de la bomba de vacío previo.
Control de la Controle la válvula de gas de traza a través de salidas digitales.

válvula de gas de traza
0 Off
1 On
2 On permanente
Unidad de manejo Funciones > Válvula > Gas de traza

Protocolo ASCII –
7.15 Seleccionar límites de indicación

Límites de indicación Reducción y aumento de los límites de indicación:
Si ninguna tasa de fuga es de interés para su aplicación, un incremento de los
límites de indicación puede facilitar la evaluación de la indicación de la tasa de fuga.
– hasta 15 décadas en VAC
– hasta 11 décadas en SNIF
– hasta 8 décadas en el modo AQ
Si por un ajuste inadecuado, el área útil es de menos de una década, el límite

superior se desplaza hasta que sigue siendo visible una década.
Indicación: En la unidad de manejo se muestran los límites de indicación actuales al

ajustar entre ambos parámetros de ajuste. Mediante el protocolo LD se pueden leer
los límites de indicación actuales con el comando 399.
Unidad de Visualización > Límites de visualización

manejo
Protocolo ASCII Comando: *CONFig:DISPL_LIM:HIGH
Comando: *CONFig:DISPL_LIM:LOW
7.16 Ajustar valores de disparo

El módulo de espectrómetro de masas posee cuatro valores de disparo
independientes. Si la tasa de fuga medida sobrepasa los valores de disparo
ajustado, se activan las salidas digitales correspondientes del IO1000.
Además, se resalta ópticamente en la unidad de manejo la superación del Valor de
disparo 1.
En el modo AQ, el cálculo para del tiempo de medición recomendado se refiere al

valor de disparo 1.
1/2/3/4
Unidad de Ajustes > Disparador > Valor disparo 1 (2, 3, 4) > Nivel de disparo
manejo
Protocolo ASCII Comando *CONFig:TRIGger1 (2, 3, 4)
7.17 Ajustar el control del capilar

Valor de presión Para detectar una obstrucción del capilar de 25/300 sccm, se ajusta un valor de
capilar obstruido presión mínima. Si se desciende por debajo de este valor, el sistema emite el
mensaje de advertencia 540. En caso de fuerte rebase hacia abajo se emite el
mensaje de error 541.
1E-3 ... 18 mbar
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio >Husmear > Capilar
manejo Obstruido > Presión capilar obstruido
Protocolo ASCII Comando *CONFig:PRESSLow
Valor de presión Para detectar una interrupción del capilar de 25/300 sccm, se ajusta un valor de
capilar presión máxima. Si se supera este valor, el sistema emite el mensaje de advertencia
roto 542.
1E-3 ... 18 mbar
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Capilar
manejo Roto > Presión capilar roto
Protocolo ASCII Comando *CONFig:PRESSHigh
Detección de la Detección automática de la ausencia de un conducto de aspiración. Esta función se

ausencia de un debería desactivar si se utiliza un conducto de aspiración que no se detecta
conducto de aspiración automáticamente.
0 On
1 Off
manejo muestreo > Mensajes > Detección conducto de aspiración
Protocolo ASCII –
7.18 Ajuste el número de revoluciones de la bomba

turbomolecular
Número de En algunas aplicaciones puede tener sentido reducir el número de revoluciones de la
revoluciones de la bomba turbomolecular para aumentar la sensibilidad del aparato. Sin embargo, así se
bomba turbomolecular disminuye la presión de admisión máxima permitida en las conexiones GROSS, FINE
y ULTRA. ¡Después de modificar el número de revoluciones es necesario realizar una
nueva calibración!
En aparatos con el modo AQ, se aplica: No modifique los 1000 Hz ajustados.
Número de revoluciones de la bomba turbomolecular en hertzios

1000
1500
Unidad de Ajustes > Configurar > Módulo MS > TMP > Ajustes > TMP No. de
manejo revoluciones
Protocolo LD 501
Protocolo ASCII *CONFig:SPEEDTMP
7.19 Selección del cátodo

Selección de un cátodo El espectrómetro de masas tiene dos cátodos. En los ajustes de fábrica el aparato
usa el cátodo 1. Si este está defectuoso, el aparato cambia automáticamente a otro
cátodo.
Con este ajuste es posible seleccionar un cátodo determinado.
0 CAT1
1 CAT2
2 Auto Cat1 (conmutación automática al cátodo 2, ajustes de fábrica)
3 Auto Cat2 (conmutación automática al cátodo 1)
4 OFF
Unidad de Ajustes > Configurar > Módulo MS > Fuente iónica > Selección de
manejo cátodos
Protocolo LD 530
Protocolo ASCII *CONFig:CAThode *STATus:CAThode
7.20 Ajustes para el XL Sniffer Adapter

Para el uso con XL Sniffer Adapter debe
– utilizar el conducto de aspiración SL3000XL,
– seleccionar el modo de servicio "XL Sniffer Adapter", consulte "Seleccionar el modo

de servicio [} 45]".
Función tecla derecha Activación y desactivación de la tecla derecha del conducto de aspiración SL3000XL
pulsador de muestreo (conmutación entre Low Flow y High Flow). Desactivando la tecla se evita la
influencia accidental en la medición.
manejo muestreo > Pulsador > Punta de muestreo pulsador flujo
Protocolo ASCII Comando *CONFig:HFButton
Función Search Con la función Search activada, la alarma se conecta automáticamente con el Valor
de disparo 2 en cuanto se conmuta a High Flow.
• Función Search desconectada: Alarma, cuando se supera el Valor de disparo 1.
• Función Search conectada y funcionamiento en Low Flow: Alarma, cuando se

supera el Valor de disparo 1.
• Función Search conectada y funcionamiento en High Flow: Alarma, cuando se

supera el Valor de disparo 2.
0 Off
1 On
Unidad de Ajustes > Disparador > Search

manejo
Protocolo ASCII Comando *CONFig:SEARch
En el SL3000XL la barra de la tasa de fuga, el cambio de la iluminación de fondo, el

zumbador y el cambio de la iluminación de la punta de aspiración dependen del
disparo.
LED de la punta de Ajuste de la luminosidad de los LED previstos para la iluminación del punto a
muestreo: examinar. Este ajuste se refiere al proceso de medición sin configuración de alarmas
Luminosidad de LED; ver abajo.
Desde "0" (OFF) hasta 6 (máx.)
manejo muestreo > LED > Punta de muestreo LED Luminosidad
Protocolo ASCII Comando *CONFig:BRIGHTness
LED de la punta de Comportamiento de los LED en la punta de muestreo si se supera el valor de

muestreo: disparo 1.
Configuración de
Off Ninguna reacción
alarma
Parpadeo Los LED parpadean
Más claro Los LED se encienden con la máxima luminosidad.
manejo muestreo > LED > Punta de muestreo LED Config. alarma
Protocolo ASCII Comando *CONFig:LIGHTAlarm
Zumbador punta de Comportamiento del zumbador en la punta de muestreo en caso de superación del
muestreo: valor de disparo.
Configuración de
Off Ninguna reacción
alarma
Disparador Señal acústica/alarma vibratoria
manejo muestreo > Zumbador > Punta de muestreo zumbador
Protocolo ASCII Comando *CONFig:BEEP
Indicación de la En el muestreo con formigas se utiliza hidrógeno. Con este dato se tiene en cuenta
proporción de la proporción de hidrógeno. De esta manera, la tasa de fuga indicada se incrementa
hidrógeno en el factor correspondiente. La proporción de gas también se puede ajustar para
los gases (M3, He).
0 ... 100%
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear >
manejo Proporción de gas > Masa 2 > Proporción de gas en % H2
Protocolo ASCII Comando *CONFig:PERcent
Intervalo Auto Standby Define el intervalo de tiempo en minutos hasta la activación de Standby. Cuando el
aparato trabaja en High Flow, los filtros del conducto de aspiración se ensucian
antes. Para reducir el desgaste, Auto Standby conmuta a Low Flow. Al mover el
conducto de aspiración, se vuelve a activar automáticamente el flujo seleccionado
anteriormente.
Desde "0" (OFF) hasta 60 (máx.)
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Auto
manejo Standby > Intervalo Auto Standby
Protocolo ASCII Comando *CONFig:STANDBYDel
Valor de presión Para detectar una obstrucción del capilar XL (High Flow, 3000 sccm), se ajusta un
capilar XL obstruido valor de presión mínima. Si se desciende por debajo de este valor, el sistema emite
(High Flow) el mensaje de advertencia 550. En caso de fuerte rebase hacia abajo se emite el
mensaje de error 551.
100 ... 300 mbar
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Capilar >
manejo Obstruido XL > Presión capilar obstruido XL
Protocolo ASCII Comando *CONFig:PRESSXLLow
Valor de presión Para detectar una interrupción del capilar XL (High Flow, 3000 sccm), se ajusta un
capilar XL roto (High valor de presión máxima. Si se supera este valor, el sistema emite el mensaje de
Flow) advertencia 552.
200 ... 600 mbar
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Capilar >
manejo Roto XL > Presión capilar roto XL
Protocolo ASCII Comando *CONFig:PRESSXLHigh
Seleccionar flujo Seleccione Low Flow o High Flow. Nota: La selección se puede realizar con la tecla
derecha de la punta de muestreo o asignar a una de las teclas de favoritos en la
unidad de manejo.
Pequeño (Low Flow)
Grande (High Flow)
Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Flujo > Control flujo o
manejo Funciones > Flujo > Control flujo
Protocolo ASCII Comando *CONFig:Highflow
7.21 Resetear los ajustes

Módulo de Es posible restaurar los ajustes de fábrica del módulo de espectrómetro de masas.
espectrómetro de
0 Cargar ajustes de fábrica
masas
10 Resetear los ajustes para el modo de compatibilidad LDS1000
12 Resetear los ajustes para el XL Sniffer Adapter Mode
Unidad de Funciones > Datos > Parámetros > Resetear >Ajustes de unidad
manejo de manejo
Funciones > Datos > Parámetros > Resetear > Ajustes MSB
Funciones > Datos > Parámetros > Resetear > Parámetros
permiso
Protocolo ASCII Comando *RST:FACTORY
Comando *RST:SL3000
En aparatos con el modo AQ, se aplica: Con la carga del módulo AQ se cargan de
nuevo los ajustes de fábrica del modo AQ, véase también Seleccionar modo de
compatibilidad [} 43].
8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON
8 Modo de servicio LDS3000 AQ

(acumulación)
8.1 Conectar el aparato

1 Conecte la bomba de vacío previo.
2 Establezca la alimentación de tensión hacia el módulo de espectrómetro de
masas.
ð El sistema arranca automáticamente.
ð Si un XL Sniffer Adapter y el CU1000 están conectados, después del arranque

se le preguntará si desea ajustar el modo de servicio "XL Sniffer Adapter". Esto
no se aplica en los aparatos en el modo AQ.
Un tiempo de arranque más largo en los aparatos en el modo AQ

Para contrarrestar la distorsión de los resultados de medición por un valor límite
inferior aumentado, el tiempo de calentamiento es de aprox. 10 minutos después de
encenderse.
Antes de determinar el "peak", por ejemplo, espere al menos 60 minutos antes del
calibrado.
Véase también «Realizar la medición [} 84]».
8.2 Ajustes previos

Seleccionar el idioma Seleccione el idioma de visualización. Los ajustes de fábrica están en inglés. (El
display en el mango del conducto de aspiración SL3000XL muestra los mensajes en
inglés en lugar de en ruso y chino.)
Alemán
Inglés
Francés
Italiano
Español
Portugués
Ruso
Chino
Japonés
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Unidad de manejo > Idioma
INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8
Protocolo ASCII *CONFig:LANG
Ajustar fecha y hora Ajustar la fecha

Formato: DD.MM.AA
Unidad de manejo Ajustes > Fecha/hora > Fecha

Protocolo ASCII *HOUR:DATE
Ajustar la hora
Formato hh:mm
Unidad de manejo Ajustes > Fecha/hora > Hora

Protocolo ASCII *HOUR:TIME
8.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga

Indicación unidad Selección de la unidad de tasa de fuga en el display para vacío y muestreo
de tasa de fuga
1 Pa m3/s
2 atm cc/s
3 Torr l/s
4 ppm (no VAC, no AQ)
5 g/a (no VAC, no AQ)
6 oz/año (no VAC, no AQ)
7 sccm (solo AQ)
Unidad de Indicación > Unidades (indicación) > Unidad tasa de fuga VAC
manejo (SNIF)

Protocolo ASCII Comando *CONFig:UNIT:VACDisplay
Comando *CONFig:UNIT:SNDisplay
Unidad de tasa de fuga Selección de la unidad de tasa de fuga de las interfaces para vacío y muestreo
interfaz
1 Pa m3/s
2 atm cc/s
3 Torr l/s
4 ppm (no VAC)
5 g/a (no VAC)
6 oz/yr (no VAC)
7 sccm (solo AQ)
manejo tasa de fuga VAC (SNIF)

Protocolo ASCII Comando *CONFig:UNIT:LRVac
Comando *CONFig:UNIT:LRSnif
8.4 Seleccionar la unidad para la presión

Unidad de presión Selección de la unidad de presión de las interfaces
interfaz
0 mbar (Ajustes de fábrica)
1 Pa
2 atm
3 Torr
manejo de presión
Protocolo LD Comando 430 (vacío/muestreo)
Protocolo ASCII Comando *CONFig:UNIT:Pressure
8.5 Seleccionar modo de compatibilidad

