صاف کمرہ

مائیکرو سسٹم کی تیاری میں استعمال ہونے والے صاف کمرے۔ فوٹو لیتھوگرافی کے عمل کے لیے پیلی (سرخ سبز) روشنی اس بات کو یقینی بنانے کے لیے ضروری ہے کہ روشنی کی چھوٹی طول موج فوٹو ریزسٹ پر حملہ نہ کر سکے۔

صاف کمرہ یا کلین روم ایک انجنیئرڈ اسپیس ہے، جو ہوا سے پیدا ہونے والے ذرات کی بہت کم ارتکاز کو برقرار رکھتی ہے۔ یہ پوری طرح سے الگ تھلگ، آلودگی سے اچھی طرح سے پاک اور فعال طور پر صاف کیا جاتا ہے۔ اس طرح کے کمروں کی عام طور پر سائنسی تحقیق کے لیے اور صنعتی پیداوار میں تمام نانوسکل پروسیس، جیسے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لیے ضرورت ہوتی ہے۔ ایک کلین روم ہر چیز کو دھول سے لے کر، ہوا میں رہنے والے جانداروں یا بخارات کے ذرات کو اِس کے اندر جو بھی مواد سنبھالا جا رہا ہے اُس سے دور رکھنے کے لیے بنایا گیا ہے۔

عام کلین روم کا سر پوش

ایک کلین روم مواد کے فرار کو بھی روک سکتا ہے۔ یہ اکثر خطرناک حیاتیات اور جوہری کام فارماسیوٹکس اور وائرولوجی میں بنیادی مقصد ہے۔ کلین روم عام طور پر صفائی کی سطح کے ساتھ آتے ہیں جس کی مقدار پہلے سے طے شدہ مالیکیول پیمائش پر فی مکعب میٹر ذرات کی تعداد سے ہوتی ہے۔ ایک عام شہری علاقے میں وسیع بیرونی ہوا میں ہر مکعب میٹر کے لیے 0.5 μm اور اس سے بڑے سائز کے ذرات ہوتے ہیں، جو آئی ایس او 9 مصدقہ کلین روم کے برابر ہوتے ہیں۔ اس کے مقابلے میں آئی ایس او <آئی ڈی 1] لیول 1 مصدقہ کلین روم اس سائز کی حد میں کسی بھی ذرات کی اجازت نہیں دیتا اور 0.3 μm اور اس سے چھوٹے ہر مکعب میٹر کے لیے صرف 12 ذرات کی۔ سیمی کنڈکٹر کی سہولیات اکثر سطح 7 یا 5 کے ساتھ ملتی ہیں، جبکہ سطح 1 کی سہولیات انتہائی کم ہوتی ہیں۔

تاریخ

جدید کلین روم امریکی طبیعیات دان ولیس وائٹ فیلڈ نے ایجاد کیا تھا۔ سینڈیا نیشنل لیبارٹریز کے ملازم کی حیثیت سے، وائٹ فیلڈ نے 1960 میں کلین روم کے لیے ابتدائی منصوبے بنائے۔ وائٹ فیلڈ کی ایجاد سے پہلے، پہلے کے کلین رومز میں اکثر ذرات اور غیر متوقع ہوا کے بہاؤ کے مسائل ہوتے تھے۔ وائٹ فیلڈ نے اپنے کلین روم کو مستقل، انتہائی فلٹر شدہ ہوا کے بہاؤ کے ساتھ ڈیزائن کیا تاکہ نجاست کو دور کیا جا سکے۔ 1960 کی دہائی میں اس کی ایجاد کے چند سالوں کے اندر، وائٹ فیلڈ کے جدید کلین روم نے دنیا بھر میں 50 بلین امریکی ڈالر سے زیادہ کی فروخت کی تھی (آج کل تقریبا $406 بلین ڈالر)۔

سیلیکون ویلی میں مربوط سرکٹ مینوفیکچرنگ کی زیادہ تر سہولیات تین کمپنیوں نے بنائی تھیں: مائیکرو ایئر، پیور ایئر اور کلیدی پلاسٹک۔ ان حریفوں نے مربوط سرکٹس کی 'ویٹ پروسیس' عمارت میں استعمال ہونے والے کیمیائی ٹینکوں اور بنچوں کے ساتھ ساتھ لیمینار فلو یونٹ، دستانے کے خانے، صاف کمرے اور ایئر شاور بنائے۔ یہ تینوں کمپنیاں ایئرگن، کیمیائی پمپ، سکریبر، واٹر گن اور مربوط سرکٹس کی تیاری کے لیے درکار دیگر آلات کے لیے ٹیفلون کے استعمال کی علمبردار تھیں۔ ولیم (بل سی میک ایلروئے جونیئر) نے انجینئرنگ مینیجر، ڈرافٹنگ روم سپروائزر، کیو اے/کیو سی اور تینوں کمپنیوں کے ڈیزائنر کے طور پر کام کیا اور ان کے ڈیزائنوں نے اس وقت کی ٹیکنالوجی میں 45 اصل پیٹنٹ شامل کیے۔ میک ایلروئے نے مائیکرو کنٹیمینیشن جرنل، ویٹ پروسیسنگ ٹریننگ دستی اور گیلے پروسیسنگ اور صاف کمرے کے لیے آلات دستی کے لیے چار صفحات پر مشتمل مضمون بھی لکھا۔