Interferometria

Explicación de la interferometría
La interferometría láser es un método muy reconocido de medición de

distancias con la máxima precisión.
Principios básicos
La 'interferometría' es un método de medición que aplica el fenómeno de

interferencia de las ondas (generalmente, ondas de luz, radio o sonido). Las
mediciones pueden incluir otras determinadas características de las propias
ondas y los materiales por los que se propagan. Además, la interferometría se
utiliza para describir las técnicas que utilizan ondas de la luz para estudiar los
cambios de desplazamiento. La interferometría de medición de desplazamiento
se utiliza ampliamente en la calibración y el control de movimiento en la fase
mecánica del mecanizado de precisión.
Mediante dos rayos de luz (normalmente, un rayo desdoblado en dos), se forma

un patrón de interferencia donde se superponen los dos rayos. Puesto que la
longitud de onda del rayo visible es muy corta, pueden detectarse pequeños
cambios en las diferencias de las trayectorias ópticas (distancia recorrida) entre
los dos rayos (ya que las diferencias producen cambios notables en el patrón de
interferencia). Por consiguiente, la interferometría óptica ha sido una técnica de
medición muy valiosa desde hace más de cien años. Su precisión se ha mejorado
con la aparición del láser.
En 1887, Albert A. Michelson desarrolló el primer interferómetro y demostró

el uso del principio de la interferencia de la luz como herramienta de medición.
Aunque la tecnología (y la precisión de medición) ha avanzado mucho con el
paso de los años, el principio básico del interferómetro de Michelson aún
subyace en el núcleo de la interferometría.
Un interferómetro de Michelson se compone de un desdoblador del haz (espejo

mitad plateado) y dos espejos. Cuando la luz atraviesa el espejo mitad
plateado/desdoblador del haz (que refleja parcialmente) se divide en dos rayos
con distintas trayectorias ópticas (una hacia el espejo 1 y otra hacia el espejo 2).
Los rayos de vuelta se reflejan en los espejos y se vuelven a combinar en el
desdoblador del haz antes de llegar al detector. La diferencia de trayectoria de
los dos rayos genera una diferencia de fase que forma un patrón de borde de
interferencia. Seguidamente, se analiza el patrón en el detector para evaluar las
características de la onda, las propiedades del material o el desplazamiento de
uno de los espejos (dependiendo de la medición para la que se utiliza el
interferómetro).
Interferometría aplicada
Para generar un patrón de interferencia con alta precisión (bordes distintos), es

muy importante disponer de una fuente de longitud de onda muy estable, y esto
se consigue en el láser XL-80 laser.
Existen varias configuraciones diferentes basadas en el principio de Michelson,

no obstante, la configuración lineal es el tipo más fácil de explicar.
En el sistema láser XL-80, los dos espejos (utilizados en el interferómetro de

Michelson) son retrorreflectores (prismas que reflejan la luz incidente de vuelta
en sentido paralelo a la dirección de llegada). Uno de ellos se sujeta al
desdoblador del haz para formar el brazo de referencia. El otro retrorreflector
forma el brazo de medición de longitud variable, ya que su distancia varía
respecto al desdoblador del haz.
El haz láser (1) sale del cabezal láser XL-80 y se divide en dos rayos (que se
reflejan [2] y transmiten [3]) en el desdoblador del haz polarizador. Los haces
se reflejan de vuelta desde los dos retrorreflectores y se vuelven a combinar en
el desdoblador del haz antes de llegar al detector. El uso de retrorreflectores
asegura que los rayos que vuelven desde los brazos de referencia y medición
son paralelos cuando se combinan en el desdoblador del haz. Los haces
combinados llegan al detector, donde interfieren entre ellos, de forma
constructiva o destructiva. Durante la interferencia constructiva, los dos haces
están en fase y los picos de ambos se refuerzan entre sí y producen una franja
brillante, mientras que, durante la interferencia destructiva, los haces están
desfasados y los picos de uno son anulados por el paso del segundo, lo que
genera una franja oscura.
El procesamiento de señales óptico del detector, permite observar la

interferencia de los dos haces. El desplazamiento del brazo de medición,
provoca el cambio en la fase relativa de los dos haces. Este ciclo de interferencia
destructiva y constructiva hace que la intensidad de la luz de los haces
combinados sufra una variación cíclica. Cada vez que se mueve el brazo de
medición/retrorreflector 316,5 nm, se genera un ciclo de variación de intensidad
de oscuro a iluminado, que equivale a la mitad de la longitud de onda del láser
(ya que este movimiento genera una trayectoria óptica de cambio de 633 nm,
que es la longitud de onda del láser). Por tanto, para calcular el movimiento, se
mide el número de ciclos mediante la siguiente fórmula:
Donde d es el desplazamiento (en micras), λ es la longitud de onda del láser

(0,633 micras) y N es el número de bordes pasados. La resolución más alta de
1 nm se alcanza mediante la interpolación de fases entre estos ciclos.
Independientemente de la calidad de la unidad láser (es decir, su precisión y

estabilidad) la exactitud de las mediciones de posición lineal dependen de la
precisión con la que se detecta la longitud de onda del haz. La longitud operativa
del haz láser depende del índice de refracción del aire que atraviesa, y esta se
altera con la temperatura, la presión y la humedad relativa del aire. Por tanto, es
necesario alterar (compensar) la longitud de onda del haz para incorporar los
cambios en estos parámetros.
Compensación ambiental
Sin una compensación fiable y precisa de la longitud de onda, serían frecuentes

los errores de lectura de medición lineal entre 20 y 30 ppm al combinar las
variaciones temperatura, humedad y presión de los valores nominales (incluso
si las condiciones del ensayo permanecen estables). Es posible reducir estos
errores utilizando una unidad de compensación ambiental (XC-80), que
garantiza la precisión de las mediciones en el sistema XL-80 en condiciones
muy variadas. El siguiente gráfico, a la derecha, muestra un ejemplo del error
en un sistema de interferometría sin compensar y el origen de los errores.
El compensador XC-80 mide la temperatura, presión y humedad del aire y luego

calcula el índice de refracción de este (y, por ende, la longitud de onda del láser).
Luego, la lectura del láser se ajusta automáticamente para compensar cualquier
variación que se produzca en la longitud de onda del láser. La ventaja de un
sistema automático es que no interviene el usuario y que la compensación se
actualiza frecuentemente.
Nota: Con el sistema láser de Renishaw NO se necesita compensación

ambiental para mediciones angulares o de rectilinealidad. Esto se debe a que las
compensaciones se calculan comparando las diferencias entre dos haces
colocados a muy corta distancia, donde los factores ambientales no causan
desviaciones. Al igual que en los ejes rotatorios, las mediciones de cuadratura
y planitud se basan también en estas mediciones, que tampoco requieren
compensación ambiental.
Interferometría remota
Algunos sistemas llevan instalado el interferómetro y el desdoblador del haz
en el cabezal láser. La expansión térmica del cabezal modifica la longitud de la
trayectoria, por tanto, se necesita un tiempo de precalentamiento antes de
iniciar una medición de precisión. Renishaw ha solucionado este problema
utilizando un desdoblador del haz remoto.

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En el sistema láser XL-80, los dos espejos (utilizados en el interferómetro de

El procesamiento de señales óptico del detector, permite observar la

Donde d es el desplazamiento (en micras), λ es la longitud de onda del láser

Independientemente de la calidad de la unidad láser (es decir, su precisión y

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