Para reequipar un sistema de prueba de estanqueidad disponible LDS1000 /
LDS2010 con un LDS3000, active el modo de compatibilidad correspondiente:
• Modo de compatibilidad para LDS1000 o
• Modo de compatibilidad para LDS2010
Al cambiar a un modo de compatibilidad se ponen todos los parámetros en los

ajustes de fábrica y se reinicia el aparato. Se muestra el idioma según los ajustes de
fábrica. Para modificar el idioma, consulte “Ajustes previos [} 70]“.
Si posteriormente desea volver a utilizar el LDS3000 en el modo normal, guarde

antes sus parámetros en una memoria USB, consulte "Guardar y cargar parámetros
[} 85]". Puede volver a cargar los parámetros guardados después de cambiar al
modo de servicio normal.
Modo LDS3000
Modo XL Sniffer Adapter
Modo AQ (este modo solo está disponible en aparatos para AQ. Viene predefinido
en aparatos para AQ. Es posible cambiar a otros modos).
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Compatibilidad > Modo de

compatibilidad
Protocolo LD Comando 2594 (dez)
Protocolo ASCII Comando *CONFig:COMP
La siguiente tabla muestra las diferencias funcionales y los puntos en común de

LDS2010 y LDS3000:
LDS2010 LDS3000
Salidas de disparador sin referencia común con referencia común
Otras salidas con referencia común con referencia común
Disparador 1 (LED de muestreo, Activación LED de muestreo, salida Activación LED de muestreo, salida
salida de relé, señal de audio) de audio PWM en la unidad de de audio en la unidad de manejo
manejo para altavoces activos para altavoces activos
Limit-Low/High (puertos serie, Limit Low actúa en todas las Posibilidad de ajuste separado para
display, salida analógica) salidas, Limit High únicamente en protocolos de interfaz, display y
el display salidas analógicas
LDS2010 LDS3000
Gas de traza (3 ajustes) OFF Desconecta la válvula de gas 0 = OFF,
traza del módulo de bombeo. 1 = on, pero gobernable mediante
ON: Conecta la válvula de gas entrada digital en IO1000
traza del módulo de bombeo hasta 2 = on, y no gobernable mediante
la siguiente desconexión de la red. entrada digital en IO1000.
Si "CAL mode" no es igual a 3
(menú 26), la válvula de gas de
traza se puede controlar a través
de la entrada digital DynCAL.
F-ON: Fixed on permite conectar
en permanencia la válvula de gas
traza (a prueba de interrupción de
corriente e independiente de las
entradas digitales).
Modo de control LOCAL, RS232, RS485 Suprimir, el control es posible
simultáneamente desde todos los
puntos de control.
Modo de compatibilidad 9.2 Otras funciones Valores por defecto y mensajes de
LDS1000 error (los valores por defecto se
emiten a través de la interfaz; en la
pantalla táctil aparece el mensaje
origina- -> motivo: el nuevo
hardware puede generar errores
que no existían con las versiones
anteriores)
Corrección de la tasa de fuga en ajustable (sí/no) ajustable (sí/no)
Stand-by (factor máquina)
ZERO al iniciar a partir de V1.02 como LDS2010
Apertura de la válvula de muestreo en SNIF después del arranque en SNIF después del arranque
Número de revoluciones de la solo 2 números de revoluciones ajustable mediante puertos en serie
bomba turbomolecular de 750 Hz hasta 1500 Hz, mediante
panel de mando 1000 Hz y 1500 Hz
Dirección RS485 sí, apto para bus no, no apto para bus
Pulsador de muestreo CON/DES seleccionable seleccionable
Valor por defecto para fuga 1E-15 mbar l/s 9.9E2 mbar l/s
calibrada interna
Valor por defecto ext. Fuga 1E-7 mbar l/s 9.9E2 mbar l/s
calibrada modo VAC/SNIF
Margen de ajuste fuga calibrada 10E-7 1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
interna
LDS2010 LDS3000
Ajuste factor máquina manual manual/automático
Margen de ajuste factor máquina/ Factor máquina: 1E-3...9.9E+3 Factor máquina: 1E-4...1E+5
muestreo Factor de muestreo: 1E-3...9.9E+3 Factor de muestreo: 1E-4...1E+4
Presión: Control del capilar 20 presente, presión ajustable
Salida analógica Características fijas libremente configurable
Solicitud de calibrado Modificación de temperatura del Variación de temperatura del
preamplificador 5 K o 30 min preamplificador 5 K o 30 min. o
número de revoluciones TMP
modificado
Unidades de presión/tasa de fuga sí Unidad de manejo y resto
(VAC/SNIF) para todas las separados
interfaces
Autorizaciones de usuario 3 niveles mediante PIN en el panel 4 niveles mediante unidad de
de mando o interruptor de llave manejo o interruptor de llave
opcional
Interruptor de llave instalado fijamente en caso necesario se puede
conectar externamente, consulte
"Asignar las entradas digitales del
módulo I/O [} 97]" (interruptor de
llave)
8.6 Realizar los ajustes básicos con el asistente

Recomendamos el uso del asistente de AQ para los ajustes importantes y el
calibrado. Las siguientes indicaciones se basan en las del CU1000 y se han adaptado
para el uso del LDS3000 AQ.
Si desea desviarse de los ajustes estándar o se quiere informar sobre los comandos
de los protocolos de interfaz, puede encontrar más detalles en otros capítulos de este
manual.
Asistente AQ
Para acceder al asistente AQ, pulse la pantalla del CU1000
Menú principal > Funciones > Asistente
También puede pulsar "Asistente" debajo de la pantalla.
Acceda a las ventanas que aparecen unas tras otras.
1. Volumen de la cámara
(Volumen neto)
Puede seleccionar la unidad de volumen si lo necesita en Menú principal >
Ajustes > Configurar > Modo de servicio > AQ > unidad de volumen.
(Protocolo LD: Comando 1763
Protocolo ASCII: *CONFig:AQ:VOLume)
2. Nivel de disparo 1
(Protocolo LD / ASCII: Véase «Ajustar valores de disparo [} 64]»)
3. Masa
(elección entre helio o formigas)
(Protocolo LD / ASCII: Véase «Seleccionar tipo de gas (masa) [} 46]»
4. Proporción de gas en porcentaje

(por ejemplo la proporción de hidrógeno en el formigas)
(Protocolo LD / ASCII: Ver indicaciones de la proporción de hidrógeno en "Ajustes
para el XL Sniffer Adapter [} 66]"
5. Tiempo de medición
(Ajuste libre, se muestra una recomendación que depende de los parámetros
ajustados).
Protocolo ASCII: *CONFig:AQ:TIME)
También se pueden realizar los ajustes desde aquí:
Menú principal > Ajustes > Configuración > Modo de servicio > AQ
Menú principal > Ajustes > Masa
8.7 Determinar el peak

Para obtener unos resultados de medición lo más exactos posibles, antes de un
calibrado se debería determinar siempre el "´peak" actual (valor máximo). Al finalizar
este proceso se sustituye el valor de la U anódica anterior por el valor para una nueva
U anódica.
El ajuste usa aire-helio y aire-hidrógeno. Un ajuste solo con nitrógeno no es posible.
Las siguientes indicaciones de la pantalla se basan en las del CU1000, que se ha

adaptado para el uso de LDS3000 AQ.
ü Para contrarrestar falseamientos de los resultados de medición por un límite inferior

alto, hay que esperar al menos 60 minutos de tiempo de calentamiento.
1 Menú principal > Funciones > CAL > Peak.
2 Confirme con “OK”.
ð Se abre la ventana "Peak CAL".

3 Extraiga la fuga calibrada de la cámara.
4 Espere hasta que la señal del límite inferior sea estable.
5 Para confirmar el valor de límite inferior estable y comenzar el ajustes, confirme
con "OK".
ð (Protocolo LD: 4, parámetro 7 (peak adjust AQ)

Protocolo ASCII: *CAL:PEAK)
IO1000: Entrada "Peakfind"
ð (Protocolo LD y ASCII: Se tiene que consultar finalmente la evolución con el

comando 260 (State Calibration) o *STATus:CAL)
ð Tras el ajuste se muestran las U anódicas antiguas y nuevas.
8.8 Indicar la tasa de fuga de la fuga calibrada

Registre una vez los datos de la fuga calibrada ajustada. Para cada gas (masa) se
tiene que ajustar una tasa de fuga específica.
Rango: 1E-9 ... 9.9E-2 mbar l/s
Tamaño mínimo de la tasa de fuga de la fuga calibrada

Para realizar un calibrado estable, recomendamos un tamaño mínimo de la tasa de
fugas de la fuga calibrada empleada.
Para mantener el tiempo de medición recomendado por el asistente AQ, la tasa de

fugas no debe sobrepasar estos valores:
- Al usar formigas, el valor umbral seleccionado (disparador 1)
- Al usar helio, 1/5 del valor umbral seleccionado (disparador 1)
Si la tasa de fuga de la fuga calibrada empleada es baja, al iniciar o finalizar el

calibrado se emite un mensaje de error.
Las siguientes indicaciones se basan en las del CU1000 y se han adaptado para el
uso del LDS3000 AQ.
ü Se ajusta a la unidad en la que desea introducir la tasa de fugas. Si la unidad de

tasa de fugas que se muestra en sus sistema difiere de los datos de la unidad de la
tasa de fugas, ajuste al menos de forma temporal la unidad en la que se muestra la
tasa de fugas. Véase también «Seleccionar la unidad para la tasa de fuga [} 42]».
1 Menú principal > Funciones > CAL > Ajustes > Fuga cal. ext.
2 Registre el gas deseado y la tasa de fugas correspondiente.
Protocolo ASCII: *CONFig:CALleak:EXTVac)
8.9 Calibrar el aparato
8.9.1 Momento y ajustes previos generales
INDICACIÓN
Calibración incorrecta debido a una temperatura de funcionamiento
demasiado baja
Si se calibra el aparato cuando está frío, puede suministrar resultados de medición
incorrectos.
► Para una precisión óptima, el aparato debe haber estado encendido por lo menos
60 minutos.
Se recomienda calibrar el aparato una vez por cada turno en el modo de servicio
deseado y para los gases correspondientes. Después se puede cambiar entre los
modos de servicio y gases sin necesidad de realizar una nueva calibración.
Además, es necesario calibrar cuando aparece la solicitud de calibrado en el sistema.
Apagar la Durante la calibración el aparato comprueba el preamplificador instalado. Puede

comprobación del desconectar la comprobación del preamplificador. Así la calibración será más rápida,
preamplificador pero disminuirá la fiabilidad.
0 OFF
1 ON
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Módulo MS > Preamplificador >
Comprobación > Comprobación del preamplificador en CAL
Protocolo ASCII Comando *CONFig:AMPTest (ON,OFF)
Activar solicitud de Si la solicitud de calibración está activada, el aparato solicita una calibración en caso
calibración de variaciones de temperatura superiores a 5°C y al cabo de 30 minutos desde la
conexión.
0 OFF
1 ON
Unidad de manejo Funciones > CAL > Ajustes > Solic CAL > Solicitud de
calibrado
o bien
Ajustes > Configurar > Solic CAL > Solicitud de calibrado

Protocolo ASCII *CONFig:CALREQ (ON,OFF)
Advertencia de El mensaje de advertencia Wrn650 "Calibración no recomendada en los primeros 20

calibración Wrn650 minutos" se puede autorizar o suprimir.
0 OFF (suprimido)
1 ON (permitido)
Unidad de manejo Funciones > CAL > Ajustes > Solic CAL > Advertencia de
calibración W650
o bien
Ajustes > Configurar > Solic CAL > Advertencia de

calibración W650
Protocolo ASCII *CONFig:CALWarn ON (OFF)
Consulte también
2 Ajustar el factor máquina y de muestreo [} 83]
8.9.2 Introducir el factor de calibrado

Normalmente se fija el factor de calibración mediante la rutina de calibración
correspondiente. Por tanto, normalmente no es necesario ajustar el factor de
calibración manualmente.
¡Un factor de calibración mal ajustado inevitablemente provoca una visualización

incorrecta de la tasa de fuga!
8.9.3 Factor de calibrado vacío

También se aplica en los aparatos en el modo AQ.
Entrada de los factores de calibrado para masa 2, 3, 4.

0,01 … 5000
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Fac.calib.
>Masa 2 (3, 4) > Factor de calibrado VAC H2 (M3, He)
Protocolo ASCII Comando *FACtor:CALVac
8.9.4 Calibrar
Observe también las indicaciones generales de calibrado, ver "Calibrar el aparato
[} 47]".
Requisitos para todos los procedimientos

• Existe una fuga calibrada externa.
• Los datos de la tasa de fugas se han registrado, ver también Indicar la tasa de
fuga de la fuga calibrada [} 77]".
• Para contrarrestar falseamientos de los resultados de medición por un límite

inferior alto, hay que esperar al menos 60 minutos de tiempo de calentamiento.
• Se determina el "peak" actual, ver también "Determinar el peak [} 76]".
Unidad de manejo CU1000

1 Coloque la fuga calibrada abierta en la cámara de medición y cierre la cámara
de medición.
2 Menú principal > Funciones > CAL > Externo
ð Se muestra la tasa de fuga de la fuga calibrada y se pregunta si se debe

iniciar el calibrado.
3 Confirme con "OK" el inicio del proceso de calibrado.
4 Siga las instrucciones en la pantalla.
Protocolo LD o ASCII, IO1000

1 Coloque la fuga calibrada abierta en la cámara de medición y cierre la cámara
de medición.
2 Para obtener una señal de tasa de fuga estable, espere al menos la duración
del tiempo de medición AQ ajustado.
3 Inicie el calibrado
Protocolo LD: Comando 4, Parámetro 1
Protocolo ASCII: *CAL:EXT
IO1000: Entrada "CAL extern", véase también la siguiente imagen
ð Al usar helio, continúe con el último paso (N.º 8).

