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    Microscopía Electrónica de Barrido

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    J Díaz Salaverría
    El microscopio electrónico de barrido (SEM) permite obtener imágenes de alta resolución de la superficie de las muestras mediante la detección de electrones emitidos por la muestra cuando es bombardeada con un haz de electrones. Los principales componentes de un SEM incluyen una fuente de electrones, lentes electromagnéticas, un detector de electrones y una cámara de muestra. El SEM proporciona información topográfica, de composición y de orientación cristalina a escalas que van desde los 5-100 nm.

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    Microscopía Electrónica de Barrido

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    J Díaz Salaverría
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    El microscopio electrónico de barrido (SEM) permite obtener imágenes de alta resolución de la superficie de las muestras mediante la detección de electrones emitidos por la muestra cuando es bombardeada con un haz de electrones. Los principales componentes de un SEM incluyen una fuente de electrones, lentes electromagnéticas, un detector de electrones y una cámara de muestra. El SEM proporciona información topográfica, de composición y de orientación cristalina a escalas que van desde los 5-100 nm.

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    Microscopía Electrónica de Barrido

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    El microscopio electrónico de barrido (SEM) permite obtener imágenes de alta resolución de la superficie de las muestras mediante la detección de electrones emitidos por la muestra cuando es bombardeada con un haz de electrones. Los principales componentes de un SEM incluyen una fuente de electrones, lentes electromagnéticas, un detector de electrones y una cámara de muestra. El SEM proporciona información topográfica, de composición y de orientación cristalina a escalas que van desde los 5-100 nm.

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    Microscopía Electrónica de Barrido

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    J Díaz Salaverría
    El microscopio electrónico de barrido (SEM) permite obtener imágenes de alta resolución de la superficie de las muestras mediante la detección de electrones emitidos por la muestra cuando es bombardeada con un haz de electrones. Los principales componentes de un SEM incluyen una fuente de electrones, lentes electromagnéticas, un detector de electrones y una cámara de muestra. El SEM proporciona información topográfica, de composición y de orientación cristalina a escalas que van desde los 5-100 nm.

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    MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA DE BARRIDO

    Scanning Electron Microscopy (SEM)

    J. Díaz-Salaverría
    MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM
    Los principales componentes de un microscopio
    electrónico de barrido incluyen:

    ▪ Fuente de electrones

    Esquema de un microscopio electrónico de barrido


    ▪ Columna con lentes electromagnéticas
    ▪ Detector de electrones
    ▪ Cámara de muestra
    ▪ Ordenador y pantalla para ver las
    imágenes

    Además, estos microscopios requieren una fuente


    de alimentación estable, un sistema de vacío y
    refrigeración, un espacio libre de vibraciones y ser
    alojados en un área que aísle al instrumento de
    campos magnéticos y eléctricos.

    Nanoscience Instruments, http://www.nanoscience.com/technology/sem-technology/, 2017


    Purdue University, https://www.purdue.edu/ehps/rem/rs/sem.htm, 2017 2
    MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM

    Señal detectada Información Resolución lateral Profundidad

    Topografía superficial, contraste


    Electrones secundarios 5–100 nm 5–50 nm
    composicional.

    Topografía superficial, contraste


    Electrones retrodispersados composicional, orientación de 50–1000 nm 30–1000 nm
    cristales, dominios magnéticos.

    Contraste complementario a la
    Corriente de la muestra retrodispersión más la señal 50–1000 nm 30–1000 nm
    electrónica secundaria.

    Composición y distribución
    Rayos X característicos 0.5–2 μm 0.1–1 μm
    elemental.

    Detección de fases no
    Catodoluminiscencia - -
    metálicas y semiconductoras.

    ASM Handbook Vol. 9, Metallography and Microestructures, 2004.


    3
    MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM
    Una buena imagen requiere superficies libres de contaminación, resistencia de la
    muestra al alto vacío y al haz de electrones, ausencia de carga eléctrica.

    Nanofabricación con tecnología ZEISS Crossbeam FIB-SEM.


    La cara feliz de oro sólido más pequeña del mundo.
    ASM Handbook Vol. 9, Metallography and Microestructures, 2004.
    4
    MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM

    Imágenes SEM de muestras de Ag recogidas a 60 min (a), 45 h (b) y 46 h (c). Los insertos muestran
    patrones correspondientes a diferentes orientaciones del haz de electrones: perpendicular al plano (100) de
    un cubo truncado (superior derecha) y al plano (111) de un tetraedro truncado (inferior izquierdo).

    Y. Sun, B. Gates, B. Mayers, and Y. Xia, Nano Lett., 2 (2002) 165.


    5

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