Scribd Logo
Cargar

¡Te damos la bienvenida a Scribd!

  • 90 vistas

    Polimeros PDMS

    Cargado por

    Brnardo Ran
    Este documento describe el proceso de fabricación de dispositivos utilizando polidimetilsiloxano (PDMS). PDMS es un elastómero transparente, flexible y biocompatible que se puede mezclar, depositar, curar y desmoldar para crear microestructuras. También se discuten técnicas como el uso de PDMS fotosensible, la integración con SU-8 y el proceso BETTS para transferir membranas de SU-8.

    Copyright:

    © All Rights Reserved
    Descargue como PDF, TXT o lea en línea desde Scribd

    Polimeros PDMS

    Cargado por

    Brnardo Ran
    90 vistas29 páginas
    Este documento describe el proceso de fabricación de dispositivos utilizando polidimetilsiloxano (PDMS). PDMS es un elastómero transparente, flexible y biocompatible que se puede mezclar, depositar, curar y desmoldar para crear microestructuras. También se discuten técnicas como el uso de PDMS fotosensible, la integración con SU-8 y el proceso BETTS para transferir membranas de SU-8.

    Descripción original:

    Descripcion de Pdms

    Título original

    Polimeros PDMS (1)

    Derechos de autor

    © © All Rights Reserved

    Formatos disponibles

    PDF, TXT o lea en línea desde Scribd

    ¿Le pareció útil este documento?

    ¿Este contenido es inapropiado?

    Este documento describe el proceso de fabricación de dispositivos utilizando polidimetilsiloxano (PDMS). PDMS es un elastómero transparente, flexible y biocompatible que se puede mezclar, depositar, curar y desmoldar para crear microestructuras. También se discuten técnicas como el uso de PDMS fotosensible, la integración con SU-8 y el proceso BETTS para transferir membranas de SU-8.

    Copyright:

    © All Rights Reserved
    Descargue como PDF, TXT o lea en línea desde Scribd
    Descargar como pdf o txt
    90 vistas29 páginas

    Polimeros PDMS

    Cargado por

    Brnardo Ran
    Este documento describe el proceso de fabricación de dispositivos utilizando polidimetilsiloxano (PDMS). PDMS es un elastómero transparente, flexible y biocompatible que se puede mezclar, depositar, curar y desmoldar para crear microestructuras. También se discuten técnicas como el uso de PDMS fotosensible, la integración con SU-8 y el proceso BETTS para transferir membranas de SU-8.

    Copyright:

    © All Rights Reserved
    Descargue como PDF, TXT o lea en línea desde Scribd
    Descargar como pdf o txt
    de 29

    PDMS

    (Polidimetilsiloxano)

    Francisco Perdigones Sánchez


    Dpto. Ingeniería Electrónica
    Índice

    ● Introducción
    ● Proceso típico
    ● PDMS fotosensible
    ● Ejemplo de estructuras
    ● Integración con SU-8
    ● Proceso BETTS
    Introducción

    ● ¿Qué es el PDMS?
    – Elastómero
    – Material muy flexible: E = 1.5 MPa, ν = 0.5
    – Muy poroso a gases
    – Material muy transparente
    – Biocompatible
    Introducción
    Polidimetilsiloxano

    Molécula de PDMS
    Proceso típico

    Inicio Mezcla

    Deposición Degasificación

    Curado “Dispositivo Final”


    Mezcla

    • Objetivo: realización de PDMS


    • Componentes:
    1) Prepolímero
    2) Agente curador
    • Relación: 1:10, 1:5, 1:20 ¿Qué número
    corresponde a cada uno? ¿Qué dato falta?
    Degasificación

    • Objetivo: Eliminar burbujas que aparecen en


    el proceso de mezcla
    • En campana de vacío: 1h a -600 mbar
    Deposición

    • Objetivo: realización de la estructura


    • Variantes:
    1) Vertido en molde
    2) Por spin coating (similar a SU-8 2025)

    ¿Problemas si se deposita primero y se degasifica después?


    Curado

    • Objetivo: solidificación de PDMS


    • Máquina: en horno o hotplate
    • Tiempo-temperatura (1:10): 1h a 65ºC en
    horno ¿Por qué viene en 2 componentes?
    Desmoldado

    Objetivo: separar estructura del molde


    Muy difícil desmoldar capas finas
    CTE = 300 ppm/ºC ¿Desmoldarías en frío o en
    caliente?
    Estructura final

    ¿Cómo se llama este proceso?


    PDMS fotosensible

    • Puede ser tratado para ser fotosensible


    • Ventajas
    1. No es necesario molde, fabricación rápida
    2. Benzofenona (365 nm – positiva)
    • Se comercializa
    Realización de estructuras cerradas

    1) Plasma de oxígeno
    2) Partial curing
    3) Varying curing agent ratio (y curing agent como adhesivo)
    Realización de estructuras cerradas

    1) Plasma de oxígeno
    2) Partial curing
    3) Varying curing agent ratio

    Yo uso 2) + 3) ¿Cómo sería el proceso?


    Estructuras con más de 1 máscara

    1)

    2)

    ¿Problemas? ¿Cómo lo resolverías? 2 métodos


    Ejemplo de Estructuras-I
    1. Actuadores térmicos

    ¿Cómo sería el proceso?


    Ejemplo de Estructuras-I
    2. Red de canales
    ¿Cómo sería el proceso?
    Ejemplo de Estructuras-I
    3. Estructuras multicapa
    Transistor microfluídico

    ¿Cómo sería el proceso?


    Ejemplo de Estructuras-I
    3. Estructuras multicapa: Proceso
    Ejemplo de Estructuras-I
    2. Guias de onda
    Ejemplo de Estructuras-I
    2. Sensado óptico
    Ejemplo de Estructuras-I
    2. Circuitos flexibles
    Integracion SU-8 PDMS
    ¿Es interesante combinar SU-8 y PDMS?¿Por qué?
    Adherencia: muy mala (*vídeo)

    Métodos de integración:
    1) Con plasma de oxígeno
    2) Con aditivos
    3) Anclado de estructuras
    Integracion SU-8 PDMS
    Proceso típico de SU-8 sobre PDMS

    1) Para obtener “piezas” de SU-8


    2) Problemas en softbake de SU-8 (aglutinación)
    • Solución (Softbake a 45ºC) ¿Problemas?
    3) Mejor solución con Cu como capa de sacrificio
    BETTS
    Bonding, Exposing and Transfer Technique in SU-8
    Método para transferir membranas de SU-8
    Objetivo: hacer cavidades cerradas

    ¿Cuál es el principal problema del


    proceso?
    BETTS
    ¿Redes de canales?

    ¿Problemas?

    ¿Qué propiedades del PDMS se están usando?


    BETTS
    Ejemplo real
    BETTS
    Ejemplo real : Filtros

    ¿Se puede usar esto para comunicar capas?


    Comparación SU-8 vs PDMS

    1) Propiedades mecánicas ¿?
    2) Transparencia ¿?
    3) Procesado ¿?
    4) Composición ¿?
    5) Porosidad ¿?
    Otros polímeros

    1) PMMA
    2) COC ¿Hot embossing?
    3) Poliamida
    4) Parileno
    5) Existen muchos más, y más competitivos
    para fabricación en serie

    También podría gustarte