4 Para una determinación de fondo con formigas (hidrógeno) consulte a final del
procedimiento:
Protocolo LD: Comando 260 (State Calibration)
Protocolo ASCII: *STATus:CAL
ð Espere hasta que alcance este estado:

Protocolo LD: Comando 260 Estado 75 "WAIT_ZERO_AQ"
Protocolo ASCII: *STATus:CAL? en“CLOSE“
IO1000: Entrada "CAL estable", ver también la siguiente imagen
5 Elimine la fuga calibrada de la cámara de medición y cierre la cámara de

medición.
6 Para obtener una señal de tasa de fuga estable, espere al menos la duración
del tiempo de medición AQ ajustado.
7 Inicie la medición de fondo.
Protocolo LD: Comando 11, parámetro 1 (Continue calibration)
IO1000: Entrada "CAL extern", véase también la siguiente imagen
8 Consulte al final del proceso:
Protocolo LD: Comando 260 (State Calibration)
Protocolo ASCII: *STATus:CAL
ð Espere hasta que alcance este estado:

Protocolo LD: LD comando 260 estado 0 "READY"
Protocolo ASCII: *STATus:CAL? en “IDLE“
IO1000: Entrada "CAL activo", ver también la siguiente imagen
ð Se ha finalizado el calibrado.
ð En caso de error:
Protocolo LD: Comando 260 estado 51...59 (estados de error)
Protocolo ASCII: *STATus:CAL? en “FAIL“
IO1000: Entrada "Error o advertencia"
Fig. 17: Calibrado externo con IO1000 en un aparato para el modo AQ. Para la descripción de
las entradas y salidas PLC, véase "Asignar entradas y salidas [} 90]"
8.10 Ejecutar ZERO

Después del arranque del LDS3000 AQ y la elección del formigas como tipo de gas,
el hidrógeno existente del sistema de vacío se ocupa inicialmente de que en la
pantalla se pueda ver una curva ascendente. Esta indicación se puede malinterpretar
como la indicación de una fuga.
Para eliminar pistas de hidrógeno falsas, espere para las medidas unos 30 minutos
tras arrancar el aparato.
Para eliminar el resto de offset, ejecute el ZERO AQ. ZERO AQ sirve para suprimir
las señales de medición.
ü Como masa, registre hidrógeno (formigas).

Si no se registra hidrógeno (formigas), se puede ajustar en "Menú principal >
Ajustes > Masa" o en la parte inferior de la pantalla de la ventana de medición con
"Asistente".
ü En la cámara de medición no hay ni un bloque de ensayo ni una fuga calibrada.

1 Menú principal > Funciones > ZERO AQ
2 Siga las instrucciones en la pantalla.
ð Protocolo LD y ASCII: Tras retirar el bloque de ensayo o la fuga calibrada,

espere el tiempo de medición.
ð Protocolo LD: Comando 6, parámetro 1; Protocolo ASCII: *ZERO:ON
ð IO1000: Entrada ZERO
8.11 Ajustar el factor máquina y de muestreo

La calibración interna calibra únicamente el sistema de medición del módulo de
espectrómetro de masas que se encuentra desacoplado de la instalación de
comprobación. En cambio, si, después de una calibración interna, el sistema de
medición se utiliza paralelamente a un sistema de bomba adicional (según el principio
de flujo parcial), el sistema de medición indica una tasa de fuga demasiado pequeña,
conforme a la proporción de flujo parcial. Con la ayuda de un factor máquina corrector
para el modo de vacío y un factor de muestreo para el modo de muestreo, el sistema
de medición indica la tasa de fuga efectiva. Con los factores se considera, por lo
tanto, la relación de la capacidad de aspiración efectiva del sistema de medición en
comparación en la capacidad de aspiración del sistema de medición en la instalación
de comprobación.
8.11.1 Ajuste manualmente el factor máquina y de muestreo

ü Módulo de espectrómetro de masas calibrado internamente.
1 Mida la fuga calibrada externa con la instalación de comprobación.
ð El aparato indica una tasa de fuga demasiado pequeña, conforme a la

proporción de flujo parcial.
2 Ajustar el factor máquina o de muestreo, ver abajo.
ð El aparato indica la tasa de fuga efectiva.

Ajustar el factor
máquina
Aparatos en el modo AQ:

El factor máquina "1" viene por defecto. Este ajusta no se puede modificar.
Corrige una posible desviación entre el calibrado interno y externo en el modo de

vacío.
Sin la opción de fuga calibrada interna debería ajustarse al valor 1,00. Al cambiar el
valor se indica la tasa de fuga resultante del cambio. De este modo se facilita el
ajuste.
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Factor
máquina > Masa 2 (3, 4) > Factor máquina VAC H2 (M3, He)
Protocolo ASCII Comando *FACtor:FACMachine
Ajustar el factor de Corrige una posible desviación entre el calibrado interno y externo en el modo de
muestreo muestreo
F.muestreo > Masa 2 (3, 4) > Factor de muestreo H2 (M3, He)
Protocolo ASCII Comando *FACtor:FACSniff
8.12 Realizar la medición
ADVERTENCIA
Peligro derivado de la implosión de una cámara de medición
Una cámara de medición externa que se conecta a un LDS3000 AQ se drena con
aprox. 60 sccm. Si se respeta el tiempo de medición habitual (2 - 30 segundos), no se
genera una presión negativa peligrosa.
En el caso de que la cámara de medición esté estanca, aunque no sea resistente al

vacío y continúe drenándose, puede implosionar. Esto puede ocurrir, por ejemplo, en
una cámara de medición de 1 l transcurridos 10 minutos.
► No siga bombeando una cámara de medición después del proceso del tiempo de
medición.
► ¡Respete las medidas preventivas oportunas!
ü El aparato está encendido.
ü Se ha determinado el peak, véase "Determinar el peak [} 76]".
ü Se ha ejecutado el calibrado, véase "Calibrar [} 80]".
ü Se ha determinado un AQ ZERO, véase "Ejecutar ZERO [} 82]".

1 En caso de medir con formigas, asegúrese de que el aparato haya funcionado
al menos media hora. Es el tiempo necesario para pode realizar una medición
estable.
ð Si mide con helio, este tiempo de espera es de 10 minutos.

2 Coloque el objeto de ensayo abierto en la cámara de medición y cierre la
cámara de medición. El objeto de ensayo no se debe colocar sobre las partes
que posiblemente tengan fugas.
ð Se introduce un objeto de ensayo bajo presión con helio o formigas en la

cámara de medición o se somete a presión en primer lugar en la cámara de
medición.
ð Si el objeto de ensayo tiene fugas, se muestra una tasa de fugas en aumento

en la pantalla empleada.
3 Espere el tiempo de medición ajustado.
ð La tasa de fugas de calcula y se muestra.

4 Saque el objeto de ensayo de la cámara de medición y continúe con las
mediciones con el paso 2.
ð No se usan las teclas Start o Stop.
8.13 Guardar y cargar parámetros

Para salvar y restaurar los parámetros de la unidad de manejo y del módulo de
espectrómetro de masas se puede utilizar un lápiz USB en el CU1000.
Guardar parámetros:
► "Funciones > Datos > Parámetro > Cargar > Guardar parámetros"
Cargar parámetros:
ü El modo de compatibilidad ajustado debe coincidir con el modo de compatibilidad

en el archivo de parámetros. Véase también Seleccionar modo de compatibilidad
[} 72].
► "Funciones > Datos > Parámetro > Cargar > Cargar parámetros"
8.14 Copiar datos de medición, borrar datos de

medición
Los datos se pueden guardar con el CU1000 en un lápiz USB.
• "Funciones > Datos > Registrador > Copiar > Copiar archivos"
Los datos de medición se pueden borrar en el CU1000.
• "Funciones > Datos > Registrador > Borrar > Borrar archivos"
8.15 Adaptar el "Factor tiempo Zero AQ"

Para evitar tasas de fuga aparentemente negativas en la medición con formigas,
después de cierto tiempo (factor tiempo zero AQ x tiempo de medición) la indicación
de tasa de fugas pasa a 0.
El factor de tiempo Zero AQ se puede ajustar en:
Menú principal > Ajustes > Configuración > Modo de servicio > AQ > Tiempo de
medición
El valor estándar es 4 y se puede modificar en números enteros a 1...10.

Protocolo ASCII: *CONFig:AQ:ZEROTime)
8.16 Seleccionar límites de indicación

Límites de indicación Reducción y aumento de los límites de indicación:
Si ninguna tasa de fuga es de interés para su aplicación, un incremento de los
límites de indicación puede facilitar la evaluación de la indicación de la tasa de fuga.
– hasta 15 décadas en VAC
– hasta 11 décadas en SNIF
– hasta 8 décadas en el modo AQ
Si por un ajuste inadecuado, el área útil es de menos de una década, el límite

superior se desplaza hasta que sigue siendo visible una década.
Indicación: En la unidad de manejo se muestran los límites de indicación actuales al

ajustar entre ambos parámetros de ajuste. Mediante el protocolo LD se pueden leer
los límites de indicación actuales con el comando 399.
Unidad de Visualización > Límites de visualización

manejo
Protocolo ASCII Comando: *CONFig:DISPL_LIM:HIGH
Comando: *CONFig:DISPL_LIM:LOW
8.17 Ajuste el número de revoluciones de la bomba

turbomolecular
Número de En algunas aplicaciones puede tener sentido reducir el número de revoluciones de la
revoluciones de la bomba turbomolecular para aumentar la sensibilidad del aparato. Sin embargo, así se
bomba turbomolecular disminuye la presión de admisión máxima permitida en las conexiones GROSS, FINE
y ULTRA. ¡Después de modificar el número de revoluciones es necesario realizar una
nueva calibración!
En aparatos con el modo AQ, se aplica: No modifique los 1000 Hz ajustados.
Número de revoluciones de la bomba turbomolecular en hertzios

1000
1500
Unidad de Ajustes > Configurar > Módulo MS > TMP > Ajustes > TMP No. de
manejo revoluciones
Protocolo LD 501
Protocolo ASCII *CONFig:SPEEDTMP
8.18 Selección del cátodo

Selección de un cátodo El espectrómetro de masas tiene dos cátodos. En los ajustes de fábrica el aparato
usa el cátodo 1. Si este está defectuoso, el aparato cambia automáticamente a otro
cátodo.
Con este ajuste es posible seleccionar un cátodo determinado.
0 CAT1
1 CAT2
2 Auto Cat1 (conmutación automática al cátodo 2, ajustes de fábrica)
3 Auto Cat2 (conmutación automática al cátodo 1)
4 OFF
Unidad de Ajustes > Configurar > Módulo MS > Fuente iónica > Selección de
manejo cátodos
Protocolo LD 530
Protocolo ASCII *CONFig:CAThode *STATus:CAThode
8.19 Resetear los ajustes

Módulo de Es posible restaurar los ajustes de fábrica del módulo de espectrómetro de masas.
espectrómetro de
0 Cargar ajustes de fábrica
masas
12 Resetear los ajustes para el XL Sniffer Adapter Mode
Unidad de Funciones > Datos > Parámetros > Resetear >Ajustes de unidad
manejo de manejo
Funciones > Datos > Parámetros > Resetear > Ajustes MSB
Funciones > Datos > Parámetros > Resetear > Parámetros
permiso
Protocolo ASCII Comando *RST:FACTORY
Comando *RST:SL3000
En aparatos con el modo AQ, se aplica: Con la carga del módulo AQ se cargan de
nuevo los ajustes de fábrica del modo AQ, véase también Seleccionar modo de
compatibilidad [} 72].
INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9
9 Usar el módulo de ampliación

(LDS3000, LDS3000 AQ)
9.1 Seleccionar el tipo del módulo de ampliación

Seleccionar el módulo Seleccione el tipo del módulo conectado a la conexión I/O
de ampliación
I/O-Modul
Módulo de bus
Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Selección de aparato >
manejo Módulo en la conexión I/O
o
Ajustes > Configurar > Accesorios > Sel. apar. > Módulo en la
conexión I/O
Protocolo LD –
Protocolo ASCII –
9.2 Ajustes para el módulo I/O IO1000
9.2.1 Ajustes generales de interfaz

Ajustar el protocolo de Ajuste el protocolo para el módulo conectado a la conexión I/O. Este ajuste se
interfaz puede sobrescribir a través de los interruptores DIP en el IO1000.
LD
ASCII
Binario
LDS1000
Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Protocolo > Protocolo módulo
manejo I/O
Protocolo LD 2593
Protocolo ASCII *CONFig:RS232
9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON
9.2.2 Asignar entradas y salidas

Asignar las salidas Las salidas analógicas del módulo I/O IO1000 se pueden asignar a diferentes
analógicas del módulo representaciones de valores medidos.
I/O
Posibles funciones: ver la siguiente tabla
Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Módulo I/O > Salida an. >
manejo Config. Salida analógica 1/2
Protocolo LD Comando 222, 223, 224
Protocolo ASCII Comando *CONFig:RECorder:LINK1
Comando *CONFig:RECorder:LINK2
Comando *CONFig:RECorder:SCALE
Comando *CONFig:RECorder:UPPEREXP
Para las tensiones de salida se pueden definir valores límite.

