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Nitrate d'hafnium

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Nitrate d'hafnium
Image illustrative de l’article Nitrate d'hafnium
Ions constitutifs du nitrate d'hafnium
Identification
Nom systématique nitrate d'hafnium(IV)
Synonymes

nitrate d'hafnium

No CAS 15509-05-4
No ECHA 100.035.927
No CE 239-536-7
PubChem 167292
SMILES
InChI
Propriétés chimiques
Formule HfN4O12Hf(NO3)4
Masse molaire[1] 426,51 ± 0,02 g/mol
Hf 41,85 %, N 13,14 %, O 45,01 %,
Précautions
SGH[2]
SGH03 : ComburantSGH07 : Toxique, irritant, sensibilisant, narcotique
Danger
H272, H315, H319, H335, P210, P220, P221, P305+P351+P338, P405 et P501
Transport[2]
-
   1477   

Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Le nitrate d'hafnium est un composé chimique de formule Hf(NO3)4. C'est un sel d'hafnium et d'acide nitrique HNO3. Il s'agit d'un solide légèrement volatil pouvant être sublimé à 110 °C sous 0,1 mmHg, ce qui permet de l'utiliser pour déposer des couches minces de dioxyde d'hafnium HfO2 par atomic layer deposition car il se décompose au-delà de 160 °C en HfO(NO3)2 puis en HfO2[3].

Il peut être obtenu par réaction de tétrachlorure d'hafnium HfCl4 avec du pentoxyde d'azote N2O5[4].

Notes et références

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  1. Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. a et b (en) « Hafnium Nitrate », sur americanelements.com, American Elements (en) (consulté le ).
  3. (en) J. F. Conley Jr., Y. Ono, W. Zhuang, D. J. Tweet, W. Gao, S. K. Mohammed et R. Solanki, « Atomic Layer Deposition of Hafnium Oxide Using Anhydrous Hafnium Nitrate », Electrochemical and Solid-State Letters, vol. 5, no 5,‎ , p. C57 (DOI 10.1149/1.1462875, lire en ligne).
  4. (en) Weiwei Zhuang, John F. Conley, Yoshi Ono, David R. Evans et R. Solanki, « Hafnium Nitrate Precursor Synthesis and HfO2 Thin Film Deposition », Integrated Ferroelectrics, vol. 48, no 1,‎ , p. 3-12 (DOI 10.1080/10584580215449, S2CID 50290009, lire en ligne).