-13 -1
VAC: Mín. 1 x 10 ...1 x 10 mbar l/s
-12 -1
Máx. 1 x 10 ...1 x 10 mbar l/s
-9 -1
SNIF: Mín. 1 x 10 ...1 x 10 mbar l/s
-8 -1
Máx. 1 x 10 ...1 x 10 mbar l/s
Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Límites TF

manejo
Protocolo LD Comando 226 (Vac)
Comando 227 (Snif)

Protocolo ASCII Comando *CONFig:LIMITS:VAC
Comando *CONFig:LIMITS:SNIF
Funciones, asignación de las salidas analógicas:
Off Las salidas analógicas están

desconectadas
(tensión de salida = 0 V).

Presión p1 / presión p2 1 ... 10 V; 0,5 V / Década;
-3
1 V = 1 x 10 mbar
Mantisa tasa de fuga 1 ... 10 V; lineal; en la unidad Solo tiene sentido si la otra salida
seleccionada analógica está asignada a
"Exponente tasa de fuga".
Exponente tasa de fuga 1 ... 10 V; 0,5 V / Década; Solo tiene sentido si la otra salida
Función de escalera; analógica está asignada a

-12 "Mantisa tasa de fuga" o "Tasa de
1 V = 1 x 10 ; en la unidad
fuga Ma. His.".
seleccionada
Tasa de fuga lineal x ... 10 V; lineal;
en la unidad seleccionada
El límite superior (=10 V) se ajusta a través del parámetro "Exponente valor límite superior". El valor inferior
siempre es 0 (tasa de fuga), lo cual se corresponde con una tensión de salida de 0 V. El exponente del valor
-4
límite superior puede ajustarse en décadas enteras, p. ej. 1 x 10 mbar l/s.
Ajustes > Configurar > Interfaces > Módulo I/O > Escal. an. > Exponente límite superior.
Este ajuste es válido para ambas salidas analógicas, en caso de que se seleccione una función de salida
respectiva. En función de la unidad de tasa de fuga seleccionada, resulta otro valor absoluto.
El área seleccionada además se puede restringir mediante los límites que son válidos para todas las
interfaces, véase más arriba.
Tasa de fuga log. x ... 10 V; logarítmico;
en la unidad seleccionada
El límite superior (=10 V) y la escala (V / décadas) se ajustan a través de los parámetros "Exponente valor
límite superior" y "Escala con tasa de fuga". Ejemplo:
-5
Límite superior ajustado a 1 x 10 mbarl/s (=10 V). Escala ajustada a 5 V/década. El límite inferior está en 1 x
-7
10 mbar l/s (= 0 V). Con la función de salida logarítmica, se ajusta tanto el aumento en V/década como
también el valor límite superior (Valor 10 V). Como resultado da el mínimo valor visualizable. Se pueden
seleccionar las siguientes subidas: 0,5, 1, 2, 2.5, 3, 5, 10 V/década Cuando mayor es el valor de subida
ajustado, menor es el área que se puede representar. Los ajustes logarítmicos tienen más sentido cuando se
pueden representar varias décadas, es decir un ajuste de < 10 V/década. El valor superior es igual para
ambas salidas analógicas. En las siguientes imágenes se representa a modo de ejemplo 1 V/década y 5 V/
década con diferentes ajustes del valor límite superior. En función de la unidad de tasa de fuga seleccionada,
resulta otro valor absoluto. El área seleccionada además se puede restringir mediante los límites que son
válidos para todas las interfaces, véase más arriba.
Vía interfaz La tensión de salida se puede establecer para efectuar pruebas a
través del comando de protocolo LD 221.
Tasa de fuga Ma. His. 0,7 ... 10 V; lineal; Solo tiene sentido si la otra salida
en la unidad seleccionada analógica está asignada a "Exponente

tasa de fuga". Mediante una
superposición de la mantisa en el área
de 0,7 a 1,0, se evita un salto
permanente entre dos décadas. 0,7 V
corresponde con una tasa de fuga de
-x
0,7 x 10 . 9,9 V corresponde con una
-
tasa de fuga de 9,9 x 10 x.
Presión p1 (1 V / dec.)/ 1 ... 10 V; 1 V / Década;
-3
Presión p2 (1 V / dec.) 2,5 V = 1 x 10 mbar;
8,5 V = 1000 mbar
Tasa de fuga log. H./ Funciones especiales. Utilice
Tasa de fuga exp. inv. únicamente por

recomendación de INFICON.
Fig. 18: Tensión de salida analógica Tasa de fuga log. 1 V/década
Fig. 19: Tensión de salida analógica Tasa de fuga log. 5 V/década
Tensiones de salida en En caso de error se encuentran las siguientes tensiones en las salidas analógicas:
caso de error
Modo de compatibilidad Tensión
LDS1000 0V
LDS2010 10 V
LDS3000 10,237 V
Configuración Para la transmisión de los ajustes de LDS2010 a LDS3000 se puede utilizar la

(compatible con siguiente tabla.
LDS2010)
LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite superior

Ajus. analógic LDS3000 tasa de fuga (10 V = ...)
Punto del a del
menú 22 canal
1 1 Tasa de fuga mantisa en la unidad Mantisa irrelevante irrelevante
seleccionada. tasa de
1 ... 10 V fuga
1 2 Tasa de fuga exponente (función Exponente irrelevante irrelevante

escalonada) en la unidad seleccionada tasa de
. 1 ... 10 V, 0,5 V/década, 1 V = 1E-12 fuga
2 1 Tasa de fuga log. en la unidad seleccionada. Tasa de 0,5 V/déc. 1E6 [unidad
1 ... 10 V, 0,5 V/década, 1 V = 1E-12 fuga log. seleccionada]
2 2 Presión p1 log. en la unidad seleccionada. Presión p1 irrelevante irrelevante
1 ... 10 V, 0,5 V/década, 1 V = 1E-3 mbar

3 1 Tasa de fuga mantisa en mbar l/s Mantisa irrelevante irrelevante
1 ... 10 V tasa de
fuga
3 2 Tasa de fuga exponente (función TF irrelevante irrelevante
escalonada) en mbar l/s exponente
1 ... 10 V, -1 V/década, 0 V = 1E0 mbar l/s inversa
4 1 Tasa de fuga log. Tasa de 1 V/déc. 1,00E+00
0 ... 10 V, 1 V/década, 0 V = 1E-10 mbar l/s fuga log.
4 2 Presión p1 log. en mbares p1 1 V/ irrelevante irrelevante
1 V/década, 2,5 ... 8,5 V, 2,5 V = 1E-3 mbar, déc.

5,5 V = 1E0 mbar
5 1 Tasa de fuga mantisa en la unidad TF mantisa irrelevante irrelevante
seleccionada. hist.
1 ... 10 V rise, 0,7 ... 10 V fall

Punto del a del
menú 22 canal
5 2 Tasa de fuga exponente en la unidad Exponente irrelevante irrelevante
seleccionada. tasa de
1 ... 10 V, 0,5 V/década, 0 V = 1E-14 fuga
6 1 Tasa de fuga log. en Pa m³/s Tasa de 1 V/déc. 1E-2 mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V/década, fuga log.
0 V = 1E-12 Pa·m³/s = 1E-12 mbar l/s
6 2 Presión p1 log. en Pa p1 1 V/ irrelevante irrelevante
1 V/década, 2,5 ... 8,5 V, 2,5 V = 1E-3 mbar déc.
8 1 Tasa de fuga log. en Pa m³/s Tasa de 1 V/déc. 1E-2 mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V/década, fuga log.
0 V = 1E-12 Pa·m3/s = 1E-12 mbar l/s
10 1 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 2 V/déc. 1E+2 mbar l/s
10 2 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de Especial 1 1E+1 mbar l/s
11 1 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 2 V/déc. 1E+1 mbar l/s
11 2 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de Especial 1 1E+0 mbar l/s
0 ... 10 V, 3 V/década, 0V = 1E-4 mbar l/s fuga log.
12 1 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 2 V/déc. 1E0 mbar l/s
12 2 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de Especial 1 1E-1 mbar l/s
13 1 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 2 V/déc. 1E-1 mbar l/s

Punto del a del
menú 22 canal
20 1 Tasa de fuga in. en mbar l/s Tasa de irrelevante 1E1 mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V = 1 mbar l/s fuga lineal
21 1 Tasa de fuga in. en mbar l/s Tasa de irrelevante 1E0 mbar l/s
0 ... 10 V, 1 V = 1E-1 mbar l/s fuga lineal
22 1 Tasa de fuga in. en mbar l/s Tasa de irrelevante 1E-1 mbar l/s

Punto del a del
menú 22 canal
Leer entrada – Para la entrada analógica no se puede configurar ninguna función.

analógica – Está reservada para aplicaciones futuras.
– A través del comando LD 220 se puede leer el valor de tensión a la entrada

analógica.
9.2.2.1 Asignar las entradas digitales del módulo I/O

Las entradas digitales PLC-IN 1 ... 10 del módulo I/O se pueden asignar libremente
a las funciones disponibles.
– Señal activa: típicamente 24 V
– Señal inactiva: típicamente 0 V.
Como señal activa se puede utilizar la salida de 24 V del módulo I/O.
Cada función se puede invertir.

Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Módulo I/O > Entr. dig. >
manejo Configuración entrada dig.
Protocolo ASCII *CONFig:PLCINLINK:1 (2 ... 10)
Interruptor de llave A través de tres entradas de PLC se puede conectar un interruptor de llave externo
hasta con tres salidas de conmutación. Con el interruptor de llave se puede
seleccionar el nivel de autorización del usuario de la unidad de manejo.
Key 1 – Operator
Key 2 - Supervisor
Key 3 - Supervisor
Ejemplo de un interruptor de llave apropiado: Hopt+Schuler, nº 444-05
Funciones, asignación de las entradas digitales:
Función Flanco/estado: Descripción

Sin función – Sin función
CAL dinám. inactivo → activo: Iniciar la calibración dinámica externa.
activo → inactivo: Aplicar el valor para el límite inferior y terminar la calibración.

CAL externa inactivo → activo: Iniciar la calibración externa.
activo → inactivo: Aplicar el valor para el límite inferior y terminar la calibración.

CAL interno inactivo → activo: Iniciar la calibración interna.
SNIF/VAC inactivo → activo: Activar el modo de muestreo.
activo → inactivo: Activar el modo de vacío.

Start inactivo → activo: Conmutar a Meas. (ZERO es posible, todas las salidas de
disparador conmutan en función de la tasa de fuga.)

Stop inactivo → activo: Conmutar a Standby.. (ZERO no es posible; todas las salidas de
disparador devuelven "Valor umbral de tasa de fuga sobrepasado".)
ZERO inactivo → activo: Activar ZERO.
activo → inactivo: Desactivar ZERO.

ZERO impulso inactivo → activo: Activar o desactivar ZERO.
Borrar inactivo → activo: Borrar mensaje de advertencia o de error o cancelar la calibración.
Gas de traza inactivo → activo: Abrir válvula de gas de traza.
activo → inactivo: Cerrar válvula de gas de traza si no está abierta en permanencia.

Selección din/ inactivo → activo: Modo de calibración externo al activar la entrada digital "CAL":
norm
activo → inactivo: Calibración externa dinámica (sin Autotune, teniendo en cuenta los
tiempos de ciclo de medición y de bombeo programados a través de
las entradas digitales)
Calibración externa normal (con Autotune sin tener en cuenta los

tiempos de ciclo de medición y bombeo específicos de la
instalación)
Start / Stop inactivo → activo: Conmutar a Meas. (ZERO es posible, todas las salidas de
disparador conmutan en función de la tasa de fuga.)
activo → inactivo: Conmutar a Standby.. (ZERO no es posible; todas las salidas de

disparador devuelven "Fail".)
Tecla 1 activo: Usuario "Operator"
Tecla 2 activo: Usuario "Supervisor"
Tecla 3 activo: Usuario "Integrator"
CAL inactivo → activo: En Standby se inicia una calibración interna.
En Meas se inicia una calibración externa.

TL inactivo → activo: Se abre la fuga calibrada interna.
activo → inactivo: Se cierra la fuga calibrada interna.

TL Plus inactivo → activo: Se abre o se cierra la fuga calibrada interna.
XL Flujo inactivo → activo: Con XL-Adapter se conecta el XL Flujo.
activo → inactivo: Con XL-Adapter se desconecta el XL Flujo.

CAL Mach inactivo → activo: Iniciar factor máquina de calibración
PROOF interno inactivo → activo: Iniciar la función Proof interna.
PROOF externo inactivo → activo: Iniciar la función Proof externa.
START/STOP inactivo → activo: Activar el inicio o la parada.
Puls
Actualizar ZERO inactivo → activo: Actualizar o activar ZERO
activo → inactivo: Sin función

Abrir fuga inactivo → activo: Abrir fuga calibrada
calibrada activo → inactivo: Cerrar fuga calibrada
Abrir fuga inactivo → activo: Abrir la fuga calibrada si está cerrada, o cerrarla si está abierta
calibrada impulso activo → inactivo: Sin función
Caudal inactivo → activo: Conmutar el flujo de SL3000XL a 3000 sccm (adaptador XL)
activo → inactivo: Conmutar el flujo de SL3000XL a 300 sccm (adaptador XL)

CAL máquina inactivo → activo: Determinación del factor máquina o del factor de muestreo
Comprobación inactivo → activo: Comprobar la calibración con una fuga calibrada interna
CAL interno
Comprobación inactivo → activo: Comprobar la calibración con una fuga calibrada externa
CAL externo
Start / Stop Puls inactivo → activo: Cambia entre el modo de medición y Standby
Masa 2 / Masa 4 inactivo → activo: Activar masa 4
activo → inactivo: Activar masa 2

Peakfind inactivo → activo: Iniciar determinación de peak (solo AQ)
9.2.2.2 Asignar las salidas digitales del módulo I/O

Las salidas digitales PLC-OUT 1 .... 8 del módulo I/O se pueden asignar libremente
a las funciones disponibles.
Cada función se puede invertir.

Unidad de Ajustes >Configurar > Interfaces > Módulo I/O > Sal. dig. >
manejo Configuración Salida dig.
Protocolo ASCII *CONFig:PLCOUTLINK:1 (2 ... 8)
Funciones, asignación de las salidas digitales:
Función Estado: Descripción

Abierto abierto: siempre abierto
Valor cerrado: Se ha sobrepasado el valor umbral de tasa de fuga disparo 1
disparo 1 abierto: Se ha pasado por debajo del valor umbral de tasa de fuga disparo 1

Listo cerrado: Emisión activada, proceso de calibración inactivo, sin error
abierto: Emisión desactivada, proceso de calibración activo o error

Advertencia cerrado: Advertencia
abierto: ninguna advertencia

Error cerrado: Error
abierto: sin error

CAL activo cerrado: El aparato se calibra.
abierto: El aparato no se calibra.

Solicitud cerrado: y sin calibración externa: Solicitud de calibración (con variación de
CAL temperatura de 5 °C o 30 minutos después de la conexión, o se ha modificado
la especificación del número de revoluciones)
cerrado:
y calibración externa o "Comprobar CAL": Solicitud "Abrir o cerrar fuga de
calibración"
abierto:
ninguna solicitud
Arranque cerrado: Arranque
abierto: sin aceleración

ZERO activo cerrado: ZERO activado
abierto: ZERO desactivado

Emisión ON cerrado: Emisión activada
abierto: Emisión desactivada

Medir cerrado: Medición (ZERO es posible, todas las salidas de disparador conmutan en
función de la tasa de fuga.)
abierto: Standby o emisión desactivada (ZERO no es posible; todas las salidas de

disparador devuelven "Valor umbral de tasa de fuga sobrepasado".)
Standby cerrado: Standby (ZERO no es posible; todas las salidas de disparador devuelven
"Valor umbral de tasa de fuga sobrepasado".)
abierto: Medición (ZERO es posible, todas las salidas de disparador conmutan en

función de la tasa de fuga.)
SNIF cerrado: SNIF
abierto: VAC


Error o cerrado: Error o advertencia
advertencia abierto: Sin error o advertencia
Gas de traza cerrado: El gas de traza está activo
abierto: El gas de traza no está activo

Fuga cerrado: La fuga calibrada está activa
calibrada abierto: La fuga calibrada no está activa
abierta
CAL estable cerrado: Calibración con fuga calibrada terminada (consulte "Momento y ajustes
abierto: previos generales [} 47]")
Señal no estable o calibración no activa

Cátodo 2 cerrado: El cátodo 2 está activado
abierto: El cátodo 1 está activado
9.3 Ajustes para el módulo de bus BM1000

Dirección módulo de Ajustar la dirección para el módulo de bus. (Dirección del nodo en Profibus, MACID
bus en DeviceNet)
0 ... 255
Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Módulo bus > Dirección
manejo
Protocolo LD 326
Protocolo ASCII –

10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON
10 Mensajes de advertencia y error

(LDS3000, LDS3000 AQ)
El aparato está dotado de funciones de autodiagnóstico muy completas.
Mensajes de error Los errores son incidencias que el aparato no puede subsanar por sí mismo y obligan
a interrumpir el funcionamiento. Un mensaje de error consta de un número y de un
texto descriptivo.
Una vez subsanada la causa del error, el aparato se vuelve a poner en

funcionamiento con el pulsador Reiniciar.
Mensajes de Los mensajes de advertencia avisan de estados del aparato que pueden mermar la
advertencia precisión de las mediciones. El funcionamiento del aparato no se interrumpe.
Con el pulsador OK o el pulsador derecho del mango del husmeador puede confirmar
que ha leído el mensaje de advertencia.
La tabla siguiente muestra todos los mensajes de advertencia y de error. En ella se

mencionan posibles causas del fallo y se indica cómo subsanarlo.
Tenga en cuenta que los trabajos marcados con una estrella solo deberán ser
realizados por personal del servicio técnico autorizado por INFICON.
Advertenc Indicación de error Número de error Valores Causa

ia (Wrn) LDS3000 LDS1000 Binario o límite
Error (Err) Protocolo ASCII

Protocolo
Modo de
compatibili
dad
LDS1000/
LDS2010
1xx error de sistema (RAM, ROM, EEPROM, reloj, ...)
Wrn102 Superación del tiempo 84 43 EEPROM en tarjeta IF o en MSB
EEPROM caja MSB defectuosos
(Número de parámetros)
Wrn104 Un parámetro EEPROM 84 43 Después de una actualización de
inicializado software o un defecto del
EEPROM
Wrn106 Parámetro EEPROM 84 43 Después de una actualización de
inicializado software o un defecto del
EEPROM

INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10


Protocolo
Modo de
compatibili
dad
LDS1000/
LDS2010
Wrn110 Reloj no ajustado 16 16 Puente para reloj no enchufado,
pila descargada o reloj defectuoso
Wrn122 El módulo de bus no 99 99 Conexión con el módulo de bus
responde interrumpida
Wrn123 Configuración INFICON de 99 99 La configuración seleccionada de
BM1000 no compatible INFICON no es compatible con el
tipo de bus de campo BM1000
conectado.
Wrn125 Módulo I/O no conectado 99 99 Conexión con el módulo I/O
interrumpida
Wrn127 Versión incorrecta 99 99 Cargador de inicialización no
cargador de inicialización compatible con la aplicación
Err129 Aparato erróneo 99 99 El EEPROM no contiene datos
(EEPROM) compatibles
Err130 Punta de muestreo no 99 99 El conducto de aspiración no está
conectada conectado eléctricamente.
Consulte también "Ajustar el

control del capilar [} 64]".
Wrn132 SL3000 no compatible Con el XL Sniffer Adapter solo se
puede utilizar el SL3000XL
Wrn150 Sensor de presión 2 no – – Conectar el sensor de presión
conectado PSG500 a una conexión FINE.
Wrn153 La versión del CU1000 ha Recomendamos actualizar el
quedado obsoleta software de CU1000
Wrn156 ID incorrecto modo AQ ID incorrecto modo AQ
2xx error de tensión de servicio
Wrn201 U24_MSB demasiado baja 24 120 21,6V Fuente de alimentación de 24 V
Wrn202 U24_MSB demasiado alta 24 120 26,4V Fuente de alimentación de 24 V
Wrn203 Tensión 24V_PWR12 fuera 24 120 20V Cortocircuito en la válvula 1 (fuga
del margen (TL_valve/ 30V de calibración) o válvula 2 (gas de
GB_valve) traza)



Protocolo
Modo de
compatibili
dad
LDS1000/
LDS2010
Wrn204 Tensión 24V_PWR34 fuera 24 120 20V Cortocircuito en la válvula 3 o
del margen 30V válvula 4
(valve 3/4)
Wrn205 Tensión 24V_PWR56 fuera 24 120 20V Cortocircuito en la válvula 5
del margen (Sniff_valve/ 30V (muestreo) o válvula 6
valve6)
Wrn221 Tensión interna 24V_RC 24 120 20V Cortocircuito 24V en la salida
fuera del margen 30V Unidad de manejo
Wrn222 Tensión interna 24V_IO 24 120 20V Cortocircuito 24V en la salida IO

fuera del margen 30V
Wrn223 Tensión interna 24V_TMP 24 120 20V Cortocircuito 24V de TMP
fuera del margen 30V
Wrn224 Tensión interna 24V_1 24 120 20V Cortocircuito 24V
(Pirani) fuera del margen 30V Sensor de presión PSG500
(1,2,3), conducto de aspiración
Wrn240 Tensión +15V fuera del 24 120 +15V demasiado pequeño, tarjeta
margen IF o MSB defectuosos
Wrn241 Tensión -15V fuera del 24 120 -15V demasiado pequeño,
margen cortocircuito en el preamplificador,
tarjeta IF o MSB defectuosos
Err242 Tensión +15V o -15V 24 120 + 15V o -15V demasiado
conectada en cortocircuito pequeños, cortocircuito en el
preamplificador, tarjeta IF o MSB
defectuosos
Wrn250 Tensión REF5V fuera del 24 120 4,5V +15V o 5V demasiado pequeños,
margen 5,5V cortocircuito en el preamplificador,
tarjeta IF o MSB defectuosos
Err252 Tensión REF5V conectada 24 120 +15V o REF5V demasiado
en cortocircuito pequeños, cortocircuito en el
preamplificador, tarjeta IF o MSB
defectuosos



Protocolo
Modo de
compatibili
dad
LDS1000/
LDS2010
3xx sistema de detección (offset preamplificador, comprobación del preamplificador, emisión, comprobación
del cátodo)
Wrn300 Tensión U anódica 41 132 7V < del Cortocircuito tensión U anódica,
demasiado baja valor presión excesiva en el
nominal espectrómetro de masas, tarjeta
IF, MSB o fuente iónica
defectuosos
Wrn301 Tensión U anódica 40 131 7V > del MSB defectuoso
demasiado alta valor
nominal
Wrn302 Tensión del supresor 39 130 297V Cortocircuito supresor, tarjeta IF o
demasiado baja MSB defectuosos
Wrn303 Tensión del supresor 38 129 363V MSB defectuoso
demasiado alta
Wrn304 Tensión ánodo-cátodo 36 127 40V cortocircuito ánodo-cátodo, tarjeta
demasiado baja IF o MSB defectuosos
Wrn305 Tensión ánodo-cátodo 35 126 140V MSB defectuoso
demasiado alta
Err306 U anódica defectuosa 36 127 40 V La U anódica no se corresponde
desviación con el valor por defecto o el valor
del valor por defecto está fuera del
por defecto intervalo de ajuste permitido.
Wrn310 Cátodo 1 defectuoso 45 136 Cátodo defectuoso, línea hacia el
cátodo interrumpida, tarjeta IF o
MSB defectuosos
Wrn311 Cátodo 2 defectuoso 46 137 Cátodo defectuoso, línea hacia el
MSB defectuosos
Err312 Cátodos defectuosos 47 138 Cátodo defectuoso, línea hacia el
MSB defectuosos



Protocolo
Modo de
compatibili
dad
LDS1000/
LDS2010
Wrn332 Sistema contaminado con Tasa de fuga muy negativa (p. ej.
helio por debajo de - 0,15 * disparador
1). Se puede ajustar el tiempo de
reacción del mensaje. Véase
«Adaptar el "Factor tiempo Zero
AQ" [} 86]»
Wrn334 Aumento súbito de tasa de Fuga grande
fugas
Err340 Error de emisión 44 135 <90% del La emisión era estable
valor anteriormente, probablemente alta
nominal presión, mensaje al cabo de 15s
>110% del
valor
nominal
Wrn342 Cátodos no conectados 47 138 Ambos cátodos defectuosos en la
prueba interna tras la puesta en
marcha o conector no enchufado
Wrn350 Supresor no conectado 39 130 Cable supresor no enchufado en
la prueba interna tras la puesta en
marcha o defectuoso
Wrn352 Preamplificador no Preamplificador defectuoso, cable
conectado no enchufado
Err358 El preamplificador varían La señal oscila demasiado (véase
entre 2 áreas comando 1120)
Preamplificador defectuoso
Wrn359 Preamplificador 31 123 Señal demasiado grande,
sobrecontrolado preamplificador defectuoso
Wrn360 Salida preamplificador 31 123 <-70 mV a Fuente iónica deficiente o
demasiado baja 500 GΩ espectrómetro de masas sucio



Protocolo
Modo de
compatibili
dad
LDS1000/
LDS2010
Wrn361 Offset preamplificador 31 123 >+/-50 mV Preamplificador defectuoso
demasiado grande a 500 GΩ,
>+/-10 mV
a 15 GΩ,
<+/-10 mV
a 470 MΩ,
<+/-9 mV a
13 MΩ
Wrn362 Error de margen 31 123 Preamplificador o caja MSB
preamplificador defectuosos
Wrn390 500 G fuera del margen 31 123 450 GΩ Preamplificador defectuoso, error
550 GΩ en el supresor, tarjeta IF o MSB

defectuosos
4xx Error TMP (también temperatura)
Err400 Número de error del TMP 49 15
Wrn401 Número de aviso del TMP
Err402 No hay comunicación con 49 15 Cable hacia TMP, TMP
el TMP defectuoso, tarjeta IF o MSB
defectuosos
Err403 Número de revoluciones 53 142 < 95% del Presión demasiado alta, TMP
TMP demasiado bajo valor defectuoso
nominal
Err404 Consumo de corriente 49 2 3A
TMP demasiado alto
Err405 Sin aceleración del TMP 60 61 5 min. Presión demasiado alta, TMP con
errores
Err410 Temperatura TMP 49 2 61°C Fallo de refrigeración, comprobar
demasiado alta las condiciones de uso del módulo
MSB
Wrn411 Temperatura TMP alta 49 2 60°C Fallo de refrigeración, comprobar
las condiciones de uso del módulo
MSB



Protocolo
Modo de
compatibili
dad
LDS1000/
LDS2010
Err420 Tensión TMP demasiado 49 2 Fuente de alimentación
alta defectuosa, TMP defectuoso
Wrn421 Tensión TMP demasiado Sección transversal de conductor
baja con un suministro de 24 V para el
módulo MSB demasiado bajo,
Corriente de salida de la fuente de
alimentación de 24-V demasiado
baja (I <10 A), fuente de
alimentación defectuosa, TMP
defectuoso
Err422 Sin aceleración TMP 49 2 8 min. Vacío previo de TMP demasiado
alto, Presión final de la bomba VV
demasiado alta, fuga en el sistema
de alto vacío, válvula para lastre
no cerrada, cojinete dañado de
TMP, TMP defectuoso
Err423 Aumento de presión TMP 49 2 Conducto de aspiración, válvula
para lastre defectuosa o de
dimensiones incorrectas
5xx Error de presión y de flujo

Wrn500 Sensor de presión no 58 144 0,5V Sensor de presión PSG500 P1 no
conectado conectado, tarjeta IF o MSB
defectuosos
Wrn502 Sensor de presión 2 no Sensor de presión PSG500 P2 no
conectado conectado, tarjeta IF o MSB
defectuosos.
Wrn520 Presión demasiado alta 73 148 18 mbar Presión p1 demasiado alta
Wrn521 Aumento de presión, caída 73 148 < Valor Presión p1 demasiado alta,
tensión U anódica nominal - mensaje al cabo de 1,4s
20V

Wrn522 Aumento de presión, caída 73 148 < 90% del La emisión era estable
emisión valor anteriormente, presión p1
nominal demasiado alta, mensaje al cabo
> 110% del de 5s

valor
nominal
Wrn540 Presión demasiado baja, 63 62 Parámetro Punta de muestreo obstruida,
punta de muestreo s de válvula de muestreo defectuosa,
bloqueada advertenci filtro obstruido
a de flujo
de la punta
de
muestreo
Err541 Punta de muestreo 62 146 Punta de muestreo obstruida,
bloqueada (p1) válvula de muestreo defectuosa
(presión inferior a la mitad del
valor de advertencia ajustado),
filtro obstruido
Wrn542 Punta de muestreo rota 64 147 Punta de muestreo rota
Wrn550 Presión demasiado baja, Limpiar o cambiar el capilar High
punta de muestreo XL Flow del conducto de aspiración.
bloqueada Cambiar el filtro sucio.
Wrn552 Punta de muestreo XL rota Cambiar el capilar High Flow del
conducto de aspiración.
Wrn554 punta de muestreo XL P2 63 62 Presión en SL3000XL en Low
demasiado pequeña Flow demasiado baja.
Wrn556 Regulador aplicado Presión demasiado baja (p1)

Err557 Regulador obstruido Presión demasiado baja (p1)
6xx Errores de calibración
Wrn600 Factor de calibrado 81 153 0.01 Fuga de calibración o factor
demasiado bajo máquina ajustados
incorrectamente
Wrn601 Factor de calibrado 81 153 10000 Fuga de calibración o factor
demasiado alto máquina ajustados
incorrectamente, factor de flujo
parcial demasiado grande
Wrn602 FactorCal más bajo que en 81 153 < 50% del Fuga de calibración, factor
la última calibración valor máquina o proporción de flujo
antiguo parcial modificados

Wrn603 FactorCal más alto que en 81 153 > 200% del Fuga de calibración, factor
la última calibración valor máquina o proporción de flujo
antiguo parcial modificados
Wrn604 Calibrado interno no es 81 153 Fuga calibrada no habilitada
posible; falta control de
fuga calibrada
Wrn605 Diferencia en la calibración Fuga calibrada defectuosa o señal
insuficiente demasiado pequeña.
Wrn610 Factor máquina demasiado 81 153 1,00E-04 Ajuste factor máquina incorrecto
bajo
Wrn611 Factor máquina demasiado 81 153 1,00E+04 Ajuste factor máquina incorrecto;
alto factor de flujo parcial demasiado
grande
Wrn612 Factor máquina más bajo 81 153 < 50% del Factor de flujo parcial modificado
que la última vez valor
antiguo
Wrn613 Factor máquina más alto 81 153 > 200% del Factor de flujo parcial modificado
que la última vez valor
antiguo
Wrn625 Fuga calibrada interna no 0 0 Tasa de fuga de la fuga calibrada
ajustada interna todavía en el valor por
defecto
Wrn626 Ext. Fuga calibrada no 0 0 Tasa de fuga de la fuga calibrada
ajustada todavía en el valor por defecto
Wrn630 Solicitud de calibrado 0 0 Entre otros con variación de la
especificación del número de
revoluciones o temperatura del
preamplificador en 5°C desde la
última calibración
Wrn650 Calibración no No se recomienda efectuar una
recomendada en los calibración durante los primeros
primeros 20 minutos 20 minutos desde el arranque
(fase de calentamiento) del
detector de fugas.
Se puede apagar el mensaje de

advertencia:
– Protocolo LD: Com 429
– ASCII: *CONFig:CALWarn
(ON,OFF)

Wrn670 Error en la calibración 81 153 Como ha aparecido un problema

durante la calibración, debe
realizar la calibración de nuevo.
Wrn671 No se ha encontrado el 81 153 La señal no estuvo lo
peak suficientemente inmóvil durante la
búsqueda del peak. La calibración
se canceló.
Wrn680 Desviación de la 0 0 La comprobación de la calibración
calibración fijada ha mostrado que debe calibrar de
nuevo.
7xx Error de temperatura (preamplificador, sistema electrónico)
Wrn700 Temp. preamplificador 33 60 2°C Temperatura demasiado baja
demasiado baja
Wrn702 Temp. preamplificador 32 124 60°C Temperatura demasiado alta
demasiado alta
Wrn710 Temperatura MSB 54 44 55°C Temperatura demasiado alta
demasiado alta
Err711 Temperatura máxima MSB 54 44 65°C Temperatura demasiado alta
sobrepasada
8xx No utilizado
9xx Mensajes de mantenimiento (p. ej. TMP)
Wrn901 Mantenimiento 99 99 3 años Mantenimiento TMP necesario
rodamientos/lubricantes
Wrn910 Mantenimiento bomba de 99 99 Es necesario efectuar el
membrana mantenimiento de 8000 horas de
la bomba de membrana
10.1 Representación del código de error con la

ayuda de los LED de estado
Un error o una advertencia en la caja MSB se señaliza como código de error desde la
unidad de manejo o como código de intermitencia a través del LED de estado.
El código de intermitencia se inicia con una señal blanca prolongada. Le sigue el

número de error o de advertencia. Un número de error se indica con señales rojas, un
número de advertencia con señales de color naranja (las señales de color naranja
tiran fuertemente al verde):
-> Inicio del código de intermitencia: señal blanca prolongada
• Centenas: 0 ... 9 señales rojas para errores o 0 ... 9 señales naranjas para
advertencias
• Separación: señal azul

• Decenas: 0 ... 9 señales rojas para errores o 0 ... 9 señales naranjas para
advertencias
• Separación: señal azul
• Unidades: 0 ... 9 señales rojas para errores o 0 ... 9 señales naranjas para
advertencias
El código de intermitencia se repite cíclicamente.
Ejemplo: La presión es demasiado alta.

-> Código de error = Advertencia 520
-> Código parpadeante del LED de estado: blanco (prolongado), 5·naranja, azul,
2·naranja, azul

INFICON Funcionamiento CU1000 (opcional) | 11
11 Funcionamiento CU1000 (opcional)
11.1 Elementos de la pantalla táctil
11.1.1 Elementos de la pantalla de medición
Fig. 20: Indicación de medición
1 Bloqueo del teclado 2 Estado de comunicación 3 Registro de datos

4 Operador 5 Zero 6 Mensaje
7 Gas de prueba 8 Modo de servicio 9 Tasa de fuga con la función
Peak Hold
10 Representación gráfica de la tasa 11 Eje del tiempo 12 Presión de vacío previo
de fuga y de la función Peak Hold
13 Tecla "Favorito 2" 14 Tecla "Favorito 1" 15 Menú

11 | Funcionamiento CU1000 (opcional) INFICON
16 Eje del valor 17 Eje del valor
1 - Bloqueo de teclado
La unidad de manejo se bloquea o se libera mediante la pulsación prolongada del
símbolo de bloqueo del teclado.
2 - Símbolo para el estado de la comunicación

• Símbolo unido: El aparato comunica con el módulo de espectrómetro de masas.
• Símbolo separado: El aparato no comunica con el módulo de espectrómetro de

masas.
Establecer la comunicación:
1 Resetear unidad de manejo (Reset).
2 Comprobar el estado del módulo de espectrómetro de masas.
3 Comprobar la conexión de cable
3 - Símbolo para el registro de datos

La medición se registra.
4 - Ser
El operador que ha iniciado la sesión se indica por medio de una abreviatura.
Pantalla Significado
Ope Operator
Sup Supervisor
Int Integrator
Ser Servicio
Para más información, consulte el capítulo 6.2.2., página 20.
5 - Zero
La supresión de fondo está activa.
6 - Símbolo para atención

En el aparato están guardados unos mensajes de advertencia activos.
Los mensajes de advertencia activos se pueden visualizar a través del menú

"Información > Historial > Advertencias".
7 - Gas de prueba
Gas de prueba ajustado y concentración del gas de prueba en %.

Pantalla Significado
4
He Helio ( He)
H2 Hidrógeno
M3 p. ej. H-D, 3He o H3
8 - Modo de servicio
Modo de servicio ajustado
Pantalla Modo de servicio

VA Vacío
SNIF Aspiración
LOW FLOW XL Sniffer Adapter en LOW FLOW
HIGH FLOW XL Sniffer Adapter en HIGH FLOW
Standby XL Sniffer Adapter en HIGH FLOW en
Standby
9 - Tasa de fuga
Valor medido actual de la tasa de fuga.
10 - Graf
Representación gráfica de la tasa de fuga Q(t).
11 - Tasa de fuga
Eje del tiempo de la tasa de fuga Q(t).
12 - Presión de vacío previo (no en el modo de servicio XL Sniffer

Adapter)
Presión de vacío previo p1.
13 - Tecla "Favorito 2"

Bajo esta tecla se pueden guardar los parámetros favoritos (véase la página 19). En
la Fig. 4 la tecla "Favorito 2" está asignada, a título de ejemplo, a la función "Start/
Stop".
14 - Tecla "Favorito 1"

Bajo esta tecla se pueden guardar los parámetros favoritos (véase la página 19). En
la Fig. 4 la tecla "Favorito 1" está asignada, a título de ejemplo, a la función "ZERO".

15 - Símbolo para el menú

Todas las funciones y parámetros de la unidad de manejo se alcanzan a través de la
tecla "Menú" .
Una representación completa del menú está contenida en el lápiz USB adjunto a
LDS3000.
16 - Eje del valor

Eje del valor de la tasa de fuga Q(t).
17 - Unidad de medida
Unidad de medida del eje del valor.
11.2 Elementos de visualización de errores y

advertencias
¡ADVERTENCIA!
Número: 500
Aviso
Sensor de presión no conectado
mostrado
con detalles (Valor = 4.23E-2)
Para la visualización
Otros errores o advertencias
de otros errores
501 502 activos o
advertencias
(si existen)
Visualización detallada
de otros errores
activos o Información sobre
Para confirmar
advertencias la causa o remedio
todos los avisos
(si existen) del aviso que se muestra
más arriba
También encontrará una vista general de los posibles errores u advertencias en las
instrucciones de servicio para el LDS3000 (módulo del espectrómetro de masas),
capítulo "Mensajes de advertencia y de error".

11.3 Ajustes y funciones

A continuación se explican los ajustes y las funciones de la unidad de manejo. Los
ajustes y las funciones del módulo de espectrómetro de masas LDS3000 que se
ajustan a través de la unidad de manejo están listados en las instrucciones de servicio
del módulo de espectrómetro de masas.
11.3.1 Ajustes de la pantalla táctil

La pantalla táctil muestra los parámetros de color gris si
• el usuario no debe modificar los valores,
• la versión más antigua del software del módulo de espectrómetro de masas

LDS3000 no soporta este parámetro.
Escala del eje Q(t) Lineal o logarítmico

Lin.
Log.
Unidad de manejo Indicación > Eje Q(t) > Lineal o logarítmico
Número de décadas en la representación logarítmica

1
2
3
4
Unidad de manejo Indicación > Eje Q(t) > Décadas
Escala automática
OFF (con OFF se puede modificar la representación presionando la intersección de
los ejes de coordenadas y desplazando y soltando con el dedo el eje deseado o, si
pulsa el extremo del eje de coordinadas deseado, desplazando en el sentido de la
intersección de los ejes y soltando)
On
Unidad de manejo Indicación > Eje Q(t) > Escala automática
Escala del eje del Escala del eje del tiempo

tiempo
15 s 240 s
30 s 480 s
60 s 960 s
120 s

Unidad de manejo Indicación > Eje del tiempo > Escala eje del tiempo
Unidades de indicación Unidad de la presión

Mbar Atm
Pa Torr
Unidad de manejo Indicación > Unidades (indicación) > Unidad de presión
Representación de los Tipo de visualización gráfica

valores medidos
Diagrama
Indicador de barras
Unidad de manejo Indicación > Indic.med. > Tipo indicación medición
Representación numérica de los valores de medición

Off
On
Unidad de manejo Indicación > Indic.med. > Indicación de valores
Luminosidad de la Luminosidad de la pantalla

pantalla
20 ... 100%
Unidad de manejo Indicación > Luminosidad > Luminosidad de la pantalla
Indicación del disparo Selección del valor de disparo (valor umbral de tasa de fuga) que se muestra en la
en la pantalla táctil pantalla táctil.
1
2
3
4
Unidad de manejo Ajustes > Disparador > Nivel de disparo
Asignar teclas de Las teclas de favoritos ofrecen el acceso directo a determinadas funciones. El
favoritos usuario puede asignarles la autorización "Supervisor" o superior.
Favorito 1: Tecla central (ver Fig. 4, página 15).
Favorito 2: Tecla derecha
Favorito 3: Tecla abajo a la derecha en el menú principal.

CAL Volumen
ZERO (con AQ en lugar de ZERO: - - - (= sin función)

ZERO AQ)

Indicación de valores de medición Comprobar CAL
Start/Stop Control de caudal
Ajustes de pantalla (Con AQ además: Asistente AQ)
Unidad de manejo Ajustes > Favoritos > Favorito 1 (2, 3)
Visualización de los Las advertencias y los mensajes de error se pueden mostrar en la pantalla táctil.
mensajes en la
Off
pantalla táctil
On
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Unidad de manejo > Mensajes >
Mostrar advertencias
Mostrar notas de Permitir o suprimir las notas de calibración con el siguiente contenido:
calibración
• Tasa de fuga de la fuga calibrada utilizada
• No se debe calibrar durante los primeros 20 minutos después del encendido

OFF (suprimido)
ON (permitido)
Mostrar notas de calibración
Mostrar solicitudes de Se pueden permitir o suprimir las solicitudes de calibración.

calibración
OFF (suprimido)
ON (permitido)
Mostrar solicitudes de calibración
Visualización de los Las advertencias y los mensajes de error se pueden mostrar en la pantalla táctil.
mensajes en la
Off
pantalla táctil
On
Mostrar advertencias
Ajuste de la alarma de Volumen de los auriculares o del altavoz activo

audio
--- (sin tono)
Proporcional: La frecuencia de la señal acústica es proporcional al indicador de

barra o a la altura del diagrama. El intervalo de frecuencia va de 300 Hz hasta 3300
Hz.

Setpoint: La altura del sonido es proporcional a la tasa de fuga. Se emite el tono

cuando la tasa de fuga ha superado el disparador seleccionado.
Pinpoint: El tono de la señal acústica cambia su frecuencia dentro de una ventana

de tasa de fuga. Alcance: Desde una década por debajo del umbral de disparo
seleccionado hasta una década por encima. Por debajo del margen, el tono es
constantemente bajo; por encima del margen, el tono es constantemente alto.
Disparador: Al superar el umbral de disparo seleccionado se emite una señal de dos

tonos.
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Unidad de manejo > Audio > Tipo de
alarma de audio
Comportamiento en caso de advertencias o mensajes de error: Cuando la pantalla

táctil muestra una advertencia o un error, se emite siempre, al mismo tiempo, una
señal de dos tonos.
Desconexión Para ahorrar energía, la pantalla táctil se puede desconectar automáticamente al

automática pantalla cabo de un determinado lapso de tiempo durante el cual no se efectúa ninguna
táctil operación.
30 s 10 min
1 min 30 min
2 min 1 h ∞ (=nunca)
5 min
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Unidad de manejo > Energía > Apagar
pantalla tras
11.3.2 Tipos de operador y autorizaciones

Existen cuatro tipos de operador distintos que se caracterizan por sus diferentes
autorizaciones. Desde la fábrica está registrado el Integrator.
Es posible registrar operadores adicionales. La siguiente tabla muestra las

posibilidades de los distintos tipos de operador de registrar nuevos tipos de operador.
Registro de operadores
Viewer Operator Supervisor Integrator

- Operator Supervisor Integrator
Viewer Operator Supervisor
Viewer Operator
Viewer
Para los tipos "Integrator", "Supervisor" y "Operator" se necesita asignar un PIN de

cuatro dígitos al efectuar el registro (0000 ... 9999). Desde la fábrica, se ha asignado
"0000" a todos los operadores.

Si un operador conserva el PIN "0000", se inicia siempre la sesión con este operador
al iniciar el sistema (sin pedir el PIN).
Si está conectado un módulo I/O, se puede emplear un interruptor de llave además

del PIN. El interruptor de llave se conecta al módulo I/O a través de tres entradas
digitales (ver las instrucciones de servicio LDS3000).
La siguiente tabla muestra las autorizaciones de los distintos tipos de operador.
Función Viewer Operator Supervisor Integrator

Modificar - x x x
parámetros
Modificar la - x x x
representación
de la
información de
errores
Consultar los - - - x
ajustes de
fábrica
Introducir el - - - x
desarrollo del
mantenimiento
El menú "Service" solo es accesible para el Servicio técnico INFICON.
Cargar parámetros Los parámetros guardados/salvados del panel de mando CU1000 y del módulo de
espectrómetro de masas se pueden cargar desde un lápiz USB.
Unidad de manejo Funciones > Datos > Parámetro > Cargar
Guardar parámetros Los parámetros de la unidad de manejo CU1000 y del módulo de espectrómetro de
masas se pueden escribir en un lápiz USB.
Unidad de manejo Funciones > Datos > Parámetro >
Guardar
Mostrar información de El tipo de información de error se puede ajustar de manera diferente para cada tipo
error de operador. El Integrator recibe siempre la información completa.
Número: Número de aviso
Texto: Descripción breve
Información: Información ampliada sobre el mensaje
• Solo números
• Número y texto
• Nº, texto e información

Unidad de manejo Funciones > Datos > Parámetro > Inform.
de error Viewer (Operator, Supervisor)

Mostrar y modificar Los parámetros se pueden visualizar como lista alfabética con el nombre y el valor
lista de parámetros actual. Cada entrada en la lista es un botón que, al ser pulsado, abre el diálogo de
ajuste del parámetro.
Unidad de manejo Lista > Lista de parámetros o:
Funciones > Datos > Parámetro > Lista
Mostrar la lista de las Los parámetros se pueden visualizar como lista alfabética con el nombre y la
autorizaciones de autorización de modificación actual. Cada entrada en la lista es un botón que, al ser
modificación de pulsado, modifica la autorización. La modificación es posible conforme a la jerarquía
parámetros de los operadores.
Unidad de manejo Funciones > Datos > Parámetro > Aut.
parám.
11.3.2.1 Desregistrar operadores

Para el desregistro, el operador activa el nivel de autorización "Viewer". "Autoriz. >
Viewer"
11.3.3 Funciones
11.3.3.1 Resetear los ajustes

Módulo del Es posible restaurar los ajustes de fábrica del módulo de espectrómetro de masas.
espectrómetro de
masas
Resetear > Ajustes MSB
Autorizaciones Es posible restaurar el ajuste de fábrica para la autorización de modificación de

parámetros.
Resetear > Autorización Permiso
Unidad de manejo Es posible restaurar los ajustes de fábrica del panel de mando.
Resetear > Ajustes Unidad de manejo
11.3.3.2 Registrar datos

Los datos se almacenan como archivo TXT. Cada archivo TXT contiene la siguiente
información:
• Fecha de creación
• Versión del software
• Número de serie
• Hora de inicio

• Sello horario (la medición indica el offset en segundos frente a la hora de inicio)
• Nombre de archivo
• Sello horario (offset en segundos frente a la hora de inicio)
• Tasa de fuga (en la unidad de indicación seleccionada)
• Presión p1 (en la unidad de indicación seleccionada)
• Estado del aparato
Activar/desactivar Activar o desactivar el registro de datos

• Off
• On
Unidad de manejo Funciones > Datos > Registrador >
Ajustes > Registro de datos
Intervalo de Intervalo entre la grabación de datos

almacenamiento
• 100 ms, 200 ms, 500 ms, 1 s, 2 s, 5 s
Ajustes > Intervalo de almacenam.
Lugar de Los datos se pueden guardar en la unidad de manejo o en un lápiz USB. La

almacenamiento capacidad de memoria de la unidad de manejo está limitada al registro de una
medición de 24 horas.
• Lápiz USB
• Unidad de manejo
Ajustes > Lugar de almacenamiento
Copiar datos Los datos se pueden guardar en la unidad de manejo o en un lápiz USB. La
capacidad de memoria de la unidad de manejo está limitada al registro de una
• Lápiz USB
Copiar > Copiar archivos
Borrar datos Los datos se pueden guardar en la unidad de manejo o en un lápiz USB. La
capacidad de memoria de la unidad de manejo está limitada al registro de una
• Lápiz USB
Borrar > Borrar archivos

11.3.3.3 Consultar información

A través del menú Información se pueden consultar diversos tipos de información y
los estados de la instalación.
Valores de medición • Preamplifier
• Environment
• TMP
Temperatura • Electronic
• TMP
Energía y horas de • Energy values: información sobre los valores de consumo
servicio • Operation hours: indicación de las horas de servicio
• Supply voltages: información sobre las tensiones de alimentación internas
• Power supply: información sobre la alimentación de tensión de los componentes

Desarrollo • Errores, desarrollo de errores/advertencias
• Calibración, desarrollo de la calibración
• Errores TMP, desarrollo TMP
• Advertencias, advertencias activas
• Mantenimiento, desarrollo del mantenimiento

Unidad de manejo • Version control unit: información sobre la versión de software
• Memory: información sobre la capacidad de memoria disponible
• Settings: Ajustes de la unidad de manejo.
• Serial Port wired: información sobre la conexión de comunicación
• Data Exchange: información sobre el intercambio de datos entre el módulo de

espectrómetro de masas y la unidad de manejo
Módulo del • MSB (1): información sobre la versión de software
espectrómetro de • MSB (2): información sobre los parámetros de funcionamiento
masas
• TMP controller (1): información sobre la bomba turbomolecular
• TMP controller (2): información sobre la bomba turbomolecular, continuación
• Ion source: información sobre la fuente iónica utilizada
• Preamplifier: información sobre el preamplificador
• Preamplifier test: información sobre la prueba del preamplificador.

Interfaces • Módulo I/O (1): Información de la versión de software, entradas y salidas
• Módulo I/O (2): Información visualizada de las entradas digitales

Fig. 21: Módulo I/O (2): Información visualizada de las entradas digitales
1 Estado de la señal de entrada 2 Función configurada (INV = la

función está invertida)
3 Estado de la función (activo o
inactivo)
• Módulo I/O (3): Información visualizada de las salidas digitales

Fig. 22: Información visualizada de las salidas digitales
1 Función configurada (INV = la 2 Estado de la señal de salida

función está invertida)
3 Estado de la función (activo o
inactivo)
• Módulo de bus (1): Información del módulo de bus
• Módulo de bus (2): Información del módulo de bus, continuación

11.3.4 Actualizar el software

Las actualización de software de INFICON serán reproducidas con la ayuda de un
lápiz USB. Encontrará la función de actualización del aparato en "Funciones >
Datos > Actualización".
Es posible una actualización,
• si hay una o varias actualizaciones en el lápiz USB, pero como máximo una
actualización por tipo (unidad de manejo, caja MSB, módulo I/O),
• si estas piezas además están conectadas y disponen de una función de

actualización.
Las teclas correspondientes en el menú de actualización como "Unidad de manejo",

"Caja MSB" y "Módulo I/O" están activas y puede activarse individualmente.
INDICACIÓN
Cancelación de la conexión
Pérdida de datos por la cancelación de la conexión
► No apague el aparato ni retire el lápiz USB mientras el software se esté

actualizando.
► Apague el aparato una vez se han finalizado las actualizaciones de software y

vuelva a encenderlo.
11.3.4.1 Actualizar el software de la unidad de manejo

El software está contenido en dos archivos con las denominaciones
Handset_IFC_Vx.xx.xx.exe y Handset_IFC_Vx.xx.xx.key.
1 Copie el archivo en el directorio principal de un lápiz USB.
2 Conecte un lápiz USB al puerto USB del aparato.
3 Seleccione: "Funciones > Datos > Actualización > Unidad de manejo".
ð No apague el aparato ni retire el lápiz USB mientras el software se esté

actualizando.
4 Revise la información de la versión.
5 Seleccione la tecla "Start" para iniciar la actualización. No apague el aparato ni
retire el lápiz USB mientras el software se esté actualizando.
6 Siga las instrucciones en la pantalla táctil y espere a que la actualización
finalice.
11.3.4.2 Comprobar y actualizar la versión de software de la caja MSB

El software actual está disponible a través del Soporte técnico de Inficon.

Las funciones del XL Sniffer Adapter Set están consideradas en el software del
sistema a partir de la versión 2.11.
1 Copie el archivo Flash_LDS3000_MSB_Vxx.xx.xxx.bin en el directorio principal
de un lápiz USB.
3 Seleccione: "Funciones > Datos > Actualización > MSB".
ð Se muestra información sobre la versión del software actual, del software

nuevo y del cargador de inicialización.
ð Seleccione la tecla "Start" para iniciar la actualización.

actualizando. No apague el aparato ni retire el lápiz USB mientras el software
se esté actualizando.
finalice.
6 Si el sistema emite la advertencia 104 ó 106, confírmelo con "C" .
11.3.4.3 Actualizar el software del módulo I/O

El software del módulo I/O se puede actualizar desde la unidad de manejo si el
módulo de espectrómetro de masas tiene al menos la versión de software "Módulo
MS 1.02".
1 Copie el archivo Flash_LDS3000_IO_Vxx.xx.xxx.bin en el directorio principal de
un lápiz USB.
3 Seleccione: "Funciones > Datos > Actualización > Módulo I/O"
ð Se muestra información sobre la versión del nuevo software actual, del

software actual y del cargador de inicialización.
5 Seleccione la tecla "Start" para iniciar la actualización.

actualizando.
finalice.
ð Tras pulsar la tecla "Start" en la pantalla táctil, aparecerán las siguientes

instrucciones:
• Conectar y encender el IO1000.
• Activar el modo de inicialización (encender y apagar DIP S2.3 una vez).
• Cuando el LED de estado parpadea de color verde, pulse OK.

Fig. 23: Interruptores DIP en el módulo I/O

12 | Mantenimiento INFICON
12 Mantenimiento
El módulo de espectrómetro de masas es un detector de fugas para el uso industrial.
Los componentes y grupos constructivos utilizados precisan generalmente poco
mantenimiento.
El mantenimiento del módulo de espectrómetro de masas se limita a la sustitución del

depósito de lubricante de la bomba turbomolecular y la comprobación del ventilador
en la bomba turbomolecular.
Recomendamos firmar un contrato de mantenimiento con INFICON o una delegación

de servicio técnico autorizada por INFICON.
12.1 Mantenimiento por INFICON
ADVERTENCIA
Peligro para la salud
Los aparatos contaminados pueden poner en peligro la salud de los empleados de
INFICON.
► Rellene completamente la declaración de contaminación.
► Fije la declaración de contaminación al exterior del embalaje.
La declaración de contaminación está prescrita por la ley y sirve para la protección de

nuestros empleados. INFICON devuelve al remitente los aparatos enviados sin
declaración de contaminación debidamente rellenada. Véase "Declaración de
contaminación [} 140]".
12.2 Indicaciones generales para el mantenimiento

Los trabajos de mantenimiento en el módulo de espectrómetro de masas se dividen
en tres niveles de mantenimiento:
• Nivel de mantenimiento I: Cliente sin formación técnica
• Nivel de mantenimiento II: Cliente con formación técnica e instrucción por

INFICON
• Nivel de mantenimiento III: Servicio técnico INFICON

INFICON Mantenimiento | 12
PELIGRO
Peligro de muerte por descarga eléctrica
En el interior del aparato existen altas tensiones. En caso de contacto con elementos
bajo tensión eléctrica existe peligro de muerte.
► Separe el aparato de la alimentación eléctrica antes de iniciar cualquier trabajo de

mantenimiento.
INDICACIÓN
Daños materiales por suciedad
El módulo de espectrómetro de masas es un aparato de medición de precisión.
Incluso un leve ensuciamiento puede dañar el equipo.
► Al ejecutar cualquier trabajo de mantenimiento, preste atención a la limpieza del

entorno y utilice herramientas limpias.
12.3 Plan de mantenimiento

Si no se ejecutan los trabajos de mantenimiento conforme al plan de mantenimiento
se extingue la garantía del módulo de espectrómetro de masas.
Trabajos de Horas de funcionamiento 24 8000 16000 24000 36000 Nivel de

mantenimiento Período de tiempo 1 años 2 años 3 años servicio
Bomba Cambiar el depósito X2 II y III

turbomolecular de lubricante,
N.º de repuesto: 200003801
Cambiar los cojinetes X2 III
(recomendado)
Limpiar el ventilador y 1 I y II
controlar
su funcionamiento
Accesorios Limpiar la válvula de muestreo X III
Calibrar la fuga calibrada X2 III
interna
Calibración Realizar la calibración interna X1 I

int.
Calibración Realizar la X1 I
externa calibración externa

Detección de Realizar la detección de fugas X III

fugas con He en el módulo de
módulo de espectrómetro de masas
espectrómetro
de masas
X: al cabo de horas de servicio o período de tiempo
X1: al cabo de horas de servicio
X2: al cabo de período de tiempo
1: en función del entorno y uso
12.4 Trabajos de mantenimiento
12.4.1 Sustituir el depósito de lubricante de la bomba

turbomolecular
La bomba turbomolecular está llenada con un aceite para la lubricación de los
rodamientos de bolas. El cambio del depósito de lubricante se tiene que realizar,
como máximo, cada 2 años. Bajo condiciones extremas de uso de la bomba o en
procesos impuros es necesario cambiar el depósito de lubricante más a menudo.
La tapa de cierre del depósito de lubricante solo se puede desenroscar cuando la

bomba turbomolecular está inundada.
Inundar bomba turbomolecular

1 Ponga fuera de servicio el módulo de espectrómetro de masas, véase "Puesta
fuera de servicio [} 137]".
2 Espere hasta que la bomba turbomolecular se haya parado por inercia (mín. 1
min.).
3 Separe la fuente de alimentación de 24 V de la caja MSB.
4 En su caso, deje que se enfríe la bomba turbomolecular.
5 Desmonte la bomba turbomolecular.
6 Abra lentamente el tornillo de aireación.
ð La bomba turbomolecular se inunda hasta la presión atmosférica.

Fig. 24: Bomba turbomolecular SplitFlow 80
1 Tapa de cierre 3 Depósito de lubricante

2 Junta tórica 4 Tornillo de aireación

Retirar el depósito de lubricante antiguo
ADVERTENCIA
Peligro de intoxicación por sustancias nocivas
El depósito de lubricante y partes de la bomba turbomolecular pueden estar
contaminados con sustancias tóxicas contenidas en los medios bombeados.
► Tome las medidas de precaución oportunas.
► Antes de ejecutar trabajos de mantenimiento, descontamine los elementos

contaminados.
► Elimine el depósito de aceite usado según la normativa vigente.
ü Llave de espigas, P/N: 551-200
ü Dos destornilladores
ü Pinzas
ü Junta tórica
ü Depósito de lubricante, P/N: 200 003 801
ü Espectrómetro de masas y la bomba turbomolecular inundados.
ü El nuevo depósito de lubricante está llenado con una suficiente cantidad de aceite.
1 Compruebe la fecha de caducidad del nuevo depósito de lubricante.
2 No introduzca más aceite.
3 Desenrosque la tapa de cierre con la ayuda de la llave de espigas.
4 Retire el anillo tórico antiguo.
5 Saque el depósito de lubricante con la ayuda de dos destornilladores.

Fig. 25: Sustituir el depósito de lubricante
1 Junta tórica 3 Barras Porex

2 Depósito de lubricante

Cambiar las barras Porex
INDICACIÓN
Daños materiales por líquidos de limpieza
Los líquidos de limpieza pueden dañar el aparato.
► No utilice líquidos de limpieza.
► Emplee un paño limpio que no suelte pelusa.
1 Retire las barras Porex usadas (8 unidades) con la ayuda de una pinza.
2 Elimine las impurezas en la bomba turbomolecular y la tapa de cierre siempre
con un paño limpio que no suelte pelusa.
3 Inserte las barras Porex nuevas (8 unidades) con la ayuda de una pinza.
Insertar el depósito de lubricante nuevo
INDICACIÓN
Daños materiales en caso de montaje incorrecto del anillo tórico
En caso de montaje incorrecto del anillo tórico se pueden producir fugas. El aparato
muestra un funcionamiento erróneo y sufre daños.
► Inserte el anillo tórico con cuidado.
El nuevo depósito de lubricante se posiciona correctamente al enroscar la tapa de

cierre:
1 No introduzca el nuevo depósito de lubricante en la bomba en toda su altura,
sino únicamente hasta el anillo tórico.
2 Inserte un nuevo anillo tórico para la tapa de cierre.
3 Enrosque la tapa de cierre con una llave de espigas (par de apriete 13 Nm
+/-10%).
4 Apriete el tornillo de aireación con fuerza manual.
5 Monte la bomba turbomolecular.
6 Ponga el módulo de espectrómetro de masas en servicio.
Confirmar el trabajo de mantenimiento

ü Unidad de manejo instalado
ü Autorización = Integrator
► Confirmar el trabajo de mantenimiento en la unidad de manejo: "Autorización >
Integrator > Mantenimiento > Trabajo de mantenimiento"

INFICON Puesta fuera de servicio | 13
13 Puesta fuera de servicio
13.1 Parar el detector de fugas

1 Desconecte el detector de fugas en la fuente de alimentación.
2 Espere hasta que la bomba turbomolecular se haya parado.
13.2 Eliminar el módulo de espectrómetro de masas

El aparato puede ser desechado por la empresa gestora o enviado a INFICON.
El aparato está compuesto por materiales que pueden ser reutilizados. Para evitar la
generación de residuos y proteger al medio ambiente, se debería hacer uso de esta
posibilidad.
► Para la eliminación, observe las normas de medio ambiente y de seguridad del país
en cuestión.
13.3 Envío del módulo de espectrómetro de masas
ADVERTENCIA
Peligro derivado de sustancias nocivas para la salud
Los aparatos contaminados pueden poner en peligro la salud. La declaración de
contaminación sirve para la protección de todas las personas que entran en contacto
con el aparato.
► Cumplimente la declaración de contaminación.
1 Antes de una devolución, póngase en contacto con el fabricante y envíe una

declaración de contaminación rellenada.
ð Después obtendrá un número de devolución.

2 Utilice el embalaje original para la devolución.
3 Antes de enviar el aparato, adjunte un ejemplar de la declaración de
contaminación rellenada. Véase Declaración de contaminación [} 140].

14 | Anexo INFICON
14 Anexo
14.1 Conformidad CE

INFICON Anexo | 14
14.2 Declaración de incorporación

14 | Anexo INFICON
14.3 Declaración de contaminación

INFICON Anexo | 14
14.4 RoHS

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Traducción del manual de instrucciones original

Versión del software igual o superior a

Bonner Straße 498

50968 Colonia, Alemania

1.1 Advertencias ............................................................................................................................................. 7

1.2 Otros documentos aplicables ................................................................................................................... 7

1.3 Grupos destinatarios................................................................................................................................. 8

1.4 Definiciones de los términos..................................................................................................................... 8

2.1 Uso reglamentario .................................................................................................................................. 11

2.2 Requisitos hacia la empresa gestora...................................................................................................... 11

2.3 Obligaciones del operador...................................................................................................................... 12

3 Volumen de suministro, transporte, almacenamiento .................................................................................... 14

4.1 Función ................................................................................................................................................... 15

4.2 Estructura del aparato ............................................................................................................................ 16

4.2.1 Aparato completo (LDS3000) ..................................................................................................... 16

4.2.2 Aparato completo (LDS3000 AQ) ............................................................................................... 17

4.2.3 Bloque de conexión .................................................................................................................... 20

4.2.4 Caja MSB.................................................................................................................................... 20

4.2.5 Identificativos en el aparato ........................................................................................................ 23

4.3 Datos técnicos ........................................................................................................................................ 23

4.4 Ajustes de fábrica ................................................................................................................................... 24

5.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje .................................................... 27

5.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación ............................... 28

5.3 Seleccionar conexión ULTRA, FINE o GROSS...................................................................................... 29

5.4 Establecer las conexiones de los componentes..................................................................................... 31

5.5 Establecer las conexiones eléctricas...................................................................................................... 31

6 Montaje LDS3000 AQ (acumulación) ............................................................................................................. 33

6.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje .................................................... 33

6.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación ............................... 34

6.3 Seleccionar los componentes y establecer las conexiones.................................................................... 36

6.4 Establecer las conexiones eléctricas...................................................................................................... 38

7 Funcionamiento LDS3000 .............................................................................................................................. 39

7.1 Conectar el aparato ................................................................................................................................ 39

7.2 Ajustes previos ....................................................................................................................................... 40

7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga............................................................................................. 42

7.4 Seleccionar la unidad para la presión..................................................................................................... 43

7.5 Seleccionar modo de compatibilidad ...................................................................................................... 43

7.6 Seleccionar el modo de servicio ............................................................................................................. 45

7.7 Seleccionar tipo de gas (masa) .............................................................................................................. 46

7.8 Calibrar el aparato .................................................................................................................................. 47

7.8.1 Momento y ajustes previos generales ........................................................................................ 47

7.8.2 Configurar e iniciar calibración interna........................................................................................ 49

7.8.3 Configurar e iniciar calibración externa....................................................................................... 50

7.8.4 Iniciar la calibración dinámica externa ........................................................................................ 52

7.8.5 Calibración externa con el conducto de aspiración SL3000XL................................................... 54

7.8.6 Comprobar calibración................................................................................................................ 55

7.8.6.2 Comprobar calibración con fuga calibrada externa............................................................ 55

7.8.7 Introducir el factor de calibrado................................................................................................... 56

7.8.7.2 Factor de calibrado vacío................................................................................................... 56

7.8.8 Ajustar el factor máquina y de muestreo .................................................................................... 57

7.8.8.2 Ajustar el factor máquina y de muestreo a través de la calibración de la máquina ........... 58

7.9 Iniciar y parar la medición....................................................................................................................... 59

7.10 Guardar y cargar parámetros ................................................................................................................. 60

7.11 Copiar datos de medición, borrar datos de medición ............................................................................. 60

7.13 Representación de resultados de medición con filtros de señales......................................................... 61

7.14 Control de la válvula de gas de traza de la bomba de vacío previo ....................................................... 63

7.15 Seleccionar límites de indicación............................................................................................................ 63

7.16 Ajustar valores de disparo ...................................................................................................................... 64

7.17 Ajustar el control del capilar.................................................................................................................... 64

7.18 Ajuste el número de revoluciones de la bomba turbomolecular ............................................................. 65